JP6616922B1 - スペーサ、基板の積層体、基板の製造方法、及び磁気ディスク用基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
磁気ディスク用ガラス板を製造するとき、ガラス板の主表面および端面(内側端面及び外側端面)は研削あるいは研磨が行われる。ガラス板の端面の研磨では、ガラス板の端面の研磨の作業効率を高めるために、複数枚のガラス板を主表面の法線方向に重ね合わせたガラス板の積層体を形成し、多数のガラス板の端面を、研磨ブラシ等の研磨治具で同時に研磨する方法が用いられる。積層体には、ガラス板同士が密着し、あるいはガラス板の主表面同士が擦れて傷をつけることを防止するために、端面研磨用ガラス板のスペーサが、ガラス板の間に介在するように設けられ、ガラス板同士を離間させる。
このようなガラス積層体の押圧の解放さらには解体を行わなくても外側端面及び内側端面の研磨ができるガラス板積層治具が知られている(特許文献1)。
しかし、上記ガラス板積層治具は、装置構成が複雑であり扱い難く、また、上記ガラス板積層治具に合わせて研磨ブラシ等の研磨治具を構成する必要があり、端面研磨を行う際の汎用性が低い。また、上記ガラス板積層治具では、積層枚数が100枚以上のように設定されあるいは固定されるていため、内側端面研磨及び外側端面研磨の研磨時間の相違を考慮してガラス板の生産効率が高くなるように、内側端面研磨及び外側端面研磨の積層枚数を自由に割り振ることはできない。この点で、上記ガラス板積層治具を端面研磨に用いることが不都合な場合がある。
また、スペーサが位置ずれすることにより、端面に設けられた面取面の研磨が適切に行えない場合がある。例えば、隣り合うガラス板の間に介在するスペーサが位置ずれによって面取面の側に移動すると、面取面で挟まれた凹部の底近傍に研磨ブラシが当たる当たり方が変わり、均一な研磨ができない場合がある。
位置ずれの有無を目視で確認することは難しいため、位置ずれのない積層体を得るには、積層体を解体して再度ガラス板及びスペーサを所定位置に配置して積層体を再構成することをしなければならないが、積層体の解体及び再構成は煩雑な作業となる。
このように押圧状態のガラス板の積層体から圧力を解放したとき、スペーサの形状の復元による変形に起因してスペーサが位置ずれし、あるいはさらにガラス板が位置ずれすることは好ましくない。
前記スペーサの面積は、前記基板よりも小さく、
前記スペーサを複数の前記基板の間に挟んで形成した積層体に対して、積層方向に圧力0.60MPaを加えた押圧状態から無押圧状態に圧力の解放をしたとき、前記圧力の解放によって変化する前記積層体の厚さから計算される前記スペーサ1枚あたりの厚さの変化量ΔWは30μm以下である。
前記スペーサにおける純水に対する接触角は、50度以下である、ことが好ましい。
前記スペーサは耐水性を有する、ことが好ましい。
前記積層体の側面の処理は、
前記積層体を押圧状態にする処理と、
前記押圧状態の前記積層体の側面を処理する第1側面処理と、
前記第1端面処理後、前記積層体の押圧状態を解放する処理と、
前記押圧状態を解放した前記積層体を2以上の積層体に分離すること、前記押圧状態を解放した前記積層体と他の積層体とを積層方向に結合すること、または前記押圧状態を解放した前記積層体をそのまま維持することのいずれかを行う中間処理と、
前記中間処理後、当該中間処理を行った前記積層体を押圧状態にする処理と、
前記中間処理後の前記押圧状態の前記積層体の側面をさらに処理する第2側面処理と、を含む。
前記積層体の側面の処理を含む基板の製造方法により、磁気ディスク用基板の素となる基板を製造する処理と、
前記積層体の側面の処理後の前記基板の主表面に、少なくとも研磨処理を行う後処理と、を備える。
基板の端面処理のうち、例えば端面研磨処理では、基板の積層体を積層方向(基板の厚さ方向)に押圧した状態で、酸化セリウム等を研磨剤として含む研磨液を基板の端面(外側端面あるいは内側端面)に供給しながら研磨治具、例えば研磨ブラシ、研磨パッドあるいはスポンジ等で端面を研磨する。
このとき、スペーサを複数の基板の間に挟んで積層して形成した積層体に対して、積層方向に圧力0.60MPaを加えた押圧状態から無押圧状態に圧力の解放をしたとき、スペーサ1枚あたりの厚さの変化量ΔWは30μm以下である。スペーサ1枚あたりの厚さの変化量ΔWは、圧力の解放によって変化する積層体の厚さから計算される。
変化量ΔWは、例えば以下のようにスペーサの特性として測定される。まず、110枚の基板、1枚のスペーサ、5枚の基板、をいずれも乾燥状態で下方からこの順に積層して積層体を作成し、押圧状態(圧力0.60MPa)にした時の当該積層体の厚みを基準として、圧力を開放したときの積層体の厚さの変化量を測定し、その値を変化量Aとする。他方、スペーサを含まないようにしたこと以外は上記の積層体と同様の積層体を作成し、上記と同様に圧力解放前後の積層体の厚さの変化量を測定し、その値を変化量Bとする。
