JP6493811B2 - パターンの高さ検査装置、検査方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、比較的簡易でかつ高速に、基板上に形成された回路パターンを含む各種パターンの高さを基板の所定領域または全体に渡って検査することができる検査装置及びその検査方法を提供することである。
2 基板(回路基板等)
3 リニアモータ
4 ステージ・コントローラ
5 光源
6 レール
7 ステッピング・モータ
8 コントローラ
9 カメラ
10 光源用の電源
11 画像処理手段(コンピュータ)
12 光学系(レンズ等)
20 パターン
90 イメージセンサ(エリアセンサ)
100 検査装置
Claims (5)
- 基板上のパターンの高さを検査するための検査装置であって、
基板を載せるステージと、
前記ステージ上の基板の表面に光を照射する光源と、
前記ステージの上方に位置し、前記ステージの表面に対して傾いた受光面を有し、前記ステージ上の基板の表面からの反射光をレンズを介して受光するカメラと、
前記ステージまたは前記カメラを移動させながら前記反射光が入射する前記カメラ内の複数のラインセンサの各々から画像情報を取得し、前記基板上のパターンの線幅が鮮明に見える画像情報が得られた少なくとも1つのラインセンサの前記ステージの表面に対する鉛直方向での距離を用いて前記パターンの高さを求めるための演算装置と、を備え、
前記演算装置は、前記基板上の高さ(h1)が既知であるパターンの線幅が鮮明に見える画像情報を得たラインセンサの前記鉛直方向での距離(H1)と、高さ(h)が既知でないパターンの線幅が鮮明に見える画像情報を得たラインセンサの前記鉛直方向での距離(H2)との差分(ΔH=H1−H2)から当該高さが既知でないパターンの高さ(h=h1+ΔH)を求めることを含む、検査装置。 - 前記基板上のパターンの線幅が鮮明に見える画像情報は、前記少なくとも1つのラインセンサにおいて前記パターンに対して前記カメラの焦点が合っている状態で得られた画像情報を含む、請求項1に記載の検査装置。
- 前記複数のラインセンサは、前記カメラ内のイメージセンサが有する複数のラインセンサを含む、請求項1または2に記載の検査装置。
- 前記レンズは、テレセントリックレンズを含む、請求項1〜3のいずれかに記載の検査装置。
- 基板上のパターンの高さを検査するための方法であって、
ステージ上の基板の表面に光を照射するステップと、
前記基板上のパターンを含む表面を移動しながら反射光をレンズを介してカメラで受光するステップであって、前記カメラは、前記ステージの上方に位置し、前記ステージの表面に対して傾いた受光面を有するステップと、
前記反射光が入射する前記カメラ内の複数のラインセンサの各々から画像情報を取得し、前記基板上のパターンの線幅が鮮明に見える画像情報が得られた少なくとも1つのラインセンサの前記ステージの表面に対する鉛直方向での距離を用いて前記パターンの高さを求めるステップと、を含み、
前記パターンの高さを求めるステップは、前記基板上の高さ(h1)が既知であるパターンの線幅が鮮明に見える画像情報を得たラインセンサの前記鉛直方向での距離(H1)と、高さ(h)が既知でないパターンの線幅が鮮明に見える画像情報を得たラインセンサの前記鉛直方向での距離(H2)との差分(ΔH=H1−H2)から当該高さが既知でないパターンの高さ(h=h1+ΔH)を求めることを含む、方法。
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