JP5814192B2 - 流量測定装置 - Google Patents
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Description
102…実装基板上配線
104…制御回路素子
105a,b…金ワイヤ
106…ダイアフラム
107…窪み
108…流量検出素子
109、109a、109b…撥水性有機膜
201…発熱抵抗体
202…引き出し線
203…アルミパッド
Claims (2)
- ダイアフラムに形成される発熱抵抗体を有する半導体センサ素子と、
前記半導体センサ素子が実装される実装部と、
前記半導体センサ素子と電気的に接続され、前記半導体センサ素子を制御する制御回路と、
前記半導体センサ素子と前記制御回路との電気接続部を保護するシール材と、を備え、
前記半導体センサ素子は、前記ダイアフラムの端部を覆い、かつ、前記発熱抵抗体を露出するように形成される撥水性有機膜を表面に有し、
前記有機膜の前記電気接続部側の外周側面が、前記発熱抵抗体から所定の間隔をもって設けられ、かつ、前記シール材で保護される電気接続部から所定の間隔をもって設けられており、
前記有機膜は、前記有機膜の前記電気接続部側の外周側面と前記ダイアフラムの前記電気接続部側の端部との間に、中抜きを有する形状である熱式流量計。 - 前記有機膜は、ポリイミドシリコーンである請求項1に記載の熱式流量計。
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