JP6555274B2 - コバルトのダメージを抑制した半導体素子の洗浄液、およびこれを用いた半導体素子の洗浄方法 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 135
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 92
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 title claims description 83
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 title claims description 83
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 83
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 92
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 81
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 81
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 80
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 62
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 57
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 claims description 46
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical group OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 42
- -1 diamine compound Chemical class 0.000 claims description 25
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 235000011118 potassium hydroxide Nutrition 0.000 claims description 19
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 18
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 17
- NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M potassium iodide Chemical compound [K+].[I-] NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 15
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 claims description 12
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 12
- 150000001341 alkaline earth metal compounds Chemical class 0.000 claims description 11
- CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N tert‐butyl hydroperoxide Chemical compound CC(C)(C)OO CIHOLLKRGTVIJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 4H-1,2,4-triazole Chemical compound C=1N=CNN=1 NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L potassium carbonate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C([O-])=O BWHMMNNQKKPAPP-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 10
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M sodium iodide Chemical compound [Na+].[I-] FVAUCKIRQBBSSJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 9
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- SCVFZCLFOSHCOH-UHFFFAOYSA-M potassium acetate Chemical compound [K+].CC([O-])=O SCVFZCLFOSHCOH-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 8
- NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M potassium fluoride Chemical compound [F-].[K+] NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 8
- KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N putrescine Chemical compound NCCCCN KIDHWZJUCRJVML-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- OPKOKAMJFNKNAS-UHFFFAOYSA-N N-methylethanolamine Chemical compound CNCCO OPKOKAMJFNKNAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 7
- 150000001339 alkali metal compounds Chemical class 0.000 claims description 7
- KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N Peracetic acid Chemical compound CC(=O)OO KFSLWBXXFJQRDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 6
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M caesium fluoride Chemical compound [F-].[Cs+] XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- NLSCHDZTHVNDCP-UHFFFAOYSA-N caesium nitrate Chemical compound [Cs+].[O-][N+]([O-])=O NLSCHDZTHVNDCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- FLJPGEWQYJVDPF-UHFFFAOYSA-L caesium sulfate Chemical compound [Cs+].[Cs+].[O-]S([O-])(=O)=O FLJPGEWQYJVDPF-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 6
- AMXOYNBUYSYVKV-UHFFFAOYSA-M lithium bromide Chemical compound [Li+].[Br-] AMXOYNBUYSYVKV-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M lithium chloride Chemical compound [Li+].[Cl-] KWGKDLIKAYFUFQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- HSZCZNFXUDYRKD-UHFFFAOYSA-M lithium iodide Chemical compound [Li+].[I-] HSZCZNFXUDYRKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- IIPYXGDZVMZOAP-UHFFFAOYSA-N lithium nitrate Chemical compound [Li+].[O-][N+]([O-])=O IIPYXGDZVMZOAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- JHJLBTNAGRQEKS-UHFFFAOYSA-M sodium bromide Chemical compound [Na+].[Br-] JHJLBTNAGRQEKS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M sodium fluoride Chemical compound [F-].[Na+] PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 claims description 6
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Chemical compound [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- XFNJVJPLKCPIBV-UHFFFAOYSA-N trimethylenediamine Chemical compound NCCCN XFNJVJPLKCPIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- NHQDETIJWKXCTC-UHFFFAOYSA-N 3-chloroperbenzoic acid Chemical compound OOC(=O)C1=CC=CC(Cl)=C1 NHQDETIJWKXCTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L caesium carbonate Chemical compound [Cs+].[Cs+].[O-]C([O-])=O FJDQFPXHSGXQBY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- 229910000024 caesium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 5
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 5
- LULAYUGMBFYYEX-UHFFFAOYSA-N metachloroperbenzoic acid Natural products OC(=O)C1=CC=CC(Cl)=C1 LULAYUGMBFYYEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910000027 potassium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 235000011181 potassium carbonates Nutrition 0.000 claims description 5
- 239000004323 potassium nitrate Substances 0.000 claims description 5
- 235000010333 potassium nitrate Nutrition 0.000 claims description 5
- HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 1-aminopropan-2-ol Chemical compound CC(O)CN HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- MCTWTZJPVLRJOU-UHFFFAOYSA-N 1-methyl-1H-imidazole Chemical compound CN1C=CN=C1 MCTWTZJPVLRJOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- LRUDIIUSNGCQKF-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-1H-benzotriazole Chemical compound C1=C(C)C=CC2=NNN=C21 LRUDIIUSNGCQKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical compound C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000001553 barium compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 229940043430 calcium compound Drugs 0.000 claims description 4
- 150000001674 calcium compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 235000011056 potassium acetate Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 claims description 4
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 claims description 4
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011698 potassium fluoride Substances 0.000 claims description 4
- 235000003270 potassium fluoride Nutrition 0.000 claims description 4
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- OTYBMLCTZGSZBG-UHFFFAOYSA-L potassium sulfate Chemical compound [K+].[K+].[O-]S([O-])(=O)=O OTYBMLCTZGSZBG-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 229910052939 potassium sulfate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 235000011151 potassium sulphates Nutrition 0.000 claims description 4
- AOHJOMMDDJHIJH-UHFFFAOYSA-N propylenediamine Chemical compound CC(N)CN AOHJOMMDDJHIJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000003438 strontium compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- OSSNTDFYBPYIEC-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylimidazole Chemical compound C=CN1C=CN=C1 OSSNTDFYBPYIEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 1H-1,2,3-Triazole Chemical compound C=1C=NNN=1 QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- MFGOFGRYDNHJTA-UHFFFAOYSA-N 2-amino-1-(2-fluorophenyl)ethanol Chemical compound NCC(O)C1=CC=CC=C1F MFGOFGRYDNHJTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- WFUGQJXVXHBTEM-UHFFFAOYSA-N 2-hydroperoxy-2-(2-hydroperoxybutan-2-ylperoxy)butane Chemical compound CCC(C)(OO)OOC(C)(CC)OO WFUGQJXVXHBTEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethyl-1h-pyrazole Chemical compound CC=1C=C(C)NN=1 SDXAWLJRERMRKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dimethoxyphenyl)prop-2-enal Chemical compound COC1=CC=CC(C=CC=O)=C1OC FRIBMENBGGCKPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RWXZXCZBMQPOBF-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-1H-benzimidazole Chemical compound CC1=CC=C2N=CNC2=C1 RWXZXCZBMQPOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 claims description 3
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- WUGQZFFCHPXWKQ-UHFFFAOYSA-N Propanolamine Chemical compound NCCCO WUGQZFFCHPXWKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M Sodium acetate Chemical compound [Na+].CC([O-])=O VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M Sodium bicarbonate-14C Chemical compound [Na+].O[14C]([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M 0.000 claims description 3
- 239000000011 acetone peroxide Substances 0.000 claims description 3
- 235000019401 acetone peroxide Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 claims description 3
- ZOAIGCHJWKDIPJ-UHFFFAOYSA-M caesium acetate Chemical compound [Cs+].CC([O-])=O ZOAIGCHJWKDIPJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- ZMCUDHNSHCRDBT-UHFFFAOYSA-M caesium bicarbonate Chemical compound [Cs+].OC([O-])=O ZMCUDHNSHCRDBT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- LYQFWZFBNBDLEO-UHFFFAOYSA-M caesium bromide Chemical compound [Br-].[Cs+] LYQFWZFBNBDLEO-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- AIYUHDOJVYHVIT-UHFFFAOYSA-M caesium chloride Chemical compound [Cl-].[Cs+] AIYUHDOJVYHVIT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- HUCVOHYBFXVBRW-UHFFFAOYSA-M caesium hydroxide Inorganic materials [OH-].[Cs+] HUCVOHYBFXVBRW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- XQPRBTXUXXVTKB-UHFFFAOYSA-M caesium iodide Chemical compound [I-].[Cs+] XQPRBTXUXXVTKB-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 3
- LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N di-tert-butyl peroxide Chemical compound CC(C)(C)OOC(C)(C)C LSXWFXONGKSEMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XIXADJRWDQXREU-UHFFFAOYSA-M lithium acetate Chemical compound [Li+].CC([O-])=O XIXADJRWDQXREU-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- 229910000032 lithium hydrogen carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- INHCSSUBVCNVSK-UHFFFAOYSA-L lithium sulfate Inorganic materials [Li+].[Li+].[O-]S([O-])(=O)=O INHCSSUBVCNVSK-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- HQRPHMAXFVUBJX-UHFFFAOYSA-M lithium;hydrogen carbonate Chemical compound [Li+].OC([O-])=O HQRPHMAXFVUBJX-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 claims description 3
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000001632 sodium acetate Substances 0.000 claims description 3
- 235000017281 sodium acetate Nutrition 0.000 claims description 3
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 235000017550 sodium carbonate Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 claims description 3
- 235000002639 sodium chloride Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000011775 sodium fluoride Substances 0.000 claims description 3
- 235000013024 sodium fluoride Nutrition 0.000 claims description 3
- 235000009518 sodium iodide Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000004317 sodium nitrate Substances 0.000 claims description 3
