JP2011156633A - 被加工物保持材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材1に、樹脂溶液を塗工し、湿式凝固して発泡層2を形成し、発泡層2の裏面の基材1を剥離し、発泡層2を、平滑部材3で挟んで加熱加圧し、発泡層2の表裏面2a−1,2b−1側に、気泡等が押し潰されて空隙部が少ない緻密な層2a−1a,2b−1bを形成し、この緻密な層2a−1a,2b−1bによって、研磨液等の浸透を阻止するとともに、強度を高めて破断しにくいものとしている。
【選択図】図2
Description
実施例の被加工物保持材の圧縮率は、35.1%であった。
3 樹脂フィルム 4 両面テープ
5,6 ヒートロール
Claims (5)
- 発泡層を備えるとともに、前記発泡層の表面が、被加工物を保持する保持面とされる被加工物保持材であって、
前記発泡層の表面側には、基材に樹脂溶液を塗工して、湿式凝固されてなる発泡層の表面側に比べて緻密な層が形成されていることを特徴とする被加工物保持材。 - 前記緻密な層が形成されている前記発泡層の裏面側には、前記基材に樹脂溶液を塗工して、湿式凝固されてなる前記発泡層を前記基材から剥離した裏面側に比べて緻密な層が形成されている請求項1に記載の被加工物保持材。
- 発泡層を備えるとともに、前記発泡層の表面が、被加工物を保持する保持面とされる被加工物保持材であって、
前記発泡層の表面側には、前記発泡層の縦断面における単位面積当たりの空隙部の割合である空隙率が、3%以下である緻密な層が形成されていることを特徴とする被加工物保持材。 - 前記発泡層の裏面側には、前記空隙率が、3%以下である緻密な層が形成されている請求項3に記載の被加工物保持材。
- 前記緻密な層は、前記表面または前記裏面から少なくとも10μmの厚みを有する請求項1ないし4のいずれか一項に記載の被加工物保持材。
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