JP6560714B2 - Blade replacement mechanism, cutting device, and blade replacement method - Google Patents
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Description
本発明は、ブレード交換機構、切断装置およびブレード交換方法に関する。 The present invention relates to a blade replacement mechanism, a cutting device, and a blade replacement method.
たとえば、特開２０１６−６４４５０号公報（特許文献１）には、ハブレスの切削ブレードの交換システムが記載されている。特許文献１に記載の切削ブレードの交換システムは、切削ブレードの側面と接触する固定フランジに貫通孔を設け、固定フランジを吸着するとともに、固定フランジの貫通孔を通して切削ブレードを吸着している。 For example, JP-A-2006-64450 (Patent Document 1) describes a hubless cutting blade replacement system. In the cutting blade replacement system described in Patent Document 1, a through-hole is provided in a fixed flange that is in contact with a side surface of the cutting blade, the fixing flange is sucked, and the cutting blade is sucked through the through-hole of the fixing flange.
しかしながら、特許文献１に記載の切削ブレード交換システムにおいては、切削ブレードおよび固定フランジをスピンドルに固定するための固定ナットをどのように脱着するのかという点について記載も示唆もされていない。そのため、当業者は、特許文献１の記載に基づいて、ブレードの自動交換を実現することができない。 However, in the cutting blade replacement system described in Patent Document 1, there is no description or suggestion on how to fix and remove the fixing nut for fixing the cutting blade and the fixing flange to the spindle. Therefore, those skilled in the art cannot realize automatic blade replacement based on the description in Patent Document 1.
ここで開示された実施形態によれば、ブレードを吸着するように構成される第１吸着部と、第１吸着部の内側に位置し、第１吸着部による吸着とは独立してフランジまたはハブを吸着するように構成される第２吸着部と、第２吸着部の内側に位置し、ブレードをスピンドルに脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成される脱着部材回転部と、を備える、ブレード交換機構を提供することができる。 According to the embodiment disclosed herein, a first suction part configured to suck the blade, and a flange or a hub located inside the first suction part and independent of the suction by the first suction part A second adsorbing portion configured to adsorb the adsorbing member, and a desorbing member rotating portion configured to be rotatable inside and out of the second adsorbing portion and configured to be capable of rotating the desorbing member that can be detached from the spindle. A blade replacement mechanism can be provided.
ここで開示された実施形態によれば、上記のブレード交換機構と、ブレードと、スピンドルとを備える切断装置を提供することができる。 According to the embodiment disclosed herein, it is possible to provide a cutting device including the blade replacement mechanism, the blade, and the spindle.
ここで開示された実施形態によれば、ブレードを吸着するように構成される第１吸着部と、第１吸着部の内側に位置して第１吸着部による吸着とは独立してフランジまたはハブを吸着するように構成される第２吸着部と、第２吸着部の内側に位置してブレードをスピンドルに脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成される脱着部材回転部とを備えるブレード交換機構を用いるブレード交換方法であって、ブレードを第１吸着部により吸着するとともに第１吸着部による吸着とは独立して第２吸着部によりフランジまたはハブを吸着した状態で脱着部材回転部により脱着部材を回転させて脱着部材をスピンドルから取り外す工程と、第１吸着部と第２吸着部と脱着部材回転部とを含む吸着ユニットを収納部に移動させる工程と、第１吸着部による吸着を解除してブレードを収納部に収納する工程と、収納部に収納されている交換用ブレードを第１吸着部により吸着する工程と、吸着ユニットを移動させて交換用ブレードをスピンドルに嵌め込む工程と、脱着部材回転部により脱着部材を回転させて交換用ブレードをスピンドルに固定する工程と、を備える、ブレード交換方法を提供することができる。 According to the embodiment disclosed herein, a first suction part configured to suck the blade, and a flange or a hub located inside the first suction part and independent of the suction by the first suction part Blade replacement comprising: a second suction portion configured to suck the blade; and a detachable member rotating portion configured to rotate the detachable member positioned inside the second suction portion and configured to be detachable from the spindle. A blade replacement method using a mechanism, in which a blade is adsorbed by a first adsorbing part and detached by a desorption member rotating part in a state where a flange or a hub is adsorbed by a second adsorbing part independently of the adsorption by the first adsorbing part. A step of rotating the member to remove the desorption member from the spindle, a step of moving the adsorption unit including the first adsorption unit, the second adsorption unit, and the desorption member rotation unit to the storage unit; Releasing the suction and storing the blade in the storage portion, sucking the replacement blade stored in the storage portion by the first suction portion, and moving the suction unit to fit the replacement blade to the spindle And a step of fixing the replacement blade to the spindle by rotating the attachment / detachment member by the attachment / detachment member rotating portion.
ここで開示された実施形態によれば、ブレードの自動交換を実現可能にする。 According to the embodiment disclosed herein, automatic blade replacement can be realized.
以下、実施形態について説明する。なお、実施形態の説明に用いられる図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。 Hereinafter, embodiments will be described. In the drawings used to describe the embodiments, the same reference numerals represent the same or corresponding parts.
図１に、本発明の切断装置の一例である実施形態の切断装置の模式的な平面図を示す。図１に示されるように、実施形態の切断装置は、切断対象物を切断することによって複数の製品に個片化する装置である。実施形態の切断装置１１１は、基板供給モジュールＡと基板切断モジュールＢと検査モジュールＣとを、それぞれ構成要素として備えている。各構成要素（各モジュールＡ〜Ｃ）は、それぞれ他の構成要素に対して着脱可能かつ交換可能である。 In FIG. 1, the typical top view of the cutting device of embodiment which is an example of the cutting device of this invention is shown. As shown in FIG. 1, the cutting apparatus according to the embodiment is an apparatus that divides a cutting object into a plurality of products by cutting. The cutting device 111 according to the embodiment includes a substrate supply module A, a substrate cutting module B, and an inspection module C as components. Each component (each module A to C) is detachable and replaceable with respect to other components.
基板供給モジュールＡは、たとえば、切断対象物の一例に相当する封止済基板１１２を供給するように構成されている基板供給機構１１３と、切断装置１１１の動作や制御などを行なうように構成されている制御部ＣＴＬとを備えている。封止済基板１１２は、たとえば、プリント基板やリードフレームなどからなる基板（図示せず）と、基板が有する複数の領域に装着された複数の機能素子（半導体素子などのチップ）（図示せず）と、複数の領域が一括して覆われるようにして形成された封止樹脂（図示せず）とを備えている。封止済基板１１２は、最終的に切断されて個片化される切断対象物である。封止済基板１１２は、たとえば搬送機構（図示せず）などによって基板切断モジュールＢに搬送され得る。 The substrate supply module A is configured to perform, for example, the operation and control of the substrate supply mechanism 113 configured to supply a sealed substrate 112 corresponding to an example of a cutting object, and the cutting device 111. And a control unit CTL. The sealed substrate 112 is, for example, a substrate (not shown) made of a printed board, a lead frame, or the like, and a plurality of functional elements (chips such as semiconductor elements) (not shown) mounted in a plurality of regions of the substrate. ) And a sealing resin (not shown) formed so as to cover a plurality of regions at once. The sealed substrate 112 is an object to be cut that is finally cut into pieces. The sealed substrate 112 can be transported to the substrate cutting module B by a transport mechanism (not shown), for example.
