JP6545568B2 - 光ファイバ素線の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、光ファイバ素線の製造方法に関する。
光伝送距離の長距離化、伝送速度の高速化には、光信号ノイズ比（ＯＳＮＲ：Ｏｐｔｉｃａｌ ｓｉｇｎａｌ ｔｏ ｎｏｉｓｅ ｒａｔｉｏ）を高める必要がある。そのため、光ファイバには低損失であることが求められている。
コア部分が実質的に純粋シリカガラスのみからなるシリカコア光ファイバは、ゲルマコア光ファイバ（コアにＧｅＯ２がドープされた光ファイバ）に比べ、添加されたＧｅＯ２の濃度の揺らぎによる光散乱がないため、低損失の光ファイバとなることが知られている。
シリカコア光ファイバ、ゲルマコア光ファイバのいずれについても、更なる低損失化への要求は依然として高い。
光ファイバの製造技術が高度に洗練された現在では、金属酸化物（ＭＯｘ）や水酸基（ＯＨ）など、光ファイバ中の不純物による吸収損失はほとんど限界まで低減されている。残る損失は、光ファイバがガラスからなるがゆえに不可避である、ガラスの構造や組成の揺らぎに伴う散乱損失がほとんどである。
コア部分が実質的に純粋シリカガラスのみからなるシリカコア光ファイバは、ゲルマコア光ファイバ（コアにＧｅＯ２がドープされた光ファイバ）に比べ、添加されたＧｅＯ２の濃度の揺らぎによる光散乱がないため、低損失の光ファイバとなることが知られている。
シリカコア光ファイバ、ゲルマコア光ファイバのいずれについても、更なる低損失化への要求は依然として高い。
光ファイバの製造技術が高度に洗練された現在では、金属酸化物（ＭＯｘ）や水酸基（ＯＨ）など、光ファイバ中の不純物による吸収損失はほとんど限界まで低減されている。残る損失は、光ファイバがガラスからなるがゆえに不可避である、ガラスの構造や組成の揺らぎに伴う散乱損失がほとんどである。
一般的に、溶融成形したガラスを冷却する際、緩やかに冷却すれば揺らぎを低減できることはガラス産業においてよく知られており、光ファイバの製造方法においても、光ファイバ用母材を加熱炉により溶融線引きした直後の光ファイバを、別の炉（徐冷炉）で温度調整したり、加熱炉に断熱構造を追加して徐冷する方法が検討されてきており、一定の効果が得られている（特許文献１〜８、非特許文献１〜５を参照）。
また、徐冷炉内の雰囲気として熱伝導率の低いガスを選択するなどして、徐冷炉を通過する光ファイバの徐冷を効率的に行う方法も検討されている（特許文献９，１０を参照）。
また、徐冷炉内の雰囲気として熱伝導率の低いガスを選択するなどして、徐冷炉を通過する光ファイバの徐冷を効率的に行う方法も検討されている（特許文献９，１０を参照）。
S. Sakaguchi and S. Todoroki, Appl. Optics, Vol. 37, pp. 7708-7711 (1998)
K. Saito, et al., Appl. Phys. Lett., Vol. 83, pp. 5175-5177 (2003)
K. Saito, et al., J. Am. Ceram. Soc., Vol. 89, pp. 65-69 (2006)
D.-L. Kim and M. Tomozawa, J. Non-Cryst. Solid, Vol. 286, pp. 132-138 (2001)
K. Tsujikawa, et al., J. Lightwave Technol., Vol. 25, pp. 2122-2128 (2007)
しかしながら、徐冷炉内の雰囲気として熱伝導率の低いガスを用いる製造方法は、単に熱伝導率をＨｅと比較し、その大小関係に基づいて選ばれたガスを使用しているに過ぎず、熱移動についての詳細な検討はなされていない。
また、従来の製造方法では、徐冷を効果的に行うために発熱体や断熱構造を有する設備が必要になり、設備の複雑化や使用電力の増加、生産性の低下などの問題が避けられなかった。
徐冷を行うには、母材（プリフォーム）を加熱し線引きする加熱炉に徐冷用の構造を追加することが考えられるが、徐冷用の構造が単純な管状構造である場合には、十分な徐冷効果が得られず、伝送損失を低減する効果は乏しかった。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであって、装置構成を複雑化させることなく光ファイバ裸線を徐冷し、伝送損失を低減できる光ファイバ素線の製造方法を提供することを目的とする。
また、従来の製造方法では、徐冷を効果的に行うために発熱体や断熱構造を有する設備が必要になり、設備の複雑化や使用電力の増加、生産性の低下などの問題が避けられなかった。
徐冷を行うには、母材（プリフォーム）を加熱し線引きする加熱炉に徐冷用の構造を追加することが考えられるが、徐冷用の構造が単純な管状構造である場合には、十分な徐冷効果が得られず、伝送損失を低減する効果は乏しかった。
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであって、装置構成を複雑化させることなく光ファイバ裸線を徐冷し、伝送損失を低減できる光ファイバ素線の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様は、光ファイバ母材を溶融紡糸してガラスファイバを形成する紡糸工程と、前記ガラスファイバを、管状の徐冷装置に入口端から出口端に向けて挿通させつつ前記ガラスファイバを冷却する徐冷工程と、を有し、前記徐冷工程では、前記徐冷装置の内壁の温度を前記ガラスファイバの温度より低くするとともに、前記徐冷装置の内部に、前記入口端から前記出口端に向けて高くなる圧力勾配を与え、かつ、前記徐冷装置の管内径をＤ［ｍ］とし、前記徐冷装置の内部空間における前記ガラスファイバの移動方向の長さをＬ［ｍ］としたとき、前記徐冷装置の内部における前記ガラスファイバの移動方向の平均圧力変化ｄＰ／ｄＬが、次の式を満たす光ファイバ素線の製造方法を提供する。
前記平均圧力変化ｄＰ／ｄＬは、次の式を満たすことが好ましい。
前記圧力勾配は、前記徐冷装置への流体の導入流量と、前記徐冷装置の出口開度との少なくともいずれか一方を調整することによって与えることができる。
本発明の一態様は、前記徐冷装置の前記圧力勾配を測定し、この測定値と、予め設定した基準圧力勾配とを比較し、それらのずれが小さくなるように、前記徐冷装置への流体の導入流量と、前記徐冷装置の出口開度との少なくともいずれか一方を制御する光ファイバ素線の製造方法を提供する。
本発明の一態様は、前記徐冷装置の前記圧力勾配を測定し、この測定値と、予め設定した基準圧力勾配とを比較し、それらのずれが小さくなるように、前記徐冷装置への流体の導入流量と、前記徐冷装置の出口開度との少なくともいずれか一方を制御する光ファイバ素線の製造方法を提供する。
本発明の一態様によれば、徐冷装置の内部に、入口端から出口端に向けて高くなる圧力勾配を与えるので、管内の流体の（ガラスファイバ移動方向の）流速を小さくすることができる。
