JP6534366B2 - 弾性波デバイス - Google Patents
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Description
11 支持基板
12、13 圧電基板
14 層
20、22 弾性波共振器
21、23 IDT
24 櫛型電極
25 電極指
26 バスバー
27 反射器
28 保護膜
29 バルク波
30 ビア配線
31〜37 パッド
38、39 配線
40〜40b パッケージ基板
41 バンプ
42、43 空隙
44〜44b リッド
45 ビア配線
46 フットパッド
50 受信フィルタ
51 送信フィルタ
52〜58 パッド
59、60、62、63 配線
70 第1デュプレクサ
71 第1受信フィルタ
72 第1送信フィルタ
73 第2デュプレクサ
74 第2受信フィルタ
75 第2送信フィルタ
80 ワイヤ
81、83、85 配線
82、84 パッド
90、91 枠体
92、94、96 パッド
93、95 配線
97 フットパッド
98 ビア配線
Claims (9)
- 支持基板と、
前記支持基板の第1主面に接合され、単結晶基板からなり、回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板又は回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板である第1圧電基板と、
前記第1圧電基板の前記支持基板が接合された面とは反対側の面に設けられ、IDTを有する第1弾性波共振器と、
前記支持基板の前記第1主面とは反対側の第2主面に接合され、単結晶基板からなり、回転YカットX伝搬タンタル酸リチウム基板又は回転YカットX伝搬ニオブ酸リチウム基板である第2圧電基板と、
前記第2圧電基板の前記支持基板が接合された面とは反対側の面に設けられ、IDTを有する第2弾性波共振器と、を備え、
前記支持基板の音響インピーダンスは、前記第1圧電基板及び前記第2圧電基板の音響インピーダンスよりも高く、
前記支持基板は、前記第1圧電基板及び前記第2圧電基板よりも厚く、
前記第1圧電基板の結晶方位のX軸方向と前記第2圧電基板の結晶方位のX軸方向とは異なる方向を向いている、弾性波デバイス。 - 前記第1圧電基板の前記反対側の面に設けられ、前記第1弾性波共振器からなり、ラダー型フィルタを構成する直列共振器と、
前記第2圧電基板の前記反対側の面に設けられ、前記第2弾性波共振器からなり、前記ラダー型フィルタを構成する並列共振器と、を備える、請求項1記載の弾性波デバイス。 - 前記第1圧電基板の前記反対側の面に設けられ、前記第1弾性波共振器からなり、第1ラダー型フィルタを構成する直列共振器及び第2ラダー型フィルタを構成する並列共振器と、
前記第2圧電基板の前記反対側の面に設けられ、前記第2弾性波共振器からなり、前記第1ラダー型フィルタを構成する並列共振器及び前記第2ラダー型フィルタを構成する直列共振器と、を備える、請求項1記載の弾性波デバイス。 - 前記第1ラダー型フィルタは、アンテナ端子と受信端子との間に接続され、デュプレクサを構成する受信フィルタであり、
前記第2ラダー型フィルタは、前記アンテナ端子と送信端子との間に接続され、前記デュプレクサを構成する送信フィルタである、請求項3記載の弾性波デバイス。 - 前記第1圧電基板の前記反対側の面に設けられ、前記第1弾性波共振器で構成された第1フィルタと、
前記第2圧電基板の前記反対側の面に設けられ、前記第2弾性波共振器で構成された第2フィルタと、を備える、請求項1記載の弾性波デバイス。 - 前記第1フィルタは、アンテナ端子と受信端子との間に接続され、デュプレクサを構成する受信フィルタであり、前記第1圧電基板と前記支持基板と前記第2圧電基板とが接合された接合基板の対向する端面の一方寄りに設けられ、
前記第2フィルタは、前記アンテナ端子と送信端子との間に接続され、前記デュプレクサを構成する送信フィルタであり、前記接合基板の前記対向する端面の他方寄りに設けられている、請求項5記載の弾性波デバイス。 - 前記第1圧電基板と前記第2圧電基板とは、同じ材料からなり且つカット角が異なる、請求項2から6のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1圧電基板と前記第2圧電基板とは、異なる材料からなる、請求項2から6のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記支持基板は、サファイア基板、シリコン基板、スピネル基板、酸化アルミニウム基板、又はガラス基板である、請求項1から8のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
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