基板切断モジュールＢは、たとえば、封止済基板１１２を設置するように構成されている切断用テーブル１１４と、切断用テーブル１１４をＹ方向に移動させるように構成されている移動機構１１５と、切断用テーブル１１４をθ方向に回転させるように構成されている回転機構１１６と、後述するスピンドル２１と、後述する実施形態のブレード交換機構１２０とを備えることができる。切断用テーブル１１４はたとえば切断用治具（図示せず）を備えていてもよく、切断用テーブル１１４が切断用治具を備える場合には切断用治具の上に封止済基板１１２が設置され得る。 The substrate cutting module B includes, for example, a cutting table 114 configured to install the sealed substrate 112, a moving mechanism 115 configured to move the cutting table 114 in the Y direction, and a cutting A rotation mechanism 116 configured to rotate the table 114 in the θ direction, a spindle 21 described later, and a blade replacement mechanism 120 of an embodiment described later can be provided. The cutting table 114 may include, for example, a cutting jig (not shown). When the cutting table 114 includes a cutting jig, the sealed substrate 112 is installed on the cutting jig. Can be done.
図１において、実施形態の切断装置１１１は、説明の便宜の観点から、１個のスピンドル２１を有するシングルスピンドル構成の切断装置として示されている。しかしながら、実施形態の切断装置１１１はシングルスピンドル構成の切断装置には限定されず、たとえば後述するようにスピンドルを２個有するツインスピンドル構成の切断装置としてもよいことは言うまでもない。 In FIG. 1, the cutting device 111 of the embodiment is shown as a cutting device having a single spindle configuration having one spindle 21 for the convenience of explanation. However, the cutting device 111 of the embodiment is not limited to a cutting device having a single spindle configuration, and needless to say, for example, may be a twin spindle configuration cutting device having two spindles as described later.
スピンドル２１は、たとえば、独立してＸ方向とＺ方向とに移動可能であるように構成されることができる。スピンドル２１の回転軸の先端部には、たとえば円板状のブレード２２が取り付けられ得る。ブレード２２は、たとえば、回転軸の軸方向（Ｘ方向）に対して直交する面（Ｙ軸とＺ軸とを含む面）に平行に固定されることができる。また、スピンドル２１は、たとえば、高速で回転するブレード２２によって発生する摩擦熱を抑えるために、切削水を噴射する切削水用ノズル（図示せず）を備えていてもよい。また、スピンドル２１に対して切断用テーブル１１４を相対的に移動させながら封止済基板１１２を切断することができる。ブレード２２は、たとえば、Ｙ軸とＺ軸とを含む面内において回転することによって封止済基板１１２を切断するように構成することができる。 For example, the spindle 21 can be configured to be independently movable in the X direction and the Z direction. For example, a disk-shaped blade 22 can be attached to the tip of the rotation shaft of the spindle 21. For example, the blade 22 can be fixed in parallel to a plane (a plane including the Y axis and the Z axis) orthogonal to the axial direction (X direction) of the rotation axis. Further, the spindle 21 may include a cutting water nozzle (not shown) for injecting cutting water, for example, in order to suppress frictional heat generated by the blade 22 rotating at high speed. Further, the sealed substrate 112 can be cut while moving the cutting table 114 relative to the spindle 21. For example, the blade 22 can be configured to cut the sealed substrate 112 by rotating in a plane including the Y axis and the Z axis.
検査モジュールＣは、たとえば、検査用テーブル１１０と、トレイ１２２とを備えることができる。検査用テーブル１１０は、たとえば、封止済基板１１２を切断して個片化された複数の製品Ｐからなる集合体である切断済基板１２１を設置可能なように構成することができる。複数の製品Ｐは、たとえば、検査用のカメラ（図示せず）によって検査されて、良品と不良品とに選別されることができる。トレイ１２２は、たとえば、良品に選別された製品Ｐを収容可能なように構成することができる。 The inspection module C can include, for example, an inspection table 110 and a tray 122. The inspection table 110 can be configured such that, for example, a cut substrate 121 that is an aggregate of a plurality of products P cut into pieces by cutting the sealed substrate 112 can be installed. The plurality of products P can be inspected by, for example, an inspection camera (not shown) and sorted into non-defective products and defective products. The tray 122 can be configured to accommodate, for example, non-defective products P.
図２に、実施形態のブレード交換機構に用いられる吸着アームの一例の模式的な斜視図を示す。吸着アーム１は、吸着ユニット２と、吸着ユニット２に取り付けられたアーム部３とを備えている。吸着ユニット２は、アーム部３の一端に取り付けられている。 FIG. 2 shows a schematic perspective view of an example of a suction arm used in the blade replacement mechanism of the embodiment. The suction arm 1 includes a suction unit 2 and an arm portion 3 attached to the suction unit 2. The suction unit 2 is attached to one end of the arm portion 3.
図３に、図２に示す吸着アーム１を別の角度から見たときの模式的な斜視図を示す。吸着ユニット２は、円筒状の第１吸着部４と、円筒状の第２吸着部５と、環状の脱着部材回転部６とを備えている。図２において、脱着部材回転部６、第２吸着部５および第１吸着部４は、吸着ユニット２の吸着側（遠位側）から吸着ユニット２のアーム部３側（近位側）にかけて、第１吸着部４、第２吸着部５および脱着部材回転部６の順にそれぞれの遠位側の表面が見えるように示されている。なお、吸着ユニット２の説明において、近位側はアーム部３側を意味し、遠位側は吸着ユニット２の吸着側を意味する。 FIG. 3 is a schematic perspective view when the suction arm 1 shown in FIG. 2 is viewed from another angle. The adsorption unit 2 includes a cylindrical first adsorption part 4, a cylindrical second adsorption part 5, and an annular detachable member rotating part 6. In FIG. 2, the desorption member rotating unit 6, the second adsorption unit 5, and the first adsorption unit 4 are arranged from the adsorption side (distal side) of the adsorption unit 2 to the arm unit 3 side (proximal side) of the adsorption unit 2. It is shown so that the surface of each distal side can be seen in order of the 1st adsorption | suction part 4, the 2nd adsorption | suction part 5, and the removal | desorption member rotation part 6. FIG. In the description of the adsorption unit 2, the proximal side means the arm portion 3 side, and the distal side means the adsorption side of the adsorption unit 2.
図４に、図２および図３に示される吸着ユニット２の模式的な平面図を示す。第１吸着部４の内側に第２吸着部５が位置しており、第２吸着部５の内側に脱着部材回転部６が位置している。第１吸着部４は、後述のブレードを吸着するように構成されている複数の第１吸着口４ｘと、複数の第１吸着口４ｘに通じる環状の第１吸着溝４ｙとを備えている。第２吸着部５は、後述のフランジまたはハブを吸着するように構成されている複数の第２吸着口５ｘと、複数の第２吸着口５ｘに通じる環状の第２吸着溝５ｙとを備えている。脱着部材回転部６は、互いに間隔を空けて環状に配置された複数の突出部６ａを備えている。脱着部材回転部６は回転可能に構成されており、たとえば図４の矢印の方向に回転可能であるが、脱着部材回転部６の回転方向は特に限定されないことは言うまでもない。 FIG. 4 shows a schematic plan view of the adsorption unit 2 shown in FIGS. 2 and 3. The second suction part 5 is located inside the first suction part 4, and the desorption member rotating part 6 is located inside the second suction part 5. The first suction unit 4 includes a plurality of first suction ports 4x configured to suck a blade, which will be described later, and an annular first suction groove 4y that communicates with the plurality of first suction ports 4x. The second suction portion 5 includes a plurality of second suction ports 5x configured to suck a flange or hub described later, and an annular second suction groove 5y that communicates with the plurality of second suction ports 5x. Yes. The detachable member rotating portion 6 includes a plurality of projecting portions 6a that are annularly arranged with a space therebetween. The detachable member rotating part 6 is configured to be rotatable, and can be rotated in the direction of the arrow in FIG. 4, for example. However, it goes without saying that the rotating direction of the detachable member rotating part 6 is not particularly limited.
