JP6540791B2 - 可変容量素子 - Google Patents
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
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Description
誘電体材料から構成される可変容量層と、
可変容量層で静電容量を取得するための電極と、
可変容量層を介して対向して位置する絶縁部と
電極からの引き出し部と
を有してなり、
絶縁部が、少なくともSrを含み、さらにTiおよび/またはZrを含んでいてもよい絶縁材料からなることを特徴とする、可変容量素子が提供される。
誘電体材料から構成される複数の可変容量層と、
可変容量層の両主表面上に可変容量層を介して対向して位置する複数の対の電極と、
複数の絶縁部と、
少なくとも1対の引き出し部と、
を有してなり、
上記複数の可変容量層および上記複数の絶縁部は、交互に積層され、積層体を形成し、
上記複数の可変容量層と上記複数の対の電極は、複数のコンデンサ構造を構成し、
上記引き出し部は、その一端において上記コンデンサ構造を構成する電極に電気的に接続され、絶縁部を貫通して、他端において外部電極または他の電気要素と電気的に接続するための接続部を提供することを特徴とする。
・可変容量層の評価
BaCO3、SrCO3、ZrO2およびTiO2粉末を準備し、それぞれ、組成比が(Ba0.7Sr0.3)TiO3(試料番号1)およびBa(Zr0.75Ti0.25)O3(試料番号2)になるように秤量した。次いで、秤量物を、ボールミルに入れて、湿式で16時間混合、粉砕し、乾燥後、1200℃で2時間仮焼した。得られた仮焼物を、再びボールミルに入れて、湿式で16時間粉砕した後、バインダおよび可塑剤を加え、ドクターブレード法により、30μmの厚みにシート状に成形した。得られたシートを所定の大きさに打ち抜いた後、焼成後の厚みが約1mmになるように複数枚積み重ね、圧着した。圧着した積層体を焼成後の直径が約10mmになるように円板状に打ち抜き、これを焼成炉に入れて、400℃の温度でバインダや可塑剤を除去した。次いで、積層体を1350℃に昇温し、2時間保持することで焼成した。
・絶縁部の評価
SrCO3、TiO2およびZrO2粉末を準備し、それぞれ、組成比がSr(Ti1−xZrx)O3(xは、0(試料番号3)、0.25(試料番号4)、0.5(試料番号5)、0.75(試料番号6)、および1.0(試料番号7))となるように秤量した。次いで、秤量物を、ボールミルに入れて、湿式で16時間混合、粉砕し、乾燥後、1200℃で2時間仮焼した。得られた仮焼物を、再びボールミルに入れて、湿式で16時間粉砕した後、バインダおよび可塑剤を加え、ドクターブレード法により、30μmの厚みにシート状に成形した。得られたシートを所定の大きさに打ち抜いた後、焼成後の厚みが1mm程度になるように複数枚積み重ね、圧着した。
・可変容量素子の試料の作製
実施例1および2で作成した可変容量層用のシート(試料番号1および2)および絶縁部用のシート(試料番号3〜8)を用いて、図1および2に示す可変容量素子を次のようにして作製した。
2…可変容量層;4,4’…電極;6,6’…絶縁部;
8,8’…引き出し部;10,10’…貫通口;12…外部電極;
14…導体部;24…可変容量層;26…電極;28…電極;
30…電極;32…絶縁部;34…絶縁部;36…絶縁部;
38…引き出し部;40…引き出し部;42…外部電極;
44…外部電極;46…ビアホール;48…ビアホール;
50…開口部;62…可変容量層;64…可変容量層;
66…電極;68…電極;70…電極;72…電極;
74…絶縁部;76…絶縁部;78…絶縁部;80…引き出し部;
82…引き出し部;84…引き出し部;86…引き出し部;
88…外部電極;90…外部電極;92…ビアホール;
94…ビアホール;96…ビアホール;98…ビアホール
Claims (5)
- 誘電体材料から構成される可変容量層と、
可変容量層で静電容量を取得するための電極と、
可変容量層を介して対向して位置する絶縁部と
電極からの引き出し部と
一対の引き出し部と電気的に接続されている一対の外部電極と
を有してなり、
絶縁部が、少なくともSrを含み、さらにTiおよびZrを含む絶縁材料からなり、該絶縁材料は、SrTiO3−SrZrO3系材料であり、
絶縁部における、TiとZrのモル数の合計に対するZrのモル数の割合は、0.25以上0.75以下であり、
前記外部電極は、上記絶縁部の可変容量層を支持する面と対向する面のみに、その面の縁から離隔して設けられていることを特徴とする、可変容量素子。 - 可変容量層が、BaおよびSrから選択される少なくとも一種、およびTiおよびZrから選択される少なくとも一種を含む絶縁材料からなることを特徴とする、請求項1に記載の可変容量素子。
- 電極および引き出し部が、AgまたはCuから構成されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の可変容量素子。
- 誘電体材料から構成される可変容量層と、
可変容量層を介して対向して位置する一対の電極と、
可変容量層を間に支持する一対の絶縁部と、
一対の電極にそれぞれ繋がっている一対の引き出し部と
を有してなり、
一対の引き出し部が、一対の絶縁部内にそれぞれ配置され、かつ可変容量層に略垂直な同軸上にあることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の可変容量素子。 - 誘電体材料から構成される複数の可変容量層と、
可変容量層の両主表面上に可変容量層を介して対向して位置する複数の対の電極と、
複数の絶縁部と、
少なくとも1対の引き出し部と、
を有してなり、
上記複数の可変容量層および上記複数の絶縁部は、交互に積層され、積層体を形成し、
上記複数の可変容量層と上記複数の対の電極は、複数のコンデンサ構造を構成し、
上記引き出し部は、その一端において上記コンデンサ構造を構成する電極に電気的に接続され、絶縁部を貫通して、他端において外部電極または他の電気要素と電気的に接続されること
を特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の可変容量素子。
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