JP6591948B2 - 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 - Google Patents
窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6591948B2 JP6591948B2 JP2016191425A JP2016191425A JP6591948B2 JP 6591948 B2 JP6591948 B2 JP 6591948B2 JP 2016191425 A JP2016191425 A JP 2016191425A JP 2016191425 A JP2016191425 A JP 2016191425A JP 6591948 B2 JP6591948 B2 JP 6591948B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zirconium
- powder
- zirconium dioxide
- gas
- magnesium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/076—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with titanium or zirconium or hafnium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/0615—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with transition metals other than titanium, zirconium or hafnium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
- C09C1/00—Treatment of specific inorganic materials other than fibrous fillers; Preparation of carbon black
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/0047—Photosensitive materials characterised by additives for obtaining a metallic or ceramic pattern, e.g. by firing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2002/00—Crystal-structural characteristics
- C01P2002/70—Crystal-structural characteristics defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/12—Surface area
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/60—Optical properties, e.g. expressed in CIELAB-values
Description
本発明の第1の実施形態は、二酸化ジルコニウム(ZrO2 )又はシリカがコーティングされた二酸化ジルコニウム(ZrO2 )、金属マグネシウム(金属Mg)及び窒化マグネシウム(Mg3N2)の各粉末を出発原料として用い、特定の雰囲気下、特定の温度と時間で焼成することにより、BET法により測定される比表面積が20〜90m2/gの窒化ジルコニウム(ZrN)粉末を製造する方法である。
本実施形態の二酸化ジルコニウム粉末としては、例えば、単斜晶系二酸化ジルコニウム、立方晶系二酸化ジルコニウム、イットリウム安定化二酸化ジルコニウム等の二酸化ジルコニウムの粉末がいずれも使用可能であるが、窒化ジルコニウム粉末の生成率が高くなる観点から、単斜晶系二酸化ジルコニウム粉末が好ましい。
シリカがコーティングされた二酸化ジルコニウム粉末は、二酸化ジルコニウム粉末とシリケートゾルゲル液とを混合してスラリーを調製し、このスラリーを乾燥し粉砕して得られる。二酸化ジルコニウムとシリケートゾルゲル液とを混合割合は、質量比で二酸化ジルコニウム:シリケートゾルゲル液のシリカ分=99.5〜0.5:90.0〜10.0であることが好ましい。シリカ分が下限値未満では、二酸化ジルコニウム表面のシリカ被覆率が低すぎ、シリカ分が上限値を超えると、得られた窒化ジルコニウム粉末を用いてパターニング膜を形成したときに遮光性が不足する不具合がある。
金属マグネシウム粉末は、粒径が小さすぎると、反応が急激に進行して操作上危険性が高くなるので、粒径が篩のメッシュパスで100〜1000μmの粒状のものが好ましく、特に200〜500μmの粒状のものが好ましい。ただし、金属マグネシウムは、すべて上記粒径範囲内になくても、その80質量%以上、特に90質量%以上が上記範囲内にあればよい。
窒化マグネシウム粉末は、焼成時に窒化ジルコニウム表面をコーティングして、金属マグネシウムの還元力を緩和して、窒化ジルコニウム粉末の焼結及び粒成長を防止する。窒化マグネシウム粉末は、その粒径の大きさによって、窒化マグネシウムが二酸化ジルコニウムの0.3〜3.0倍モルの割合になるように、二酸化ジルコニウムに添加して混合する。0.3倍モル未満では窒化ジルコニウム粉末の焼結防止にならず、3.0倍モルを超えると、焼成後の酸洗浄時に要する酸性溶液の使用量が増加する不具合がある。好ましくは0.4〜2.0倍モルである。窒化マグネシウム粉末は、比表面積の測定値から球形換算した平均一次粒径で1000nm以下であることが好ましく、粉末の取扱い易さから、平均一次粒径で500nm以下で10nm以上であることが好ましい。なお、窒化マグネシウムのみではなく、酸化マグネシウムも窒化ジルコニウムの焼結予防に有効であるため、窒化マグネシウムに一部酸化マグネシウムを混合して使用することも可能である。