図５に、図２〜図４に示される吸着ユニット２の模式的な断面図を示す。第１吸着部４は中空であり、第１吸着部４の中空の内側に中空の第２吸着部５が位置している。第１吸着部４の中空を取り囲む外壁には、第１吸着口４ｘを介して第１吸着溝４ｙに通じて、後述のブレードを吸引するように構成されているガス流路１４が設けられている。ガス流路１４は、第１吸着口４ｘに通じるガス流路４ｚに接続されている。第１吸着部４は、第１吸着部４の近位側の外壁の一部から内側に突出する突出部４ａを備えている。突出部４ａは、突出部４ａの近位側に、突出部近位面４ｂを備えている。第１吸着部４は、第１吸着部４の遠位側の表面として、第１吸着部遠位面４ｃを備えている。 FIG. 5 shows a schematic cross-sectional view of the adsorption unit 2 shown in FIGS. The first adsorption part 4 is hollow, and the hollow second adsorption part 5 is located inside the hollow of the first adsorption part 4. The outer wall surrounding the hollow of the first adsorbing portion 4 is provided with a gas flow path 14 configured to suck a later-described blade through the first adsorbing port 4x to the first adsorbing groove 4y. Yes. The gas flow path 14 is connected to a gas flow path 4z that communicates with the first adsorption port 4x. The first suction part 4 includes a protrusion 4 a that protrudes inward from a part of the outer wall on the proximal side of the first suction part 4. The protrusion 4a includes a protrusion proximal surface 4b on the proximal side of the protrusion 4a. The first suction part 4 includes a first suction part distal surface 4 c as a distal surface of the first suction part 4.
第２吸着部５の中空を取り囲む外壁には、第２吸着口５ｘを介して第２吸着溝５ｙに通じて、フランジまたはハブを吸着するように構成されているガス流路１３が設けられている。ガス流路１３の一端には、ガス流路１３中のガスを吸引するように構成されているガス吸引口１２が取り付けられている。ガス流路１３の他端には、第２吸着口５ｘに通じるガス流路５ｚが接続されている。第２吸着部５は、第２吸着部５の近位側の端部に、内側に張り出した鉤状部５ａを備えている。鉤状部５ａは、遠位側の表面として鉤状部遠位面５ｂを備えるとともに、近位側の表面として鉤状部近位面５ｃを備えている。第２吸着部５は、第２吸着部５の遠位側の表面として、第２吸着部遠位面５ｄを備えている。 The outer wall surrounding the hollow of the second adsorption part 5 is provided with a gas flow path 13 configured to adsorb a flange or a hub through the second adsorption port 5x to the second adsorption groove 5y. Yes. A gas suction port 12 configured to suck the gas in the gas flow path 13 is attached to one end of the gas flow path 13. The other end of the gas passage 13 is connected to a gas passage 5z that communicates with the second adsorption port 5x. The second adsorption part 5 includes a hook-like part 5 a projecting inward at the proximal end of the second adsorption part 5. The hook-shaped part 5a includes a hook-shaped part distal surface 5b as a distal surface and a hook-shaped proximal surface 5c as a proximal surface. The second adsorption unit 5 includes a second adsorption unit distal surface 5d as a distal surface of the second adsorption unit 5.
第２吸着部５も中空であり、第２吸着部５の中空の内側に脱着部材回転部６が位置している。脱着部材回転部６の突出部６ａは、脱着部材回転部６が遠位側に向かって部分的に突出した部材となっている。脱着部材回転部６の近位側には、回転可能な回転駆動部材９が取り付けられている。回転駆動部材９が軸１０を中心として回転することにより、脱着部材回転部６も回転することが可能となる。脱着部材回転部６の遠位側の一部は回転駆動部材９よりも外側に張り出している。脱着部材回転部６の外側に張り出した部分は、近位側の表面として回転部近位面６ｂを備えている。回転駆動部材９の近位側も部分的に外側に張り出している。回転駆動部材９の外側に張り出した部分は、遠位側の表面として近位側張出部遠位面９ａを備えている。 The second adsorption part 5 is also hollow, and the desorption member rotating part 6 is located inside the hollow of the second adsorption part 5. The protrusion 6a of the detachable member rotating part 6 is a member in which the detachable member rotating part 6 partially protrudes toward the distal side. A rotatable rotational drive member 9 is attached to the proximal side of the detachable member rotating portion 6. When the rotation driving member 9 rotates about the shaft 10, the detachable member rotating portion 6 can also rotate. A part of the distal side of the detachable member rotating portion 6 projects outward from the rotation driving member 9. The portion protruding to the outside of the detachable member rotating portion 6 includes a rotating portion proximal surface 6b as a proximal surface. The proximal side of the rotary drive member 9 also partially projects outward. The portion of the rotary drive member 9 that protrudes to the outside includes a proximal side protruding portion distal surface 9a as a distal surface.
脱着部材回転部６、回転駆動部材９および軸１０の周りを取り囲むように筒状のスリーブ１５が位置している。スリーブ１５は、脱着部材回転部６を収容できるように構成されている収容部１５ａと、収容部１５ａを支持するように構成されている支持部１５ｂとを備えている。収容部１５ａは支持部１５ｂよりも外側に張り出している。収容部１５ａは、近位側の表面として、収容部近位面１５ｃを備えている。収容部近位面１５ｃは、鉤状部遠位面５ｂと向かい合っている。支持部１５ｂは、遠位側の表面として、支持部遠位面１５ｄを備えている。 A cylindrical sleeve 15 is positioned so as to surround the detachable member rotating portion 6, the rotation driving member 9 and the shaft 10. The sleeve 15 includes an accommodation portion 15a configured to accommodate the detachable member rotating portion 6, and a support portion 15b configured to support the accommodation portion 15a. The accommodating portion 15a projects outward from the support portion 15b. The accommodating portion 15a includes an accommodating portion proximal surface 15c as a proximal surface. The accommodating portion proximal surface 15c faces the flange-like portion distal surface 5b. The support portion 15b includes a support portion distal surface 15d as a distal surface.
スリーブ１５の近位側には、吸着ユニット２とアーム部３とを連結可能なように構成されている連結部１１が取り付けられている。連結部１１は、連結部１１の遠位側の突出部１１ａがスリーブ１５の近位側の中空に嵌め込まれることによって、スリーブ１５に取り付けられている。連結部１１は、鉤状部近位面５ｃと向かい合う連結部内側近位面１１ｂと、突出部近位面４ｂに向かい合う連結部外側近位面１１ｃとを備えている。連結部外側近位面１１ｃは、連結部内側近位面１１ｂよりも近位かつ外側に位置している。 On the proximal side of the sleeve 15, a connecting portion 11 configured to connect the suction unit 2 and the arm portion 3 is attached. The connecting portion 11 is attached to the sleeve 15 by the protrusion 11 a on the distal side of the connecting portion 11 being fitted into the hollow on the proximal side of the sleeve 15. The connecting portion 11 includes a connecting portion inner proximal surface 11b that faces the flange-like portion proximal surface 5c and a connecting portion outer proximal surface 11c that faces the protruding portion proximal surface 4b. The connecting portion outer proximal surface 11c is located more proximal and outward than the connecting portion inner proximal surface 11b.
