JP6537482B2 - 振動波モータおよび電子機器 - Google Patents

Description

本発明は、振動波モータおよび電子機器に関する。

振動波モータは、高周波電圧を印加されることで周期的に振動する振動子を摺動部材に加圧し摩擦接触させることで駆動する。特許文献１の振動波モータでは、振動子は、保持部材に対して、加圧方向には移動することができるが、進行方向にはガタなく連結される。このような構成を実現するために、保持部材を二体構造とし、２つの部材は転動部材を介して連結する。

特許第５９６９９７６号公報

しかしながら、特許文献１の振動波モータは、転動部材の脱落を防止する抜け止め構造と、保持部材の２つの部材の脱落を防止する抜け止め構造との両方の構造を有する必要があるため、全体として大型化してしまう。

このような課題に鑑みて、本発明は、大型化することなくガタのない連結が可能な振動波モータおよび電子機器を提供することを目的とする。

本発明の一側面としての振動波モータは、振動子と、前記振動子と接触する摺動部材に対して前記振動子を加圧するための加圧力を前記振動子に伝達する伝達部材と、前記振動子および前記伝達部材の一方を保持する第１の保持部材と、前記振動子および前記伝達部材の他方を保持する第２の保持部材と、前記第１および第２の保持部材を連結する連結手段と、を有し、前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摺動部材が相対的に移動する振動波モータであって、前記連結手段は、前記第１および第２の保持部材を前記加圧力の方向へ相対移動させるための第１の転動部材と、前記振動子と前記摺動部材の相対移動方向と平行に前記第１の転動部材を付勢する付勢部材とを備え、前記第１の保持部材は、前記第１の転動部材の抜け止めを行う第１の抜け止め部を備え、前記第２の保持部材は、前記第１の転動部材の抜け止めを行う第２の抜け止め部を備え、前記第２の保持部材は、前記第２の抜け止め部を有する側から前記第１の保持部材に組み付けられていて、前記第１の抜け止め部は、前記第２の保持部材に対する前記第１の保持部材の組み付け方向側への前記第１の転動部材の抜け止めを行い、前記第２の抜け止め部は、前記第１の保持部材に対する前記第２の保持部材の組み付け方向側への前記第１の転動部材の抜け止めを行うことを特徴とする。

本発明によれば、大型化することなくガタのない連結が可能な振動波モータおよび電子機器を提供することができる。

本発明の実施形態に係る振動波モータを備える撮像装置の断面図である。 振動波モータの構成図である。 振動波モータの部分拡大図である。 要部の組み付けを説明する図である。 要部の構造を説明する図である。 要部の構造を説明する図である。

以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明する。各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。

図１は、本発明の実施形態に係る振動波モータを備える撮像装置の断面図である。撮像装置は、撮像レンズ部１およびカメラボディ２を備える。撮像レンズ部１の内部には、振動波モータ３と振動波モータ３に取り付けられた合焦レンズ４が配置されている。カメラボディ２の内部には、撮像素子５が配置されている。合焦レンズ４は、撮影時に振動波モータ３により光軸Ｏ（Ｘ軸）に沿って移動する。被写体像は撮像素子５の位置で結像し、撮像素子５は合焦した像を生成する。本実施形態では振動波モータ３は撮像装置に搭載されているが、本発明はこれに限定されない。振動波モータ３は、撮像装置とは異なる電子機器、例えば撮像装置に着脱可能なレンズ鏡筒などに搭載されてもよい。また、振動波モータ３は、合焦レンズ４を光軸Ｏに沿って移動させるためではなく、振れ補正レンズを光軸Ｏと直交する方向へ移動させるために用いてもよい。また、撮像レンズ部１は、本実施形態ではカメラボディ２と一体となって構成されているが、カメラボディ２に着脱可能に取り付けられるレンズであってもよい。

図２は、振動波モータ３の構成図である。図２（ａ）〜図２（ｄ）はそれぞれ、振動波モータ３の斜視図、分解斜視図、正面図、側面断面図である。図３は、振動波モータ３の部分拡大図である。図３（ａ）は図２（ｃ）の部分拡大図、図３（ｂ）は図２（ｄ）の部分拡大図である。

