JP6602691B2 - ウェーハ搬送装置 - Google Patents
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- 複数のウェーハが収容されたウェーハカセットから、ウェーハを取り出す搬送アームを備えたウェーハ搬送装置において、
前記ウェーハカセットに収容されたウェーハの位置情報を検出する第1の検出素子と、当該第1の検出素子を前記ウェーハカセットに収容されたウェーハの配列方向に沿って移動させる移動機構と、当該移動機構によって支持されると共に、前記ウェーハカセット内で前記ウェーハを支持する支持部の位置情報を検出する第2の検出素子と、前記第1の検出素子と前記第2の検出素子の位置情報を処理する演算装置を備え、
前記演算装置は、前記移動機構が第1の移動位置から第2の移動位置に移動した際に併せて取得した前記第1及び第2の検出素子の位置情報に基づいて、前記ウェーハカセットに収容されたウェーハの搭載状態を識別することを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記第1及び前記第2の検出素子の位置情報に応じて、前記ウェーハカセットから前記ウェーハを取り出すか否かを決定することを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記ウェーハの検出高さが、前記支持部の検出高さと同じ、或いは下にあるか否かの判定に基づいて、前記ウェーハの搭載状態の識別を行うことを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記移動機構は、前記ウェーハカセットに設けられた蓋を開閉する開閉機構であることを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記移動機構は、前記搬送アームを支持する搬送ロボットであることを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、ウェーハの厚みが所定値以上か否かを判定することを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記ウェーハが1の支持部によって支持される位置と、前記1の支持部とは異なる高さに位置する他の支持部によって支持される位置の双方に位置するか否かを判定し、当該判定に基づいて、当該ウェーハが斜めに挿入されている、或いは前記搬送アームによる搬送を停止するウェーハと判定することを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項7において、
前記演算装置は、ウェーハの厚みが所定値以上であって、前記ウェーハが斜めに挿入されていないと判定した場合に、前記1の支持部によって複数のウェーハが支持されていると判定することを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記搭載状態として、前垂れ状態と斜め挿し状態と2枚挿し状態とを識別することを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項9において、
前記演算装置は、前記ウェーハカセットに収容されたウェーハの有無を識別することを特徴とするウェーハ搬送装置。 - 請求項9において、
前記前垂れ状態は、前記ウェーハカセットの奥側に位置するウェーハ部位に対して、前記ウェーハカセットの開口側に位置するウェーハ部位が下方に位置する状態であることを特徴とするウェーハ搬送装置。
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