回転部近位面６ｂと近位側張出部遠位面９ａとの間で回転駆動部材９の周囲を取り囲むように第１バネ１６が位置している。第１バネ１６は、回転部近位面６ｂと近位側張出部遠位面９ａとの間の距離が変化することによって伸縮可能である。 The first spring 16 is positioned so as to surround the periphery of the rotation drive member 9 between the rotation portion proximal surface 6b and the proximal side overhang portion distal surface 9a. The first spring 16 can be expanded and contracted by changing the distance between the rotating portion proximal surface 6b and the proximal overhanging portion distal surface 9a.
鉤状部近位面５ｃと連結部内側近位面１１ｂとの間で支持部１５ｂの周囲を取り囲むように第２バネ８が位置している。第２バネ８は、鉤状部近位面５ｃと連結部内側近位面１１ｂとの間の距離が変化することによって伸縮可能である。 The 2nd spring 8 is located so that the circumference | surroundings of the support part 15b may be surrounded between the hook-shaped part proximal surface 5c and the connection part inner side proximal surface 11b. The second spring 8 can be expanded and contracted by changing the distance between the hook-like proximal surface 5c and the connecting portion inner proximal surface 11b.
突出部近位面４ｂと連結部外側近位面１１ｃとの間で第２バネ８の周囲を取り囲むように第３バネ７が位置している。第３バネ７は、突出部近位面４ｂと連結部外側近位面１１ｃとの間の距離が変化することによって伸縮可能である。 The 3rd spring 7 is located so that the circumference | surroundings of the 2nd spring 8 may be surrounded between the protrusion part proximal surface 4b and the connection part outer side proximal surface 11c. The third spring 7 can be expanded and contracted by changing the distance between the protruding portion proximal surface 4b and the connecting portion outer proximal surface 11c.
以下、上述の吸着アームを備えた実施形態のブレード交換機構を用いた実施形態のブレード交換方法について説明する。本実施形態では、ブレード２２がハブを有しないハブレスブレードである場合について説明するが、本実施形態はハブレスブレードに限定されるものではなく、ブレード２２がハブを有するハブ付きブレードにも適用できることは言うまでもない。 Hereinafter, the blade replacement method of the embodiment using the blade replacement mechanism of the embodiment provided with the above-described suction arm will be described. In the present embodiment, the case where the blade 22 is a hubless blade having no hub will be described. However, the present embodiment is not limited to the hubless blade, and the blade 22 is also applicable to a blade with a hub having a hub. Needless to say, you can.
まず、図６の模式的断面図に示すように、吸着ユニット２を使用済みのブレード２２に近づける。ここで、交換の対象となる使用済みのブレード２２は、スピンドル２１の近位側フランジ２０と遠位側フランジ２３との間に挟み込まれている。そして、たとえばナットなどの脱着部材２４によって遠位側フランジ２３が近位側フランジ２０に締め付けられ、これによりブレード２２は、スピンドル２１の近位側フランジ２０と遠位側フランジ２３との間で固定されている。なお、近位側フランジ２０の近位側とはスピンドル２１に対する近位側を意味し、遠位側フランジ２３の遠位側とはスピンドル２１に対する遠位側を意味する。 First, as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 6, the suction unit 2 is brought close to the used blade 22. Here, the used blade 22 to be exchanged is sandwiched between the proximal flange 20 and the distal flange 23 of the spindle 21. Then, the distal flange 23 is clamped to the proximal flange 20 by a detachable member 24 such as a nut, so that the blade 22 is fixed between the proximal flange 20 and the distal flange 23 of the spindle 21. Has been. The proximal side of the proximal flange 20 means the proximal side with respect to the spindle 21, and the distal side of the distal flange 23 means the distal side with respect to the spindle 21.
次に、図７の模式的断面図に示すように、第１吸着部４の第１吸着部遠位面４ｃがブレード２２の近位側（アーム部３側）の表面に接触するまで、吸着ユニット２をさらに遠位側（スピンドル２１側）に移動させる。 Next, as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 7, the suction until the first suction part distal surface 4 c of the first suction part 4 comes into contact with the proximal side (arm part 3 side) surface of the blade 22. The unit 2 is further moved to the distal side (spindle 21 side).
次に、図８の模式的断面図に示すように、吸着ユニット２をさらに遠位側（スピンドル２１側）に移動させるように、アーム部３を遠位側（スピンドル２１側）に移動させる。このとき、ブレード２２によって第１吸着部４は遠位側（スピンドル２１側）から近位側（アーム部３側）に力を受けるが、第３バネ７が突出部近位面４ｂに接触して縮むため、第１吸着部４の移動は抑制され、ブレード２２に対する過度の荷重が抑制される。そして、第１吸着部４の移動が抑制された状態で第２吸着部５が遠位側（スピンドル２１側）に移動し、第２吸着部５の遠位側の第２吸着部遠位面５ｄが遠位側フランジ２３と接触する。 Next, as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 8, the arm unit 3 is moved to the distal side (spindle 21 side) so that the suction unit 2 is further moved to the distal side (spindle 21 side). At this time, the blade 22 receives the force from the distal side (spindle 21 side) to the proximal side (arm portion 3 side), but the third spring 7 comes into contact with the protruding portion proximal surface 4b. Therefore, the movement of the first suction part 4 is suppressed, and an excessive load on the blade 22 is suppressed. And the 2nd adsorption part 5 moves to the distal side ( spindle 21 side) in the state where movement of the 1st adsorption part 4 was controlled, and the 2nd adsorption part distal side of the 2nd adsorption part 5 at the distal side 5 d contacts the distal flange 23.
第２吸着部５の第２吸着部遠位面５ｄが遠位側フランジ２３と接触した後に、脱着部材回転部６の突出部６ａが脱着部材２４の貫通孔２４ａに嵌っていない場合には、第１バネ１６が縮んで、矢印３１の方向に脱着部材回転部６が近位側（アーム部３側）に移動する。このとき、遠位側フランジ２３によって第２吸着部５は遠位側（スピンドル２１側）から近位側（アーム部３側）に力を受けるが、第２バネ８が鉤状部近位面５ｃに接触して縮むため、第２吸着部５の移動は抑制される。 After the second suction portion distal surface 5d of the second suction portion 5 comes into contact with the distal flange 23, when the protruding portion 6a of the detachable member rotating portion 6 is not fitted in the through hole 24a of the detachable member 24, The first spring 16 contracts, and the detachable member rotating portion 6 moves in the direction of the arrow 31 to the proximal side (arm portion 3 side). At this time, the second flange 5 receives force from the distal side (spindle 21 side) to the proximal side (arm portion 3 side) by the distal flange 23, but the second spring 8 is the proximal surface of the hook-shaped portion. Since it contracts in contact with 5c, the movement of the 2nd adsorption | suction part 5 is suppressed.
