JP6658833B2 - 流量センサ - Google Patents
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Description
副通路に導かれた流体の流量を検出するセンシング部(20)が形成された流量検出チップ(11)と、
流量検出チップ(11)と電気的に接続された回路チップ(12)と、
回路チップ(12)が搭載された搭載面(13a)及び該搭載面と反対の裏面(13b)を有し、搭載面(13a)における回路チップ(12)とは異なる位置に流量検出チップ(11)が接続されたリードフレーム(13,23a,23b)と、
リードフレーム(13,23a,23b)における搭載面及び裏面の両側に配置され、センシング部(20)を露出させつつ、回路チップ(12)を封止する樹脂成形体(14)と、を備え、
樹脂成形体(14)は、リードフレーム(13,23a)の裏面(13b)の一部が底をなし、該樹脂成形体(14)の外面に開口する孔部(28)を有しており、
リードフレーム(13,23a)は、孔部(28)を介して、副通路(15)を流れる流体に晒され、
孔部(28)の開口は、回路チップ(12)の直下とは異なる位置に配置され、リードフレーム(13,23a)から離れるにつれて広くなっており、
リードフレーム(13,23a,23b)の切断面は流体に晒されないように樹脂部材(16,17)によって流体とは隔離され、孔部(28)から切断面が露出しないように孔部(28)が設けられていることを特徴とする。
本実施形態に係る流量センサは、流体との伝熱を利用して、流体の流量を検出するものである。本実施形態では、その一例として、車両の内燃機関(図示せず)に吸入される空気流(吸気流)の流量を検出するために、図1に示すように、その一部が吸気管101内に突出するように、プラグイン方式によって着脱可能に取り付けられた流量センサ10の例を示す。なお、符号100は、吸気管101に形成された、流体(空気)が流れる主通路を示す。
本実施形態において、上記実施形態に示した流量センサ10と共通する部分についての説明は割愛する。本実施形態の第1の特徴は、図4に示すように、リードフレーム13における搭載部23aの裏面13bにおいて、回路チップ12とオーバーラップするオーバーラップ領域29の少なくとも一部が、孔部28により、1次樹脂成形体14の外部に露出されていることにある。第2の特徴は、オーバーラップ領域29の全域が、孔部28により、1次樹脂成形体14の外部に露出されていることにある。それ以外の構成は、第1実施形態に示した流量センサ10と同じである。なお、オーバーラップ領域29とは、投影領域とも言い換えることができる。
本実施形態において、上記実施形態に示した流量センサ10と共通する部分についての説明は割愛する。本実施形態の特徴は、図5に示すように、流量検出チップ11及び回路チップ12が、雰囲気温度を検出する温度検出部としての測温抵抗42,43をそれぞれ有している。その上で、図6に示すように、副通路15と孔部28とが互いに連通していることにある。なお、図5に示す回路図は、実際の回路構成のうち、特徴部分のみを抽出して図示している。実際は、ヒータ抵抗40の通電状態を制御する回路などが存在するが、周知であり、図示を省略する。
本実施形態において、上記実施形態に示した流量センサ10と共通する部分についての説明は割愛する。本実施形態の第1の特徴は、図7(a),(b)に示すように、副通路形成部材16が、自身の外面に、主通路100を流れる流体の流れ方向に沿って形成された溝部50を有している。そして、この溝部50が、孔部28と連通していることにある。
Claims (1)
- 主通路(100)を流れる流体を内部に導く副通路(15)を有し、前記主通路を構成する管部材(101)に取り付けられる樹脂部材(16,17)と、
前記副通路に導かれた流体の流量を検出するセンシング部(20)が形成された流量検出チップ(11)と、
前記流量検出チップ(11)と電気的に接続された回路チップ(12)と、
前記回路チップ(12)が搭載された搭載面(13a)及び該搭載面と反対の裏面(13b)を有し、前記搭載面(13a)における前記回路チップ(12)とは異なる位置に前記流量検出チップ(11)が接続されたリードフレーム(13,23a,23b)と、
前記リードフレーム(13,23a,23b)における搭載面及び裏面の両側に配置され、前記センシング部(20)を露出させつつ、前記回路チップ(12)を封止する樹脂成形体(14)と、を備え、
前記樹脂成形体(14)は、前記リードフレーム(13,23a)の裏面(13b)の一部が底をなし、該樹脂成形体(14)の外面に開口する孔部(28)を有しており、
前記リードフレーム(13,23a)は、前記孔部(28)を介して、前記副通路(15)を流れる流体に晒され、
前記孔部(28)の開口は、前記回路チップ(12)の直下とは異なる位置に配置され、前記リードフレーム(13,23a)から離れるにつれて広くなっており、
前記リードフレーム(13,23a,23b)の切断面は前記流体に晒されないように前記樹脂部材(16,17)によって前記流体とは隔離され、前記孔部(28)から前記切断面が露出しないように前記孔部(28)が設けられていることを特徴とする流量センサ。
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