流体の速度を小さくすれば、流体と管内壁との熱伝達は小さくなる。そのため、流体の熱が外部に逃げるのを抑制でき、流体の温度を高温に維持することができる。よって、ガラスファイバと流体との熱伝達を緩やかにすることができる。従って、十分な徐冷効果を得て、伝送損失が低い光ファイバ素線を製造することができる。
また、この方法では、流体を加熱することによってその温度をガラスファイバの温度に近づける手法ではなく、流体の熱が外部に逃げるのを抑制することによって流体の温度とガラスファイバの温度とを近づける手法をとる。そのため、熱源を用いないで（または簡素な熱源を用いて）、前述の効果を得ることができる。よって、装置構成を複雑化させることはない。
流体の速度を小さくすれば、流体と管内壁との熱伝達は小さくなる。そのため、流体の熱が外部に逃げるのを抑制でき、流体の温度を高温に維持することができる。よって、ガラスファイバと流体との熱伝達を緩やかにすることができる。従って、十分な徐冷効果を得て、伝送損失が低い光ファイバ素線を製造することができる。
また、この方法では、流体を加熱することによってその温度をガラスファイバの温度に近づける手法ではなく、流体の熱が外部に逃げるのを抑制することによって流体の温度とガラスファイバの温度とを近づける手法をとる。そのため、熱源を用いないで（または簡素な熱源を用いて）、前述の効果を得ることができる。よって、装置構成を複雑化させることはない。
管内の流体の流れは、一般的に次の式（１）で定義されるレイノルズ数Ｒｅが、２３００〜４０００よりも小さければ層流になることが知られている。
式（１）中のρは流体の密度［ｋｇ／ｍ３］、ｕは流体の速度［ｍ／ｓ］、Ｌは系の特徴長さ［ｍ］、μは流体の粘度［Ｐａ・ｓ］を示している。
Ｒｅが十分に小さく、管内の流体の流れとして層流が仮定できる場合には、管内の流体の速度分布は以下の式（２），（３）を満たす。
Ｒｅが十分に小さく、管内の流体の流れとして層流が仮定できる場合には、管内の流体の速度分布は以下の式（２），（３）を満たす。
式（２），（３）中のｒは管内の径方向の位置［ｍ］、τｒｚは管内の径方向に垂直な面での軸方向のせん断応力［Ｐａ］、ｄｐ／ｄｚは管内の軸方向の圧力勾配［Ｐａ／ｍ］を示す。
管内の流体の流れが軸方向の圧力勾配によってのみ引き起こされる系、（いわゆるＨａｇｅｎ−Ｐｏｉｓｕｅｉｌｌｅ流）であれば、管内の流体の速度分布は一般的な放物線型の速度分布を示すが、ガラスファイバが通過する管内では事情が異なる。
管内の流体の流れが軸方向の圧力勾配によってのみ引き起こされる系、（いわゆるＨａｇｅｎ−Ｐｏｉｓｕｅｉｌｌｅ流）であれば、管内の流体の速度分布は一般的な放物線型の速度分布を示すが、ガラスファイバが通過する管内では事情が異なる。
以下、管内を中心軸に沿ってガラスファイバが移動することを想定する。
管内には、主にガラスファイバの近傍に発生する粘性力によって、ガラスファイバの移動方向の流体の流れが発生する。一方、管内壁の近傍では管内の圧力勾配に応じて、下降流も上昇流も発生し得る。上記式（２），（３）を満たす、管内の流体の速度分布の例を図２に示す。
管内には、主にガラスファイバの近傍に発生する粘性力によって、ガラスファイバの移動方向の流体の流れが発生する。一方、管内壁の近傍では管内の圧力勾配に応じて、下降流も上昇流も発生し得る。上記式（２），（３）を満たす、管内の流体の速度分布の例を図２に示す。
図２は、線引き速度１０００ｍ／ｍｉｎ（１６．６７ ｍ／ｓ）、管径（内径）０．０５ｍ 、管内がＨｅ雰囲気の場合の、管の半径方向の流体の速度分布の計算値を示す。それぞれの曲線は、管内の圧力勾配ｄｐ／ｄｚがそれぞれ異なる場合の試算結果である。
原理的に、管内壁（ｒ＝０．０２５ｍ）での流体の速度は０ｍ／ｓであり、ガラスファイバが通る管中心（ｒ＝０ｍ）における流体の速度はガラスファイバの移動速度に一致する。
管内壁と管中心との中間の位置（例えば半径０．０１ｍ付近）では、流体の速度は管内の軸方向の圧力勾配ｄｐ／ｄｚに大きく依存し、流体は下降流にも上昇流にもなり得る。実質的にほぼ静止状態となることもあり得る。
原理的に、管内壁（ｒ＝０．０２５ｍ）での流体の速度は０ｍ／ｓであり、ガラスファイバが通る管中心（ｒ＝０ｍ）における流体の速度はガラスファイバの移動速度に一致する。
管内壁と管中心との中間の位置（例えば半径０．０１ｍ付近）では、流体の速度は管内の軸方向の圧力勾配ｄｐ／ｄｚに大きく依存し、流体は下降流にも上昇流にもなり得る。実質的にほぼ静止状態となることもあり得る。
例えば、図２に示すように、管内の圧力勾配ｄｐ／ｄｚがゼロである場合は、ガラスファイバの移動方向（図２の右方）の流体の流れ（下降流）が大きくなるが、管内の圧力勾配ｄｐ／ｄｚをゼロより大きくすると、当該方向の流体の流れは小さくなる。例えば、圧力勾配ｄｐ／ｄｚが０．６であると、管内壁に近い領域（例えばｒが０．０１５以上の領域）における流体の流速は非常に小さくなる。
一方、固体とその近傍を流れる流体との熱伝達は、次の式（４）に従う。
Ｑは単位時間当たりの熱量［Ｗ］、ｈは対流熱伝達率 ［Ｗ／Ｋ・ｍ２］であり、系に依存する。Ａは接触面積［ｍ２］を示す。Ｔｗは固体表面の温度［Ｋ］を示す。Ｔバーは、流体の平均温度［Ｋ］を示す。
式（４）は、ガラスファイバとその周囲の流体の熱交換にも、管内壁とその中の流れる流体との間にも適用できる。式（４）は、固体と流体との熱伝達が両者の温度差に比例することを示している。
式（４）は、ガラスファイバとその周囲の流体の熱交換にも、管内壁とその中の流れる流体との間にも適用できる。式（４）は、固体と流体との熱伝達が両者の温度差に比例することを示している。
対流熱伝達率ｈは流体の物性だけでなく系にも依存するため、個別の系に対して議論する必要がある。ｈは一般的に次の式（５）で表される。
ｃは比例定数、ｋは流体の熱伝導率［Ｗ／Ｋ・ｍ］、ｄは系の代表長さ［ｍ］、νは流体の動粘性係数［ｍ２・ｓ］（ν＝μ／ρ）、αは流体の熱拡散率［ｍ２／ｓ］（α＝ｋ／ρＣｐ）である。ｍ、ｎはそれぞれ系に依存し、ｍ は０．５〜０．８、ｎは０．２〜０．５をとる。
以上より、ガラスファイバと周囲の流体との熱伝達については、次のことがいえる。
［１］ガラスファイバと周囲の流体との熱伝達を緩やかにするには、周囲の流体の温度とガラスファイバとの温度差を小さくすればよい。
［２］ガラスファイバと周囲の流体との熱伝達を緩やかにするには、ガラスファイバと流体の相対的な速度を小さくすればよい。
［１］ガラスファイバと周囲の流体との熱伝達を緩やかにするには、周囲の流体の温度とガラスファイバとの温度差を小さくすればよい。
［２］ガラスファイバと周囲の流体との熱伝達を緩やかにするには、ガラスファイバと流体の相対的な速度を小さくすればよい。
［２］を実現するためには、ガラスファイバの線速を遅くすればよい。
［１］を実現するためには、流体を加熱して、その温度をガラスファイバの温度に近くする手法をとってもよいが、流体の熱が外部に逃げるのを抑制する手法も可能である。
［１］を実現するためには、流体を加熱して、その温度をガラスファイバの温度に近くする手法をとってもよいが、流体の熱が外部に逃げるのを抑制する手法も可能である。