次に、図９の模式的断面図に示すように、脱着部材回転部６の突出部６ａが脱着部材２４の貫通孔２４ａに嵌っていない場合には、脱着部材回転部６をたとえば矢印３２の方向に回転させる。脱着部材回転部６の回転により、脱着部材回転部６の突出部６ａが脱着部材２４の貫通孔２４ａの位置に到達したときに第１バネ１６が伸びて、突出部６ａが貫通孔２４ａに嵌まる。 Next, as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 9, when the protrusion 6 a of the detachable member rotating portion 6 is not fitted in the through hole 24 a of the detachable member 24, the detachable member rotating portion 6 is indicated by an arrow 32, for example. Rotate in the direction. When the protrusion 6a of the detachable member rotating portion 6 reaches the position of the through hole 24a of the detachable member 24 by the rotation of the detachable member rotating portion 6, the first spring 16 extends and the protrusion 6a is fitted into the through hole 24a. Maru.
次に、脱着部材回転部６が回転することによって脱着部材２４を回転させる。これにより、近位側フランジ２０に対する脱着部材２４による遠位側フランジ２３の締め付けが解除される。その後、第１吸着部４がブレード２２を吸着し、第２吸着部５が遠位側フランジ２３を吸着する。その後、吸着ユニット２を近位側（アーム部３側）に移動させることによって、たとえば図１０の模式的断面図に示すように、スピンドル２１から、脱着部材２４とともにブレード２２および遠位側フランジ２３が取り外される。 Next, the detachable member 24 is rotated by rotating the detachable member rotating portion 6. As a result, the tightening of the distal flange 23 by the detachable member 24 with respect to the proximal flange 20 is released. Thereafter, the first suction portion 4 sucks the blade 22, and the second suction portion 5 sucks the distal flange 23. After that, by moving the suction unit 2 to the proximal side (arm portion 3 side), for example, as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. Is removed.
その後、吸着ユニット２は、図１１および図１２の模式的斜視図に示されるブレード２２を脱着可能な第１動作位置から図１３の模式的斜視図に示される収納部５１から交換用ブレードを取り出しおよび収納可能な第２動作位置に移動させられる。なお、図１１および図１２は、吸着ユニット２が第１動作位置に位置している状態の一例の実施形態の切断装置の模式的な斜視図を示しており、図１３は吸着ユニット２が第２動作位置に位置している状態の一例の実施形態の切断装置の模式的な斜視図を示している。 Thereafter, the suction unit 2 takes out the replacement blade from the storage portion 51 shown in the schematic perspective view of FIG. 13 from the first operation position where the blade 22 shown in the schematic perspective view of FIGS. 11 and 12 can be attached and detached. And moved to the retractable second operating position. 11 and 12 are schematic perspective views of the cutting device according to an example of the state in which the suction unit 2 is located at the first operation position, and FIG. FIG. 2 shows a schematic perspective view of a cutting device of an example embodiment in a state of being located at two operating positions.
図１１〜図１３に示される実施形態の切断装置は、スピンドル２１と向かい合う位置に第２のスピンドル２５を備えている。たとえば図１４および図１５の模式的斜視図に示されるように、実施形態のブレード交換機構の吸着ユニット２は、スピンドル２１におけるブレード２２の脱着を可能とするだけでなく、第２のスピンドル２５におけるブレード２２の脱着も可能とする。なお、図１４および図１５は、吸着ユニット２が第１動作位置に位置しているときの他の一例の実施形態の切断装置の模式的な斜視図を示している。 The cutting device of the embodiment shown in FIGS. 11 to 13 includes a second spindle 25 at a position facing the spindle 21. For example, as shown in the schematic perspective views of FIGS. 14 and 15, the suction unit 2 of the blade replacement mechanism of the embodiment not only enables the blade 22 to be attached to and detached from the spindle 21 but also the second spindle 25. The blade 22 can be attached and detached. 14 and 15 are schematic perspective views of a cutting apparatus according to another embodiment when the suction unit 2 is located at the first operating position.
図１１〜図１５の模式的斜視図に示されるように、実施形態のブレード交換機構は、第１スライド機構４１と、第２スライド機構４２とを備える移動機構４０を備えている。第１スライド機構４１は、たとえば図１６および図１７の模式的斜視図に示すように、吸着ユニット２を矢印６１，６２で示されるＹ方向へのスライドによる移動を可能にしている。吸着ユニット２のＹ方向への移動は、たとえば、吸着ユニット２の第１動作位置への移動および第２動作位置への移動などに利用することができる。 As shown in the schematic perspective views of FIGS. 11 to 15, the blade replacement mechanism of the embodiment includes a moving mechanism 40 including a first slide mechanism 41 and a second slide mechanism 42. For example, as shown in the schematic perspective views of FIGS. 16 and 17, the first slide mechanism 41 enables the suction unit 2 to move by sliding in the Y direction indicated by arrows 61 and 62. The movement of the suction unit 2 in the Y direction can be used, for example, for the movement of the suction unit 2 to the first operation position and the movement to the second operation position.
第２スライド機構４２は、たとえば図１８および図１９の模式的斜視図に示すように、吸着ユニット２を矢印７１，７２で示されるＺ方向へのスライドによる移動を可能にしている。吸着ユニット２のＺ方向への移動は、たとえば、第１動作位置から第２動作位置への移動のための１つのステップおよび第２動作位置から第１動作位置への移動のための１つのステップなどに利用することができる。なお、図１８および図１９の矢印７１，７２で示されるＺ方向は図１６および図１７の矢印６１，６２で示されるＹ方向と交差している。 For example, as shown in the schematic perspective views of FIGS. 18 and 19, the second slide mechanism 42 enables the suction unit 2 to move by sliding in the Z direction indicated by arrows 71 and 72. The movement of the suction unit 2 in the Z direction includes, for example, one step for movement from the first operation position to the second operation position and one step for movement from the second operation position to the first operation position. It can be used for Note that the Z direction indicated by arrows 71 and 72 in FIGS. 18 and 19 intersects the Y direction indicated by arrows 61 and 62 in FIGS. 16 and 17.
実施形態のブレード交換機構は、図２０および図２１の模式的斜視図に示される第１回転機構４３と、図２２および図２３の模式的斜視図に示される第２回転機構４４とを備えている。 The blade replacement mechanism of the embodiment includes a first rotation mechanism 43 shown in the schematic perspective views of FIGS. 20 and 21, and a second rotation mechanism 44 shown in the schematic perspective views of FIGS. 22 and 23. Yes.
第１回転機構４３は、たとえば図２０および図２１に示されるように、吸着ユニット２を第１仮想面８２内において矢印８１で示されるＸ−θ方向に回転可能に構成されている。吸着ユニット２のＸ−θ方向における回転は、たとえば、第１動作位置から第２動作位置への移動のための１つのステップおよび第２動作位置から第１動作位置への移動のための１つのステップなどに利用することができる。 For example, as shown in FIGS. 20 and 21, the first rotation mechanism 43 is configured to be able to rotate the suction unit 2 in the X-θ direction indicated by the arrow 81 in the first virtual plane 82. The rotation of the suction unit 2 in the X-θ direction is, for example, one step for moving from the first operating position to the second operating position and one for moving from the second operating position to the first operating position. It can be used for steps.