本実施形態の窒化ジルコニウム粉末を生成させるための金属マグネシウムによる還元反応時の温度は、650〜900℃、好ましくは700〜800℃である。650℃は金属マグネシウムの溶融温度であり、温度がそれより低いと、二酸化ジルコニウムの還元反応が十分に生じない。また、温度を900℃より高くしても、その効果は増加せず、熱エネルギーの無駄になるとともに粒子の焼結が進行し好ましくない。また還元反応時間は30〜90分が好ましく、30〜60分が更に好ましい。
本実施形態の特徴ある点は、上記還元反応時の雰囲気ガスにある。本実施形態の雰囲気ガスは、窒素ガス単体であるか、又は窒素ガスと水素ガスの混合ガスであるか、又は窒素ガスとアンモニアガスの混合ガスである。上記還元反応は上記混合ガスの気流中で行われる。混合ガス中の窒素ガスは、金属マグネシウムや還元生成物と酸素との接触を防ぎ、それらの酸化を防ぐとともに、窒素をジルコニウムと反応させ、窒化ジルコニウムを生成させる役割を有する。混合ガス中の水素ガス又はアンモニアガスは、金属マグネシウムとともに、二酸化ジルコニウムを還元させる役割を有する。水素ガスは、上記混合ガス中、0〜40体積%含むことが好ましく、10〜30体積%含むことが更に好ましい。またアンモニアガスは、上記混合ガス中、0〜50体積%含むことが好ましく、0〜40体積%含むことが更に好ましい。この還元力のある雰囲気ガスを使用することにより、最終的に低次酸化ジルコニウム及び低次酸窒化ジルコニウムを含まない窒化ジルコニウム粉末を製造することができる。一方、この範囲より水素ガスの割合、或いはアンモニアガスの割合が高いと還元は進むものの窒素源が少なくなるため、低次酸化ジルコニウム又は低次酸窒化ジルコニウムが生成してしまい、望ましくない。また、水素ガスの割合よりもアンモニアガスの割合が高いのは、ガスの窒化能力が水素よりアンモニアのほうが高いからと考えられる。
二酸化ジルコニウム粉末又はシリカがコーティングされた二酸化ジルコニウム粉末と、酸化マグネシウム粉末と、金属マグネシウムとの混合物を上記混合ガスの雰囲気下で焼成することにより得られた反応物は、反応容器から取り出し、最終的には室温まで冷却した後、塩酸水溶液などの酸溶液で洗浄して、金属マグネシウムの酸化によって生じた酸化マグネシウムや生成物の焼結防止のため反応当初から含まれていた酸化マグネシウムを除去する。この酸洗浄に関しては、pH0.5以上、特にpH1.0以上、温度は90℃以下で行うのが好ましい。これは酸性が強すぎたり温度が高すぎるとジルコニウムまでが溶出してしまうおそれがあるためである。そして、その酸洗浄後、アンモニア水などでpHを5〜6に調整した後、濾過又は遠心分離により固形分を分離し、その固形分を乾燥した後、粉砕して窒化ジルコニウム粉末を得る。
本実施形態で得られた窒化ジルコニウム粉末は、BET法により測定される比表面積が20〜90m2/gである。窒化ジルコニウム粉末の上記比表面積が20m2/g以下では、黒色レジストとしたときに、長期保管時に顔料が沈降する不具合があり、90m2/gを超えると、黒色顔料としてパターニング膜を形成したときに、遮光性が不足する不具合がある。30〜60m2/gが好ましい。
上記窒化ジルコニウム粉末を黒色顔料として用いた、ブラックマトリックスに代表されるパターニング膜の形成方法について述べる。先ず、上記窒化ジルコニウム粉末を感光性樹脂に分散して黒色感光性組成物に調製する。次いでこの黒色感光性組成物を基板上に塗布した後、プリベークを行って溶剤を蒸発させて、フォトレジスト膜を形成する。次にこのフォトレジスト膜にフォトマスクを介して所定のパターン形状に露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、フォトレジスト膜の未露光部を溶解除去し、その後好ましくはポストベークを行うことにより、所定の黒色パターニング膜が形成される。
OD値=−log10(I/I0) (1)
BET法により測定される比表面積から算出される平均一次粒径が50nmの単斜晶系二酸化ジルコニウム粉末7.4gに、平均一次粒径が150μmの金属マグネシウム粉末7.3gと平均一次粒径が200nmの窒化マグネシウム粉末3.0gを添加し、石英製ガラス管に黒鉛のボートを内装した反応装置により均一に混合した。このとき金属マグネシウムの添加量は二酸化ジルコニウムの5.0倍モル、窒化マグネシウムの添加量は二酸化ジルコニウムの0.5倍モルであった。この混合物を窒素ガスの雰囲気下、700℃の温度で60分間焼成して焼成物を得た。この焼成物を、1リットルの水に分散し、10%塩酸を徐々に添加して、pHを1以上で、温度を100℃以下に保ちながら洗浄した後、25%アンモニア水にてpH7〜8に調整し、濾過した。その濾過固形分を水中に400g/リットルに再分散し、もう一度、前記と同様に酸洗浄、アンモニア水でのpH調整をした後、濾過した。このように酸洗浄−アンモニア水によるpH調整を2回繰り返した後、濾過物をイオン交換水に固形分換算で500g/リットルで分散させ、60℃での加熱攪拌とpH7への調整をした後、吸引濾過装置で濾過し、さらに等量のイオン交換水で洗浄し、設定温度;120℃の熱風乾燥機にて乾燥することにより、窒化ジルコニウム粉末を得た。
実施例1と同一の金属マグネシウム粉末を4.4g(二酸化ジルコニウムの3.0倍モル)に変更し、反応ガスを窒素ガスと水素ガスの混合ガスにして、これらの体積%の割合(N2:H2)が90%:10%の混合ガスの雰囲気下とし、焼成時間を30分にしたこと以外は実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を作製した。