これらの値から変化量ΔWは下記式で算出される。
(変化量ΔW)=(変化量A)−(変化量B)
ここで、積層体の厚さは、押圧状態からの圧力の解放によってスペーサの厚さが復元するために増加する。ここで、材質によってはスペーサの厚さの復元に多少の時間がかかる場合があることから、変化量A、及び変化量Bは、圧力の解放から1分後の量とすることが好ましい。
なお、変化量ΔWが30μm以下であればよく、無負荷状態(初期状態)のスペーサ1枚の平均厚さW1は特に制限されない。スペーサの材料によっては、スペーサの平均厚さW1を薄くすることにより変化量ΔWを上記範囲にすることは可能であるが、過度に薄いスペーサは耐久性が低い(破損し易い、破れ易い)ことから耐久性の点で好ましくない。スペーサ1枚の平均厚さW1は、例えば50〜1500μmである。平均厚さW1は小さいほど単位長さあたりの積層枚数が増えるため好ましい。この観点からW1は1000μm以下であることが好ましく、500μm以下であることがより好ましく、300μm以下であることがより一層好ましい。他方、平均厚さW1が小さくなりすぎると破損しやすくなり繰り返し使用できる回数が少なくなる。この観点から平均厚さW1は100μm以上であると好ましい。
基板に施す端面処理は、基板の端面と基板の端面に当接させた研磨治具とを当接部において相対的に移動させて研磨する端面研磨処理、あるいは端面を研削する処理を含む。なお、端面処理では、基板の端面と研磨治具の双方を当接部において移動させる端面研磨処理の形態の他に、片方のみを移動させて研磨する端面研磨処理の形態も含む。この場合、スペーサが、基板の端面からはみ出すことがないように、スペーサの面積は、基板よりも小さい。
また、端面処理において、1回目の処理と2回目の処理の間に、積層体に対して積層方向に圧力を加えた押圧状態から無押圧状態に、圧力を解放する場合、端面処理は、基板の異なる端面を処理する形態、及び同じ端面を2回処理する形態を含む。2回の処理は、例えば、研削処理と研磨処理、あるいは粗研磨処理と精研磨処理のように、処理精度が異なる形態を含む。
図1(a)に示すガラス板1は、中心部に円孔を有する円盤形状の薄板のガラス板である。ガラス板1は磁気ディスク用ガラス基板として用いることができる。ガラス板1を磁気ディスク用ガラス基板として用いる場合、磁気ディスク用ガラス基板のサイズは問わないが、磁気ディスク用ガラス基板は、例えば、公称直径2.5インチや3.5インチの磁気ディスク用ガラス基板のサイズである。公称直径3.5インチの磁気ディスク用ガラス基板の場合、例えば、外径が95mm、円孔の内径が25mm、板厚が0.3〜2.0mmである。このガラス板1の主表面上に磁性層が形成されて磁気ディスクが作られる。
側壁面11wは、ガラス板1の板厚方向の中心位置を含む。面取面11c,12cの主表面11p,12pに対する傾斜角度は、特に制限されず、例えば45°である。また、側壁面11w及び面取面11c,12cの境界は、図示されるようなエッジを有する形状に限定されるものではなく、滑らかに連続する曲面状であってもよい。
図1(c)に示すスペーサ20は、中心部に円孔を有する円盤形状のシート状部材である。スペーサ20は、ガラス板1の内側端面及び外側端面の端面研磨を行うために円盤形状のガラス板1の積層体を形成する際、積層体の隣り合うガラス板間に介在させて、隣り合うガラス板1同士を離間させる。すなわち、積層体は、複数のガラス板1と、ガラス板1の1つとこのガラス板1上に積層する別のガラス板1の1つとの間に挟まれて配置され、隣り合うガラス板1を互いに離間させる、スペーサ20と、を備える。図1(c)において、スペーサ20の円盤形状を成した面であって、積層体においてガラス板1と接する面を主表面という。
このようなスペーサ20に関して、スペーサ20とガラス基板1とを交互に積層して形成した積層体に対して、積層方向に押圧治具を用いて圧力0.60MPaを加えた押圧状態から無押圧状態に圧力の解放をしたとき、圧力の解放によって変化する、スペーサ20の1枚当たりの厚さの変化量ΔWは30μm以下である。
一実施形態によれば、スペーサ20の材料は、基板の表面を傷つけにくい観点から、樹脂製であることが好ましい。例えば、ナイロン、アクリル、アラミド、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、ポリウレタン(PU)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、等の樹脂のシート材やフィルム材、あるいはそれらの樹脂の繊維の織物や不織布であることが好ましい。この樹脂には、フィラーや無機系材料等の添加剤が含まれていてもよい。スペーサ20の材料は、樹脂製以外に、パルプ繊維を抄紙した紙や、パルプ繊維や樹脂繊維の両方を抄紙した紙や合成紙等であってもよい。また、スペーサ20は、上記のシート材等を複数積層したものでもよい。
