JP5842505B2 - ガラス基板積層治具及び該治具を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法及び該端面研磨方法を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
前記磁気記録媒体用ガラス基板の前記円孔に挿入され、前記ガラス基板積層体の内周端面を支持し、両端にクランプボルトを嵌合可能なクランプボルト嵌合部と一端側周囲にガラス基板積層体を保持する軸止部とを有するシャフトと、
前記ガラス基板積層体の内周端面研磨を行う際に前記ガラス基板積層体を内部に固定することが可能な構造である内周端面研磨治具を備え、
前記内周端面研磨治具は、一端側保持部、他端側保持部および位置決め部を有し、
前記一端側保持部は、前記シャフトの前記軸止部と嵌合して前記シャフトを支持し、前記ガラス基板積層体を固定した後、前記シャフトを抜き取ることが可能であり、前記他端側保持部は、前記一端側保持部の他端側に形成され前記ガラス基板積層体を他端側から保持し、前記位置決め部は、前記他端側保持部と嵌合する位置決め嵌合部分および前記シャフトの他端側を挿通して嵌合させる軸受部を有し、内周端面研磨を行う際に前記ガラス基板積層体を前記一端側保持部と前記他端側保持部間で固定し、前記シャフトを抜き取るガラス基板積層治具を提供する。
本実施の形態では、本発明のガラス基板積層治具について説明を行う。
(A)ガラス基板積層体25が積層、固定されたシャフト10をワークホルダのホルダ本体41内に上枠部の円形開口を通して挿入する。この際、シャフトの軸止部12を、ホルダ本体41の下枠部44に設けられた貫通孔で固定(軸止)する。
(B)ホルダ本体の上端にスペーサ21及び上側保持部42、位置決め部材43を取り付け、ガラス基板積層体をホルダ内に固定する。
(C)ホルダ本体の下枠部44に設けられた貫通孔からシャフトを下方に抜きとり、(B)工程で位置決め部材43を用いていた場合には位置決め部材も取り外す。
(D)ガラス基板積層体の中央孔に上方から研磨ブラシを挿入し、上方から研磨液を供給しながらホルダ本体を固定したテーブルと研磨ブラシを回転させながら軸方向に往復動させてガラス基板積層体25の内周端面研磨を行う。
[第2の実施形態]
本実施形態では第1の実施形態で説明したガラス基板積層治具を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法について説明する。
[第3の実施形態]
本実施の形態では、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法について説明する。
12 軸止部
13 クランプボルト嵌合部
25 ガラス基板積層体
26 クランプボルト
60 ガラス基板
61 スペーサ
Claims (10)
- 中心部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板をスペーサを介して積層したガラス基板積層体の外周端面研磨及び/又は内周端面研磨に用いるガラス基板積層治具であって、
前記磁気記録媒体用ガラス基板の前記円孔に挿入され、前記ガラス基板積層体の内周端面を支持し、両端にクランプボルトを嵌合可能なクランプボルト嵌合部と一端側周囲にガラス基板積層体を保持する軸止部とを有するシャフトと、
前記ガラス基板積層体の内周端面研磨を行う際に前記ガラス基板積層体を内部に固定することが可能な構造である内周端面研磨治具を備え、
前記内周端面研磨治具は、一端側保持部、他端側保持部および位置決め部を有し、
前記一端側保持部は、前記シャフトの前記軸止部と嵌合して前記シャフトを支持し、前記ガラス基板積層体を固定した後、前記シャフトを抜き取ることが可能であり、前記他端側保持部は、前記一端側保持部の他端側に形成され前記ガラス基板積層体を他端側から保持し、前記位置決め部は、前記他端側保持部と嵌合する位置決め嵌合部分および前記シャフトの他端側を挿通して嵌合させる軸受部を有し、内周端面研磨を行う際に前記ガラス基板積層体を前記一端側保持部と前記他端側保持部間で固定し、前記シャフトを抜き取るガラス基板積層治具。 - 前記ガラス基板積層治具は、前記ガラス基板積層体の外周端面研磨を行う際に、前記クランプボルト嵌合部にクランプボルトを有する請求項1記載のガラス基板積層治具。
- 前記クランプボルトは一方の端部にシャフト嵌合部が凸設され、
前記シャフト嵌合部は先端部から順にねじ山を有さない凸型円筒部と、ねじ部とを有し、
前記クランプボルト嵌合部はシャフト嵌合部の形状に対応した凹型円筒部と、ねじ部とを有しており、
前記凸型円筒部と前記凹型円筒部とが嵌合するように構成されている請求項1または2に記載のガラス基板積層治具。 - 前記シャフトは、少なくとも前記磁気記録媒体用ガラス基板と接触する部分がダイヤモンドライクカーボンからなる保護膜によってコーティングされている請求項1乃至3いずれか一項に記載のガラス基板積層治具。
- 前記内周端面研磨治具の他端側保持部は、前記一端側保持部に垂立する側枠部上に形成された上枠部と、前記上枠部に取り付けられ、前記位置決め部の前記位置決め嵌合部分と嵌合して他端側から前記シャフトの位置を規定し、前記ガラス基板積層体を他端側から保持する保持部とを備える請求項1乃至4いずれか一項に記載のガラス基板積層治具。
- 請求項1乃至5いずれか一項に記載のガラス基板積層治具を用いた磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法であって、
前記ガラス基板積層体を保持した前記シャフトの前記クランプボルト嵌合部にクランプボルトを取り付け、前記ガラス基板積層体の外周端面を外周端面研磨し、
前記ガラス基板積層体を保持した前記シャフトの前記軸止部を前記内周端面研磨治具の一端側保持部と嵌合させ、前記シャフトの他端側の前記ガラス基板積層体を前記他端側保持部で保持し、前記シャフトの他端側を位置決め部の軸受部に挿通して嵌合させ、前記位置決め嵌合部分と前記他端側保持部とを嵌合させ、前記ガラス基板積層体を前記内周端面研磨治具に内部に固定し、前記シャフトを抜き取り、前記ガラス基板積層体の内周端面を内周端面研磨する磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法。 - 前記ガラス基板積層体は、磁気記録媒体用ガラス基板とスペーサとが交互に積層されている請求項6に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法。
- 前記スペーサは、外径が前記磁気記録媒体用ガラス基板外径より小さく、内径が前記磁気記録媒体用ガラス基板円孔径より大きい円盤形状である請求項7に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法。
- 外周端面研磨を行った後に、内周端面研磨を行う請求項6乃至8いずれか一項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法。
- 磁気記録媒体用ガラス基板の内周端面及び外周端面を研磨する端面研磨工程と、
磁気記録媒体用ガラス基板の主平面を研磨する主平面研磨工程と、
磁気記録媒体用ガラス基板の洗浄工程と、
を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法において、
前記端面研磨工程は、請求項6乃至9いずれか一項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法を用いて磁気記録媒体用ガラス基板を端面研磨する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
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