実施例1と同一の二酸化ジルコニウム粉末7.4gをエタノール中に分散させ、この混合液をエチルシリケートシリケートを主成分とするシリケートゾルゲル液(シリカ分0.1522g)に添加混合して固形分濃度30質量%のスラリーを調製した。このスラリーを大気雰囲気下、70℃の温度で120分間、箱型乾燥機により乾燥して、シリカがコーティングされた平均一次粒径が50nmの二酸化ジルコニウム粉末を得た。この粉末にはシリカ(SiO2)が二酸化ジルコニウム中、3.0質量%含まれていた。この二酸化ジルコニウム粉末7.5gに、平均一次粒径が300μmの金属マグネシウム粉末8.8gと平均一次粒径が500nmの窒化マグネシウム粉末2.1gを添加し、実施例1と同様に均一に混合した。このとき金属マグネシウムの添加量は二酸化ジルコニウムの6.0倍モル、窒化マグネシウムの添加量は二酸化ジルコニウムの2.0倍モルであった。以下、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
金属マグネシウムと窒化マグネシウムの添加量をそれぞれ二酸化ジルコニウムの2.5倍モル、0.5倍モルにし、反応ガスを窒素ガスとアンモニアガスの混合ガスにして、これらの体積%の割合(N2:NH3)が80%:20%の混合ガスの雰囲気下、750℃の温度で30分間焼成して焼成物を得た。それ以外は、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
金属マグネシウムと窒化マグネシウムの添加量をそれぞれ二酸化ジルコニウムの3.5倍モル、0.5倍モルにし、反応ガスを窒素ガスとアンモニアガスの混合ガスにして、これらの体積%の割合(N2:NH3)が80%:20%の混合ガスの雰囲気下、700℃の温度で60分間焼成して焼成物を得た。それ以外は、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
シリカ(SiO2)が二酸化ジルコニウム中、10.0質量%含まれるように、実施例3と同様にシリカコーティングした平均一次粒径が40nmの二酸化ジルコニウム粉末に、平均一次粒径が500μmの金属マグネシウム粉末4.4gと平均一次粒径が500nmの窒化マグネシウム粉末3.0gを添加し、実施例1と同様に均一に混合した。このとき金属マグネシウムと窒化マグネシウムの添加量はそれぞれ二酸化ジルコニウムの3.0倍モル、0.5倍モルであった。反応ガスを窒素ガスと水素ガスの混合ガスにして、これらの体積%の割合(N2:H 2 )が90%:10%の混合ガスの雰囲気下、800℃の温度で60分間焼成して焼成物を得た。以下、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
金属マグネシウムの添加量を二酸化ジルコニウムの2.0倍モルに変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
窒化マグネシウムの添加量を二酸化ジルコニウムの0.3倍モルに変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
窒化マグネシウムの添加量を二酸化ジルコニウムの3.0倍モルに変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
焼成温度を650℃に変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
焼成温度を900℃に変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
反応ガスを窒素ガスと水素ガスの混合ガスにして、これらの体積%の割合(N2:H2)が50%:50%の混合ガスの雰囲気に変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
反応ガスを窒素ガスとアンモニアガスの混合ガスにして、これらの体積%の割合(N2:NH3)が40%:60%の混合ガスの雰囲気に変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
特許文献2の実施例1に示された方法に準じた方法で、微粒子低次酸化ジルコニウム・窒化ジルコニウム複合体を得た。即ち、平均一次粒径が19nmの二酸化ジルコニウム粉末7.2gと、平均一次粒径が20nmの微粒子酸化マグネシウム3.3gを混合粉砕して混合粉体Aを得た。この混合粉体0.5gに平均一次粒径が150μmの金属マグネシウム粉末2.1gを加えて混合し混合粉体Bを得た。このとき金属マグネシウムと酸化マグネシウムの添加量はそれぞれ二酸化ジルコニウムの1.4倍モル、1.4倍モルであった。この混合粉体Bを窒素ガスの雰囲気下、700℃の温度で60分間焼成した。以下、実施例1と同様にして、微粒子低次酸化ジルコニウム・窒化ジルコニウム複合体を得た。
特許文献1の実施例1に示されるチタンブラックの黒色粉末を用意した。即ち、平均一次粒径160nmの酸化チタン粉末をアンモニアガスの雰囲気下、850℃の温度で180分間焼成して70nmのチタン酸窒化物(TiO0.3N0.9)を得た後、このチタン酸窒化物と平均一次粒径10nmのAl2O3からなる絶縁粉末とを、チタン酸窒化物100質量部に対して5.0質量部添加し混合して黒色粉末を用意した。
シリカ(SiO2)が二酸化ジルコニウム中、11.0質量%含まれるように、実施例3と同様にシリカコーティングした平均一次粒径が40nmの二酸化ジルコニウム粉末7.8gに、平均一次粒径が150μmの金属マグネシウム粉末4.6gと平均一次粒径が100nmの窒化マグネシウム粉末3.2gを添加し、実施例1と同様に均一に混合した。このとき金属マグネシウムと窒化マグネシウムの添加量はそれぞれ二酸化ジルコニウムの3.0倍モル、0.5倍モルであった。雰囲気ガスである反応ガスを窒素ガス100体積%にし、750℃の温度で60分間焼成して焼成物を得た。以下、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