図2に示すように、積層体30は、ガラス板1と隣り合うガラス板1の間にスペーサ20を介在させて、ガラス板1同士を離間させている。このとき、積層体30は、圧力Pを積層方向(ガラス板1の厚さ方向)の両側から加えて、積層体30を押圧状態にする。積層体30を押圧状態にするのは、積層体30と研磨治具を相対的に回転させて端面を研磨するとき、積層体30内の一部のガラス板1が隣接するガラス板1と異なる回転動作をして不均一な研磨が行われることを防止するためである。図2では、研磨治具として研磨ブラシ32が例示されている。研磨では積層体30を積層方向に押圧した状態で、研磨液をガラス板1の端面(外側端面あるいは内側端面)に供給しながら研磨治具で研磨する。端面研磨では、例えば研磨治具とガラス板1の端面(外側端面あるいは内側端面)が相対的に移動するように、研磨治具とガラス板1を回転させる。
このため、上述したように、スペーサ20の1枚当たりの厚さの変化量ΔWを30μm以下にする。
次に、円盤形状に形状加工されたガラス素板の割断面に、面取面11c,12cを形成する形状加工を行う。面取面11c,12cは、例えば、総型砥石等を用いて形成される。これによって、図1(b)に示す形状を有するガラス板1が作製される。
積層体30を用いたガラス板1の内側端面に対応する内側側面の研磨では、積層体30の上面あるいは下面に位置するガラス板1の主表面の外側側面近傍領域を、図示されない固定治具を用いて押圧して積層体30を固定する。この後、積層体30の、ガラス板1の円孔に対応する空間に研磨治具を挿入して内側から研磨治具を押し当てて内側側面を研磨する。
積層体30を用いたガラス板1の外側端面に対応する外側側面の研磨では、積層体30の、ガラス板1の円孔に対応する空間に図示されない固定治具を挿入して、積層体30の上面あるいは下面に位置するガラス板1の主表面の内側側面近傍領域を、図示されない固定治具を用いて押圧して積層体30を固定する。この後、積層体30の外側側面に、外側から研磨治具を押し当てて外側側面を研磨する。
ガラス板1の研削では、遊星歯車機構を備えた両面研削装置を用いて、ガラス板1の主表面に対して研削加工が行われる。具体的には、ガラス板1の外側端面を、両面研削装置の保持部材に設けられた保持孔内に保持しながらガラス板1の両側の主表面の研削を行う。両面研削装置は、研削部材を装着した上下一対の定盤(上定盤および下定盤)を有しており、上定盤および下定盤の間にガラス板1が狭持される。そして、上定盤または下定盤のいずれか一方、または、双方を移動操作させ、クーラントを供給しながらガラス板1と各定盤とを相対的に移動させることにより、ガラス板1の両主表面を研削することができる。例えば、ダイヤモンドを樹脂で固定した固定砥粒をシート状に形成した研削部材を定盤に装着して研削処理をすることができる。
第1研磨では、固定砥粒による上述の研削処理に用いる両面研削装置と同様の構成を備えた両面研磨装置を用いて、研磨スラリを与えながらガラス板1を研磨する。第1研磨では、遊離砥粒を含んだ研磨スラリが用いられる。第1研磨に用いる遊離砥粒として、例えば、酸化セリウム、あるいはジルコニア等の砥粒が用いられる。両面研磨装置も、両面研削装置と同様に、上下一対の定盤の間にガラス板1が狭持される。下定盤の上面及び上定盤の底面には、全体として円盤形状の平板の研磨パッド(例えば、樹脂ポリッシャ)が取り付けられている。そして、上定盤または下定盤のいずれか一方、または、双方を移動操作させることで、ガラス板1と各定盤とを相対的に移動させることにより、ガラス板1の両主表面を研磨する。研磨砥粒の大きさは、平均粒径(D50)で0.5〜3μmの範囲内であることが好ましい。
第1研磨及び第2研磨の他にさらに別の研磨を加えてもよく、2つの主表面の研磨を1つの研磨で済ませてもよい。また、上記各処理の順番は、適宜変更してもよい。
第2研磨後のガラス板1は、洗浄される。
こうして、ガラス板1の主表面を研磨して、磁気ディスク用ガラス基板に要求される条件を満足した磁気ディスク用ガラス基板を得ることができる。
なお、接触角の測定では、スペーサ20の表面に研磨液1μl(マイクロリットル)を滴下し、研磨液を滴下してから10秒後の接触角を、接触角測定装置を用いて測定する。なお、スペーサ20の表面が汚れている場合は予め清掃し、完全に乾いた状態で測定する。
耐水性は、例えば、スペーサ20の材料として水に溶けにくい材料を用いること、スペーサの表面に水の染み込みを防止する表面層を設けることあるいは表面処理を実施すること、により実現できる。また、スペーサ20を織物や不織布など繊維で構成する場合は、例えば、水に溶けにくい繊維を用いればよく、あるいは表面に耐水性コーティングが施された繊維を用いればよい。
ガラス板1とスペーサ20を交互に積層した積層体30を押圧状態にする処理と、