式（４）のＱは、次のように書き換えることができる。
式（６）は、管路をガラスファイバの進行方向に微小長さΔｌで区間に分け、その範囲での管内壁と流体との熱のやり取りを示している。式（６）では、管路の長手方向での熱伝達や、区間内の流体の温度分布を無視している。
Ｔｗａｌｌ、Ｔｆｉｂｅｒ、Ｔｇａｓは、それぞれ管内壁、ガラスファイバ、流体の温度［Ｋ］である。Ｑｇａｓは単位時間当りに流体に加えられる熱量［Ｗ］である。ｈｇａｓ−ｗａｌｌは流体と管内壁との間の対流熱伝達率［Ｗ／Ｋ・ｍ２］である。ｈｆｉｂｅｒ−ｇａｓは流体とガラスファイバとの間の対流熱伝達率［Ｗ／Ｋ・ｍ２］である。ｄｗａｌｌは管内壁の直径［ｍ］である。ｄｆｉｂｅｒはガラスファイバの直径［ｍ］である。
Ｔｗａｌｌ、Ｔｆｉｂｅｒ、Ｔｇａｓは、それぞれ管内壁、ガラスファイバ、流体の温度［Ｋ］である。Ｑｇａｓは単位時間当りに流体に加えられる熱量［Ｗ］である。ｈｇａｓ−ｗａｌｌは流体と管内壁との間の対流熱伝達率［Ｗ／Ｋ・ｍ２］である。ｈｆｉｂｅｒ−ｇａｓは流体とガラスファイバとの間の対流熱伝達率［Ｗ／Ｋ・ｍ２］である。ｄｗａｌｌは管内壁の直径［ｍ］である。ｄｆｉｂｅｒはガラスファイバの直径［ｍ］である。
式（６）の右辺のうち、線引き中の管路内の各点でのガラスファイバの温度、流体の温度、管内壁の温度は定常状態ではほぼ一定となり、式（６）のＱｇａｓは０になる。このとき、あるＴｗａｌｌ、Ｔｆｉｂｅｒが定められるならば、Ｑｇａｓ= ０を満たすＴｇａｓが一意に定まる。
Ｔｆｉｂｅｒ＞Ｔｇａｓ＞Ｔｗａｌｌと仮定すると、ＴｇａｓをＴｆｉｂｅｒに近づけるためには、式（６）の右辺の第１項の絶対値を小さくしなければならない。式（６）の右辺の第１項をＱｇａｓ−ｗａｌｌとして、ｈｇａｓ−ｗａｌｌに式（５）を代入すると、次の式（７）が得られる。
式（７）において、流体の速度ｕを小さくするか、ＴｗａｌｌとＴｇａｓとを近づけると、Ｑｇａｓ−ｗａｌｌの絶対値は小さくなる。
図２に示されるように、管内の圧力に、入口端から出口端に向けて高くなる勾配を与えれば、管内の流体の（ガラスファイバ移動方向の）流速を小さくすることができる。
式（７）に示すように、流体の速度を小さくすれば、流体と管内壁との熱伝達は小さくなる。そのため、流体の熱が外部に逃げるのを抑制でき、流体の温度を高温に維持することができる。よって、ガラスファイバと流体との熱伝達を緩やかにすることができる（上述の［１］参照）。
従って、十分な徐冷効果を得て、伝送損失が低い光ファイバ素線を製造することができる。
また、この方法では、流体を加熱することによってその温度をガラスファイバの温度に近づける手法ではなく、流体の熱が外部に逃げるのを抑制することによって流体の温度とガラスファイバの温度とを近づける手法をとる。そのため、熱源を用いないで（または簡素な熱源を用いて）、前述の効果を得ることができる。よって、装置構成を複雑化させることはない。
式（７）に示すように、流体の速度を小さくすれば、流体と管内壁との熱伝達は小さくなる。そのため、流体の熱が外部に逃げるのを抑制でき、流体の温度を高温に維持することができる。よって、ガラスファイバと流体との熱伝達を緩やかにすることができる（上述の［１］参照）。
従って、十分な徐冷効果を得て、伝送損失が低い光ファイバ素線を製造することができる。
また、この方法では、流体を加熱することによってその温度をガラスファイバの温度に近づける手法ではなく、流体の熱が外部に逃げるのを抑制することによって流体の温度とガラスファイバの温度とを近づける手法をとる。そのため、熱源を用いないで（または簡素な熱源を用いて）、前述の効果を得ることができる。よって、装置構成を複雑化させることはない。
図１は、本発明に係る光ファイバ素線の製造方法の一例を実施可能な製造装置１の概略構成を示す模式図である。
製造装置１は、線引き方向の上流側から下流側に、紡糸部１０と、徐冷装置２０と、強制冷却部３０と、コーティング部４０と、硬化部５０と、折返しプーリー６０と、巻取り機７０とを備えている。
製造装置１は、線引き方向の上流側から下流側に、紡糸部１０と、徐冷装置２０と、強制冷却部３０と、コーティング部４０と、硬化部５０と、折返しプーリー６０と、巻取り機７０とを備えている。
紡糸部１０は、熱源１１ａを有する加熱炉１１を備えており、加熱炉１１によって光ファイバ母材２を加熱して溶融紡糸することによってガラスファイバ３（光ファイバ裸線）を得る。
徐冷装置２０は、管状構造を有する本体部２１と、本体部２１の下端２１ｂに設けられた狭窄部２２とを備えている。
狭窄部２２は、ガラスファイバ３が通過可能な開口部（図示略）を有する。狭窄部２２は、開口部の内径を調整可能であり、この内径を調整することで徐冷装置２０内部の圧力勾配を調整できる。
本体部２１は、中心軸を鉛直方向に一致させるのが好ましい。本体部２１は、接続筒２６を介して加熱炉１１の下端に接続されている。
徐冷装置２０は、熱源がない構成であってもよいし、本体部２１内を加熱する熱源（図示略）を設けた構成としてもよい。
狭窄部２２は、ガラスファイバ３が通過可能な開口部（図示略）を有する。狭窄部２２は、開口部の内径を調整可能であり、この内径を調整することで徐冷装置２０内部の圧力勾配を調整できる。
本体部２１は、中心軸を鉛直方向に一致させるのが好ましい。本体部２１は、接続筒２６を介して加熱炉１１の下端に接続されている。
徐冷装置２０は、熱源がない構成であってもよいし、本体部２１内を加熱する熱源（図示略）を設けた構成としてもよい。
徐冷装置２０の内部は、流体（低熱伝導率ガス、空気など）で満たされるのが好ましい。低熱伝導率ガスは、Ｈｅよりも熱伝導率の低いガスである。低熱伝導率ガスとしては、例えばＡｒ、Ｎ２を使用できる。
本体部２１の入口端２１ａ（上端）に近い位置には、本体部２１内に低熱伝導率ガスを導入または導出するガス導出入部２３が設けられている。本体部２１の出口端２１ｂ（下端）に近い位置には、本体部２１内にガスを導入または導出するガス導出入部２４が設けられている。
本体部２１には、軸方向の中間位置（上端と下端の間の位置）に、圧力計を接続するための複数の接続用ポート２５（２５ａ，２５ｂ）が設けられている。図１では、２つの接続用ポート２５（２５ａ，２５ｂ）が設けられており、これら接続用ポート２５ａ，２５ｂは、本体部２１の軸方向に間隔をおいて配置されている。
線引き方向の上流側の接続用ポート２５を第１接続用ポート２５ａといい、下流側の接続用ポート２５を第２接続用ポート２５ｂという。
図１では、第１接続用ポート２５ａは本体部２１の入口端２１ａ（上端）に近い位置にあり、第２接続用ポート２５ｂは出口端２１ｂ（下端）に近い位置にある。
なお、本体部２１の軸方向とは、本体部２１の中心軸方向であり、図１では上下方向である。
本体部２１には、軸方向の中間位置（上端と下端の間の位置）に、圧力計を接続するための複数の接続用ポート２５（２５ａ，２５ｂ）が設けられている。図１では、２つの接続用ポート２５（２５ａ，２５ｂ）が設けられており、これら接続用ポート２５ａ，２５ｂは、本体部２１の軸方向に間隔をおいて配置されている。