平均一次粒径が40nmの二酸化ジルコニウム粉末7.2gに、平均一次粒径が150μmの金属マグネシウム粉末7.1gと平均一次粒径が200nmの窒化マグネシウム粉末2.9gを添加し、実施例1と同様に均一に混合した。雰囲気ガスである反応ガスを窒素ガス100体積%にし、また焼成温度を1000℃、焼成時間を60分にした。それ以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
金属マグネシウムの添加量を二酸化ジルコニウムの1.5倍モルに変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
金属マグネシウムの添加量を二酸化ジルコニウムの6.5倍モルに変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
窒化マグネシウムの添加量を二酸化ジルコニウムの0.2倍モルに変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
窒化マグネシウムの添加量を二酸化ジルコニウムの3.5倍モルに変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
焼成温度を600℃に変更した以外、実施例1と同一の原料を用いて、実施例1と同様にして窒化ジルコニウム粉末を得た。
実施例1〜13、比較例3〜9で得られた窒化ジルコニウム粉末、比較例1で得られた微粒子低次酸化ジルコニウム・窒化ジルコニウム複合体、及び比較例2で用意した黒色粉末をそれぞれ試料として、以下に詳述する方法で、(1) 比表面積、(2) X線回折プロファイル、(3) 粉末濃度50ppmの分散液における分光曲線、(4) 370nmの光透過率X及び550nmの光透過率Y、及び(5) X/Yを測定又は算出した。それぞれの測定結果又は算出結果を表2に示す。表2において、「Zr2N2O」は低次酸窒化ジルコニウムを意味し、「TiB」はチタンブラックを意味する。
実施例1〜13、比較例1〜9で得られた試料を光透過率の測定に用いた分散液にアクリル樹脂を、質量比で黒色顔料:樹脂=6:4となる割合で添加し混合して黒色感光性組成物を調製した。この組成物をガラス基板上に焼成後の膜厚が1μmになるようにスピンコートし、250℃の温度で60分間焼成して被膜を形成した。この被膜の紫外線(中心波長370nm)および可視光(中心波長560nm)のOD値を前述した式(1)に基づき、マクベス社製の品名D200の濃度計(densitometer)を用いて、測定した。その結果を表2に示す。表2において、紫外線の透過性を示す尺度として、紫外線(UV)の370nmのOD値が2.0以下を「優」とし、2.0を超え2.5以下を「良」とし、2.5を超える場合を「不良」とした。また可視光の遮光性を示す尺度として、可視光の560nmのOD値が4.5を超える場合を「優」とし、3.8以上4.5以下を「良」とし、3.8未満を「不良」とした。
Claims (7)
- BET法により測定される比表面積が20〜90m2/gであり、X線回折プロファイルにおいて、窒化ジルコニウムのピークを有する一方、二酸化ジルコニウムのピーク及び低次酸化ジルコニウムのピークを有さず、かつ粉末濃度50ppmの分散液透過スペクトルにおいて、370nmの光透過率Xが少なくとも18%であり、550nmの光透過率Yが12%以下であって、前記370nmの光透過率Xに対する前記550nmの光透過率Y(X/Y)が2.5以上であることを特徴とする窒化ジルコニウム粉末。
- 酸化ケイ素及び/又は窒化ケイ素を10.0質量%以下の割合で含有し、BET法により測定される比表面積が40〜90m2/gである請求項1記載の窒化ジルコニウム粉末。
- 二酸化ジルコニウム粉末又はシリカがコーティングされた二酸化ジルコニウム粉末と、金属マグネシウム粉末と、窒化マグネシウム粉末とを、金属マグネシウムが二酸化ジルコニウムの2.0〜6.0倍モルの割合になるように、かつ窒化マグネシウムが二酸化ジルコニウムの0.3〜3.0倍モルの割合になるように、かつ前記シリカがコーティングされた二酸化ジルコニウム粉末を用いるときには、二酸化ジルコニウムとシリケートゾルゲル液とを、二酸化ジルコニウム:シリケートゾルゲル液のシリカ分=99.5〜0.5:90.0〜10.0の質量比で、混合して混合物を得た後、前記混合物を窒素ガス単独、又は窒素ガスと水素ガスの混合ガス、又は窒素ガスとアンモニアガスの混合ガスの雰囲気下、650〜900℃の温度で焼成することにより、前記二酸化ジルコニウム粉末を還元して、請求項1又は2記載の窒化ジルコニウム粉末を製造することを特徴とする窒化ジルコニウム粉末の製造方法。
- 前記シリカがコーティングされた二酸化ジルコニウム粉末が、二酸化ジルコニウム粉末とシリケートゾルゲル液とを混合してスラリーを調製し、このスラリーを乾燥し粉砕して得られる請求項3記載の窒化ジルコニウム粉末の製造方法。
- 前記窒素ガスと水素ガスの混合ガス中、水素ガスを0〜40体積%含み、前記窒素ガスとアンモニアガスの混合ガス中、アンモニアガスを0〜50体積%含む請求項3又は4記載の窒化ジルコニウム粉末の製造方法。
- 請求項1又は2記載の窒化ジルコニウム粉末を黒色顔料として含む黒色感光性組成物。
- 請求項6記載の黒色感光性組成物を用いて黒色パターニング膜を形成する方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016191425A JP6591948B2 (ja) | 2016-09-29 | 2016-09-29 | 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 |