摩擦部材（摺動部材）１０１とガイド支持部材（レールプレート）１１３は、ネジ等により地板１１２に固定される。加圧バネ（加圧手段）１１０は、４つの位置で加圧力伝達部材（伝達部材）１１１と駆動力伝達部材（可動プレート）１１５をそれぞれが備えるバネ掛け部を介して連結させ、振動子１０４を摩擦部材１０１に摩擦接触させる加圧力を印加する。なお、本実施形態では加圧バネ１１０は４つの位置で振動子１０４に対して加圧力を印加するが、複数の加圧手段が異なる位置で振動子１０４に対して加圧力を印加可能であれば、本発明はこれに限定されない。また、加圧バネ１１０による加圧力は、後述する移動部１２０の相対移動方向に対して直交する。

振動子１０４は、振動板１０２と圧電素子１０３を備える。振動板１０２と圧電素子１０３は接着材等により固定される。振動板１０２は、加圧力伝達部材１１１側の面と反対側の面に設けられた突出部である接触部を備え、接触部は加圧バネ１１０の加圧力により加圧された状態で摩擦部材１０１に接触する。圧電素子１０３は、電圧を印加することで超音波振動を励振する。振動板１０２と圧電素子１０３が接着された状態で圧電素子１０３に超音波振動を励振させることで、振動子１０４に共振現象が起こる。このとき、振動子１０４には２種の定在波が発生し、振動板１０２の接触部に略楕円運動が発生する。

振動子保持部材１０５は、接着剤等により振動子１０４を保持する。加圧力伝達部材１１１を保持する保持筐体である加圧機構保持部材１０７は、円筒形のローラー（転動部材）１０８ａ、１０８ｂと板バネ（付勢部材）１０９を介して振動子保持部材１０５に連結される。加圧機構保持部材１０７は、被駆動体と連結される動力取り出し部（不図示）を備える。

弾性部材１０６は、圧電素子１０３と加圧力伝達部材１１１との間に配置される。弾性部材１０６は、圧電素子１０３の損傷を防止するために、加圧力伝達部材１１１が備える加圧部と圧電素子１０３が直接接触することを防いでいる。

加圧機構保持部材１０７と可動プレート１１５は、ネジ等で固定される。可動プレート１１５には３つのＶ溝の移動側案内部が形成され、移動側案内部にはそれぞれ転動ボール１１４ａ〜１１４ｃが嵌入されている。レールプレート１１３には、３つの溝状の固定側案内部が形成される。転動ボール１１４ａ〜１１４ｃは、可動プレート１１５に形成される移動側案内部と、レールプレート１１３に形成される固定側案内部により挟持される。なお、レールプレート１１３に形成される３つの固定側案内部は、本実施形態では２つはＶ溝、１つは有底の平面溝であるが、転動ボール１１４ａ〜１１４ｃが転動可能な溝であればよい。

本実施形態では、振動波モータ３をＺ軸方向において薄型化するために、加圧バネ１１０を振動子１０４の上部に積み重ねるのではなく、振動子１０４を囲うように離間して複数配置している。本実施形態では、複数の加圧バネ１１０により加圧力を発生させることで、加圧バネ１１０を小さくすることができる。加圧バネ１１０が弾性部材１０６を介して振動子１０４を摩擦部材１０１に矢印Ｃ方向（加圧力の方向、加圧方向）へ加圧することで、振動板１０２の接触部は加圧バネ１１０の加圧力により加圧された状態で摩擦部材１０１に接触する。この状態で圧電素子１０３に電圧が印加されると、振動子１０４に発生する略楕円運動が効率的に摩擦部材１０１に伝達される。このとき、振動子１０４、振動子保持部材１０５、弾性部材１０６、加圧機構保持部材１０７、加圧バネ１１０、加圧力伝達部材１１１および可動プレート１１５で構成される移動部１２０は、光軸Ｏに沿って摩擦部材１０１に対して相対的に移動可能となる。

次に、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７を連結する連結機構１１６について説明する。連結機構１１６は、ローラー１０８ａ、１０８ｂと板バネ１０９で構成される。図２と図３に示されるように、ローラー１０８ａ、１０８ｂは、Ｚ軸に沿って移動可能に振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７との間に配置される。板バネ１０９は、加圧機構保持部材１０７とローラー（第１の転動部材）１０８ｂとの間に配置され、Ｘ軸と平行な付勢力を有する。板バネ１０９は、ローラー１０８ｂを介して振動子保持部材１０５を矢印Ａ方向へ付勢し、加圧機構保持部材１０７を矢印Ｂ方向へ付勢する。これにより、ローラー（第２の転動部材）１０８ａは、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７との間で挟持される。