- 235000010344 sodium nitrate Nutrition 0.000 claims description 3
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 claims description 3
- RBTVSNLYYIMMKS-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 3-aminoazetidine-1-carboxylate;hydrochloride Chemical compound Cl.CC(C)(C)OC(=O)N1CC(N)C1 RBTVSNLYYIMMKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- AQLJVWUFPCUVLO-UHFFFAOYSA-N urea hydrogen peroxide Chemical compound OO.NC(N)=O AQLJVWUFPCUVLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000004836 hexamethylene group Chemical group [H]C([H])([*:2])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[*:1] 0.000 claims description 2
- 235000019645 odor Nutrition 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 83
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 26
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 24
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 21
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 16
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 16
- IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N barium nitrate Chemical compound [Ba+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O IWOUKMZUPDVPGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 8
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 7
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M potassium bromide Chemical compound [K+].[Br-] IOLCXVTUBQKXJR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 5
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 241000282320 Panthera leo Species 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000005536 corrosion prevention Methods 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- FMCUPJKTGNBGEC-UHFFFAOYSA-N 1,2,4-triazol-4-amine Chemical compound NN1C=NN=C1 FMCUPJKTGNBGEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 1-Hydroxybenzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N(O)N=NC2=C1 ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 2h-tetrazol-5-amine Chemical compound NC1=NN=NN1 ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 150000001412 amines Chemical group 0.000 description 3
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 3
- WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L barium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ba+2] WDIHJSXYQDMJHN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229910001626 barium chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- RQPZNWPYLFFXCP-UHFFFAOYSA-L barium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ba+2] RQPZNWPYLFFXCP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 229910001863 barium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 3
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 3
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N hydroxyformaldehyde Chemical compound O[14CH]=O BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 3
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 3
- 125000001453 quaternary ammonium group Chemical group 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000018 strontium carbonate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 2
- NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethylhex-1-yn-3-ol Chemical compound CC(C)CC(C)(O)C#C NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000004343 Calcium peroxide Substances 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical group [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZJRXSAYFZMGQFP-UHFFFAOYSA-N barium peroxide Chemical compound [Ba+2].[O-][O-] ZJRXSAYFZMGQFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZCCIPPOKBCJFDN-UHFFFAOYSA-N calcium nitrate Chemical compound [Ca+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ZCCIPPOKBCJFDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LHJQIRIGXXHNLA-UHFFFAOYSA-N calcium peroxide Chemical compound [Ca+2].[O-][O-] LHJQIRIGXXHNLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000019402 calcium peroxide Nutrition 0.000 description 2
- OSGAYBCDTDRGGQ-UHFFFAOYSA-L calcium sulfate Chemical compound [Ca+2].[O-]S([O-])(=O)=O OSGAYBCDTDRGGQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- JZCCFEFSEZPSOG-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate pentahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.[Cu+2].[O-]S([O-])(=O)=O JZCCFEFSEZPSOG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 2
- XXQBEVHPUKOQEO-UHFFFAOYSA-N potassium superoxide Chemical compound [K+].[K+].[O-][O-] XXQBEVHPUKOQEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- DHEQXMRUPNDRPG-UHFFFAOYSA-N strontium nitrate Chemical compound [Sr+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O DHEQXMRUPNDRPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UHCGLDSRFKGERO-UHFFFAOYSA-N strontium peroxide Chemical compound [Sr+2].[O-][O-] UHCGLDSRFKGERO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UBXAKNTVXQMEAG-UHFFFAOYSA-L strontium sulfate Chemical compound [Sr+2].[O-]S([O-])(=O)=O UBXAKNTVXQMEAG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MAKDTFFYCIMFQP-UHFFFAOYSA-N titanium tungsten Chemical compound [Ti].[W] MAKDTFFYCIMFQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LXOFYPKXCSULTL-UHFFFAOYSA-N 2,4,7,9-tetramethyldec-5-yne-4,7-diol Chemical compound CC(C)CC(C)(O)C#CC(C)(O)CC(C)C LXOFYPKXCSULTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M Bicarbonate Chemical compound OC([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L Calcium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ca+2] UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- UNMYWSMUMWPJLR-UHFFFAOYSA-L Calcium iodide Chemical compound [Ca+2].[I-].[I-] UNMYWSMUMWPJLR-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 244000132059 Carica parviflora Species 0.000 description 1
