JP6200962B2 - 空気流量測定装置 - Google Patents
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- 空気の流量を検出する流量検出素子と、湿度あるいは圧力の少なくとも1つの物理量を検出する物理量検出素子と、前記流量検出素子あるいは前記物理量検出素子の出力信号を処理する回路を内部に有する回路パッケージと、を有する空気流量測定装置であって、
前記流量検出素子と前記物理量検出素子とは、前記流量検出素子がベアチップの状態で、前記物理量検出素子がプラスチックパッケージ部品の状態で、かつ前記流量検出素子の検出部と前記物理量検出素子の検出部とが空気中に露出した状態で、同一の前記回路パッケージ内に配置されることを特徴とする空気流量測定装置。 - 前記流量検出素子と前記物理量検出素子とは、主通路を流れる空気の流れ方向に対し垂直方向となるように前記回路パッケージ内に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の空気流量測定装置。
- 前記物理量検出素子は、前記流量検出素子よりコネクタ側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の空気流量測定装置。
- 前記物理量検出素子は、前記流量検出素子と同一線上にならぶように配置されていることを特徴とする請求項2に記載の空気流量測定装置。
- 前記回路パッケージは、前記物理量検出素子の近傍にヒーター素子が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の空気流量測定装置。
- 前記ヒーター素子は、チップ抵抗あるいはサーミスタからなることを特徴とする請求項5に記載の空気流量測定装置。
- 前記物理量検出素子と前記ヒーター素子との距離をL1、前記流量検出素子と前記ヒーター素子との距離をL2とすると、
L1<L2
の関係を満たしていることを特徴とする請求項5に記載の空気流量測定装置。 - 前記回路パッケージは、前記物理量検出素子の空気流れの上下流側の少なくとも一方側に突起あるいは溝を有することを特徴とする請求項1に記載の空気流量測定装置。
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