以上のように構成することで、振動子保持部材１０５および加圧機構保持部材１０７は、ローラー１０８ａ、１０８ｂの転動によりＺ軸に沿って移動可能である。そのため、振動子１０４に発生する超音波振動を阻害せずに、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７を連結することができる。また、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７をＸ軸に平行な方向、すなわち移動部１２０の移動方向へのガタがない状態で連結できるため、ガタによる応答の遅れは発生しない。結果として、駆動効率を向上させることが可能となる。

また、本実施形態では、ローラー１０８ａは、中央側（振動子１０４の中心に近づく側）で振動子保持部材１０５と当接し、外側（振動子１０４の中心から遠ざかる側）で加圧機構保持部材１０７と当接する。ローラー１０８ｂは、中央側で振動子保持部材１０５と当接し、外側で加圧機構保持部材１０７が保持する板バネ１０９と当接する。加圧機構保持部材１０７が板バネ１０９を保持することで、組立性を損なうことがなく、振動子１０４の中央部に積み重ねて配置される圧電素子１０３、弾性部材１０６、加圧力伝達部材１１１等の別部品との干渉を回避することができる。したがって、複数の加圧バネ１１０を振動子１０４の中央部に近づけて配置することができ、ＸＹ平面に対して平面視した移動部１２０の外形サイズを小型化することが可能となる。

また、板バネ１０９の付勢力は、振動子１０４の駆動開始および駆動停止時に発生する加減速による慣性力より大きくなるように設定されている。これにより、振動子１０４と振動子保持部材１０５には駆動時の慣性力による移動部１２０の移動方向に沿った相対変位が発生しないため、安定した駆動制御を実現することができる。

なお、本実施形態では、連結機構１１６は、ローラー１０８ａ、１０８ｂおよび板バネ１０９で構成されるが、転動部材および付勢部材を備えていれば本発明はこれに限定されない。例えば、ローラーの代わりにボールなどを使用してもよい。また、本実施形態では、連結機構１１６を構成する付勢部材として板バネ１０９を使用しているが、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７との間のガタをなくすことができる付勢部材であれば本発明はこれに限定されない。

次に、図４を参照して、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７との組み付けについて説明する。図４は、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７との組み付けを説明する図である。図４（ａ）は組み付け前の側面断面図、図４（ｂ）は組み付け後の側面断面図である。図４（ｃ）と図４（ｄ）はそれぞれ、図４（ｂ）のＤ領域とＥ領域の拡大図である。図４（ａ）に示されるように、組み付け前、振動子保持部材１０５には、振動子１０４が組み付けられている。また、加圧機構保持部材１０７には、ローラー１０８ａ、１０８ｂおよび板バネ１０９が組み付けられている。

まず、ローラー１０８ａ、１０８ｂの抜け止め構造について説明する。図４（ｃ）に示されるように、ローラー１０８ａは、Ｚ軸の正方向へ一定量だけ移動すると、振動子保持部材１０５に形成された抜け止め部１０５ａと当接し、移動が規制される。また、ローラー１０８ａは、Ｚ軸の負方向へ一定量だけ移動すると、加圧機構保持部材１０７に形成された抜け止め部１０７ａと当接し、移動が規制される。このような構成により、ローラー１０８ａの脱落が防止される。

図４（ｄ）に示されるように、ローラー１０８ｂは、Ｚ軸の正方向へ一定量だけ移動すると、振動子保持部材１０５に形成された抜け止め部１０５ｂと当接し、移動が規制される。また、ローラー１０８ｂは、Ｚ軸の負方向へ一定量だけ移動すると、加圧機構保持部材１０７に形成された抜け止め部１０７ｂと当接し、移動が規制される。このような構成により、ローラー１０８ｂの脱落が防止される。