- 235000014653 Carica parviflora Nutrition 0.000 description 1
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 1
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N Diethylenetriamine Chemical compound NCCNCCN RPNUMPOLZDHAAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SPAGIJMPHSUYSE-UHFFFAOYSA-N Magnesium peroxide Chemical compound [Mg+2].[O-][O-] SPAGIJMPHSUYSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPJYFACXEHYLFS-UHFFFAOYSA-N [B].[W].[Co] Chemical compound [B].[W].[Co] CPJYFACXEHYLFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEBFYWHXKVOHDI-UHFFFAOYSA-N [Co].[P][W] Chemical compound [Co].[P][W] FEBFYWHXKVOHDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDVUYXNQWZQBBN-UHFFFAOYSA-N [Co].[Zr].[Nb] Chemical compound [Co].[Zr].[Nb] BDVUYXNQWZQBBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WAIPAZQMEIHHTJ-UHFFFAOYSA-N [Cr].[Co] Chemical compound [Cr].[Co] WAIPAZQMEIHHTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MTHLBYMFGWSRME-UHFFFAOYSA-N [Cr].[Co].[Mo] Chemical compound [Cr].[Co].[Mo] MTHLBYMFGWSRME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co].[Ni] Chemical compound [Fe].[Co].[Ni] KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHZDPHLNZSQJMO-UHFFFAOYSA-N [Na].CCCCCCCCCCCCN(CC(N)N)CC(O)=O Chemical compound [Na].CCCCCCCCCCCCN(CC(N)N)CC(O)=O MHZDPHLNZSQJMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SFDZPIDEIFZWQV-UHFFFAOYSA-N acetic acid;barium Chemical compound [Ba].CC(O)=O SFDZPIDEIFZWQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- BLJNPOIVYYWHMA-UHFFFAOYSA-N alumane;cobalt Chemical compound [AlH3].[Co] BLJNPOIVYYWHMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001413 amino acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000005441 aurora Substances 0.000 description 1
- NKQIMNKPSDEDMO-UHFFFAOYSA-L barium bromide Chemical compound [Br-].[Br-].[Ba+2] NKQIMNKPSDEDMO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001620 barium bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- SGUXGJPBTNFBAD-UHFFFAOYSA-L barium iodide Chemical compound [I-].[I-].[Ba+2] SGUXGJPBTNFBAD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001638 barium iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940075444 barium iodide Drugs 0.000 description 1
- CJDPJFRMHVXWPT-UHFFFAOYSA-N barium sulfide Chemical compound [S-2].[Ba+2] CJDPJFRMHVXWPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARSLNKYOPNUFFY-UHFFFAOYSA-L barium sulfite Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])=O ARSLNKYOPNUFFY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- UCVMQZHZWWEPRC-UHFFFAOYSA-L barium(2+);hydrogen carbonate Chemical compound [Ba+2].OC([O-])=O.OC([O-])=O UCVMQZHZWWEPRC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L barium(2+);oxomethanediolate Chemical compound [Ba+2].[O-][14C]([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001573 beryllium compounds Chemical class 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- NZUYJPMKCSBVLS-UHFFFAOYSA-N cadmium;hydrogen peroxide Chemical compound [Cd].OO NZUYJPMKCSBVLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- VSGNNIFQASZAOI-UHFFFAOYSA-L calcium acetate Chemical compound [Ca+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O VSGNNIFQASZAOI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001639 calcium acetate Substances 0.000 description 1
- 235000011092 calcium acetate Nutrition 0.000 description 1
- 229960005147 calcium acetate Drugs 0.000 description 1
- NKWPZUCBCARRDP-UHFFFAOYSA-L calcium bicarbonate Chemical compound [Ca+2].OC([O-])=O.OC([O-])=O NKWPZUCBCARRDP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000020 calcium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001622 calcium bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001110 calcium chloride Substances 0.000 description 1
- 229910001628 calcium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- WGEFECGEFUFIQW-UHFFFAOYSA-L calcium dibromide Chemical compound [Ca+2].[Br-].[Br-] WGEFECGEFUFIQW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001640 calcium iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940046413 calcium iodide Drugs 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JGIATAMCQXIDNZ-UHFFFAOYSA-N calcium sulfide Chemical compound [Ca]=S JGIATAMCQXIDNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GBAOBIBJACZTNA-UHFFFAOYSA-L calcium sulfite Chemical compound [Ca+2].[O-]S([O-])=O GBAOBIBJACZTNA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 235000010261 calcium sulphite Nutrition 0.000 description 1
- QNEFNFIKZWUAEQ-UHFFFAOYSA-N carbonic acid;potassium Chemical compound [K].OC(O)=O QNEFNFIKZWUAEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOWHHFRSBJGXCM-UHFFFAOYSA-M cetyltrimethylammonium chloride Chemical compound [Cl-].CCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)C WOWHHFRSBJGXCM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N cobalt iron Chemical compound [Fe].[Co].[Co] FQMNUIZEFUVPNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCGPOBCYAOYSD-UHFFFAOYSA-N cobalt palladium Chemical compound [Co].[Co].[Co].[Pd].[Pd] OQCGPOBCYAOYSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNSIWZRTNZEWMS-UHFFFAOYSA-N cobalt titanium Chemical compound [Ti].[Co] NNSIWZRTNZEWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 150000004693 imidazolium salts Chemical class 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- HPGPEWYJWRWDTP-UHFFFAOYSA-N lithium peroxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-][O-] HPGPEWYJWRWDTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 150000002681 magnesium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229960004995 magnesium peroxide Drugs 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- TWLXDPFBEPBAQB-UHFFFAOYSA-N orthoperiodic acid Chemical compound OI(O)(O)(O)(O)=O TWLXDPFBEPBAQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 150000003217 pyrazoles Chemical class 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-O pyridinium Chemical compound C1=CC=[NH+]C=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003298 rubidium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- PFUVRDFDKPNGAV-UHFFFAOYSA-N sodium peroxide Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][O-] PFUVRDFDKPNGAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJPVTCSBVRMESK-UHFFFAOYSA-L strontium bromide Chemical compound [Br-].[Br-].[Sr+2] YJPVTCSBVRMESK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001625 strontium bromide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940074155 strontium bromide Drugs 0.000 description 1
- 229910001631 strontium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- AHBGXTDRMVNFER-UHFFFAOYSA-L strontium dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Sr+2] AHBGXTDRMVNFER-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- UUCCCPNEFXQJEL-UHFFFAOYSA-L strontium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Sr+2] UUCCCPNEFXQJEL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- FVRNDBHWWSPNOM-UHFFFAOYSA-L strontium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Sr+2] FVRNDBHWWSPNOM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001637 strontium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001866 strontium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- KRIJWFBRWPCESA-UHFFFAOYSA-L strontium iodide Chemical compound [Sr+2].[I-].[I-] KRIJWFBRWPCESA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001643 strontium iodide Inorganic materials 0.000 description 1
- WJMMDJOFTZAHHS-UHFFFAOYSA-L strontium;carbonic acid;carbonate Chemical compound [Sr+2].OC([O-])=O.OC([O-])=O WJMMDJOFTZAHHS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- RXSHXLOMRZJCLB-UHFFFAOYSA-L strontium;diacetate Chemical compound [Sr+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O RXSHXLOMRZJCLB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZEGFMFQPWDMMEP-UHFFFAOYSA-N strontium;sulfide Chemical compound [S-2].[Sr+2] ZEGFMFQPWDMMEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VTBSJEPGLHXIIS-UHFFFAOYSA-L strontium;sulfite Chemical compound [Sr+2].[O-]S([O-])=O VTBSJEPGLHXIIS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021341 titanium silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- 125000001889 triflyl group Chemical group FC(F)(F)S(*)(=O)=O 0.000 description 1
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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- C11D3/16—Organic compounds
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- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
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- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
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- C11D7/04—Water-soluble compounds
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- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
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- C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
- C11D7/22—Organic compounds
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更に、本発明の別の目的は、半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルトまたはコバルト合金およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する洗浄液、およびそれを用いた洗浄方法を提供することである。
<1> 低誘電率膜(Low−k膜)と、(1)コバルトまたはコバルト合金を含む材料、あるいは(2)コバルトまたはコバルト合金およびタングステンを含む材料とを有する半導体素子の表面のドライエッチング残渣を除去する洗浄液であって、アルカリ金属化合物0.001〜7質量%、過酸化物0.005〜35質量%、防食剤0.005〜10質量%、アルカリ土類金属化合物0.000001〜1質量%および水を含む、前記洗浄液である。
<2> 前記アルカリ金属化合物が、水酸化リチウム、硫酸リチウム、炭酸リチウム、炭酸水素リチウム、硝酸リチウム、フッ化リチウム、塩化リチウム、臭化リチウム、ヨウ化リチウム、酢酸リチウム、水酸化ナトリウム、硫酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硝酸ナトリウム、フッ化ナトリウム、塩化ナトリウム、臭化ナトリウム、ヨウ化ナトリウム、酢酸ナトリウム、水酸化カリウム、硫酸カリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、硝酸カリウム、フッ化カリウム、塩化カリウム、臭化カリウム、ヨウ化カリウム、酢酸カリウム、水酸化セシウム、硫酸セシウム、炭酸セシウム、炭酸水素セシウム、硝酸セシウム、フッ化セシウム、塩化セシウム、臭化セシウム、ヨウ化セシウム、および酢酸セシウムからなる群より選択される少なくとも1種以上である上記<1>に記載の洗浄液である。
<3> 前記過酸化物が、過酸化水素、過酸化尿素、メタクロロ過安息香酸、tert−ブチルヒドロペルオキシド、過酢酸、ジ−tert−ブチルペルオキシド、過酸化ベンゾイル、過酸化アセトン、メチルエチルケトンペルオキシド、ヘキサメチレントリペルオキシド、およびクメンヒドロペルオキシドからなる群より選択される少なくとも1種以上である上記<1>または<2>に記載の洗浄液である。
<4> 前記防食剤が、ジアミン化合物、アルカノールアミン化合物、ピラゾール化合物、イミダゾール化合物、およびトリアゾール化合物からなる群より選択される少なくとも1種以上である上記<1>から<3>のいずれかに記載の洗浄液である。
<5> 前記ジアミン化合物が、1,2−プロパンジアミン、1,3−プロパンジアミン、および1,4−ブタンジアミンからなる群より選択される少なくとも1種以上である上記<4>に記載の洗浄液である。
<6> 前記アルカノールアミン化合物が、2−アミノエタノール、2−メチルアミノエタノール、1−アミノ−2−プロパノール、および1−アミノ−3−プロパノールからなる群より選択される少なくとも1種以上である上記<4>に記載の洗浄液である。
<7> 前記ピラゾール化合物が、ピラゾール、および3,5−ジメチルピラゾールからなる群より選択される少なくとも1種以上である上記<4>に記載の洗浄液である。
<8> 前記イミダゾール化合物が、1−メチルイミダゾール、1−ビニルイミダゾール、および5―メチルベンゾイミダゾールからなる群より選択される少なくとも1種以上である上記<4>に記載の洗浄液である。
<9> 前記トリアゾール化合物が、1,2,4−トリアゾール、1,2,3−トリアゾール、および5−メチル−1H−ベンゾトリアゾールからなる群より選択される少なくとも1種以上である上記<4>に記載の洗浄液である。
<10> 前記アルカリ土類金属化合物が、カルシウム化合物、ストロンチウム化合物、およびバリウム化合物からなる群より選択される少なくとも1種以上である上記<1>から<9>のいずれかに記載の洗浄液である。
<11> 低誘電率膜(Low−k膜)と、(1)コバルトまたはコバルト合金を含む材料、あるいは(2)コバルトまたはコバルト合金およびタングステンを含む材料とを有する基板上に、ハードマスクパターンを形成し、次いでこのハードマスクパターンをマスクとして、前記低誘電率膜(Low−k膜)にドライエッチング処理を施した半導体素子を洗浄して、該半導体素子の表面のドライエッチング残渣を除去する洗浄方法であって、上記<1>から<10>のいずれかに記載の洗浄液を用いることを特徴とする、前記洗浄方法である。
これらの中でも、水酸化リチウム、炭酸リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、硫酸カリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、硝酸カリウム、フッ化カリウム、塩化カリウム、臭化カリウム、ヨウ化カリウム、酢酸カリウム、および炭酸セシウムがより好ましい。
