JP6602744B2 - センサ装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
2…センサ素子
3…電子部品
4…固定領域
5…筐体
6…溝
7…凸部
8…保護層
10…センサアセンブリ
12…副通路
13…電子部品
14…センサ素子
15…センサ素子
16…センサ素子
20a…基板の厚さ
20b…溝間の厚さ
25…金型
26…空気
Claims (12)
- 被計測流体の一部を取り込む副通路と、前記副通路に配置されるセンサ素子と、前記センサ素子が実装される基板と、前記基板を保持するハウジングと、を備え、
前記ハウジングは、前記副通路の壁面の一部を形成しつつ、前記基板を保持する固定部を有し、前記基板は前記固定部に沿った方向に形成される溝部を有しており、
前記溝部は、その底部が、前記基板が前記固定部で保持される領域と前記固定部に接しない領域を有するように形成されているセンサ装置。 - 前記溝部は、その底面が切削面である請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記溝部は2つあり、前記固定部に沿った凸部が形成されている請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記溝部は、前記基板のセンサ素子が搭載されている側の面に形成される請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記溝部表面には保護膜が形成されている請求項1乃至4のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記基板表面には保護膜が形成されており、前記溝部は、前記保護膜上に形成される請求項1乃至4のいずれかに記載のセンサ装置。
- 前記センサ素子は、前記副通路に流れ込む気体の流量を測定する流量センサである請求項1乃至4の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記基板は、複数のセンサ素子を有する請求項7に記載のセンサ装置。
- 前記基板は、プリント基板である請求項1乃至4の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記基板は、セラミック基板である請求項1乃至4の何れかに記載のセンサ装置。
- 前記ハウジングは、熱可塑性樹脂で形成される請求項1乃至4の何れかに記載のセンサ装置。
- センサ素子と、前記センサ素子が実装される基板と、前記基板を保持するハウジングをモールドにより固定するセンサ装置の製造方法であって、
前記基板に溝を形成する工程と、
前記溝に固定部形成用の金型を押し当てて、樹脂を注入し、固定部を形成する工程と、を備えるセンサ装置の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016254661A JP6602744B2 (ja) | 2016-12-28 | 2016-12-28 | センサ装置及びその製造方法 |
PCT/JP2017/043738 WO2018123478A1 (ja) | 2016-12-28 | 2017-12-06 | センサ装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016254661A JP6602744B2 (ja) | 2016-12-28 | 2016-12-28 | センサ装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018105800A JP2018105800A (ja) | 2018-07-05 |
JP6602744B2 true JP6602744B2 (ja) | 2019-11-06 |
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ID=62707330
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016254661A Expired - Fee Related JP6602744B2 (ja) | 2016-12-28 | 2016-12-28 | センサ装置及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6602744B2 (ja) |
WO (1) | WO2018123478A1 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58125532A (ja) * | 1982-01-20 | 1983-07-26 | Tokuyama Soda Co Ltd | 石炭サイロ払い出し方法 |
JP5195819B2 (ja) * | 2010-06-02 | 2013-05-15 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
JP5645880B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2014-12-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
JP6099094B2 (ja) * | 2013-06-21 | 2017-03-22 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | ガスセンサ装置およびガスセンサ装置の取付け構造 |
WO2017073271A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量計 |
JP6474709B2 (ja) * | 2015-10-28 | 2019-02-27 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
-
2016
- 2016-12-28 JP JP2016254661A patent/JP6602744B2/ja not_active Expired - Fee Related
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2017
- 2017-12-06 WO PCT/JP2017/043738 patent/WO2018123478A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018105800A (ja) | 2018-07-05 |
WO2018123478A1 (ja) | 2018-07-05 |
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