したがって、抜け止め部１０５ａ、１０５ｂは、加圧機構保持部材１０７に対する振動子保持部材１０５の組み付け方向側へのローラー１０８ａ、１０８ｂの抜け止めを行う。また、抜け止め部１０７ａ、１０７ｂは、振動子保持部材１０５に対する加圧機構保持部材１０７の組み付け方向側へのローラー１０８ａ、１０８ｂの抜け止めを行う。言い換えると、振動子保持部材１０５および加圧機構保持部材１０７の一方に形成された抜け止め部は、他方に対する一方の組み付け方向側へのローラー１０８ａ、１０８ｂの抜け止めを行う。

次に、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７との抜け止め構造について説明する。ここで、図４（ｂ）の状態において、振動子保持部材１０５を加圧機構保持部材１０７に対して相対的にＺ軸の負方向へ引き抜くことを仮定する。このとき、振動子保持部材１０５がＺ軸の負方向へ一定量だけ移動すると、振動子保持部材１０５の抜け止め部１０５ａ、１０５ｂがそれぞれローラー１０８ａ、１０８ｂと当接する。その後、振動子保持部材１０５は、ローラー１０８ａ、１０８ｂを引きずる形でＺ軸の負方向へ移動する。この状態で振動子保持部材１０５が更に一定量だけ移動すると、抜け止め部１０５ａ、１０５ｂはそれぞれローラー１０８ａ、１０８ｂを介して加圧機構保持部材１０７の抜け止め部１０７ａ、１０７ｂと当接する。結果として、振動子保持部材１０５の移動が規制される。

また、図４（ｂ）の状態において、加圧機構保持部材１０７を振動子保持部材１０５に対して相対的にＺ軸の正方向へ引き抜くことを仮定する。このとき、加圧機構保持部材１０７がＺ軸の正方向へ一定量だけ移動すると、加圧機構保持部材１０７の抜け止め部１０７ａ、１０７ｂがそれぞれローラー１０８ａ、１０８ｂと当接する。その後、加圧機構保持部材１０７は、ローラー１０８ａ、１０８ｂを引きずる形でＺ軸の正方向へ移動する。この状態で加圧機構保持部材１０７が更に一定量だけ移動すると、抜け止め部１０７ａ、１０７ｂはそれぞれローラー１０８ａ、１０８ｂを介して振動子保持部材１０５の抜け止め部１０５ａ、１０５ｂと当接する。結果として、加圧機構保持部材１０７の移動が規制される。

以上説明したように、振動子保持部材１０５および加圧機構保持部材１０７の各抜け止め部は、Ｚ軸方向から見て少なくとも一部がローラー１０８ａ、１０８ｂに重なるように形成されている。このような構成により、本実施形態では、振動子保持部材１０５および加圧機構保持部材１０７の各抜け止め部が、ローラー１０８ａ、１０８ｂの抜け止めと、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７の抜け止めとを行う。

また、抜け止め部１０５ａ、１０５ｂのＺ軸の正側は角度４５度で面取りされ、負側は曲面状に面取りされている。ローラー１０８ａ、１０８ｂが組み付けられた加圧機構保持部材１０７をＺ軸の正側から振動子保持部材１０５に組み付ける場合に、抜け止め部１０５ａ、１０５ｂはそれぞれＸ軸方向へローラー１０８ａ、１０８ｂを押しのける。このとき、板バネ１０９は、抜け止め部１０５ｂから退避するようにＸ軸方向へ弾性変形する。これにより、ローラー１０８ｂは、抜け止め部１０５ｂを乗り越えることができる。

次に、抜け止め部の構成について説明する。図５（ａ）は、ローラー１０８ａ、１０８ｂおよび板バネ１０９が組み込まれた状態の加圧機構保持部材１０７の側面断面図を示している。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＦ領域の拡大図である。

図５（ｂ）に示されるように、加圧機構保持部材１０７の抜け止め部１０７ｂは、Ｚ軸の負側（矢印Ｈ側）に設けられている。板バネ１０９は、抜け止め部１０７ｂが設けられた側とは反対側（Ｚ軸の正側、矢印Ｇ側）から加圧機構保持部材１０７に組み込まれて保持されている。すなわち、板バネ１０９は、加圧機構保持部材１０７の組み付け方向（Ｚ軸の負方向）に沿って板バネ１０９および抜け止め部１０７ｂの順となるように保持される。このような構成により、板バネ１０９と抜け止め部１０７ｂとがお互いを阻害することはない。