これらのアルカリ金属は、単独または2種類以上を組み合わせて配合できる。
これらの中でも、1,2−プロパンジアミン、1,4−ブタンジアミン、2−アミノエタノール、1−アミノ−2−プロパノール、ピラゾール、1−メチルイミダゾール、1,2,4−トリアゾール、および5−メチル−1H−ベンゾトリアゾールがより好ましい。
これらの防食剤は、単独または2種類以上を組み合わせて配合できる。
これらの中でも、水酸化カルシウム、炭酸ストロンチウム、水酸化バリウム、硝酸バリウム、硫酸バリウム、炭酸バリウム、炭酸水素バリウム、および塩化バリウムがより好ましく、水酸化バリウム、硝酸バリウム、および塩化バリウムが特に好ましい。
これらのアルカリ土類金属化合物は、単独または2種類以上を組み合わせて配合できる。
本発明者らは、洗浄液に含まれるアルカリ土類金属化合物が、タングステンを含む材料に対して防食効果を示すことを初めて見出した。そのメカニズムは明らかになっていないが、アルカリ土類金属化合物がタングステンの表面に吸着し、洗浄液に含まれる過酸化水素などの過酸化物やアルカリがタングステンを侵食するのを防いでいると考えられる。
本発明の洗浄液を使用する時間は0.2〜60分の範囲であり、エッチングの条件や使用される半導体素子により適宜選択すればよい。本発明の洗浄液を使用した後のリンス液としては、アルコールのような有機溶剤を使用することもできるが、水でリンスするだけでも十分である。
一般的なバリアメタルとして、タンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、ルテニウム、マンガン、マグネシウムならびにこれらの酸化物が使用される。バリアメタルはこれらに限定されるものではない。
本発明の洗浄液が適用される半導体素子に含まれるハードマスクとしては、好ましくは10原子%以上のチタンを含む材料である。そのチタンの原子組成百分率は、好ましくは15原子%以上であり、より好ましくは20原子%以上であり、さらに好ましくは25原子%以上であり、特に好ましくは30原子%以上である。チタン系の材料の具体例は、酸化チタン、窒化チタン、チタン、チタンシリサイドなどであり、好ましくは酸化チタン、窒化チタン、およびチタンである。これらの材料は2種類以上を積層して使用することもできる。ハードマスクはこれらに限定されるものではない。
本発明において、チタンの含有量は、X線光電子分光法(XPS)のイオンスパッタ法により、対象となるチタンを含む材料のチタン原子の構成比を測定することにより調べることができる。チタンを含む材料の表面近傍は酸化されることで酸素原子の構成比が材料の内部よりも高くなる場合がある。そのため、チタンと酸素の原子の構成比が一定となるまで、イオンスパッタによりチタンを含む材料の表面をエッチングし、イオンスパッタにより露出したチタンを含む材料の内部のチタン原子の構成比を測定することができる。測定装置としては、完全自動XPS分析装置K−Alpha(サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社製)を用いることができる。
本発明において、タングステンの含有量は、前述のようにXPSのイオンスパッタ法により、対象となるタングステンを含む材料のタングステン原子の構成比を測定することにより調べることができる。測定装置としては、完全自動XPS分析装置K−Alpha(サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社製)を用いることができる。
測定機器:株式会社日立ハイテクノロジーズ社製、超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡SU9000を用い、倍率10万倍で観察した。
判定:
I. ドライエッチング残渣の除去状態
E:ドライエッチング残渣が完全に除去された。
P:ドライエッチング残渣の除去が不十分であった。
E判定を合格とした。
II. タングステンを含む材料のダメージ
E:洗浄前と比べてタングステンを含む材料に変化が見られなかった。
G:タングステンを含む材料の表面に少し荒れが見られた。
P:タングステンを含む材料に大きな穴が見られた。
EとG判定を合格とした。
III. コバルトのダメージ
E:洗浄前と比べてコバルトに変化が見られなかった。
P:洗浄前と比べてコバルトに変化が見られた。
E判定を合格とした。
IV. Low−k膜のダメージ
E:洗浄前と比べてLow−k膜に変化が見られなかった。
G:Low−k膜がわずかにくぼんでいた。
P:Low−k膜が大きくくぼんでいた。
EとG判定を合格とした。
V. ハードマスクのダメージ
E:洗浄前と比べてハードマスクに変化が見られなかった。
P:ハードマスクに剥がれまたは形状の変化が見られた。
E判定を合格とした。
試験には、図1および図2に示す層を有する半導体素子を使用した。ドライエッチング残渣1を除去するため、表1に記した洗浄液に表2に示した温度、時間で半導体素子を浸漬し、その後、超純水によるリンス、乾燥窒素ガス噴射による乾燥を行った。洗浄後の半導体素子をSEMで観察することにより、ドライエッチング残渣1の除去状態と、タングステンを含む材料3、コバルト4、Low−k膜2、およびハードマスク6のダメージを判断した。試験に使用したハードマスク6は酸化チタンであり、30原子%のチタンを含んでいた。また、試験に使用したタングステンを含む材料は酸化タングステンであり、40原子%のタングステンを含んでいた。
なお、チタンとタングステンの含有量は、上述した通り、X線光電子分光法(XPS)のイオンスパッタ法により測定した。いずれも測定装置としては、完全自動XPS分析装置K−Alpha(サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社製)を用いた。
過酸化水素6質量%、1,2,4−トリアゾール1質量%、硝酸バリウム0.001質量%、および水92.999質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2A)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、洗浄条件と評価結果を表4に示した。ドライエッチング残渣1は除去できなかった。Low−k膜2、ハードマスク6およびタングステンを含む材料3のダメージは防いだものの、コバルト4にダメージが見られた。よって、2Aの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルトまたはコバルト合金を含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.6質量%、1,2,4−トリアゾール1質量%、硝酸バリウム0.001質量%、および水98.399質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2B)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去できなかった。Low−k膜2、ハードマスク6およびタングステンを含む材料3のダメージは防いだものの、コバルト4にダメージが見られた。よって、2Bの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルトまたはコバルト合金を含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.6質量%、過酸化水素6質量%、硝酸バリウム0.001質量%、および水93.399質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2C)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去でき、またLow−k膜2、ハードマスク6およびタングステンを含む材料3のダメージは防いだ。しかし、コバルト4にダメージが見られた。よって、2Cの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルトまたはコバルト合金を含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.6質量%、過酸化水素6質量%、1,2,4−トリアゾール1質量%、および水92.4質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2D)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去でき、またLow−k膜2とコバルト4のダメージは防いだ。しかし、タングステンを含む材料3とハードマスク6にダメージが見られた。よって、2Dの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.01質量%、過酸化水素0.01質量%、1,2,4−トリアゾール1質量%、および水98.98質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2E)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去でき、Low−k膜2およびコバルト4のダメージは防いだ。しかし、タングステンを含む材料3およびハードマスク6にダメージが見られた。よって、2Eの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.6質量%、過酸化水素6質量%、ベンゾトリアゾール0.1質量%、ポリエチレンイミン(分子量1800)0.01質量%、および水93.29質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2F)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去でき、Low−k膜2のダメージは防いだ。しかし、タングステンを含む材料3、コバルト4およびハードマスク6にダメージが見られた。よって、2Fの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.6質量%、過酸化水素6質量%、5−アミノ−1H−テトラゾール0.1質量%、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール0.1質量%、4−アミノ−1,2,4−トリアゾール0.01質量%、および水93.19質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2G)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去でき、Low−k膜2のダメージは防いだ。しかし、タングステンを含む材料3、コバルト4およびハードマスク6にダメージが見られた。よって、2Gの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.6質量%、過酸化水素6質量%、ベンゾトリアゾール0.102質量%、硫酸銅5水和物0.125質量%、4−アミノ−1,2,4−トリアゾール0.01質量%、および水93.163質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2H)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去でき、Low−k膜2のダメージは防いだ。しかし、タングステンを含む材料3、コバルト4およびハードマスク6にダメージが見られた。よって、2Hの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.6質量%、過酸化水素6質量%、ベンゾトリアゾール0.1質量%、エソカードO/12[オレイルビス(2−ヒドロキシエチル)メチルアンモニウム−ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド](ライオン株式会社製)0.001質量%、および水93.299質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2I)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去でき、Low−k膜2のダメージは防いだ。しかし、タングステンを含む材料3、コバルト4およびハードマスク6にダメージが見られた。よって、2Iの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.6質量%、過酸化水素6質量%、5−アミノ−1H−テトラゾール0.1質量%、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール0.1質量%、エソカードO/12[オレイルビス(2−ヒドロキシエチル)メチルアンモニウム−ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド](ライオン株式会社製)0.001質量%、および水93.199質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2J)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去でき、Low−k膜2のダメージは防いだ。しかし、タングステンを含む材料3、コバルト4およびハードマスク6にダメージが見られた。よって、2Jの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム0.6質量%、過酸化水素6質量%、ベンゾトリアゾール0.102質量%、硫酸銅5水和物0.125質量%、エソカードO/12[オレイルビス(2−ヒドロキシエチル)メチルアンモニウム−ビス(トリフルオロメタンスルホニル)イミド](ライオン株式会社製)0.001質量%、および水93.172質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2K)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去でき、Low−k膜2のダメージは防いだ。しかし、タングステンを含む材料3、コバルト4およびハードマスク6にダメージが見られた。よって、2Kの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
