JP6555354B2 - 脆性基板の分断方法 - Google Patents
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Description
(カッティング器具の構成)
図1を参照して、はじめに、本実施の形態のガラス基板4(脆性基板)の分断方法におけるトレンチラインの形成工程に用いられるカッティング器具50の構成について説明する。カッティング器具50は刃先51およびシャンク52を有している。刃先51は、そのホルダとしてのシャンク52に固定されることによって保持されている。
本実施の形態においては、刃先51(図1)をガラス基板4の上面SF1上で方向DAに摺動させる工程を含むガラス基板4の分断方法(図2)について説明する。
本実施の形態によれば、ガラス基板4が分断される位置を規定するラインとして、その下方にクラックを有しないトレンチラインTL(図4)が形成される。分断の直接のきっかけとして用いられることになるクラックラインCL(図6)は、トレンチラインTLの形成後にそれに沿ってクラックを伸展させることで形成される。これにより、ガラス基板4が分断されることになる位置を、垂直クラックを伴わないラインであるトレンチラインTLによって規定することができる。
図7を参照して、第1の変形例は、アシストラインALとトレンチラインTLとの位置N2での交差ではクラックラインCL(図5)の形成開始のきっかけが十分に得られない場合に関するものである。図8を参照して、ガラス基板4へ、曲げモーメントなどを発生させる外力を加えることで、アシストラインALに沿って厚さ方向DTにおけるクラックが伸展し、その結果、ガラス基板4が分離される。これをきっかけとしてクラックラインCLの形成が開始される。本変形例によれば、トレンチラインTLからクラックラインCLを、より確実に形成することができる。
図9を参照して、第2の変形例においては、ステップS30(図2)にてトレンチラインTLが形成される際に、刃先51はガラス基板4の上面SF1に位置N3に比して位置N2でより大きな力で押し付けられる。具体的には、位置N4を位置N3およびN2の間の位置として、トレンチラインTLの形成が位置N4に至った時点で、刃先51の荷重が低減される。言い換えれば、刃先51の荷重が、位置N3に比して、トレンチラインTLの始端部である位置N1およびN4の間で高められる。これにより、始端部以外での荷重を軽減しつつ、位置N2からのクラックラインCLの形成を誘起されやすくすることができる。
本実施の形態におけるガラス基板4の分断方法について、図10〜図12を用いつつ、以下に説明する。
本実施の形態においては、実施の形態1および2と異なりトレンチラインTLが、刃先51(図1)をガラス基板4の上面SF1上で、方向DAに代わり方向DBに摺動させることによって形成される。具体的には、以下の工程が行われる。
図15を参照して、本実施の形態においては、刃先51の方向DB(図1)への摺動によってトレンチラインTLが形成される際に、刃先51が、ガラス基板4の縁である辺ED1に位置する位置N0を通過する。これにより刃先51は位置N0においてガラス基板4の縁を切り下ろす。これをきっかけとして、図16に示すように、クラックラインCLが位置N0から位置N3へ向かって伸展する。本実施の形態によれば、アシストラインAL(図5)などの形成を特に必要とすることなく、クラックラインCLの形成が開始されるきっかけをガラス基板4へ容易に与えることができる。
上記の諸実施の形態においては、トレンチラインTLの形成における刃先51(図1)の摺動方向が方向DAである場合は、トレンチラインTLが形成された方向と同じ方向にクラックラインCLが形成される。またトレンチラインTLの形成における刃先51(図1)の摺動方向が方向DBである場合は、トレンチラインTLが形成された方向と逆の方向にクラックラインCLが形成される。いずれの場合においても、刃先51の軸方向AXがガラス基板4の上面SF1の法線方向からより傾けられれば、クラックラインCLの伸展方向を、上述したものとは逆にすることができる。すなわち、トレンチラインTLの形成における刃先51(図1)の摺動方向が方向DAである場合に、トレンチラインTLが形成された方向と逆の方向にクラックラインCLが形成され得る。またトレンチラインTLの形成における刃先51(図1)の摺動方向が方向DBである場合は、トレンチラインTLが形成された方向と同じ方向にクラックラインCLが形成され得る。この場合、図1において角度AG2>角度AG1とされることが好ましい。
51 刃先
AL アシストライン
CL クラックライン
SF1 上面(一の面)
TL トレンチライン
PP 突起部
PS 側部
Claims (2)
- a)突起部と前記突起部から延びかつ凸形状を有する側部とを有する刃先を脆性基板の一の面上で、前記突起部から前記側部へ向かう方向に摺動させることによって、前記一の面上に塑性変形を発生させることで、溝形状を有するトレンチラインを形成する工程を備え、前記トレンチラインは、前記トレンチラインの下方において前記脆性基板が前記トレンチラインと交差する方向において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように形成され、さらに
b)前記トレンチラインの少なくとも一部に沿って前記脆性基板のクラックを伸展させることによってクラックラインを形成する工程を備え、前記クラックラインによって前記トレンチラインの下方において前記脆性基板は前記トレンチラインと交差する方向において連続的なつながりが断たれており、さらに
c)前記クラックラインに沿って前記脆性基板を分断する工程を備え、
前記工程a)は、前記工程b)において前記クラックラインが前記トレンチラインに沿って伸展する方向が、前記トレンチラインが形成された方向と同じとなるように行われ、
前記刃先は、互いに隣り合う第1から第3の面と、前記第1から第3の面が合流する頂点と、前記第2および第3の面がなす稜線とを有し、
前記刃先の前記突起部は前記頂点で構成され、前記刃先の前記側部は前記稜線で構成される、
脆性基板の分断方法。 - a)突起部と前記突起部から延びかつ凸形状を有する側部とを有する刃先を脆性基板の一の面上で、前記側部から前記突起部へ向かう方向に摺動させることによって、前記一の面上に塑性変形を発生させることで、溝形状を有するトレンチラインを形成する工程を備え、前記トレンチラインは、前記トレンチラインの下方において前記脆性基板が前記トレンチラインと交差する方向において連続的につながっている状態であるクラックレス状態が得られるように形成され、さらに
b)前記トレンチラインの少なくとも一部に沿って前記脆性基板のクラックを伸展させることによってクラックラインを形成する工程を備え、前記クラックラインによって前記トレンチラインの下方において前記脆性基板は前記トレンチラインと交差する方向において連続的なつながりが断たれており、さらに
c)前記クラックラインに沿って前記脆性基板を分断する工程を備え、
前記工程a)は、前記工程b)において前記クラックラインが前記トレンチラインに沿って伸展する方向が、前記トレンチラインが形成された方向と逆となるように行われ、
前記刃先は、互いに隣り合う第1から第3の面と、前記第1から第3の面が合流する頂点と、前記第2および第3の面がなす稜線とを有し、
前記刃先の前記突起部は前記頂点で構成され、前記刃先の前記側部は前記稜線で構成される、
脆性基板の分断方法。
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