図６は、振動子１０４が組み込まれた状態の振動子保持部材１０５の側面断面図である。図６に示されるように、振動子１０４はＺ軸の負側（矢印Ｊ側）から組み付けられている。振動子保持部材１０５の抜け止め部１０５ａ、１０５ｂは、振動子１０４が組み付けられた側とは反対側（Ｚ軸の正側、矢印Ｉ側）に設けられている。また、振動子保持部材１０５は、Ｚ軸の正側で加圧機構保持部材１０７に組み付けられている。これにより、振動子１０４、振動子保持部材１０５および加圧機構保持部材１０７のＸ軸上の位置をオーバーラップさせることが可能になり、Ｘ軸方向の寸法の大型化を防止することができる。

以上説明したように、本実施形態の振動波モータ３は、ガタのない連結を行いながらも、連結に必要なローラー１０８ａ、１０８ｂの抜け止めと、振動子保持部材１０５と加圧機構保持部材１０７の抜け止めとを行うことができる。そのため、振動波モータ３全体として寸法の大型化を抑えることができる。

なお、本実施形態では、板バネ１０９は、加圧機構保持部材１０７に組み込まれているが、振動子保持部材１０５の一方に組み込まれてもよい。この場合、板バネ１０９は振動子保持部材１０５の組み付け方向（Ｚ軸の正方向）に沿って板バネ１０９および抜け止め部１０５ａ、１０５ｂの順となるように保持される。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。

３ 振動波モータ
１０１ 摩擦部材（摺動部材）
１０４ 振動子
１０５ 振動子保持部材（第１または第２の保持部材）
１０５ｂ 抜け止め部（第１または第２の抜け止め部）
１０７ 加圧機構保持部材（第１または第２の保持部材）
１０７ｂ 抜け止め部（第１または第２の抜け止め部）
１０８ｂ ローラー（第１の転動部材）
１０９ 板バネ（付勢部材）
１１１ 加圧力伝達部材（伝達部材）
１１６ 連結手段

Claims (16)