第２回転機構４４は、たとえば図２２および図２３に示されるように、吸着ユニット２を第２仮想面９３内において矢印９１，９２で示されるＹ−θ方向に回転可能に構成されている。吸着ユニット２のＹ−θ方向における回転は、たとえば、吸着ユニット２のスピンドル２１から第２のスピンドル２５への移動および吸着ユニット２の第２のスピンドル２５からスピンドル２１への移動などに利用することができる。なお、第２仮想面９３は、第１仮想面８２とは異なる仮想面であり、第１仮想面８２と第２仮想面９３とは互いに交差する。 For example, as shown in FIGS. 22 and 23, the second rotation mechanism 44 is configured to be able to rotate the suction unit 2 in the Y-θ direction indicated by arrows 91 and 92 within the second virtual plane 93. The rotation of the suction unit 2 in the Y-θ direction is used, for example, for movement of the suction unit 2 from the spindle 21 to the second spindle 25 and movement of the suction unit 2 from the second spindle 25 to the spindle 21. Can do. The second virtual surface 93 is a virtual surface different from the first virtual surface 82, and the first virtual surface 82 and the second virtual surface 93 intersect each other.
図２４に、実施形態のブレード交換機構の収納部５１の模式的な斜視図を示す。収納部５１は、最上段から最下段にかけて順に、第１のブレードマガジン５３ａ、第２のブレードマガジン５３ｂ、および第３のブレードマガジン５３ｃを備えている。収納部５１は、また、第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂ、および第３のブレード押さえ部材５４ｃを備えている。第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂ、および第３のブレード押さえ部材５４ｃは、それぞれ、第１のブレードマガジン５３ａ、第２のブレードマガジン５３ｂ、および第３のブレードマガジン５３ｃに収納されるブレードをそれぞれのブレードマガジンの周りで押さえるように構成されている。これにより、ブレードマガジンからのブレードの落下を抑制することができる。 In FIG. 24, the typical perspective view of the accommodating part 51 of the blade replacement mechanism of embodiment is shown. The storage unit 51 includes a first blade magazine 53a, a second blade magazine 53b, and a third blade magazine 53c in order from the top to the bottom. The storage unit 51 also includes a first blade pressing member 54a, a second blade pressing member 54b, and a third blade pressing member 54c. The first blade pressing member 54a, the second blade pressing member 54b, and the third blade pressing member 54c are respectively connected to the first blade magazine 53a, the second blade magazine 53b, and the third blade magazine 53c. The blades to be stored are configured to be pressed around the respective blade magazines. Thereby, the fall of the blade from the blade magazine can be suppressed.
実施形態のブレード交換機構の吸着ユニット２は、スピンドル２１または第２のスピンドル２５から使用済みのブレードを上述のようにして取り外した後、吸着ユニット２に吸着された使用済みのブレードとともに図１３に示される第２動作位置に移動させられる。このとき、たとえば図２５の模式的斜視図に示すように、第１のブレード押さえ部材５４ａ、第２のブレード押さえ部材５４ｂおよび第３のブレード押さえ部材５４ｃの少なくとも１つが上に起き上がってブレードの押さえを解除する。 The suction unit 2 of the blade replacement mechanism of the embodiment is shown in FIG. 13 together with the used blades sucked by the suction unit 2 after removing the used blades from the spindle 21 or the second spindle 25 as described above. It is moved to the second operating position shown. At this time, for example, as shown in a schematic perspective view of FIG. 25, at least one of the first blade pressing member 54a, the second blade pressing member 54b, and the third blade pressing member 54c rises upward to hold the blade. Is released.
そして、使用済みのブレードを吸着した吸着ユニット２が、ブレードが収容されていない空のブレードマガジンに接近し、使用済みのブレードの中央の開口部を空のブレードマガジンに嵌め込む。その後、吸着ユニット２は、第１吸着部４による使用済みのブレードの吸着のみを停止し、当該ブレードマガジンから離れる。これにより、使用済みのブレードを空のブレードマガジンに収納することができる。 Then, the suction unit 2 that sucks the used blades approaches an empty blade magazine in which no blades are accommodated, and the central opening of the used blades is fitted into the empty blade magazine. Thereafter, the suction unit 2 stops only the suction of the used blade by the first suction unit 4 and leaves the blade magazine. Thereby, used blades can be stored in an empty blade magazine.
その後、吸着ユニット２は、交換用のブレードが収納されている別のブレードマガジンに移動する。そして、交換用のブレードを押さえているブレード押さえ部材が上に起き上がって交換用のブレードの押さえを解除する。その後、吸着ユニット２を交換用のブレードに接近させて、交換用のブレードの表面に吸着ユニット２の第１吸着部４の第１吸着部遠位面４ｃを接触させる。そして、第１吸着部４のガス流路１３を通じてガス吸引口１２から吸引することにより、第１吸着部遠位面４ｃに交換用のブレードを吸着させる。 Thereafter, the suction unit 2 moves to another blade magazine in which replacement blades are stored. Then, the blade pressing member holding the replacement blade rises up to release the replacement blade. Thereafter, the suction unit 2 is brought close to the replacement blade, and the first suction portion distal surface 4c of the first suction portion 4 of the suction unit 2 is brought into contact with the surface of the replacement blade. Then, by sucking from the gas suction port 12 through the gas flow path 13 of the first suction part 4, the replacement blade is adsorbed on the first suction part distal surface 4c.
交換用のブレードを吸着した吸着ユニット２は、図１３に示される第２動作位置から、図１１および図１２に示される第１動作位置に移動させられる。そして、図１０に示されるように、吸着ユニット２の遠位側への移動により、吸着ユニット２をスピンドル２１に接近させる。 The suction unit 2 that has sucked the replacement blade is moved from the second operation position shown in FIG. 13 to the first operation position shown in FIGS. 11 and 12. Then, as shown in FIG. 10, the suction unit 2 is moved closer to the spindle 21 by moving the suction unit 2 to the distal side.
次に、図９に示すように、吸着ユニット２をさらに遠位側（スピンドル２１側）に移動させる。これにより、遠位側フランジ２３がスピンドル２１の近位側フランジ２０に接触し、近位側フランジ２０と遠位側フランジ２３との間に交換用のブレード２２を挟み込む。次に、脱着部材回転部６を矢印３２の方向とは逆方向に回転させることによって脱着部材２４を回転させ、脱着部材２４により遠位側フランジ２３を近位側フランジ２０に締め付ける。これにより、近位側フランジ２０と遠位側フランジ２３との間に交換用のブレード２２を固定することができる。その後、第１吸着部４による交換用のブレード２２の吸着を停止するとともに、第２吸着部５による遠位側フランジ２３の吸着を停止する。 Next, as shown in FIG. 9, the suction unit 2 is further moved to the distal side (spindle 21 side). As a result, the distal flange 23 comes into contact with the proximal flange 20 of the spindle 21, and the replacement blade 22 is sandwiched between the proximal flange 20 and the distal flange 23. Next, the detachable member rotating portion 6 is rotated in the direction opposite to the direction of the arrow 32 to rotate the detachable member 24, and the distal flange 23 is fastened to the proximal flange 20 by the detachable member 24. Thereby, the replacement blade 22 can be fixed between the proximal flange 20 and the distal flange 23. Thereafter, the suction of the replacement blade 22 by the first suction part 4 is stopped, and the suction of the distal flange 23 by the second suction part 5 is stopped.
次に、図６に示すように、吸着ユニット２を近位側（アーム部３側）に移動させ、吸着ユニット２をスピンドル２１から引き離す。これにより、交換用のブレード２２のスピンドル２１への取り付けが完了する。 Next, as shown in FIG. 6, the suction unit 2 is moved to the proximal side (arm portion 3 side), and the suction unit 2 is pulled away from the spindle 21. Thereby, the attachment of the replacement blade 22 to the spindle 21 is completed.
