JP6955754B2 - ダイヤモンド刃先および基板分断方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態における基板分断方法を概略的に示すフロー図である。図2、図4、および図6〜図14は、基板分断方法を概略的に示す平面図である。これら平面図においては、図を見やすくするために、トレンチラインが破線で、クラックラインが実線で示されているが、実際のトレンチラインは、破線状ではなく連続的に延びている。図3および図5のそれぞれは、線III−III(図2)および線V−V(図4)に沿う概略的な部分断面図である。
図15は、クラックラインCL2の形成工程において交点飛びの現象が生じた場合のガラス基板11の表面SF1の例を示す。図14の場合と異なり、クラックラインCL2が形成されることが想定されていた箇所の一部においてクラックラインCL2が形成されておらず、トレンチラインTL2のみが形成されている。交点飛びが発生する確率は、後述するように、ダイヤモンド刃先の形状に依存する。
図18は、ステップS10(図1)において準備される刃先としてのダイヤモンド刃先51を有するカッティング器具50を概略的に示す側面図である。図中、ダイヤモンド刃先51がガラス基板11の表面SF1上において方向DAへ摺動する様子が破線で示されている。また図19は、ダイヤモンド刃先51(図18)を矢印XIXの視野で概略的に示す平面図である。カッティング器具50はダイヤモンド刃先51およびシャンク52を有する。ダイヤモンド刃先51は、そのホルダとしてのシャンク52に保持されている。シャンク52は軸方向AXに沿って延在している。ダイヤモンド刃先51は、天面SD1の法線方向が軸方向AXにおおよそ沿うようにシャンク52に取り付けられることが好ましい。
図20は、図19と同じ視野の平面図である。天面SD1は、頂点PPに接する角を有している。この角の角度が天面角度GCである。図21は、図20の線XXI−XXIに沿う概略的な部分断面図であり、その視野は稜線PSに垂直である。この断面においてダイヤモンド刃先51は、稜線PS周りにおいて側面SD2およびSD3によって構成された角を有している。この角の角度が稜線角度GAである。図22は、図20の線XXII−XXIIに沿う概略的な部分断面図であり、その視野は、稜線PSに平行、かつ、天面SD1に垂直である。この断面においてダイヤモンド刃先51は、頂点PP周りにおいて天面SD1および稜線PSによって構成された角を有している。この角の角度が天面稜線間角度GBである。
天面稜線間角度GBが160°以上172°以下であることによって、交点欠けの大きさと、交点飛びの発生頻度とを安定的に抑制することができる。好ましくは、天面稜線間角度GBは165°以上である。これにより、交点欠けの大きさと、交点飛びの発生頻度とを、より確実に抑制することができる。好ましくは、天面稜線間角度GBは171°以下である。これにより、交点欠けの大きさと、交点飛びの発生頻度とを、より確実に抑制することができる。
GB 天面稜線間角度
GC 天面角度
CL1,CL1a〜CL1d,CL2,CL2a〜CL2d クラックライン
SD1 天面
SD2,SD3 側面
SF1 表面
GS 設定角度
PP 頂点
TL1,TL2,TL2a〜TL2d トレンチライン
PS 稜線
11 ガラス基板(脆性基板)
51 ダイヤモンド刃先
Claims (5)
- 160°以上171°以下の天面稜線間角度と、41.4°以上79.1°以下の天面角度と、130°以上148°以下の稜線角度と、を備える、ダイヤモンド刃先。
- 前記天面稜線間角度は165°以上である、請求項1に記載のダイヤモンド刃先。
- 前記天面角度は46.5°以上である、請求項1または2に記載のダイヤモンド刃先。
- 前記天面角度は64.0°以下である、請求項1から3のいずれか1項に記載のダイヤモンド刃先。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載のダイヤモンド刃先を、少なくとも1つの刃先として準備する工程と、
脆性基板上において前記少なくとも1つの刃先のいずれかを摺動させることによって第1のトレンチラインを形成する工程と、
前記第1のトレンチラインを形成した後に、前記第1のトレンチラインに沿った第1のクラックラインを形成する工程と、
前記第1のクラックラインと交差する交差箇所を有する軌道に沿って前記脆性基板上において前記少なくとも1つの刃先のいずれかを摺動させることによって第2のトレンチラインを形成する工程と、
前記交差箇所から前記第2のトレンチラインに沿って第2のクラックラインを形成する工程と、
を備える、基板分断方法。
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