JP6321248B2 - マスク吸着装置及びそれを有するハンダボール印刷機 - Google Patents
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Description
1a…開口
2…基板
3…スキージ
4…基板受けプレート
4a…穴部
5…基板受けプレート支持部材
6…基板載置テーブル
7,7a…(永久)磁石
8…磁性体ピン(磁性体部材)
8a…磁性体バー(磁性体部材)
8b…支柱
9…磁性体板
9a…支持板
10…マスク吸着部用シリンダ(第2の上下動駆動手段)
11…マスク吸着部
12…印刷テーブル
13…XYθステージ
14…印刷テーブル用シリンダ(第1の上下動駆動手段)
15…ポスト
16…マスク吸着部下端ストッパ
17…真空吸着流路
18…ハンダボール
19…パッド(電極部)
20…ハンダボール印刷機
Claims (6)
- マスクに形成された複数の開口部にハンダボールを嵌入して前記マスクに対向する基板の表面に形成された複数の電極部に前記ハンダボールを搭載するハンダボール印刷機において、
マスクに対向するよう基板を搭載し、背面側に複数の有底穴部が形成された基板受けプレートと、
前記基板受けプレートの背面側に形成された複数の有底穴部の各々に嵌合可能な柱状の永久磁石を含む部材を複数有するマスク吸着部と、
前記マスク吸着部の柱状の永久磁石を含む部材の少なくとも上端部が、前記基板受けプレートの対応する前記複数の有底穴部の底面と当該有底穴部の開口との間で、前記有底穴部の底面へ接近移動及び前記有底穴部の底面より離間移動する駆動手段と、
を有するマスク吸着装置を備えることを特徴とするハンダボール印刷機。 - 請求項1に記載のハンダボール印刷機において、
前記マスク吸着部は、前記柱状の永久磁石の下側に柱状の軸方向に延在する磁性体ピンを有することを特徴とするハンダボール印刷機。 - 請求項2に記載のハンダボール印刷機において、
前記基板受けプレートの背面側に形成された複数の有底穴部から前記柱状の永久磁石を含む部材が抜け出ることを防止するためのマスク吸着部下端ストッパを備えることを特徴とするハンダボール印刷機。 - 請求項3に記載のハンダボール印刷機において、
前記基板受けプレートと、前記基板受けプレートを垂直方向に支持する複数の基板受けプレート支持部材とを有する基板載置テーブルと、
前記基板載置テーブルを搭載したテーブルを水平面内で駆動可能なXYθステージと、
を備え、前記XYθステージにより前記基板と前記マスクを位置合わせすることを特徴とするハンダボール印刷機。 - 請求項3又は請求項4に記載のハンダボール印刷機において、
前記柱状の永久磁石と前記柱状の磁性体ピンとは、吸着により一体化されていることを特徴とするハンダボール印刷機。 - 請求項5に記載のハンダボール印刷機において、
前記柱状の永久磁石及び磁性体ピンは円柱状であって、
前記基板受けプレートの背面側に形成された複数の有底穴部は、円柱をくり抜いた形状を有することを特徴とするハンダボール印刷機。
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