EP17855624.7A EP3521242A4 (en) | 2016-09-29 | 2017-09-06 | ZIRCONIUM NITRIDE POWDER AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME |
US16/336,634 US11577958B2 (en) | 2016-09-29 | 2017-09-06 | Zirconium nitride powder and method for producing same |
CN201780058547.9A CN109923062B (zh) | 2016-09-29 | 2017-09-06 | 氮化锆粉末及其制造方法 |
PCT/JP2017/032037 WO2018061666A1 (ja) | 2016-09-29 | 2017-09-06 | 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 |
KR1020197007932A KR102411232B1 (ko) | 2016-09-29 | 2017-09-06 | 질화지르코늄 분말 및 그 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016191425A JP6591948B2 (ja) | 2016-09-29 | 2016-09-29 | 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017222559A JP2017222559A (ja) | 2017-12-21 |
JP2017222559A5 JP2017222559A5 (ja) | 2018-03-01 |
JP6591948B2 true JP6591948B2 (ja) | 2019-10-16 |
Family
ID=60687607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016191425A Active JP6591948B2 (ja) | 2016-09-29 | 2016-09-29 | 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11577958B2 (ja) |
EP (1) | EP3521242A4 (ja) |
JP (1) | JP6591948B2 (ja) |
KR (1) | KR102411232B1 (ja) |
CN (1) | CN109923062B (ja) |
WO (1) | WO2018061666A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6954769B2 (ja) * | 2017-06-09 | 2021-10-27 | 三菱マテリアル電子化成株式会社 | 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 |
KR102548102B1 (ko) * | 2017-09-25 | 2023-06-28 | 도레이 카부시키가이샤 | 착색 수지 조성물, 착색막, 컬러필터 및 액정 표시 장치 |
JP6971834B2 (ja) * | 2017-12-26 | 2021-11-24 | 三菱マテリアル電子化成株式会社 | 黒色遮光膜形成用粉末及びその製造方法 |
JP7141885B2 (ja) * | 2018-08-03 | 2022-09-26 | 三菱マテリアル電子化成株式会社 | 表面処理された窒化ジルコニウム粉末及びその表面処理方法 |
JP7212471B2 (ja) * | 2018-08-03 | 2023-01-25 | 三菱マテリアル電子化成株式会社 | 窒化ジルコニウム膜の製造方法 |
EP3848627A4 (en) | 2018-09-07 | 2021-10-27 | FUJIFILM Corporation | VEHICLE HEADLIGHT UNIT, HEADLIGHT LIGHT PROTECTION FILM AND PROCESS FOR THE PRODUCTION OF HEADLIGHT LIGHT PROTECTION FILM |
JP7181827B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2022-12-01 | 三菱マテリアル電子化成株式会社 | アルミナにより被覆された窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 |
KR20200119444A (ko) * | 2019-04-09 | 2020-10-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 이의 제조 방법 |
JP6866516B2 (ja) | 2019-04-24 | 2021-04-28 | 三菱マテリアル電子化成株式会社 | 黒色材料及びその製造方法、黒色感光性組成物及びその製造方法、並びに黒色パターニング膜及びその形成方法 |
JPWO2020235328A1 (ja) * | 2019-05-20 | 2020-11-26 | ||
JP7339080B2 (ja) * | 2019-09-04 | 2023-09-05 | 三菱マテリアル電子化成株式会社 | 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 |
CN111003696B (zh) * | 2019-12-13 | 2022-09-02 | 合肥中航纳米技术发展有限公司 | 一种纳米氮化锆粉体的制备方法 |