押圧状態の積層体30の側面を処理する第1側面処理と、
第1側面処理後、積層体30の押圧状態を解放する処理と、
押圧状態を解放した積層体30を2以上の積層体に分離すること、押圧状態を解放した積層体30と他の積層体とを積層方向に結合すること、または押圧状態を解放した積層体30をそのまま維持することのいずれかを行う中間処理と、
中間処理後後、当該中間処理を行った積層体を押圧状態にする処理と、
中間処理後の押圧状態の積層体の側面をさらに処理する第2側面処理と、
と、を含む。
積層体30を押圧状態にする処理では、積層体30の積層方向の両端にある基板、例えばダミー基板に、押圧治具を用いて加圧することによって押圧状態にする。
例えば、ガラス板1の内側端面を第1端面として、積層体30の内側側面を第1側面として第1端面研磨処理(第1側面処理)を行い、その後の第2端面研磨処理では、ガラス板1の外側端面を第2端面として、積層体30の外側側面を第2側面として処理(第2側面処理)をする。第2端面研磨処理では、積層体30と、第1端面研磨処理を別途行ったガラス板1の積層体33とを結合した結合積層体34に対して端面研磨を行う。あるいは、ガラス板1の外側端面を第1端面として、積層体30の外側側面を第1側面として第1端面研磨処理(第1側面処理)を行い、その後の第2端面研磨処理では、ガラス板1の内側端面を第2端面として、積層体30の内側側面を第2側面として処理(第2側面処理)をする。第2端面研磨処理では、積層体30と、第1端面研磨処理を別途行ったガラス板1の積層体33とを結合した結合層体34に対して端面研磨を行う。
例えば、ガラス板1の内側端面を第1端面として、積層体30の内側側面を第1側面として第1端面研磨処理(第1側面処理)を行い、その後の第2端面研磨処理では、ガラス板1の外側端面を第2端面として、積層体30の外側側面を第2側面として処理(第2側面処理)をする。第2端面研磨処理では、積層体30を2以上の分離積層体36に分離して1つの分離積層体36に対して端面研磨を行う。あるいは、ガラス板1の外側端面を第1端面として、積層体30の外側側面を第1側面として第1端面研磨処理(第1側面処理)を行い、その後の第2端面研磨処理では、ガラス板1の内側端面を第2端面とし、積層体30の内側側面を第2側面として処理(第2側面処理)をする。第2端面研磨処理では、積層体30を2以上の分離積層体36に分離したときの1つの分離積層体36に対して端面研磨を行う。
なお、図4(b)に示す例では、第1端面研磨処理後の積層体30の厚さを、図4(a)に示す結合積層体34の厚さと同じ厚さで示しているが、積層体30の厚さは結合積層体34の厚さと異なってもよい。
例えば、研磨すべき内側側面に比べて研磨すべき外側側面の周長は長く、同じ研磨条件では、内側側面の研磨に比べて外側側面の研磨の取代量の総量は大きく、研磨時間がかかる。このため、内側側面を研磨した積層体30,33を結合した結合積層体34を用いてガラス板1の外側端面を一度に多量に研磨することによって、ガラス板1の研磨効率を向上させることができる。また、2つの積層体に分けて一度に積層体の第2側面を研磨することができる端面研磨装置を用いる場合、2つの分離積層体36の第2側面を同時に研磨することができるので、ガラス板1の研磨効率を向上させることができる。
また、図4(a),(b)に示す例では、第1端面研磨処理及び第2端面研磨処理の処理対象の端面は、ガラス板1の異なる端面であるが、処理対象の端面は同じであってもよく、例えば、内側端面あるいは外側端面であってもよい。すなわち、第1端面研磨処理及び第2端面研磨処理において、内側端面あるいは外側端面のいずれか一方を連続して研磨してもよい。この場合、粗研磨及び精研磨のように、研磨の精度を異ならせてもよい。
また、第1端面研磨処理さらには第2端面研磨処理が施された積層体のガラス板1について、同じ加工業者においてガラス板1の主表面等の研削、研磨を含む後処理を行ってもよい。一実施形態によれば、積層体の第1端面研磨処理さらには第2端面研磨処理を含む上記基板の製造方法により、磁気ディスク用基板の素となるガラス板1(基板)を製造する処理と、積層体の第2端面研磨処理後のガラス板1(基板)の主表面に、少なくとも研磨処理を行う後処理と、を備える。
このようなガラス板1の製造方法に用いるスペーサ20の効果を確認するために、スペーサ20を用いて積層したガラス板1(外径95.05mm、円孔の内径が24.95mm、厚さ0.7mm、外側端部及び内側端部の面取面は主表面方向の幅が150μmで角度が45°、外側端部(外径)及び内側端部(内径)の真円度はいずれも2μm以下)の端面研磨を行った。端面研磨による取代の目標値は、外側端部及び内側端部ともに直径換算で50μmとした。