線引き方向の上流側の接続用ポート２５を第１接続用ポート２５ａといい、下流側の接続用ポート２５を第２接続用ポート２５ｂという。
図１では、第１接続用ポート２５ａは本体部２１の入口端２１ａ（上端）に近い位置にあり、第２接続用ポート２５ｂは出口端２１ｂ（下端）に近い位置にある。
なお、本体部２１の軸方向とは、本体部２１の中心軸方向であり、図１では上下方向である。
接続用ポート２５ａ，２５ｂは、本体部２１内の軸方向の圧力勾配を測定するために用いられる。例えば、接続用ポート２５ａ，２５ｂにそれぞれ接続した圧力計（図示略）によって本体部２１の内部の圧力を測定し、差圧を接続用ポート２５ａ，２５ｂ間の距離Ｌ（本体部２１の軸方向の距離）で除した値を平均圧力勾配として算出できる。距離Ｌは、例えば、接続用ポート２５ａ，２５ｂ（管路）の軸線どうしの距離である。
符号２７は入口側の放射温度計であって、接続筒２６に設けられており、徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度（入口ファイバ温度）を測定できる。符号２８は出口側の放射温度計であって、徐冷装置２０から外に出た直後のガラスファイバ３の温度（出口ファイバ温度）を測定できる。
放射温度計２７，２８によって、徐冷装置２０を通過するガラスファイバ３の温度勾配を確認できる。
放射温度計２７，２８によって、徐冷装置２０を通過するガラスファイバ３の温度勾配を確認できる。
強制冷却部３０の内部は、冷媒（例えばＨｅ）で満たされており、冷媒との接触によりガラスファイバ３を冷却できる。
コーティング部４０は、ガラスファイバ３の外周に、ウレタンアクリレート系の樹脂などの被覆材を塗布（コーティング）して被覆層とすることによって光ファイバ素線中間体４を得る。
硬化部５０は、光ファイバ素線中間体４の被覆層を硬化して光ファイバ素線５を形成する。硬化部５０は、例えばＵＶランプ（図示略）を有する。
折返しプーリー６０は、光ファイバ素線５の方向を変換することができる。
巻取り機７０は、例えば、光ファイバ素線５を巻き取る巻取りボビンである。
巻取り機７０は、例えば、光ファイバ素線５を巻き取る巻取りボビンである。
次に、製造装置１を用いた場合を例として、本発明の光ファイバ素線の製造方法の一実施形態を説明する。
（紡糸工程）
図１に示すように、紡糸部１０において、加熱炉１１内で光ファイバ母材２を加熱して溶融紡糸してガラスファイバ３を得る。
徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度を放射温度計２７によって測定することができる。このガラスファイバ３の温度は１２００℃〜１５００℃が好ましい。
（紡糸工程）
図１に示すように、紡糸部１０において、加熱炉１１内で光ファイバ母材２を加熱して溶融紡糸してガラスファイバ３を得る。
徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度を放射温度計２７によって測定することができる。このガラスファイバ３の温度は１２００℃〜１５００℃が好ましい。
（徐冷工程）
徐冷装置２０の内部は、予め流体（例えば、低熱伝導率ガス、空気など）で満たしておく。
接続用ポート２５ａ，２５ｂにそれぞれ接続した圧力計（図示略）によって本体部２１の内部の圧力を測定する。第１接続用ポート２５ａで測定された圧力と、第１接続用ポート２５ａで測定された圧力との差（差圧ΔＰ）を、接続用ポート２５ａ，２５ｂ間の距離（本体部２１の内部空間２１ｃにおける軸方向の距離Ｌ）で除した値（ΔＰ／Ｌ）を平均圧力勾配として算出する。なお、接続用ポート２５ａ，２５ｂ間の距離は、線引き方向の下流方向（図１では下方）を正とした。
次の式（８）に示すように、ΔＰ／Ｌを圧力勾配ｄＰ／ｄｚとした。
徐冷装置２０の内部は、予め流体（例えば、低熱伝導率ガス、空気など）で満たしておく。
接続用ポート２５ａ，２５ｂにそれぞれ接続した圧力計（図示略）によって本体部２１の内部の圧力を測定する。第１接続用ポート２５ａで測定された圧力と、第１接続用ポート２５ａで測定された圧力との差（差圧ΔＰ）を、接続用ポート２５ａ，２５ｂ間の距離（本体部２１の内部空間２１ｃにおける軸方向の距離Ｌ）で除した値（ΔＰ／Ｌ）を平均圧力勾配として算出する。なお、接続用ポート２５ａ，２５ｂ間の距離は、線引き方向の下流方向（図１では下方）を正とした。
次の式（８）に示すように、ΔＰ／Ｌを圧力勾配ｄＰ／ｄｚとした。
徐冷工程では、ガス導出入部２３，２４から本体部２１内に流入させる流体（ガス）流量と、狭窄部２２の開口部の内径との少なくともいずれか一方を調整することによって、徐冷装置２０の内部に、入口端２１ａから出口端２１ｂに向けて高くなる圧力勾配を与える。
例えば、ガス導出入部２４を通して本体部２１内に流入させる流体（ガス）流量を大きくするか、または狭窄部２２の開口部の内径を小さくすれば、前記圧力勾配は大きくなる。ガス導出入部２４を通して本体部２１内に流入させる流体（ガス）流量を小さくするか、または狭窄部２２の開口部の内径を大きくすれば、前記圧力勾配は小さくなる。
例えば、ガス導出入部２４を通して本体部２１内に流入させる流体（ガス）流量を大きくするか、または狭窄部２２の開口部の内径を小さくすれば、前記圧力勾配は大きくなる。ガス導出入部２４を通して本体部２１内に流入させる流体（ガス）流量を小さくするか、または狭窄部２２の開口部の内径を大きくすれば、前記圧力勾配は小さくなる。
徐冷工程では、徐冷装置２０の本体部２１の内部における内部空間２１ｃにおける軸方向（ガラスファイバ３の移動方向）の平均圧力変化ｄＰ／ｄＬは、次の式（９）を満たす。ここでは、徐冷装置２０の本体部２１の内径（管内径）をＤ［ｍ］とし、内部空間２１ｃの軸方向の距離をＬ［ｍ］とする。
徐冷装置２０の内部には入口端２１ａから出口端２１ｂに向けて高くなる圧力勾配が加えられるため、（πＤ２／４）×ｄＰ／ｄＬは０より大きくなる。
徐冷装置２０内に入口端２１ａから出口端２１ｂに向けて高くなる圧力勾配を与えることによって、徐冷装置２０内の流体の（ガラスファイバ移動方向の）流速を小さくすることができる（図２参照）。
上述の式（７）に示すように、流体の速度ｕを小さくすれば、流体と管内壁（本体部２１の内壁）との熱伝達は小さくなる。そのため、流体の熱が外部に逃げるのを抑制でき、流体の温度を高温に維持することができる。よって、ガラスファイバ３と流体との熱伝達を緩やかにすることができる（上述の［１］参照）。
従って、十分な徐冷効果を得て、伝送損失が低い光ファイバ素線５を製造することができる。
上述の式（７）に示すように、流体の速度ｕを小さくすれば、流体と管内壁（本体部２１の内壁）との熱伝達は小さくなる。そのため、流体の熱が外部に逃げるのを抑制でき、流体の温度を高温に維持することができる。よって、ガラスファイバ３と流体との熱伝達を緩やかにすることができる（上述の［１］参照）。
従って、十分な徐冷効果を得て、伝送損失が低い光ファイバ素線５を製造することができる。