1. 振動子と、
   前記振動子と接触する摺動部材に対して前記振動子を加圧するための加圧力を前記振動子に伝達する伝達部材と、
   前記振動子および前記伝達部材の一方を保持する第１の保持部材と、
   前記振動子および前記伝達部材の他方を保持する第２の保持部材と、
   前記第１および第２の保持部材を連結する連結手段と、を有し、
   前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摺動部材が相対的に移動する振動波モータであって、
   前記連結手段は、前記第１および第２の保持部材を前記加圧力の方向へ相対移動させるための第１の転動部材と、前記振動子と前記摺動部材の相対移動方向と平行に前記第１の転動部材を付勢する付勢部材とを備え、
   前記第１の保持部材は、前記第１の転動部材の抜け止めを行う第１の抜け止め部を備え、
   前記第２の保持部材は、前記第１の転動部材の抜け止めを行う第２の抜け止め部を備え、
   前記第２の保持部材は、前記第２の抜け止め部を有する側から前記第１の保持部材に組み付けられていて、
   前記第１の抜け止め部は、前記第２の保持部材に対する前記第１の保持部材の組み付け方向側への前記第１の転動部材の抜け止めを行い、
   前記第２の抜け止め部は、前記第１の保持部材に対する前記第２の保持部材の組み付け方向側への前記第１の転動部材の抜け止めを行うことを特徴とする振動波モータ。
2. 前記第１の保持部材は、前記振動子を保持し、
   前記第１の抜け止め部は、前記振動子を保持する側とは反対側に設けられ、
   前記第１の保持部材は、前記第１の抜け止め部を有する側から前記第２の保持部材に組み付けられていることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
3. 前記加圧力を発生させる加圧手段を更に有し、
   前記加圧手段は、前記振動子を囲むように離間して複数配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の振動波モータ。
4. 振動子と、
   前記振動子と接触する摺動部材に対して前記振動子を加圧するための加圧力を前記振動子に伝達する伝達部材と、
   前記振動子および前記伝達部材の一方を保持する第１の保持部材と、
   前記振動子および前記伝達部材の他方を保持する第２の保持部材と、
   前記第１および第２の保持部材を連結する連結手段と、を有し、
   前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摺動部材が相対的に移動する振動波モータであって、
   前記連結手段は、前記第１および第２の保持部材を前記加圧力の方向へ相対移動させるための第１の転動部材と、前記振動子と前記摺動部材の相対移動方向と平行に前記第１の転動部材を付勢する付勢部材とを備え、
   前記第１の保持部材は、前記第１の転動部材の抜け止めを行う第１の抜け止め部を備え、
   前記第２の保持部材は、前記第１の転動部材の抜け止めを行う第２の抜け止め部を備え、
   前記第１の保持部材は、前記振動子を保持し、
   前記第１の抜け止め部は、前記振動子を保持する側とは反対側に設けられ、
   前記第１の保持部材は、前記第１の抜け止め部を有する側から前記第２の保持部材に組み付けられていて、
   前記第１の抜け止め部は、前記第２の保持部材に対する前記第１の保持部材の組み付け方向側への前記第１の転動部材の抜け止めを行い、
   前記第２の抜け止め部は、前記第１の保持部材に対する前記第２の保持部材の組み付け方向側への前記第１の転動部材の抜け止めを行うことを特徴とする振動波モータ。
5. 前記加圧力を発生させる加圧手段を更に有し、
   前記加圧手段は、前記振動子を囲むように離間して複数配置されることを特徴とする請求項４に記載の振動波モータ。
6. 振動子と、
   前記振動子と接触する摺動部材に対して前記振動子を加圧するための加圧力を発生させる加圧手段と、
   前記加圧力を前記振動子に伝達する伝達部材と、
   前記振動子および前記伝達部材の一方を保持する第１の保持部材と、
   前記振動子および前記伝達部材の他方を保持する第２の保持部材と、
   前記第１および第２の保持部材を連結する連結手段と、を有し、
   前記振動子に発生する振動により前記振動子と前記摺動部材が相対的に移動する振動波モータであって、
   前記加圧手段は、前記振動子を囲むように離間して複数配置され、
   前記連結手段は、前記第１および第２の保持部材を前記加圧力の方向へ相対移動させるための第１の転動部材と、前記振動子と前記摺動部材の相対移動方向と平行に前記第１の転動部材を付勢する付勢部材とを備え、
   前記第１の保持部材は、前記第１の転動部材の抜け止めを行う第１の抜け止め部を備え、
   前記第２の保持部材は、前記第１の転動部材の抜け止めを行う第２の抜け止め部を備え、
   前記第１の抜け止め部は、前記第２の保持部材に対する前記第１の保持部材の組み付け方向側への前記第１の転動部材の抜け止めを行い、
   前記第２の抜け止め部は、前記第１の保持部材に対する前記第２の保持部材の組み付け方向側への前記第１の転動部材の抜け止めを行うことを特徴とする振動波モータ。
7. 前記第２の保持部材は、前記伝達部材を保持し、
   前記付勢部材は、前記第２の保持部材に保持されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の振動波モータ。
8. 前記第１の転動部材は、前記振動子と前記摺動部材の相対移動方向において、前記振動子の中央側で前記第１の保持部材と当接し、前記振動子の中央側とは反対側で前記付勢部材と当接することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の振動波モータ。
9. 前記振動子と前記摺動部材の相対移動方向において、前記振動子の中央側で前記第１の保持部材と当接し、前記振動子の中央側とは反対側で前記第２の保持部材と当接する第２の転動部材を更に有することを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載の振動波モータ。
10. 前記加圧力の方向は、前記振動子と前記摺動部材の相対移動方向に対して直交することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の振動波モータ。
11. 前記第１の保持部材は、前記振動子を保持し、
    前記付勢部材の付勢力は、前記振動子と前記摺動部材が相対的に移動する際に前記第１の保持部材に加わる慣性力より大きくなるように設定されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の振動波モータ。
12. 前記第１および第２の抜け止め部は、前記加圧力の方向から見て、少なくとも一部が前記第１の転動部材に重なるように設けられていることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の振動波モータ。
13. 前記付勢部材は、板バネであることを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の振動波モータ。
14. 前記転動部材は、円筒形のローラーであることを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の振動波モータ。
15. 前記振動子は、前記摺動部材に接触する振動板と電圧を印加されることで超音波振動を励振する圧電素子を備えることを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
16. 請求項１から１５のいずれか１項に記載の振動波モータを有することを特徴とする電子機器。