KR20220056680A (ko) | 2020-10-28 | 2022-05-06 | 미쓰비시마테리알덴시카세이가부시키가이샤 | 질화지르코늄 분말 및 그 제조 방법 |
US11697156B2 (en) | 2020-12-18 | 2023-07-11 | Mitsubishi Materials Electronic Chemicals Co., Ltd. | Zirconium nitride powder and method for producing same |
EP4015582B1 (en) | 2020-12-18 | 2023-05-24 | Mitsubishi Materials Electronic Chemicals Co., Ltd. | Zirconium nitride powder and method for producing same |
EP4318057A1 (en) | 2021-03-29 | 2024-02-07 | FUJIFILM Corporation | Black photosensitive composition, manufacturing method of black photosensitive composition, cured film, color filter, light-shielding film, optical element, solid-state image capturing element, and headlight unit |
WO2023053809A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | 三菱マテリアル電子化成株式会社 | 酸化アルミニウム系組成物含有窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 |
CN113880591A (zh) * | 2021-10-28 | 2022-01-04 | 深圳市辰昱科技有限公司 | 氮化硅基陶瓷体、氮化硅基陶瓷表面原位自生成氮化锆涂层的方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3311481A (en) | 1962-03-01 | 1967-03-28 | Hitco | Refractory fibers and methods of making them |
US3459546A (en) * | 1966-03-15 | 1969-08-05 | Fansteel Inc | Processes for producing dispersion-modified alloys |
US3709706A (en) * | 1969-05-16 | 1973-01-09 | Minnesota Mining & Mfg | Refractory fibers and other articles of zirconia and silica mixtures |
JPS60186407A (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-21 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | 窒化ジルコニウム微粉末の製造法 |
JP2513469B2 (ja) * | 1986-06-30 | 1996-07-03 | 新技術事業団 | 高圧アンモニア法による窒化ジルコニウム微粉末の製造方法 |
US4975260A (en) | 1988-04-18 | 1990-12-04 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Process for preparing metal nitride powder |
JP2582281B2 (ja) * | 1988-04-18 | 1997-02-19 | 東芝セラミックス株式会社 | 金属窒化物紛末の製造方法 |
JP2793691B2 (ja) * | 1990-04-23 | 1998-09-03 | 株式会社トクヤマ | 窒化ジルコニウム粉末の製造方法 |
US5211768A (en) * | 1990-11-15 | 1993-05-18 | Degussa Aktiengesellschaft | Method of nitriding work pieces of steel under pressure |
US5279808A (en) * | 1992-12-17 | 1994-01-18 | United Technologies Corporation | Metal nitride powders |
CN1239385C (zh) * | 2003-11-28 | 2006-02-01 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种立方相纳米氮化锆粉体的还原氮化制备方法 |
JP4642593B2 (ja) * | 2005-08-11 | 2011-03-02 | 東京応化工業株式会社 | 機能性パターン形成用感光性樹脂組成物および機能性パターン形成方法 |
JP4915664B2 (ja) | 2007-04-17 | 2012-04-11 | 三菱マテリアル株式会社 | 高抵抗黒色粉末およびその分散液、塗料、黒色膜 |
JP4931011B2 (ja) * | 2007-10-10 | 2012-05-16 | テイカ株式会社 | 微粒子低次酸化ジルコニウム・窒化ジルコニウム複合体およびその製造方法 |
CN101402449A (zh) * | 2008-06-30 | 2009-04-08 | 马北越 | 氮化锆-氮化硅复合粉体的制备方法 |