また、この方法では、流体を加熱することによってその温度をガラスファイバの温度に近づける手法ではなく、流体の熱が外部に逃げるのを抑制することによって流体の温度とガラスファイバの温度とを近づける手法をとる。そのため、熱源を用いないで（または簡素な熱源を用いて）、前述の効果を得ることができる。よって、装置構成を複雑化させることはない。
平均圧力変化ｄＰ／ｄＬは、次の式（１０）を満たすことが好ましい。
これによって、徐冷装置２０内に十分な圧力勾配が与えられ、徐冷装置２０内の流体の（ガラスファイバ移動方向の）流速を小さくできる。
平均圧力変化ｄＰ／ｄＬは、次の式（１１）を満たす範囲にあることが好ましい。平均圧力変化ｄＰ／ｄＬがこの範囲にあることによって、徐冷装置２０内の流体の流速を小さくし、流体と管内壁（本体部２１の内壁）との熱伝達を小さくできる。
放射温度計２８によって、徐冷装置２０から外に出た直後のガラスファイバ３の温度（出口温度）を測定できる。
放射温度計２７，２８によって、徐冷装置２０を通過するガラスファイバ３の温度勾配を確認することができる。
放射温度計２７，２８によって、徐冷装置２０を通過するガラスファイバ３の温度勾配を確認することができる。
（強制冷却工程）
ガラスファイバ３は、強制冷却部３０によって、例えば１００℃以下まで冷却することができる。
ガラスファイバ３は、強制冷却部３０によって、例えば１００℃以下まで冷却することができる。
（コーティング工程）
コーティング部４０において、光ファイバ裸線３の外周に、ウレタンアクリレート系の樹脂などの被覆材を塗布（コーティング）して被覆層とすることによって、光ファイバ素線中間体４を得る。
コーティング部４０において、光ファイバ裸線３の外周に、ウレタンアクリレート系の樹脂などの被覆材を塗布（コーティング）して被覆層とすることによって、光ファイバ素線中間体４を得る。
（硬化工程）
硬化部５０において、紫外線を照射して光ファイバ素線中間体４の被覆層を硬化させて光ファイバ素線５を得る。
硬化部５０において、紫外線を照射して光ファイバ素線中間体４の被覆層を硬化させて光ファイバ素線５を得る。
光ファイバ素線５は、折返しプーリー６０を経て巻取り機７０により巻き取られる。
図３は、本発明に係る光ファイバ素線の製造方法の他の例を実施可能な製造装置１０１の概略構成を示す模式図である。
製造装置１０１は、徐冷装置２０が加熱炉１１に接続されておらず、加熱炉１１とは別体である点で、図１に示す製造装置１と異なる。
製造装置１０１を用いた製造方法においても、図１に示す製造装置１を用いた製造方法と同様に、ガス導出入部２４から本体部２１内に流入させる流体（ガス）流量と、狭窄部２２の開口部の内径とのうち少なくともいずれか一方を調整することによって、徐冷装置２０の内部に入口端２１ａから出口端２１ｂに向けて高くなる圧力勾配を与える。
これによって、ガラスファイバ３と流体との熱伝達を緩やかにし、十分な徐冷効果を得て、伝送損失が低い光ファイバ素線５を製造することができる。
また、この製造方法においても、熱源を用いないで（または簡素な熱源を用いて）、前述の効果を得ることができる。よって、装置構成を複雑化させることはない。
製造装置１０１は、徐冷装置２０が加熱炉１１に接続されておらず、加熱炉１１とは別体である点で、図１に示す製造装置１と異なる。
製造装置１０１を用いた製造方法においても、図１に示す製造装置１を用いた製造方法と同様に、ガス導出入部２４から本体部２１内に流入させる流体（ガス）流量と、狭窄部２２の開口部の内径とのうち少なくともいずれか一方を調整することによって、徐冷装置２０の内部に入口端２１ａから出口端２１ｂに向けて高くなる圧力勾配を与える。
これによって、ガラスファイバ３と流体との熱伝達を緩やかにし、十分な徐冷効果を得て、伝送損失が低い光ファイバ素線５を製造することができる。
また、この製造方法においても、熱源を用いないで（または簡素な熱源を用いて）、前述の効果を得ることができる。よって、装置構成を複雑化させることはない。
本発明の光ファイバ素線の製造方法について説明してきたが、本発明は前記の例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、徐冷装置２０内の圧力勾配を測定し、この測定値と、予め設定した基準圧力勾配とを比較し、それらのずれが小さくなるように、徐冷装置２０への流体の導入流量と、狭窄部２２の開口部の内径（出口開度）との少なくともいずれか一方を制御することもできる。制御方法としては、ＰＩＤ制御などのフィードバック制御が好ましい。
これによって、徐冷装置２０内の圧力勾配を適正範囲に保つことができる。
例えば、徐冷装置２０内の圧力勾配を測定し、この測定値と、予め設定した基準圧力勾配とを比較し、それらのずれが小さくなるように、徐冷装置２０への流体の導入流量と、狭窄部２２の開口部の内径（出口開度）との少なくともいずれか一方を制御することもできる。制御方法としては、ＰＩＤ制御などのフィードバック制御が好ましい。
これによって、徐冷装置２０内の圧力勾配を適正範囲に保つことができる。
まず、実施例に共通する事項を記載する。
光ファイバ母材２（光ファイバプリフォーム）としては、主にシリカガラスからなるクラッドと、ＧｅＯ２が添加されたコア部分とを含む、シングルモードファイバー用のプリフォームを用いた。
紡糸部１０において、加熱炉１１内で光ファイバ母材２を加熱して溶融紡糸してガラスファイバ３を得た（紡糸工程）。
ガラスファイバ３を、徐冷装置２０の本体部２１に、入口端２１ａから出口端２１ｂに向けて挿通させた（徐冷工程）。
光ファイバ母材２（光ファイバプリフォーム）としては、主にシリカガラスからなるクラッドと、ＧｅＯ２が添加されたコア部分とを含む、シングルモードファイバー用のプリフォームを用いた。
紡糸部１０において、加熱炉１１内で光ファイバ母材２を加熱して溶融紡糸してガラスファイバ３を得た（紡糸工程）。
ガラスファイバ３を、徐冷装置２０の本体部２１に、入口端２１ａから出口端２１ｂに向けて挿通させた（徐冷工程）。
徐冷工程においては、徐冷装置２０の内部をＡｒまたはＮ２で満たした。
徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は１２００℃〜１５００℃とした。
徐冷装置の本体部２１の内壁の温度は、常にガラスファイバ３の温度より低い温度とした。
徐冷装置２０の本体部２１の内径は、２０ｍｍ、３８．７ｍｍ、５０ｍｍのいずれかとした。
徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は１２００℃〜１５００℃とした。
徐冷装置の本体部２１の内壁の温度は、常にガラスファイバ３の温度より低い温度とした。
徐冷装置２０の本体部２１の内径は、２０ｍｍ、３８．７ｍｍ、５０ｍｍのいずれかとした。
第１接続用ポート２５ａで測定された圧力と、第１接続用ポート２５ａで測定された圧力との差（差圧ΔＰ）を、接続用ポート２５ａ，２５ｂ間の距離（本体部２１の内部空間の軸方向の距離Ｌ）で除した値を平均圧力勾配（ΔＰ／Ｌ）として算出した（式（８）を参照）。なお、接続用ポート２５ａ，２５ｂ間の距離は、線引き方向の下流方向（図１では下方）を正とした。