以上のように、実施形態においては、ブレード２２の自動交換を実現することができる。 As described above, in the embodiment, automatic replacement of the blade 22 can be realized.
図２６に、実施形態のブレード交換機構に用いられる検出部１００の模式的な平面図を示す。実施形態において、検出部１００は、レーザセンサ１０１と、モータ１０３とを備えている。検出部１００は、モータ１０３の駆動によって、レーザセンサ１０１の矢印１０２方向への移動が可能となるように構成されている。 FIG. 26 is a schematic plan view of the detection unit 100 used in the blade replacement mechanism of the embodiment. In the embodiment, the detection unit 100 includes a laser sensor 101 and a motor 103. The detection unit 100 is configured to be able to move the laser sensor 101 in the direction of the arrow 102 by driving the motor 103.
図２７に、検出部１００によるブレード２２の摩耗および破損の少なくとも一方の検出方法の一例のフローチャートを示す。まず、ステップ１（Ｓ１）において、位置調整レーザ光遮光率Ａの測定が行なわれる。Ｓ１は、たとえば以下のように行なうことができる。 FIG. 27 shows a flowchart of an example of a method for detecting at least one of wear and breakage of the blade 22 by the detection unit 100. First, in step 1 (S1), the position adjustment laser light shielding rate A is measured. For example, S1 can be performed as follows.
まず、レーザセンサ１０１の位置調整を行なう。ここで、レーザセンサ１０１は、たとえば、レーザ光の出射部（図示せず）とレーザ光の検知部（図示せず）との間に切断開始前のブレード２２の刃先が位置するように位置調整が行われる。次に、レーザセンサ１０１が位置調整された状態でレーザセンサ１０１の出射部からレーザ光を出射して検知部で検知する。その後、その状態でのレーザ光の遮光率（位置調整レーザ光遮光率Ａ）を測定する。位置調整レーザ光遮光率Ａは、上記のレーザセンサ１０１の位置調整後かつ切断開始前の状態でのレーザ光の出射量に対するレーザ光の検知部で検知されるレーザ光の検知量の割合である。切断開始前のブレード２２の刃先によってレーザ光の検知部への入射が遮られる傾向にあるため、位置調整レーザ光遮光率Ａは高くなり得る。 First, the position of the laser sensor 101 is adjusted. Here, the position of the laser sensor 101 is adjusted so that the cutting edge of the blade 22 before starting cutting is positioned between, for example, a laser beam emitting unit (not shown) and a laser beam detecting unit (not shown). Is done. Next, laser light is emitted from the emission part of the laser sensor 101 in a state where the position of the laser sensor 101 is adjusted, and is detected by the detection part. Thereafter, the light shielding rate of laser light (position adjustment laser light shielding rate A) in this state is measured. The position adjustment laser light shielding rate A is the ratio of the detection amount of the laser light detected by the laser light detection unit to the emission amount of the laser light in the state after the position adjustment of the laser sensor 101 and before the start of cutting. . Since the cutting edge of the blade 22 before the start of cutting tends to block the incidence of the laser beam on the detection unit, the position adjustment laser beam blocking ratio A can be increased.
次に、ステップ２（Ｓ２）において、摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’の測定が行なわれる。Ｓ２は、たとえば以下のように行なうことができる。 Next, in step 2 (S2), the wear or breakage detection laser light shielding rate A 'is measured. S2 can be performed as follows, for example.
まず、スピンドル２１を回転させることによってブレード２２を回転させる。次に、回転したブレード２２によって切断対象物が切断される。次に、回転したブレード２２によって切断対象物を切断している状態でレーザセンサ１０１の出射部からレーザ光を出射して検知部で検知する。その後、その状態でのレーザ光の遮光率（摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’）を測定する。切断によってブレード２２が摩耗または破損した場合には切断開始前と比べてブレード２２の刃先によってレーザ光の検知部への入射が遮られにくくなるため、摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’は位置調整レーザ光遮光率Ａよりも低くなり得る。 First, the blade 22 is rotated by rotating the spindle 21. Next, the cutting object is cut by the rotated blade 22. Next, in a state where the object to be cut is being cut by the rotated blade 22, laser light is emitted from the emission part of the laser sensor 101 and detected by the detection part. Thereafter, the light shielding rate of laser light in this state (wear or damage detection laser light shielding rate A ′) is measured. When the blade 22 is worn or damaged by cutting, the laser beam incidence on the detection unit is less likely to be blocked by the blade tip of the blade 22 than before cutting is started. It may be lower than the adjusted laser light shielding rate A.
次に、ステップ３（Ｓ３）において、Ｓ１で測定されたレーザ光の遮光率Ａと、Ｓ２で測定されたレーザ光の遮光率Ａ’との対比が行われる。このとき、レーザ光の遮光率Ａとレーザ光の遮光率Ａ’とが等しい場合には、ブレード２２の回転による切断対象物の切断は停止せず、再度Ｓ２に戻って摩耗または破損検出レーザ光遮光率Ａ’の測定が行なわれる。 Next, in step 3 (S3), the laser light shielding rate A measured in S1 is compared with the laser light shielding rate A 'measured in S2. At this time, when the light shielding rate A of the laser light is equal to the light shielding rate A ′ of the laser light, the cutting of the object to be cut by the rotation of the blade 22 is not stopped, and the process returns to S2 again to detect the wear or breakage laser light. The light shielding rate A ′ is measured.
一方、Ｓ３においてレーザ光の遮光率Ａとレーザ光の遮光率Ａ’とが等しくないと判断されると、ステップ４（Ｓ４）において、ブレード２２の回転を停止されて上述したブレード２２の自動交換が実施される。 On the other hand, if it is determined in S3 that the laser light shielding rate A and the laser light shielding rate A ′ are not equal, in step 4 (S4), the rotation of the blade 22 is stopped and the above-described automatic replacement of the blade 22 is performed. Is implemented.
上述のように、実施形態のブレード交換機構がブレード２２の摩耗および破損の少なくとも一方が検出可能なように構成される検出部１００を備えている場合には、ブレード２２の摩耗および破損の少なくとも一方を検出した後にブレード２２の回転による切断が自動停止して、実施形態におけるブレード２２の自動交換を行なうことできる。これによりブレード２２の交換のさらなる自動化の実現が可能となる。 As described above, when the blade replacement mechanism of the embodiment includes the detection unit 100 configured to detect at least one of wear and breakage of the blade 22, at least one of wear and breakage of the blade 22. After the detection, the cutting by the rotation of the blade 22 is automatically stopped, and the blade 22 in the embodiment can be automatically replaced. This makes it possible to realize further automation of replacement of the blade 22.
以上のように実施形態について説明を行なったが、上述の各実施形態の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。 Although the embodiment has been described as described above, it is also planned from the beginning to appropriately combine the configurations of the above-described embodiments.
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be thought that embodiment disclosed this time is an illustration and restrictive at no points. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
ここで開示された実施形態は、ブレード交換機構、切断装置およびブレード交換方法に利用できる可能性がある。 The embodiments disclosed herein may be used in blade replacement mechanisms, cutting devices, and blade replacement methods.
