JP6580812B2 - 有機発光表示装置のリペア方法 - Google Patents
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Description
前記ショートを除去するステップは、前記ショートのある位置にフッ素含有ガスを供給するステップをさらに含む。
前記フッ素含有ガスは、二フッ化キセノン(XeF2:Xenon Difluoride)を含む。
前記ショートを除去するステップは、前記ショートのある位置に電荷除去器を適用するステップをさらに含み、前記電荷除去器は、開口が形成された接触部、及び前記接触部と連結された電荷移動部を含む。
前記有機発光素子は、第1電極、第2電極、及び前記第1電極と第2電極との間に配される有機発光層を含み、前記導電パターンは、配線パターン及び前記第1電極を含む。
前記FIBは、ガリウムをソースにする。
他の側面によれば、基板、前記基板上に形成される有機発光素子、前記基板上に形成される薄膜トランジスタ、前記薄膜トランジスタ上に形成される有機絶縁膜、前記有機絶縁膜上に形成される導電パターンを備える有機発光表示装置のリペア方法に係わり、前記導電パターンに断線が発生した場合、FIBによって前記断線を修理するステップを含む有機発光表示装置のリペア方法を提供する。
前記断線を修理するステップは、前記断線のある位置にフッ素含有ガスを供給するステップをさらに含む。
前記断線を修理するステップは、前記断線のある位置に電荷中和装置を適用するステップをさらに含む。
前記断線を除去するステップは、前記断線のある位置に電荷除去器を適用するステップをさらに含み、前記電荷除去器は、開口が形成された接触部、及び前記接触部と連結された電荷移動部を含む。
前記有機発光素子は、第1電極、第2電極、及び前記第1電極と第2電極との間に配される有機発光層を含み、前記導電パターンは、配線パターン及び前記第1電極を含む。
前記第1電極及び前記配線パターンは、同じ金属材で形成される。
前記FIBは、ガリウムをソースにする。
図1は、有機発光表示装置1の一部を概略的に示した断面図であり、図2は有機発光表示装置1の一部を概略的に示した平面図である。
図1を参照すれば、本実施形態による有機発光表示装置1は、基板110及び有機発光素子20を含む。
バッファ層111上には、TFT 10の活性層11が半導体材料によって形成される。活性層11は、多結晶シリコンで形成されるが、必ずしもそれに限定されるものではなく、酸化物半導体で形成されてもよい。例えば、酸化物半導体は、亜鉛(Zn)、インジウム(In)、ガリウム(Ga)、スズ(Sn)、カドミウム(Cd)、ゲルマニウム(Ge)、またはハフニウム(Hf)のような12,13,14族金属元素及びそれらの組合わせから選択された物質の酸化物を含む。例えば、活性層11は、G−I−Z−O[(In2O3)a(Ga2O3)b(ZnO)c](a,b,cは、それぞれa≧0,b≧0,c>0の条件を満足させる実数)を含む。
前述した有機絶縁膜115の上部には、有機発光素子20のアノード電極となる第1電極21が形成され、それを覆うように、絶縁物で画素定義膜116が形成される。画素定義膜116に所定の開口部を形成した後、その開口部として限定された領域内に、有機発光素子の有機発光層22が形成される。そして、全体画素をいずれも覆うように、有機発光素子20のカソード電極となる第2電極23が形成される。もちろん、第1電極21と第2電極23の極性は、相互逆になってもよい。
有機発光素子20を含む基板110上に、有機発光素子20を封じ止める封止基板が対向して配される。封止基板は、ガラス、金属、またはプラスチックで形成される。
図3及び図4を参照すれば、有機絶縁膜115上に配された配線パターン121と第1電極21との間にショートが発生する可能性がある。このようなショートが発生した場合に、ショートのある部分123をカッティングしてショートを除去する。
図5は、断線が発生した有機発光表示装置3の一部を概略的に示した断面図であり、図6は、断線が発生した有機発光表示装置3の一部を概略的に示した平面図である。
図7は、電荷中和装置(Charge Neutralizer)150を適用する場合を概略的に示した図面である。
図7を参照すれば、FIB 130が照射される位置に、電荷中和装置 150を適用する。電荷中和装置150によって放出された電荷153がFIB 130による電荷133と結合することによって、FIB 130による電荷133が中和される。この時、FIB 130による電荷133は、正電荷であり、電荷中和装置150によって放出された電荷153は、負電荷である。電荷中和装置150によって、FIB 130による電荷133を中和させることによって、FIB 130が照射される位置周辺の素子の損傷、または特性変化を防止する。
図8を参照すれば、導電パターン120上に電荷除去器160を適用して、FIB 130による電荷133をFIB 130が照射される位置から除去する。
図10は、フッ素含有ガス170を供給する場合を概略的に示した図面である。
図10を参照すれば、有機発光表示装置2,3のリペア工程で、FIB 130を適用する時に、FIB 130による電荷133によって、導電パターン120にショートが発生することがある。
10 TFT
11 活性層
12 ゲート電極
13 ソース電極
14 ドレイン電極
21 第1電極
110 基板
111 バッファ層
112 ゲート絶縁膜
113 層間絶縁膜
114 パッシベーション膜
115 有機絶縁膜
120 導電パターン
121 配線パターン
123 ショートのある部分
130 FIB
131 FIB照射装置
Claims (2)
- 基板、前記基板上に形成される有機発光素子、前記基板上に形成される薄膜トランジスタ、前記薄膜トランジスタ上に形成される有機絶縁膜、前記有機絶縁膜上に形成される導電パターンを備える有機発光表示装置のリペア方法に係わり、
前記導電パターンにショートが発生した場合、FIB(Focused Ion Beam)によって前記ショートを除去するステップを含み、
前記ショートを除去するステップは、
前記ショートのある位置にイオンビームを照射し、前記ショートのある位置の前記導電パターンに電荷除去器を接触させて、ショートのある部分をエッチングすること、を含み、
前記電荷除去器は、開口が形成された接触部、及び前記接触部と連結された電荷移動部を含む、有機発光表示装置のリペア方法。 - 基板、前記基板上に形成される有機発光素子、前記基板上に形成される薄膜トランジスタ、前記薄膜トランジスタ上に形成される有機絶縁膜、前記有機絶縁膜上に形成される導電パターンを備える有機発光表示装置のリペア方法に係わり、
前記導電パターンに断線が発生した場合、FIBによって前記断線を修理するステップを含み、
前記断線を修理するステップは、
前記断線のある位置に蒸着ガスを照射することと、
前記FIBから前記断線のある位置にイオンビームを照射し、前記断線のある位置の前記導電パターンに電荷除去器を接触させることと、を含み、
前記電荷除去器は、開口が形成された接触部、及び前記接触部と連結された電荷移動部を含む、
有機発光表示装置のリペア方法。
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