狭窄部２２において開口部の内径を調整するとともに、ガス導出入部２３またはガス導出入部２４からの低熱伝導率ガスの流入量を調整することによって、徐冷装置２０内部の圧力勾配を調整した。
放射温度計２７，２８によって、徐冷装置２０を通過するガラスファイバ３の温度勾配を確認した。
放射温度計２７，２８によって、徐冷装置２０を通過するガラスファイバ３の温度勾配を確認した。
ガラスファイバ３は、強制冷却部３０によって温度１００℃以下まで冷却した後、コーティング部４０において紫外線硬化樹脂のコーティングを施した（コーティング工程）。
次いで、硬化部５０において紫外線を照射して被覆層を硬化させて光ファイバ素線５を得た（硬化工程）。
光ファイバ素線５は、折返しプーリー６０を経て巻取り機７０により巻き取った。
光ファイバ素線５の伝送損失（波長１．５５μｍ）を、ＯＴＤＲを用いて測定した。
以下、実施例および参考例について詳しく記載する。
次いで、硬化部５０において紫外線を照射して被覆層を硬化させて光ファイバ素線５を得た（硬化工程）。
光ファイバ素線５は、折返しプーリー６０を経て巻取り機７０により巻き取った。
光ファイバ素線５の伝送損失（波長１．５５μｍ）を、ＯＴＤＲを用いて測定した。
以下、実施例および参考例について詳しく記載する。
（実施例１）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。本体部２１の内径は３８.７ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約４．５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１６０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失（波長１．５５μｍ）は、０．１７８ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。本体部２１の内径は３８.７ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約４．５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１６０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失（波長１．５５μｍ）は、０．１７８ｄＢ／ｋｍであった。
（実施例２）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８０ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８０ｄＢ／ｋｍであった。
（実施例３）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２．５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１９０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１７８ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２．５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１９０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１７８ｄＢ／ｋｍであった。
（実施例４）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１２２０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１７７ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１２２０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１７７ｄＢ／ｋｍであった。
（実施例５）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約１０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１３０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８０ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約１０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１３０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８０ｄＢ／ｋｍであった。
（実施例６）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約９Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１６０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１７９ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約９Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１１６０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１７９ｄＢ／ｋｍであった。
（実施例７）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約７０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１０７０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８１ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約７０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約１０７０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８１ｄＢ／ｋｍであった。
（実施例８）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９８０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８３ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９８０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８３ｄＢ／ｋｍであった。