スペーサは、種々の材料、及び厚さが種々異なるものを用いてスペーサの1枚当たりの厚さの変化量ΔWを変化させた。101枚のガラス板1と、100枚のスペーサ20で構成される積層体30を用いて、ガラス板1の端面研磨を行った。ここで、積層体30の両端となる2枚のガラス基板1はダミー基板として使用したため、加工対象のガラス基板1はそれらを除く99枚である。ガラス板1とスペーサはいずれも乾燥状態のものを用意し、積層体形成装置を用いて、スペーサがガラス板1の主表面11pからからはみ出さず、かつ、両者の中心が合うように交互に積層した。
端面研磨では、押圧状態(圧力P=0.60MPa)の積層体30の内側側面の研磨を、積層方向を鉛直方向にした状態で端面研磨を行った後、積層体30を、積層方向を鉛直方向にした状態で、押圧状態から圧力を解放して無押圧状態にした後、積層体30の外側側面の研磨を行うために、積層体30を再度押圧状態(圧力P=0.60MPa)にして、積層体30の外側側面の研磨を行った。なお、再度押圧状態とする前に、ガラス板1、スペーサの位置ずれを直すような操作(例えば、積層体の解体と再積層など)は実施しなかった。
また、スペーサに対する純水の接触角はいずれも50度以下であり、スペーサ表面の粗さRaはいずれも0.2〜5μmの範囲内であった。
下記表1には、スペーサの材質と、スペーサ厚さ(平均厚さW1)と、スペーサの1枚当たりの厚さの変化量ΔWとそのときの合否結果を示す。実施例1〜8及び比較例2〜4ではシート材を用い、比較例1では、ポリエステル樹脂の繊維からなる不織布を用いた。
さらに、スペーサの表面粗さRaを種々変化させたこと以外は実施例2と同様の仕様のスペーサ20を用意し、実験例1と同様の端面研磨(積層体の内側側面の研磨及び外側側面の研磨)を行い、端面研磨後の積層体の分離(解体)時における作業性を評価した。
積層体の分離には、公知の積層体分離装置を用いた。この装置は、1枚のガラス板1をバキュームチャックで分離した後、ガラス板1に張り付いたスペーサ20をエアブローで吹き飛ばす処理を行う。ただし、ガラス1とスペーサ20との吸着力が強すぎる場合、スペーサ20がうまく剥がれず、分離エラーとなる。この分離エラーの有無を評価した。1枚のスペーサ20でも分離エラーとなる場合、“分離エラー有り”とした。
11p,12p 主表面
11w 側壁面
11c,12c 面取面
20 スペーサ
30,33 積層体
32 研磨ブラシ
34 結合積層体
36 分離積層体
Claims (9)
- 複数の基板の積層体を形成して当該複数の基板の端面処理を行う際に、前記積層体中の隣り合う基板の間に介在させて、隣り合う基板同士を離間させるシート状のスペーサであって、
前記スペーサの面積は、前記基板よりも小さく、
前記スペーサを複数の前記基板の間に挟んで形成した積層体に対して、積層方向に圧力0.60MPaを加えた押圧状態から無押圧状態に圧力の解放をしたとき、前記圧力の解放によって変化する前記積層体の厚さから計算される前記スペーサ1枚あたりの厚さの変化量ΔWは30μm以下である、ことを特徴とするスペーサ。 - 前記スペーサは樹脂製である、請求項1に記載のスペーサ。
- 前記スペーサの表面粗さRaは0.2μm以上である、請求項1又は2に記載のスペーサ。
- 前記スペーサは耐水性を有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載のスペーサ。
- 複数の基板と、当該複数の基板の隣り合う基板間に請求項1〜4のいずれか1項に記載のスペーサを備えた、積層体。
- 請求項5に記載の積層体の側面の処理を含む、基板の製造方法。
- 請求項5に記載の基板の積層体の側面の処理を含む基板の製造方法であって、
前記積層体の側面の処理は、
前記積層体を押圧状態にする処理と、
前記押圧状態の前記積層体の側面を処理する第1側面処理と、
前記第1側面処理後、前記積層体の押圧状態を解放する処理と、
前記押圧状態を解放した前記積層体を2以上の積層体に分離すること、前記押圧状態を解放した前記積層体と他の積層体とを積層方向に結合すること、または前記押圧状態を解放した前記積層体をそのまま維持することのいずれかを行う中間処理と、
前記中間処理後、当該中間処理を行った前記積層体を押圧状態にする処理と、
前記中間処理後の前記押圧状態の前記積層体の側面をさらに処理する第2側面処理と、を含む基板の製造方法。 - 前記基板はガラス板である、請求項6又は7に記載の基板の製造方法。
- 磁気ディスク用基板の製造方法であって、
請求項6〜8のいずれか1項に記載の基板の製造方法により、磁気ディスク用基板の素となる基板を製造する処理と、
前記積層体の側面の処理後の前記基板の主表面に、少なくとも研磨処理を行う後処理と、を備える、ことを特徴とする磁気ディスク用基板の製造方法。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011230276A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-17 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板積層体用ワークホルダ及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法及びこの製造方法で製造されたガラス基板及びこのワークホルダを用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体用ガラス基板 |
JP2013069380A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板搬送方法、及び、該ガラス基板搬送方法を用いたガラス基板積層体形成方法、ガラス基板搬送装置、前記ガラス基板搬送装置を有するガラス基板積層体形成システム、さらに、前記ガラス基板搬送方法を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法、前記ガラス基板積層体形成方法を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2014056639A (ja) * | 2013-11-12 | 2014-03-27 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001162510A (ja) | 1999-09-30 | 2001-06-19 | Hoya Corp | 研磨方法並びに磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体の製造方法 |
US6615613B1 (en) | 1999-09-30 | 2003-09-09 | Hoya Corporation | Method of grinding a substrate and method of manufacturing a glass substrate and a magnetic recording medium by the use of the glass substrate |
JP2003022522A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-24 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 情報記録媒体用基板の製造方法 |
DE602004029520D1 (de) * | 2003-10-16 | 2010-11-18 | Sharp Kk | Substrat mit Abstandhalter, Tafel und Verfahren zur Herstellung der Tafel |
JP2005306672A (ja) * | 2004-04-22 | 2005-11-04 | Tdk Corp | 積層セラミック基板の製造方法 |
JP2006286040A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hitachi Maxell Ltd | 光情報記録媒体および光情報記録媒体の製造方法 |
JP2009096927A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Tdk Corp | 活性エネルギー線硬化性樹脂組成物およびその積層体 |
JP6049979B2 (ja) | 2009-07-03 | 2016-12-21 | ソニー株式会社 | 光学素子、および表示装置 |
CN103747959B (zh) | 2011-08-09 | 2016-02-17 | 宇部爱科喜模株式会社 | 层叠体制造装置及层叠体的制造方法 |
JP5936968B2 (ja) | 2011-09-22 | 2016-06-22 | 株式会社東芝 | 半導体装置とその製造方法 |
JP5842505B2 (ja) | 2011-09-26 | 2016-01-13 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板積層治具及び該治具を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法及び該端面研磨方法を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
MY168569A (en) * | 2011-12-30 | 2018-11-13 | Hoya Corp | Method of manufacturing a substrate, method of manufacturing a magnetic disk glass substrate and method of manufacturing a magnetic disk |
JP2013206503A (ja) | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 基板の積層方法および基板積層治具 |
WO2013172353A1 (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-21 | 電気化学工業株式会社 | 積層体の加工装置及び加工方法 |
CN104584126B8 (zh) * | 2012-09-28 | 2017-08-08 | Hoya株式会社 | 磁盘用玻璃基板、磁盘以及磁盘用玻璃基板的制造方法 |
WO2014163026A1 (ja) * | 2013-03-30 | 2014-10-09 | Hoya株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法、並びに研磨パッド |
KR20150138191A (ko) * | 2013-04-02 | 2015-12-09 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 피막을 구비한 유리 기판 및 그 제조 방법 |
JP6056964B2 (ja) * | 2013-04-15 | 2017-01-11 | 日産自動車株式会社 | 燃料電池の製造方法及び製造装置 |
JP2015030133A (ja) | 2013-07-31 | 2015-02-16 | 日東電工株式会社 | 押圧装置および樹脂シートの硬化方法 |
JP6393479B2 (ja) * | 2014-01-23 | 2018-09-19 | デクセリアルズ株式会社 | 親水性積層体、及びその製造方法、並びに物品、及びその製造方法 |
JP6682224B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2020-04-15 | AvanStrate株式会社 | 素板ガラス梱包装置、素板ガラスの梱包方法、及び素板ガラス梱包体 |
JP6717317B2 (ja) * | 2015-10-09 | 2020-07-01 | 大日本印刷株式会社 | 光学シート、偏光板、光学シートの選別方法及び光学シートの製造方法、並びに表示装置 |
JP6154053B2 (ja) * | 2015-10-27 | 2017-06-28 | デクセリアルズ株式会社 | 防曇積層体、物品、及びその製造方法、並びに防曇方法 |
CN107524053A (zh) * | 2016-06-16 | 2017-12-29 | 旭硝子株式会社 | 玻璃衬纸、玻璃衬纸的制造方法、及玻璃板层叠体 |
CN113851153B (zh) * | 2018-03-09 | 2023-12-26 | Hoya株式会社 | 间隔件、基板的层积体和基板的制造方法 |
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2022
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2023
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011230276A (ja) * | 2010-04-30 | 2011-11-17 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板積層体用ワークホルダ及びこのワークホルダを用いたガラス基板の製造方法及びこの製造方法で製造されたガラス基板及びこのワークホルダを用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法及び磁気記録媒体用ガラス基板 |
JP2013069380A (ja) * | 2011-09-22 | 2013-04-18 | Asahi Glass Co Ltd | ガラス基板搬送方法、及び、該ガラス基板搬送方法を用いたガラス基板積層体形成方法、ガラス基板搬送装置、前記ガラス基板搬送装置を有するガラス基板積層体形成システム、さらに、前記ガラス基板搬送方法を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法、前記ガラス基板積層体形成方法を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
JP2014056639A (ja) * | 2013-11-12 | 2014-03-27 | Asahi Glass Co Ltd | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
Also Published As
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