１ 吸着アーム、２ 吸着ユニット、３ アーム部、４ 第１吸着部、４ａ 突出部、４ｂ 突出部近位面、４ｃ 第１吸着部遠位面、４ｘ 第１吸着口、４ｙ 第１吸着溝、４ｚ ガス流路、５ 第２吸着部、５ａ 鉤状部、５ｂ 鉤状部遠位面、５ｃ 鉤状部近位面、５ｄ 第２吸着部遠位面、５ｘ 第２吸着口、５ｙ 第２吸着溝、５ｚ ガス流路、６ 脱着部材回転部、６ａ 突出部、６ｂ 回転部近位面、７ 第３バネ、８ 第２バネ、９ 回転駆動部材、９ａ 近位側張出部遠位面、１０ 軸、１１ 連結部、１１ａ 突出部、１１ｂ 連結部内側近位面、１１ｃ 連結部外側近位面、１２ ガス吸引口、１３ ガス流路、１５ スリーブ、１５ａ 収容部、１５ｂ 支持部、１５ｃ 収容部近位面、１５ｄ 支持部遠位面、１６ 第１バネ、２０ 近位側フランジ、２１ スピンドル、２２ ブレード、２３ 遠位側フランジ、２４ 脱着部材、２４ａ 貫通孔、２５ 第２のスピンドル、３１，３２ 矢印、４０ 移動機構、４１ 第１スライド機構、４２ 第２スライド機構、４３ 第１回転機構、４４ 第２回転機構、５１ 収納部、５３ａ 第１のブレードマガジン、５３ｂ 第２のブレードマガジン、５３ｃ 第３のブレードマガジン、５４ａ 第１のブレード押さえ部材、５４ｂ 第２のブレード押さえ部材、５４ｃ 第３のブレード押さえ部材、６１，６２，７１，７２ 矢印、８１ 矢印、８２ 第１仮想面、９１，９２ 矢印、９３ 第２仮想面、１００ 検出部、１０１ レーザセンサ、１０２ 矢印、１０３ モータ、１１０ 検査用テーブル、１１１ 切断装置、１１２ 封止済基板、１１３ 基板供給機構、１１４ 切断用テーブル、１１５ 移動機構、１１６ 回転機構、１２０ ブレード交換機構、１２１ 切断済基板、１２２ トレイ。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Adsorption arm, 2 Adsorption unit, 3 Arm part, 4 1st adsorption part, 4a Protrusion part, 4b Protrusion part proximal surface, 4c 1st adsorption part distal surface, 4x 1st adsorption port, 4y 1st adsorption groove, 4z gas flow path, 5 second suction part, 5a hook-like part, 5b hook-like part distal surface, 5c hook-like part proximal face, 5d second suction part distal face, 5x second suction port, 5y second Adsorption groove, 5z gas flow path, 6 Detachable member rotating part, 6a Protruding part, 6b Rotating part proximal surface, 7 Third spring, 8 Second spring, 9 Rotation driving member, 9a Proximal side projecting part distal surface DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 axis | shaft, 11 connection part, 11a protrusion part, 11b connection part inner side proximal surface, 11c connection part outer side proximal surface, 12 gas suction port, 13 gas flow path, 15 sleeve, 15a accommodating part, 15b support part, 15c Receiving portion proximal surface, 15d supporting portion distal surface, 16 first spring, 20 proximal side Lung, 21 Spindle, 22 Blade, 23 Distal flange, 24 Detachable member, 24a Through hole, 25 Second spindle, 31, 32 Arrow, 40 Moving mechanism, 41 First slide mechanism, 42 Second slide mechanism, 43 First rotating mechanism, 44 Second rotating mechanism, 51 storage section, 53a first blade magazine, 53b second blade magazine, 53c third blade magazine, 54a first blade pressing member, 54b second blade pressing Member, 54c third blade pressing member, 61, 62, 71, 72 arrow, 81 arrow, 82 first virtual surface, 91, 92 arrow, 93 second virtual surface, 100 detection unit, 101 laser sensor, 102 arrow, 103 motor, 110 inspection table, 111 cutting device, 112 sealed substrate, 113 Substrate supply mechanism, 114 cutting table, 115 moving mechanism, 116 rotating mechanism, 120 blade replacement mechanism, 121 cut substrate, 122 tray.
Claims (11)
前記第１吸着部の内側に位置し、前記第１吸着部による吸着とは独立してフランジまたはハブを吸着するように構成される第２吸着部と、
前記第２吸着部の内側に位置し、前記ブレードをスピンドルに脱着可能とする脱着部材を回転可能に構成される脱着部材回転部と、を備える、ブレード交換機構。 A first suction portion configured to suck the blade;
A second suction part located inside the first suction part and configured to suck a flange or hub independently of the suction by the first suction part;
A blade replacement mechanism, comprising: a detachable member rotating portion that is positioned inside the second suction portion and configured to rotate a detachable member that allows the blade to be attached to and detached from the spindle.
前記アーム部は、前記第１吸着部と前記第２吸着部と前記脱着部材回転部とを含む吸着ユニットに取り付けられている、請求項１または請求項２に記載のブレード交換機構。 An arm part,
The blade replacement mechanism according to claim 1 or 2, wherein the arm portion is attached to a suction unit including the first suction portion, the second suction portion, and the desorption member rotating portion.
前記移動機構は、前記ブレードを脱着可能な第１動作位置と、前記交換用ブレードを前記収納部から取り出し可能な第２動作位置との間で前記吸着ユニットを移動可能に構成される、請求項４に記載のブレード交換機構。 A moving mechanism;
The said moving mechanism is comprised so that the said adsorption | suction unit can be moved between the 1st operation position which can remove | desorb the said blade, and the 2nd operation position which can take out the said replacement | exchange blade from the said accommodating part. 5. The blade replacement mechanism according to 4.
前記ブレードを前記第１吸着部により吸着するとともに前記第１吸着部による吸着とは独立して前記第２吸着部により前記フランジまたは前記ハブを吸着した状態で前記脱着部材回転部により前記脱着部材を回転させて前記脱着部材を前記スピンドルから取り外す工程と、
前記第１吸着部と前記第２吸着部と前記脱着部材回転部とを含む吸着ユニットを収納部に移動させる工程と、
前記第１吸着部による吸着を解除して前記ブレードを前記収納部に収納する工程と、
前記収納部に収納されている交換用ブレードを前記第１吸着部により吸着する工程と、
前記吸着ユニットを移動させて前記交換用ブレードを前記スピンドルに嵌め込む工程と、
前記脱着部材回転部により前記脱着部材を回転させて前記交換用ブレードを前記スピンドルに固定する工程と、を備える、ブレード交換方法。 A first suction portion configured to suck the blade, and a first suction portion located inside the first suction portion and configured to suck the flange or the hub independently of the suction by the first suction portion. A blade exchanging method using a blade exchanging mechanism comprising two adsorbing portions and a desorbing member rotating portion configured to be able to rotate a desorbing member that is positioned inside the second adsorbing portion and that allows the blade to be detached from the spindle. There,
The blade is adsorbed by the first adsorbing part and the flange or the hub is adsorbed by the second adsorbing part independently of the adsorption by the first adsorbing part. Rotating to remove the detachable member from the spindle;
Moving the suction unit including the first suction part, the second suction part, and the desorption member rotating part to a storage part;
Releasing suction by the first suction part and storing the blade in the storage part;
Adsorbing the replacement blade stored in the storage unit by the first suction unit;
Moving the suction unit and fitting the replacement blade into the spindle;
A step of rotating the detachable member by the detachable member rotating portion to fix the replacement blade to the spindle.
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