JP6551784B2 - レジスト剥離液中の炭酸濃度管理方法および炭酸濃度管理装置 - Google Patents
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Description
銅膜上に形成されたノボラック樹脂とナフトキノンジアゾからなるレジスト膜を、
三級アミンと、
極性溶媒と、
水を含むレジスト剥離液で剥離する工程と、
前記レジスト剥離液中の炭酸濃度をNDIR装置で測定する工程と、
前記レジスト剥離液中の炭酸濃度が2000ppm以上になったら、前記レジスト剥離液の少なくとも一部を入れ替える工程を有することを特徴とする。
銅膜上に形成されたノボラック樹脂とナフトキノンジアゾからなるレジスト膜を、
三級アミンと、
極性溶媒と、
水を含むレジスト剥離液を貯留する貯留部から循環使用しながら剥離するレジスト剥離装置に用いるレジスト剥離液中の炭酸濃度の管理装置であって、
前記貯留部中の前記レジスト剥離液を取り出すサンプル取得用配管と、
前記サンプル取得用配管に接続されたNDIR装置と、
前記NDIR装置で測定された前記レジスト剥離液中の炭酸濃度が2000ppm以上になったら前記レジスト剥離液の一部を交換するための信号を発信する制御装置を有することを特徴とする。
本発明においては、レジスト剥離液中の炭酸成分の微量を検出する必要がある。このような場合、レジスト剥離液の電気伝導率を測定する方法もある。しかし、レジスト剥離液は、アルカリ性の溶液であるので、中にはさまざまなイオン成分が存在し、微量な測定には適応しない。以下実施例で確認した。
三級アミン(MDEA(N−メチルジエタノールアミン)) 1.5質量%
極性溶媒(BDG(ジエチレングリコールモノブチルエーテル)) 40質量%
極性溶媒(PG(プロピレングリコール)) 28.5質量%
水 30質量%
いくつかのレジスト剥離液について、炭酸濃度の変化によって銅膜の荒れ(以下「腐食性」とも呼ぶ。」がどのような状態になるかを実験で確認した。
実施例1は以下の組成でサンプルレジスト剥離液とした。
三級アミン(MDEA(N−メチルジエタノールアミン)) 5.0質量%
極性溶媒(BDG(ジエチレングリコールモノブチルエーテル)) 40.0質量%
極性溶媒(PG(プロピレングリコール)) 24.0質量%
水 31.0質量%
炭酸濃度 20ppm
比較例1は以下の組成でサンプルレジスト剥離液とした。
三級アミン(MDEA(N−メチルジエタノールアミン)) 5.0質量%
極性溶媒(BDG(ジエチレングリコールモノブチルエーテル)) 40.0質量%
極性溶媒(PG(プロピレングリコール)) 24.0質量%
水 31.0質量%
炭酸濃度 2000ppm
実施例2は以下の組成でサンプルレジスト剥離液とした。
三級アミン(MDEA(N−メチルジエタノールアミン)) 5.0質量%
極性溶媒(BDG(ジエチレングリコールモノブチルエーテル)) 40.0質量%
極性溶媒(PG(プロピレングリコール)) 20.6質量%
水 31.0質量%
添加物(アミノアルコール(MMA)) 1.9質量%
添加物(ソルビトール) 1.5質量%
炭酸濃度 20ppm
比較例2は以下の組成でサンプルレジスト剥離液とした。
三級アミン(MDEA(N−メチルジエタノールアミン)) 5.0質量%
極性溶媒(BDG(ジエチレングリコールモノブチルエーテル)) 40.0質量%
極性溶媒(PG(プロピレングリコール)) 20.6質量%
水 31.0質量%
添加物(アミノアルコール(MMA)) 1.9質量%
添加物(ソルビトール) 1.5質量%
炭酸濃度 2000ppm
10 NDIR装置
12 サンプル取得用配管
13 サンプル取得ポンプ
14 制御装置
16 表示器
20 ガス発生セル
20h ヘッドスペース
22 冷却機
24 吸収室
26 スリット
28 光源
30 測定室
32 薄膜
34 二酸化炭素室
36 容量室
38 測定器
38t 端子
40 二酸化炭素移送配管
50 レジスト剥離装置
52 貯留部
54 コンベア
56 シャワー用パイプ
58 シャワー
60 ポンプ
62 被処理物
Sc 信号
Sw 信号
Sr 信号
Claims (4)
- 銅膜上に形成されたノボラック樹脂とナフトキノンジアゾからなるレジスト膜を、
三級アミンと、
極性溶媒と、
水を含むレジスト剥離液で剥離する工程と、
前記レジスト剥離液中の炭酸濃度をNDIR装置で測定する工程と、
前記レジスト剥離液中の炭酸濃度が2000ppm以上になったら、前記レジスト剥離液の少なくとも一部を入れ替える工程を有することを特徴とするレジスト剥離液中の炭酸濃度管理方法。 - 前記三級アミンがMDEA(N−メチルジエタノールアミン)であり、
前記極性溶媒が
BDG(ジエチレングリコールモノブチルエーテル)と、
PG(プロピレングリコール)との混合極性溶媒であることを特徴とする請求項1に記載されたレジスト剥離液中の炭酸濃度管理方法。 - 銅膜上に形成されたノボラック樹脂とナフトキノンジアゾからなるレジスト膜を、
三級アミンと、
極性溶媒と、
水を含むレジスト剥離液を貯留する貯留部から循環使用しながら剥離するレジスト剥離装置に用いるレジスト剥離液中の炭酸濃度管理装置であって、
前記貯留部中の前記レジスト剥離液を取り出すサンプル取得用配管と、
前記サンプル取得用配管に接続されたNDIR装置と、
前記NDIR装置で測定された前記レジスト剥離液中の炭酸濃度が2000ppm以上になったら前記レジスト剥離液の一部を交換するための信号を発信する制御装置を有することを特徴とするレジスト剥離液中の炭酸濃度管理装置。 - 前記三級アミンがMDEA(N−メチルジエタノールアミン)であり、
前記極性溶媒が
BDG(ジエチレングリコールモノブチルエーテル)と、
PG(プロピレングリコール)との混合極性溶媒であることを特徴とする請求項3に記載されたレジスト剥離液中の炭酸濃度管理装置。
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