リン酸1.35質量%、塩酸1質量%、水酸化テトラメチルアンモニウム5質量%、ラウリルジアミノエチルグリシンナトリウム0.01質量%、および水92.64質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2L)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去できなかった。Low−k膜2、ハードマスク6およびタングステンを含む材料3のダメージは防いだものの、コバルト4にダメージが見られた。よって、2Lの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルトまたはコバルト合金を含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化テトラメチルアンモニウム12質量%、過酸化水素5質量%、水酸化カリウム2質量%、トリエタノールアミン35質量%、および水46質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2M)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ドライエッチング残渣1は除去できなかった。Low−k膜2、ハードマスク6およびコバルト4のダメージは防いだものの、タングステンを含む材料3にダメージが見られた。よって、2Mの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム2.6質量%、過酸化水素0.9質量%、オルト過ヨウ素酸2質量%、エチレンジアミン0.03質量%、ジエチレントリアミン0.01質量%、サーフィノール465[2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオールに65mol%のエチレンオキシドが付加した組成物](エアープロダクツジャパン株式会社製)0.02質量%、セチルトリメチルアンモニウムクロリド0.02質量%、N−メチルピロリドン10質量%、および水84.42質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2N)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。Low−k膜2、ハードマスク6およびコバルト4のダメージは防いだものの、ドライエッチング残渣1は除去できず、タングステンを含む材料3にダメージが見られた。よって、2Nの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
ベンゾトリアゾール0.1質量%、1,2,4−トリアゾール0.1質量%、フッ化アンモニウム5質量%、ホウ酸1質量%、および水93.8質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2O)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ハードマスク6、タングステンを含む材料3およびコバルト4のダメージは防いだものの、ドライエッチング残渣1は除去できず、Low−k膜2にダメージが見られた。よって、2Oの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
水酸化カリウム1.2質量%、水酸化テトラメチルアンモニウム16.5質量%、グリセリン30質量%、過酸化水素0.009質量%、および水 52.291質量%を含む洗浄液(表3、洗浄液2P)で図1および図2に示す層を有する半導体素子を洗浄し、表4に洗浄条件と評価結果を示した。ハードマスク6、タングステンを含む材料3およびコバルト4のダメージは防いだものの、ドライエッチング残渣1は除去できず、Low−k膜2にダメージが見られた。よって、2Pの洗浄液は、本発明の対象である半導体素子の製造工程において、少なくとも、Low−k膜と、コバルト(またはコバルト合金)およびタングステンを含む材料とのダメージを抑制し、被処理物の表面のドライエッチング残渣を除去する目的には使用できないことがわかる。
K2CO3:炭酸カリウム
KNO3:硝酸カリウム
Li2CO3:炭酸リチウム
LiOH:水酸化リチウム
NaOH:水酸化ナトリウム
Cs2CO3:炭酸セシウム
mCPBA:メタクロロ過安息香酸
TBHP:tert−ブチルヒドロペルオキシド
1,2,4−TAZ:1、2、4−トリアゾール
Ba(NO3)2:硝酸バリウム
Ca(OH)2:水酸化カルシウム
SrCO3:炭酸ストロンチウム
BaSO4:硫酸バリウム
ダメージII:タングステンを含む材料3のダメージ
ダメージIII:コバルト4のダメージ
ダメージIV:Low−k膜2のダメージ
ダメージV:ハードマスク6のダメージ
サーフィノール465;[2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオールに65mol%のエチレンオキシドが付加した組成物](エアープロダクツジャパン株式会社製)
ダメージII:タングステンを含む材料3のダメージ
ダメージIII:コバルト4のダメージ
ダメージIV:Low−k膜2のダメージ
ダメージV:ハードマスク6のダメージ
2:Low−k膜
3:タングステンを含む材料
4:コバルト
5:バリア絶縁膜
6:ハードマスク
7:バリアメタル
8:銅
Claims (11)
- 低誘電率膜(Low−k膜)と、(1)コバルトまたはコバルト合金を含む材料、あるいは(2)コバルトまたはコバルト合金およびタングステンを含む材料とを有する半導体素子の表面のドライエッチング残渣を除去する洗浄液であって、アルカリ金属化合物0.001〜7質量%、過酸化物0.005〜35質量%、防食剤0.005〜10質量%、アルカリ土類金属化合物0.000001〜1質量%および水を含む、前記洗浄液。
- 前記アルカリ金属化合物が、水酸化リチウム、硫酸リチウム、炭酸リチウム、炭酸水素リチウム、硝酸リチウム、フッ化リチウム、塩化リチウム、臭化リチウム、ヨウ化リチウム、酢酸リチウム、水酸化ナトリウム、硫酸ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、硝酸ナトリウム、フッ化ナトリウム、塩化ナトリウム、臭化ナトリウム、ヨウ化ナトリウム、酢酸ナトリウム、水酸化カリウム、硫酸カリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、硝酸カリウム、フッ化カリウム、塩化カリウム、臭化カリウム、ヨウ化カリウム、酢酸カリウム、水酸化セシウム、硫酸セシウム、炭酸セシウム、炭酸水素セシウム、硝酸セシウム、フッ化セシウム、塩化セシウム、臭化セシウム、ヨウ化セシウム、および酢酸セシウムからなる群より選択される少なくとも1種以上である請求項1に記載の洗浄液。
- 前記過酸化物が、過酸化水素、過酸化尿素、メタクロロ過安息香酸、tert−ブチルヒドロペルオキシド、過酢酸、ジ−tert−ブチルペルオキシド、過酸化ベンゾイル、過酸化アセトン、メチルエチルケトンペルオキシド、ヘキサメチレントリペルオキシド、およびクメンヒドロペルオキシドからなる群より選択される少なくとも1種以上である請求項1または2に記載の洗浄液。
- 前記防食剤が、ジアミン化合物、アルカノールアミン化合物、ピラゾール化合物、イミダゾール化合物、およびトリアゾール化合物からなる群より選択される少なくとも1種以上である請求項1から3のいずれかに記載の洗浄液。
- 前記ジアミン化合物が、1,2−プロパンジアミン、1,3−プロパンジアミン、および1,4−ブタンジアミンからなる群より選択される少なくとも1種以上である請求項4に記載の洗浄液。
- 前記アルカノールアミン化合物が、2−アミノエタノール、2−メチルアミノエタノール、1−アミノ−2−プロパノール、および1−アミノ−3−プロパノールからなる群より選択される少なくとも1種以上である請求項4に記載の洗浄液。
- 前記ピラゾール化合物が、ピラゾール、および3,5−ジメチルピラゾールからなる群より選択される少なくとも1種以上である請求項4に記載の洗浄液。
- 前記イミダゾール化合物が、1−メチルイミダゾール、1−ビニルイミダゾール、および5―メチルベンゾイミダゾールからなる群より選択される少なくとも1種以上である請求項4に記載の洗浄液。
- 前記トリアゾール化合物が、1,2,4−トリアゾール、1,2,3−トリアゾール、および5−メチル−1H−ベンゾトリアゾールからなる群より選択される少なくとも1種以上である請求項4に記載の洗浄液。
- 前記アルカリ土類金属化合物が、カルシウム化合物、ストロンチウム化合物、およびバリウム化合物からなる群より選択される少なくとも1種以上である請求項1から9のいずれかに記載の洗浄液。
- 低誘電率膜(Low−k膜)と、(1)コバルトまたはコバルト合金を含む材料、あるいは(2)コバルトまたはコバルト合金およびタングステンを含む材料とを有する基板上に、ハードマスクパターンを形成し、次いでこのハードマスクパターンをマスクとして、前記低誘電率膜(Low−k膜)にドライエッチング処理を施した半導体素子を洗浄して、該半導体素子の表面のドライエッチング残渣を除去する洗浄方法であって、請求項1から10のいずれかに記載の洗浄液を用いることを特徴とする、前記洗浄方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014230636 | 2014-11-13 | ||
JP2014230636 | 2014-11-13 | ||
PCT/JP2015/078077 WO2016076033A1 (ja) | 2014-11-13 | 2015-10-02 | コバルトのダメージを抑制した半導体素子の洗浄液、およびこれを用いた半導体素子の洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016076033A1 JPWO2016076033A1 (ja) | 2017-08-24 |
JP6555274B2 true JP6555274B2 (ja) | 2019-08-07 |
Family
ID=55954126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016558929A Active JP6555274B2 (ja) | 2014-11-13 | 2015-10-02 | コバルトのダメージを抑制した半導体素子の洗浄液、およびこれを用いた半導体素子の洗浄方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10629426B2 (ja) |
EP (1) | EP3220409B1 (ja) |
JP (1) | JP6555274B2 (ja) |
KR (1) | KR102398801B1 (ja) |
CN (1) | CN107078044B (ja) |
IL (1) | IL252100B (ja) |
TW (1) | TWI667340B (ja) |
WO (1) | WO2016076033A1 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3220408B1 (en) * | 2014-11-13 | 2020-06-03 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Use of alkaline earth metal-containing cleaning solution for cleaning semiconductor element |
US10160938B2 (en) | 2014-11-13 | 2018-12-25 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Semiconductor element cleaning solution that suppresses damage to tantalum-containing materials, and cleaning method using same |
JP6713044B2 (ja) * | 2016-06-02 | 2020-06-24 | 富士フイルム株式会社 | 処理液、基板の洗浄方法及びレジストの除去方法 |
JP6808730B2 (ja) * | 2016-06-03 | 2021-01-06 | 富士フイルム株式会社 | 処理液、基板洗浄方法およびレジストの除去方法 |
WO2018021038A1 (ja) | 2016-07-29 | 2018-02-01 | 富士フイルム株式会社 | 処理液及び基板洗浄方法 |
KR102615371B1 (ko) | 2017-07-31 | 2023-12-19 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 코발트, 알루미나, 층간절연막, 질화실리콘의 데미지를 억제한 조성액 및 이것을 이용한 세정방법 |
JP7090625B2 (ja) * | 2017-08-31 | 2022-06-24 | 富士フイルム株式会社 | 処理液、キット、基板の洗浄方法 |
US11037779B2 (en) * | 2017-12-19 | 2021-06-15 | Micron Technology, Inc. | Gas residue removal |
KR20200125582A (ko) * | 2018-03-02 | 2020-11-04 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 알루미나의 보호액, 보호방법 및 이것을 이용한 알루미나층을 가지는 반도체 기판의 제조방법 |
EP3761345A4 (en) * | 2018-03-02 | 2021-04-28 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | COMPOSITION WITH SUPPRESSED ALUMINUM DAMAGE AND PROCESS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR SUBSTRATE THEREFORE |
KR20200131805A (ko) | 2018-03-14 | 2020-11-24 | 미쯔비시 가스 케미칼 컴파니, 인코포레이티드 | 드라이에칭잔사를 제거하기 위한 세정액 및 이것을 이용한 반도체기판의 제조방법 |
WO2019208684A1 (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 水性組成物及びこれを用いた洗浄方法 |
US11674919B2 (en) | 2019-07-17 | 2023-06-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Detector, detection device and method of using the same |
KR102295216B1 (ko) | 2021-03-02 | 2021-09-01 | 회명산업 주식회사 | 세정, 부식방지 및 침전방지 성능이 향상된 메탈 마스크 세정제 조성물 및 그 제조방법 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3692685A (en) * | 1968-05-24 | 1972-09-19 | Lever Brothers Ltd | Detergent compositions |
US5316573A (en) | 1992-03-12 | 1994-05-31 | International Business Machines Corporation | Corrosion inhibition with CU-BTA |
JP2001026890A (ja) | 1999-07-09 | 2001-01-30 | Asahi Kagaku Kogyo Co Ltd | 金属の腐食防止剤及びこれを含む洗浄液組成物およびこれを用いる洗浄方法 |
JP2002198346A (ja) * | 2000-12-26 | 2002-07-12 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 半導体基板の洗浄液 |
JP4810764B2 (ja) | 2001-06-29 | 2011-11-09 | 三菱瓦斯化学株式会社 | レジスト剥離剤組成物 |
JP4122171B2 (ja) | 2002-04-22 | 2008-07-23 | Kisco株式会社 | レジスト残渣除去剤または半導体デバイスあるいは液晶デバイス製造プロセス用洗浄剤 |
US7008911B2 (en) * | 2002-09-06 | 2006-03-07 | Ecolab, Inc. | Non-surfactant solubilizing agent |
JP4300400B2 (ja) * | 2003-01-07 | 2009-07-22 | 三菱瓦斯化学株式会社 | レジスト剥離液組成物 |
US6896751B2 (en) * | 2003-05-16 | 2005-05-24 | Universal Propulsion Company, Inc. | Energetics binder of fluoroelastomer or other latex |
US7828905B2 (en) * | 2007-05-04 | 2010-11-09 | Ecolab Inc. | Cleaning compositions containing water soluble magnesium compounds and methods of using them |
JP5347237B2 (ja) | 2007-05-15 | 2013-11-20 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 洗浄用組成物 |
JP2009069505A (ja) | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Tosoh Corp | レジスト除去用洗浄液及び洗浄方法 |
JP2009075285A (ja) | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Fujifilm Corp | 半導体デバイスの剥離液、及び、剥離方法 |
JP2009231354A (ja) | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Fujifilm Corp | 半導体デバイス用洗浄液、および洗浄方法 |
TWI450052B (zh) * | 2008-06-24 | 2014-08-21 | Dynaloy Llc | 用於後段製程操作有效之剝離溶液 |
WO2011033526A2 (en) * | 2009-09-17 | 2011-03-24 | Bharat Petroleum Corporation Limited | Gasohol fuel composition for internal combustion engines |
JP2011091248A (ja) | 2009-10-23 | 2011-05-06 | Hitachi Chem Co Ltd | コバルト用研磨液、及びこの研磨液を用いた基板の研磨方法 |
US9063431B2 (en) | 2010-07-16 | 2015-06-23 | Advanced Technology Materials, Inc. | Aqueous cleaner for the removal of post-etch residues |
JP5289411B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2013-09-11 | 富士フイルム株式会社 | 多剤型半導体基板用洗浄剤、それを用いた洗浄方法及び半導体素子の製造方法 |
JP2012182158A (ja) | 2011-02-08 | 2012-09-20 | Hitachi Chem Co Ltd | 研磨液、及びこの研磨液を用いた基板の研磨方法 |
KR101884618B1 (ko) * | 2011-10-19 | 2018-08-02 | 바스프 에스이 | 제형, 식기세척 세제로서의 또는 이를 제조하기 위한 이의 용도, 및 이의 제조 |
SG10201605172RA (en) * | 2011-12-28 | 2016-08-30 | Entegris Inc | Compositions and methods for selectively etching titanium nitride |
WO2014197808A1 (en) * | 2013-06-06 | 2014-12-11 | Advanced Technology Materials, Inc. | Compositions and methods for selectively etching titanium nitride |
-
2015
- 2015-10-02 JP JP2016558929A patent/JP6555274B2/ja active Active
- 2015-10-02 US US15/514,917 patent/US10629426B2/en active Active
- 2015-10-02 CN CN201580056809.9A patent/CN107078044B/zh active Active
- 2015-10-02 WO PCT/JP2015/078077 patent/WO2016076033A1/ja active Application Filing
- 2015-10-02 EP EP15859334.3A patent/EP3220409B1/en active Active
- 2015-10-02 KR KR1020177008629A patent/KR102398801B1/ko active IP Right Grant
- 2015-10-07 TW TW104132922A patent/TWI667340B/zh active
-
2017
- 2017-05-04 IL IL252100A patent/IL252100B/en active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2016076033A1 (ja) | 2017-08-24 |
US20170240850A1 (en) | 2017-08-24 |
KR102398801B1 (ko) | 2022-05-17 |
IL252100A0 (en) | 2017-07-31 |
EP3220409B1 (en) | 2020-08-05 |
EP3220409A4 (en) | 2018-04-25 |
CN107078044A (zh) | 2017-08-18 |
KR20170083025A (ko) | 2017-07-17 |
WO2016076033A1 (ja) | 2016-05-19 |
EP3220409A1 (en) | 2017-09-20 |
TWI667340B (zh) | 2019-08-01 |
US10629426B2 (en) | 2020-04-21 |
IL252100B (en) | 2020-05-31 |
TW201619361A (zh) | 2016-06-01 |
CN107078044B (zh) | 2020-06-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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