（実施例９）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約１５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約１５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は３８.７ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９２０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は３８.７ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９２０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例２）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９５０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９５０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例３）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約７１０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約７１０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例４）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９５０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９５０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例５）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９８０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９８０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８４ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例６）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例７）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８６０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８６０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例８）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６８０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８７ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６８０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８７ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例９）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６８０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８７ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６８０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８７ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１０）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は３８.７ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約４５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８７０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は３８.７ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約４５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８７０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１１）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２００Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２００Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１２）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６７０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２５Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６７０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１３）
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
図１に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２３，２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９００℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１４）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９３０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は１．５ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部はＡｒで満たした。
線引き線速は１０００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入するＡｒ流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約９３０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８５ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１５）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約９０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約７５０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約９０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約７５０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１６）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約３００Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８１０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は１０００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約３００Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約８１０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８６ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１７）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６５０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８７ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は５０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約２０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６５０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８７ｄＢ／ｋｍであった。
（参考例１８）
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約１９０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６４０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８７ｄＢ／ｋｍであった。
図３に示す製造装置を用いて光ファイバ素線５を製造した。
徐冷装置２０の全長は３ｍとした。徐冷装置２０の本体部２１の内径は２０ｍｍとした。徐冷装置２０（本体部２１）の内部は空気で満たした。
線引き線速は２２００ｍ／ｍｉｎとした。徐冷装置２０に入る直前のガラスファイバ３の温度は約１４００℃とした。徐冷装置２０の本体部２１の内壁温度は４００℃とした。
徐冷装置２０内の軸方向の圧力変化が約１９０Ｐａ／ｍ となるように、ガス導出入部２４から流入する空気流量と、狭窄部２２の開口部の内径とを調整した。それ以外の条件は実施例１に準じて定めた。
放射温度計２８による測定の結果、徐冷装置２０の出口におけるガラスファイバ３の温度は約６４０℃であった。
光ファイバ素線５の伝送損失は、０．１８７ｄＢ／ｋｍであった。
実施例および参考例の条件を表１に示す。
徐冷装置２０の本体部２１の内径（管内径）をＤ［ｍ］とし、徐冷装置２０の内部空間２１ｃの軸方向の距離（徐冷装置長さ）をＬ［ｍ］としたときの（πＤ２／４）×ｄＰ／ｄＬを算出した。
徐冷装置２０の本体部２１の内径（管内径）をＤ［ｍ］とし、徐冷装置２０の内部空間２１ｃの軸方向の距離（徐冷装置長さ）をＬ［ｍ］としたときの（πＤ２／４）×ｄＰ／ｄＬを算出した。
図４は、徐冷装置２０の管内径Ｄと、ｌｏｇ（ｄＰ／ｄＬ）との関係を示す図である。
この図に示すように、実施例１〜９では、平均圧力変化ｄＰ／ｄＬが上述の式（１１）を満たしている。
この図に示すように、実施例１〜９では、平均圧力変化ｄＰ／ｄＬが上述の式（１１）を満たしている。
実施例および参考例の結果より、実施例１〜９では、徐冷装置２０内に入口端２１ａから出口端２１ｂに向けて高くなる圧力変化を与えることによって、伝送損失が低い光ファイバ素線５を製造することができたことが確認された。
１，１０１…光ファイバ素線の製造装置、２…光ファイバ母材、３…ガラスファイバ（光ファイバ裸線）、５…光ファイバ素線、１０…紡糸部、１１…加熱炉、２０…徐冷装置、２１ａ…入口端、２１ｂ…出口端、２２…狭窄部。
Claims (4)
- 光ファイバ母材を溶融紡糸してガラスファイバを形成する紡糸工程と、
前記ガラスファイバを、管状の徐冷装置に入口端から出口端に向けて挿通させつつ前記ガラスファイバを冷却する徐冷工程と、を有し、
前記徐冷工程では、前記徐冷装置の内壁の温度を前記ガラスファイバの温度より低くするとともに、前記徐冷装置の内部に、前記入口端から前記出口端に向けて高くなる圧力勾配を与え、
かつ、前記徐冷装置の管内径をＤ［ｍ］とし、前記徐冷装置の内部空間における前記ガラスファイバの移動方向の長さをＬ［ｍ］としたとき、前記徐冷装置の内部における前記ガラスファイバの移動方向の平均圧力変化ｄＰ／ｄＬが、式（１）を満たす光ファイバ素線の製造方法。
- 請求項１に記載の光ファイバ素線の製造方法であって、前記平均圧力変化ｄＰ／ｄＬが式（２）を満たす光ファイバ素線の製造方法。
- 請求項１または２に記載の光ファイバ素線の製造方法であって、前記圧力勾配は、前記徐冷装置への流体の導入流量と、前記徐冷装置の出口開度との少なくともいずれか一方を調整することによって与えられる光ファイバ素線の製造方法。
- 請求項１〜３のうちいずれか１項に記載の光ファイバ素線の製造方法であって、前記徐冷装置の前記圧力勾配を測定し、この測定値と、予め設定した基準圧力勾配とを比較し、それらのずれが小さくなるように、前記徐冷装置への流体の導入流量と、前記徐冷装置の出口開度との少なくともいずれか一方を制御する光ファイバ素線の製造方法。
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