CN102584302A (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-18 | 中国地质大学(北京) | 一种ZrN-Si3N4复相耐火材料粉体及其制备方法 |
CN104176716B (zh) * | 2013-05-22 | 2016-01-06 | 安徽港铭新材料科技有限公司 | 一种氮化锆的制备方法 |
TWI524140B (zh) * | 2014-06-23 | 2016-03-01 | 奇美實業股份有限公司 | 黑色矩陣用之感光性樹脂組成物及其應用 |
CN104194493A (zh) * | 2014-08-07 | 2014-12-10 | 淄博陶正陶瓷颜料有限公司 | 一种墨水专用镨黄色料的配方及生产方法 |
-
2016
- 2016-09-29 JP JP2016191425A patent/JP6591948B2/ja active Active
-
2017
- 2017-09-06 EP EP17855624.7A patent/EP3521242A4/en active Pending
- 2017-09-06 CN CN201780058547.9A patent/CN109923062B/zh active Active
- 2017-09-06 KR KR1020197007932A patent/KR102411232B1/ko active IP Right Grant
- 2017-09-06 WO PCT/JP2017/032037 patent/WO2018061666A1/ja unknown
- 2017-09-06 US US16/336,634 patent/US11577958B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3521242A4 (en) | 2020-05-13 |
WO2018061666A1 (ja) | 2018-04-05 |
JP2017222559A (ja) | 2017-12-21 |
US11577958B2 (en) | 2023-02-14 |
EP3521242A1 (en) | 2019-08-07 |
CN109923062A (zh) | 2019-06-21 |
KR20190059271A (ko) | 2019-05-30 |
US20200198969A1 (en) | 2020-06-25 |
CN109923062B (zh) | 2023-04-11 |
KR102411232B1 (ko) | 2022-06-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6591948B2 (ja) | 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 | |
JP6954769B2 (ja) | 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 | |
JP6667422B2 (ja) | 黒色膜形成用混合粉末及びその製造方法 | |
JP6971834B2 (ja) | 黒色遮光膜形成用粉末及びその製造方法 | |
WO2021171703A1 (ja) | 黒色材料及びその製造方法、黒色感光性組成物及びその製造方法、並びに黒色パターニング膜及びその形成方法 | |
JP2020019691A (ja) | 表面処理された窒化ジルコニウム粉末及びその表面処理方法 | |
JP6949604B2 (ja) | 黒色膜形成用混合粉末の製造方法 | |
JP7212471B2 (ja) | 窒化ジルコニウム膜の製造方法 | |
JP2022054794A (ja) | 窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 | |
WO2023053809A1 (ja) | 酸化アルミニウム系組成物含有窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 | |
JP2023107263A (ja) | 亜鉛系組成物含有窒化ジルコニウム粉末及びその製造方法 | |
KR20240060751A (ko) | 산화알루미늄계 조성물 함유 질화지르코늄 분말 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171018 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20171018 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180117 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190520 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20190520 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20190709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190723 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190903 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190919 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6591948 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |