JP6516116B2 - 電子部品の処理装置及び処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、電子部品の処理装置及び処理方法に関し、詳しくは、ワークを搬送しながらワークに対して処理を行う電子部品の処理装置に関する。

電子部品を製造する装置として、ワークの搬送経路に沿ってステージが往復移動し、ステージがワークを保持しながら一方向に移動する間に、ワークに対して加工等の処理を行う処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００５−１０１１１５号公報

このような処理装置において、ステージは、前位置でワークの保持を開始し、ワークを保持しながら移動し、後位置でワークの保持を解除した後、後位置から前位置に移動し、前位置で次のワークの保持を開始する。ステージが移動する時間と、後位置や前位置で停止している時間とを短縮すると、処理効率が向上する。しかしながら、それだけでは、処理効率の向上に限界があり、処理効率をさらに向上するができない。

また、処理装置の設置スペースは、小さくすることが望ましい。

本発明は、かかる実情に鑑み、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる電子部品の処理装置及び処理方法を提供しようとするものである。

本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した電子部品の処理装置を提供する。

処理装置は、（ａ）被搬送物を保持することができ、第１の前位置と第１の後位置との間を往復移動する第１のステージと、（ｂ）前記被搬送物を保持することができ、第２の前位置と第２の後位置との間を往復移動する第２のステージであって、前記第２の前位置は、前記第１のステージが前記第１の前位置にいるときに前記第１のステージの前記第１の後位置側と隣り合う位置であり、前記第２の後位置は、前記第１のステージが前記第１の後位置にいるときに前記第１のステージの前記第１の前位置とは反対側と隣り合う位置である、第２のステージと、（ｃ）前記第１のステージを前記第１の後位置から前記第１の前位置に移動させるとともに、前記第２のステージを前記第２の後位置から前記第２の前位置に移動させる制御部と、（ｄ）前記制御部によって、前記第１のステージが前記第１の後位置から前記第１の前位置に、前記第２のステージが前記第２の後位置から前記第２の前位置に、移動する間に、前記第１のステージが保持している前記被搬送物を、前記第２のステージが保持するように、前記第１のステージから前記第２のステージに移動させる移送部と、（ｅ）前記第２のステージが保持している前記被搬送物に対して処理を行う処理部と、を備える。

上記構成によれば、処理済みの被搬送物の保持を解除した第２のステーが第２の後位置から第２の前位置に移動する間に、第２のステージが次の被搬送物を第１のステージから受け取るようにすることができる。このようにすると、第２のステージは、次の被搬送物を受け取るため第２の後位置に停止している必要がないため、第２のステージが第２の前位置に停止している時間を無くし又は短縮して、処理効率を高めることができる。

また、第１のステージが第１の後位置で占めるスペースと、第２のステージが第２の前位置で占めるスペースとが重なり合うように構成して、処理装置の設置スペースを小さくすることができる。

また、本発明は、以下のように構成した電子部品の処理方法を提供する。

処理方法は、（ａ）第１のステージが第１の前位置にいるときに、前記第１のステージが被搬送物の保持を開始する取入工程と、（ｂ）前記取入工程の後に、前記第１のステージが、前記被搬送物を保持している状態のまま、前記第１の前位置から第１の後位置に移動する第１の搬送工程と、（ｃ）前記第１のステージが前記第１の後位置から前記第１の前位置に移動するとともに、第２のステージが第２の後位置から第２の前位置に移動し、前記第２の後位置は、前記第１のステージが前記第１の後位置にいるときに前記第１のステージの前記第１の前位置とは反対側と隣り合う位置であり、前記第２の前位置は、前記第１のステージが前記第１の前位置にいるときに前記第１のステージの前記第１の後位置側と隣り合う位置であり、前記第１のステージが前記第１の後位置から前記第１の前位置に移動するとともに、前記第２のステージが前記第２の後位置から前記第２の前位置に移動する間に、前記第１のステージが保持している前記被搬送物を、前記第１のステージ及び前記第２のステージに対して移動させて、前記被搬送物を前記第１のステージから前記第２のステージに移すとともに、前記第１のステージが前記被搬送物の保持を解除し、前記第２のステージが前記被搬送物の保持を開始する移送工程と、（ｄ）前記移送工程の後に、前記第２のステージが、前記被搬送物を保持している状態のまま、前記第２の前位置から前記第２の後位置に移動する第２の搬送工程と、（ｅ）前記第２のステージが保持している前記被搬送物に対して処理を行う処理工程と、（ｆ）前記第２の搬送工程及び前記処理工程の後に、前記第２の後位置にいる前記第２のステージが前記被搬送物の保持を解除する取出工程と、を備える。前記第２の搬送工程の開始から前記取出工程が完了するまでの間に、前記第２の搬送工程及び前記取出工程を行う前記被搬送物の次の前記被搬送物について、前記取入工程及び前記第１の搬送工程を完了する。

上記方法によれば、第２のステージは、第２の後位置から第２の前位置に移動する間に、第１のステージから被搬送物を受け取る。第２のステージは、被搬送物を受け取るため第２の後位置に停止している必要がないため、第２のステージが第２の前位置に停止している時間を無くし又は短縮して、処理効率を高めることができる。

また、第１のステージが第１の後位置で占めるスペースと、第２のステージが第２の前位置で占めるスペースとが重なり合うように構成して、処理装置の設置スペースを小さくすることができる。

本発明によれば、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる。

図１は処理装置の構成を示す模式図である。（実施例１） 図２は被搬送物の平面図である。（実施例１） 図３は処理装置の動作を示す模式図である。（実施例１） 図４は処理装置の構成を示す模式図である。（実施例２） 図５は処理装置の構成と動作を示す模式図である。（実施例３） 図６は処理装置の動作を示す模式図である。（比較例１）

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

＜実施例１＞ 実施例１の処理装置１０について、図１〜図３を参照しながら説明する。

図１は、処理装置１０の構成を示す模式図である。図１に示すように、処理装置１０はリニアモータ軸１１に沿って移動する第１のステージ１２及び第２のステージ１４と、処理部２０と、取入部１６と、取出部１８と、制御装置１０ｃとを備えている。

図３は、処理装置１０の動作を示す模式図である。第１のステージ１２は、図３（ａ）及び（ｂ）に示す第１の前位置と、図３（ｃ）に示す第１の後位置との間を往復する。第２のステージ１４は、図３（ａ）に示す第２の前位置と、図３（ｂ）及び（ｃ）に示す第２の後位置との間を往復する。図３（ａ）に示すように、第２のステージ１４の第２の前位置は、第１のステージ１２が第１の前位置にいるときに第１のステージ１２の第１の後位置側と隣り合う位置である。図３（ｃ）に示すように、第２のステージ１４の第２の後位置は、第１のステージ１２が第１の後位置にいるときに第１のステージ１２の第１の前位置とは反対側と隣り合う位置である。第１のステージ１２及び第２のステージ１４は、被搬送物２を保持することできる。

取入部１６は、第１の前位置の第１の後位置とは反対側の取入領域１１ｓに、配置されている。取出部１８は、第２の後位置の第２の前位置とは反対側の取出領域１１ｔに、配置されている。

第１のステージ１２と、第２のステージ１４と、取入部１６と、取出部１８とに、それぞれ、モータにより回転駆動される搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆと、搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆに対向する回転自在な対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒとが設けられている。対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒは、搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆに向けて弾力的に付勢されている。搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆが図において反時計まわり方向に回転すると、搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆと対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒとの間に挟まれた被搬送物２ａ，２ｂが、図において右から左に移動する。

対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒの弾力的な付勢によって被搬送物２ａ，２ｂの搬送中の姿勢が安定し、搬送速度の高速化が容易になる。対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒがなく、搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆが被搬送物２ａ，２ｂを搬送するように構成してもよい。搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆや対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒは、適宜箇所に適宜個数を設ければよい。例えば、搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆや対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒを適宜箇所に適宜個数設けて、互いに隣り合う搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆ間の距離や、互いに隣り合う対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒ間の距離を、被搬送物２ａ，２ｂの搬送方向の長さよりも短くして、被搬送物１２を受け渡しできるようにする。

第１のステージ１２に設けられる搬送ローラ１２ｆは、第１の搬送機構である。搬送ローラ１２ｆの外周面のうち図において上側の部分は、被搬送物２ｂが搬送される搬送経路に沿って第２のステージ１４側に移動可能な部分である。搬送ローラ１２ｆは、取入部１６から第１のステージ１２への被搬送物２ｂの取り入れにも用いることができる。

第２のステージ１４に設けられる搬送ローラ１４ｆは、第２の搬送機構である。搬送ローラ１４ｆの外周面のうち図において上側の部分は、被搬送物２ａが搬送される搬送経路に沿って第１のステージ１２とは反対側に移動可能な部分である。搬送ローラ１４ｆは、第２のステージ１４から取出部１８への被搬送物２ａの取り出しにも用いることができる。

取入部１６に設けられる搬送ローラ１６ｆは、第１の前位置の第１の後位置とは反対側の取入領域１１ｓに設けられ、被搬送物２ｂを、取入領域１１ｓから、第１の前位置にいる第１のステージ１２に移す取入機構である。

取出部１８に設けられる搬送ローラ１８ｆは、第２の後位置の第２の前位置とは反対側の取出領域１１ｔに設けられ、被搬送物２ａを、第２の後位置にいる第２のステージ１４から、取出領域１１ｔに移す取出機構である。

処理部２０は、第２のステージ１４が第２の前位置から第２の後位置に移動する間に、第２のステージ１４が保持している被搬送物２ｂに対して処理を行う。例えば、処理部２０は、塗布、切断、光照射などの加工や、撮影、計測、検査などの処理を行う。処理部２０には、処理部２０の行う処理に応じて、塗布装置、切断装置、光照射装置、撮影装置、被搬送物にプローブを接触させる計測装置などを用いる。処理部２０は、処理装置１０の適宜位置に設ければよい。第１のステージ１２が第１の前位置にいるとき第１のステージ１２が占める領域を準備領域１１ａと呼び、第２のステージ１４が第２の後位置にいるとき第２のステージ１４が占める領域を加工領域１１ｃと呼び、準備領域１１ａと加工領域１１ｃとの間の領域を受取領域１１ｂと呼ぶことにすると、処理部２０は、例えば、受取領域１１ｂと加工領域１１ｃとの間の境界又はその付近に設ける。

制御装置１０ｃは、処理装置１０が後述する一連の動作を繰り返すように、第１のステージ１２の移動と、第２のステージ１４の移動と、搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆの回転と、処理部２０の処理とを制御する。制御装置１０ｃは、第１のステージ１２を第１の後位置から第１の前位置に移動させるとともに、第２のステージ１４を第２の後位置から第２の前位置に、第１のステージ１２の移動と同期させながら移動させる制御部である。

被搬送物２ａ，２ｂは、処理部２０によって処理されるワークを保持している治具や、処理部２０によって処理される被処理部分を有するワーク単体などである。一つの被搬送物が複数個のワークを保持している場合、搬送中にワークが順次、処理されるように、ワークは、搬送方向に１列または２列以上に並ぶように治具に保持される。

図２に、被搬送物の一例を示す。図２は被搬送物２の平面図である。図２に示すように、被搬送物２は、帯状の治具３に複数個のワーク４が保持されている。ワーク４は、治具３の長手方向に並び、一端が接着等により治具３に固定され、他端が治具３の短手方向の同じ側に突出している。被搬送物２は、搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆと対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒの間に治具３が挟まれ、矢印８で示す治具３の長手方向に搬送され、搬送中に、治具３から突出しているワーク４の所定部分５が、順次、処理される。例えば、ディスペンサから塗布材が塗布される。

次に、処理装置１０の動作について、図３を参照しながら説明する。処理装置１０は、制御装置１０ｃに制御されて、以下のように動作する。

まず、図３（ａ）に示すように、第１のステージ１２が第１の前位置にあり、第２のステージ１４が第２の前位置にある。第２のステージ１２は、後述する取入工程、第１の搬送工程、移送工程を経て、被搬送物２ａを保持している。

次いで、図３（ｂ）に示す状態になる。詳しくは、第１のステージ１２が第１の前位置に停止している状態で、取入部１６の搬送ローラ１６ｆと第１のステージ１２の搬送ローラ１２ｆが回転し、被搬送物２ｂが取入部１６から第１のステージ１２に移送され、第１のステージ１２は被搬送物２ｂを保持する。これと並行して（同時であっても、時間が前後してもよい）、第２のステージ１４が第２の前位置から第２の後位置に移動し、処理部２０は、第２のステージ１４に保持され移動する被搬送物２ｂに対して処理を行う。被搬送物２ａに対する処理に応じて、第２のステージ１４は、連続送りされ、又はピッチ送りされる。

すなわち、（ａ）第１のステージ１２が第１の前位置にいるときに、第１のステージが被搬送物２ｂの保持を開始する取入工程と、（ｂ−１）後述する移送工程の後に、第２のステージ１４が、被搬送物２ａを保持している状態のまま、第２の前位置から第２の後位置に移動する第２の搬送工程と、（ｂ−２）第２の搬送工程中に、第２のステージ１４が保持している被搬送物２ａに対して処理を行う処理工程と、を行う。

第２の搬送工程の開始から遅れて、処理工程を開始してもよいが、第２の搬送工程と処理工程とを、同時に開始すると、第２のステージ１４が被搬送物２ａの保持を完了してから、第２のステージ１４に保持されている被搬送物２ａに対する処理を開始するまでの時間を短くして、処理効率を高めることができる。また、被搬送物２ａの搬送経路を短くし、処理装置１０の設置スペースを小さくすることができる。

第２の搬送工程と、第２の搬送工程を行う被搬送物２ａの次の被搬送物２ｂについての取入工程とを、並行して行うと、被搬送物２ｂを第１のステージに取り入れる周期を短くし、処理効率を高めることができる。

次いで、図３（ｃ）に示す状態になる。すなわち、被搬送物２ｂを保持している第１のステージ１２は、第１の前位置から第１の後位置に移動する。これと並行して（同時であっても、時間が前後してもよい）、第２のステージ１４の搬送ローラ１４ｆと取出部１８の搬送ローラ１８ｆとが回転し、被搬送物２ａが第２のステージ１４から取出部１８に移送される。

すなわち、（ａ）取入工程の後に、第１のステージ１２が、被搬送物２ｂを保持している状態のまま、第１の前位置から第１の後位置に移動する第１の搬送工程と、（ｂ）第２の搬送工程及び処理工程の後に、第２の後位置にいる第２のステージ１４が被搬送物２ａの保持を解除する取出工程と、を行う。

次いで、図３（ａ）に示す状態になる。すなわち、第１のステージ１２が第１の後位置から第１の前位置に、第２のステージ１４が第２の後位置から第２の前位置に、同期しながら移動する。第１のステージ１２と第２のステージ１４が移動している間に、第１のステージ１２の搬送ローラ１２ｆと、第２のステージ１４の搬送ローラ１４ｆが回転し、第１のステージ１２が保持していた被搬送物２ｂが、第２のステージ１２から第２のステージ１４に移される。このとき、第１のステージ１２の移動速度と、第２のステージ１４の移動速度と、第１のステージ１２の搬送ローラ１２ｆの回転速度と、第２のステージ１４の搬送ローラ１４ｆの回転速度とを適切に同期させ、被搬送物２ｂの搬送方向の位置を一定に保つようにすることが好ましいが、被搬送物２ｂの位置が搬送方向に多少変動しても構わない。

すなわち、第１のステージ１２が第１の後位置から第１の前位置に移動するとともに、第２のステージ１４が第２の後位置から第２の前位置に、第１のステージ１２の移動と同期しながら移動し、第１のステージ１２が第１の後位置から第１の前位置に移動するとともに、第２のステージ１４が第２の後位置から第２の前位置に、第１のステージ１２の移動と同期しながら移動する間に、第１のステージ１２が保持している被搬送物２ｂを、第１のステージ１２及び第２のステージ１４に対して相対的に移動させて、被搬送物２ｂを第１のステージ１２から第２のステージ１４に移すとともに、第１のステージ１２が被搬送物２ｂの保持を解除し、第２のステージ１４が被搬送物２ｂの保持を開始する移送工程を行う。

搬送ローラ１２ｆ，１４ｆは、第１のステージ１２が第１の後位置から第１の前位置に、第２のステージ１４が第２の後位置から第２の前位置に、制御部によって同期しながら移動する間に、第１のステージ１２が保持している被搬送物２ｂを、第２のステージ１４が保持するように、第１のステージ１２から第２のステージ１４に相対的に移動させながら保持する移送部である。

以下、同じ動作を繰り返す。このとき、第２の搬送工程の開始から取出工程が完了するまでの間に、第２の搬送工程及び取出工程を行う被搬送物２ａの次の被搬送物２ｂについて、取入工程及び第１の搬送工程を完了する。

処理装置１０は、搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆと対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒとの間に挟まれた被搬送物２ａ，２ｂを高速で移動させ、精度よく位置決めすることができる。

第２のステージ１４は、第２の後位置から第２の前位置に移動する間に、第１のステージ１２から被搬送物２ａを受け取る。第２のステージ１４は、被搬送物を受け取るため第２の後位置に停止している必要がないため、第２のステージ１４が第２の前位置に停止している時間を無くし又は短縮して、処理装置１０の処理効率を高めることができる。

また、第１のステージ１２が第１の後位置で占めるスペースと、第２のステージ１４が第２の前位置で占めるスペースとが重なり合うように構成して、処理装置１０の設置スペースを小さくすることができる。

なお、第１の前位置が準備領域１１ａのみに含まれ、第１の後位置と第２の前位置が受取領域１１ｂのみに含まれ、第２の後位置が加工領域１１ｃのみに含まれる場合について説明したが、これに限るものではない。

例えば、第１の後位置が準備領域１１ａと受取領域１１ｂの両方に含まれたり、第２の前位置が、受取領域１１ｂと加工領域１１ｃの両方に含まれたりしてもよい。

第１のステージ１２と第２のステージ１４の大きさや形状が同じであり、第１のステージ１２が第１の後位置で占めるスペースと、第２のステージ１４が第２の前位置で占めるスペースとが完全に重なり合うようにすると、処理装置１０の設置スペースを小さくすることが容易である。

第１のステージ１２が第１の後位置で占めるスペースと、第２のステージ１４が第２の前位置で占めるスペースとが部分的に重なりあってもよい。また、第１のステージ１２が第１の後位置で占めるスペースと、第２のステージ１４が第２の前位置で占めるスペースとは、大きさや形状が異なってもよい。第１のステージ１２と第２のステージ１４とは、大きさや形状が同じでも、異なっても構わない。

第１の前位置の第１の後位置とは反対側に搬送ローラ１６ｆを設け、第２の後位置の第２の前位置とは反対側に搬送ローラ１８ｆを設けると、取入領域１１ｓから取出領域１１ｔまで被搬送物２ａ，２ｂの搬送方向を一定に保ち、被搬送物２ａ，２ｂの姿勢を安定させ、第１のステージ１２への被搬送物２ｂの取り入れが完了してから第１のステージ１２が移動を開始するまでの時間や、第２のステージ１４が第２の後位置に到着してから被搬送物２ａの取り出しを開始するまでの時間を短縮して、処理効率を高めることができる。

第１のステージ１２と第２のステージ１４が被搬送物２ａ，２ｂを搬送する方向と交差する方向から、第１のステージ１２に被搬送物２ｂを取り入れたり、第２のステージ１４から被搬送物２ａを取り出したりすることも可能である。

リニアモータ軸１１を用いると、第１のステージ１２と第２のステージ１４とを個別に駆動することができ、構成が簡単になり、設置スペースも小さくすることができる。リニアモータ軸１１を用いずに、第１のステージ１２と第２のステージ１４とを駆動することも可能である。

第２の搬送工程と、第２の搬送工程を行う被搬送物２ａの次の被搬送物２ｂについての取入工程とを、並行して行うと、被搬送物２ａ，２ｂを処理する周期を短くし、処理効率を高めることができる。

＜実施例２＞ 図４は、取入機構と、第１の搬送機構及び第２の搬送機構と、取出機構とに、搬送ローラの代わりに搬送チェーンを用いる実施例２の処理装置１０ａの構成を示す模式図である。実施例２の処理装置１０ａは、実施例１の処理装置１０と略同様に構成されている。以下では、実施例１と同じ構成部分には同じ符号を用い、実施例１との相違点を中心に説明する。

図４に示すように、第１のステージ１２、第２のステージ１４、取入部１６、取出部１８には、搬送チェーン１２ｃ，１４ｃ，１６ｃ，１８ｃが設けられている。搬送チェーン１２ｃ，１４ｃ，１６ｃ，１８ｃは、一対のスプロケットに無端ベルト状のチェーンが係合し、スプロケットの回転に伴って、所定の経路を循環移動する。

なお、図４では、図１に示した制御装置１０ｃの図示を省略している。

第１のステージ１２に設けられる搬送チェーン１２ｃは、第１の搬送機構であり、搬送チェーン１２ｃの外周面のうち図において上側の部分は、被搬送物２ｂが搬送される搬送経路に沿って第２のステージ１４側に移動可能な部分である。搬送チェーン１２ｃは、第１のステージ１２への被搬送物２ｂの取り入れにも用いることができる。

第２のステージ１４に設けられる搬送チェーン１４ｃは、第２の搬送機構であり、搬送チェーン１４ｃの外周面のうち図において上側の部分は、被搬送物２ｂが搬送される搬送経路に沿って第１のステージ１２とは反対側に移動可能な部分である。搬送チェーン１４ｃは、第２のステージ１４から取出部１８への被搬送物２ａの取り出しにも用いることができる。

実施例２の処理装置１０ａは、実施例１の処理装置１０と同様に、搬送ローラ１２ｆ，１４ｆ，１６ｆ，１８ｆと対向ローラ１２ｒ，１４ｒ，１６ｒ，１８ｒとの間に挟まれた被搬送物２ａ，２ｂを高速で移動させ、精度よく位置決めすることができ、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる。

なお、搬送ローラと搬送チェーンを組み合わせてもよい。例えば、第１のステージ１２と第２のステージ１４に搬送ローラを設け、取入部１６及び取出部１８に搬送チェーンを設けてもよい。

＜実施例３＞ 第１のステージ１２から第２のステージ１４に被搬送物２ｂを相対的に移動させながら保持する移送部を、第１のステージ１２及び第２のステージ１４以外に設けた実施例３の処理装置１０ｂについて、図５を参照しながら説明する。

図５は、処理装置１０ｂの構成と動作を示す模式図である。図５は、取入機構、取出機構、制御部の図示を省略している。図５に示すように、移送部は、被搬送物２ｂの搬送経路に進退する当接部材３０である。当接部材３０は、図５（ａ）において破線で示すように、第１のステージ１２が第１の後位置に位置しているときに、第１のステージ１２が吸着保持している被搬送物２ｂの搬送方向上流側において被搬送物２ｂと隣り合う当接位置３０ｘと、図５（ｂ）において破線で示すように、被搬送物２ｂの搬送経路から退避した退避位置３０ｙとの間を移動する。当接部材３０は、移送工程中は当接位置３０ｘに配置され、それ以外のときには退避位置３０ｙに配置される。

次に、処理装置１０ｂの動作について説明する。処理装置１０ｂは、実施例１の処理装置１０と同じ工程を同じ順序で行う。

図５（ａ）は、被搬送物２ａについて取出工程が終了し、次の被搬送物２ｂについて第１の搬送工程が終了した状態を示す。

次いで、移送工程を行い、図５（ｂ）に示す状態になる。詳しくは、当接部材３０が、退避位置３０ｙから当接位置３０ｘに移動した後、第１のステージ１２が第１の後位置から第１の前位置に、第２のステージ１４が第２の後位置から第２の前位置に、同期しながら移動する。このとき、第１のステージ１２が吸着保持している被搬送物２ｂは、当接部材３０に当接して移動が阻止され、移動が阻止されている被搬送物２ｂの下を、第１のステージ１２と第２のステージ１４とが移動し、被搬送物２ｂは、第１のステージ１２から第２のステージ１４に移される。そして、図５（ｂ）に示すように、第１のステージ１２が第１の前位置に、第２のステージ１４が第２の前位置にいるとき、被搬送物２ｂは第２のステージ１４が吸着保持している。

実施例３の処理装置１０ｂは、実施例１の処理装置１０と同様に、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる。

なお、当接部材と、搬送ローラや搬送チェーンを組み合わせてもよい。例えば、第１のステージ１２と第２のステージ１４に、搬送ローラや搬送チェーンを設けてもよい。また、取入部１６及び取出部１８に、搬送ローラや搬送チェーンを設けてもよい。

＜比較例１＞ 図６は、被搬送物を保持するステージが１台だけである比較例１の処理装置１０ｘの動作を示す模式図である。

図６に示すように、比較例１の処理装置１０ｘは、ステージ１３が１台である点以外は、実施例１の処理装置１０と同様に構成されている。ステージ１３は、リニアモータ軸１１に沿って、取入部１６と隣り合う前位置と、取出部１８と隣り合う後位置との間を移動する。ステージ１３と、取入部１６と、取出部１８には、搬送ローラ１３ｆ，１６ｆ，１８ｆと、対向ローラ１３ｒ，１６ｒ，１８ｒとが設けられている。

処理装置１０ｘは、次のように動作する。

まず、図６（ａ）に示すように、ステージ１３は前位置にある。

次いで、図６（ｂ）に示す状態になる。すなわち、ステージ１３が前位置に停止している状態で、取入部１６の搬送ローラ１６ｆとステージ１３の搬送ローラ１３ｆが回転し、被搬送物２が取入部１６からステージ１３に移送され、被搬送物２はステージ１３が保持する。

次いで、図６（ｃ）に示す状態になる。すなわち、被搬送物２を保持しているステージ１３は、前位置から後位置に移動し、処理部２０は、ステージ２に保持され移動する被搬送物２に対して処理を行う。

次いで、図６（ｄ）に示す状態になる。すなわち、ステージ１３の搬送ローラ１３ｆと取出部１８の搬送ローラ１８ｆとが回転し、被搬送物２がステージ１３から取出部１８に移送される。

次いで、図６（ａ）に示す状態になる。すなわち、ステージ１３が後位置から前位置に移動する。以下、上記動作を繰り返す。

１台のステージ１３を用いる場合には、被搬送物２が処理される周期は、被搬送物２を受け取り保持するためステージ１３が前位置に停止している時間Ｔ１と、保持している被搬送物２を加工するためステージ１３が前位置から後位置に移動する時間Ｔ２と、加工済みの被搬送物２を取出すためステージ１３が後位置に停止している時間Ｔ３と、ステージ１３が後位置から前位置に移動する時間Ｔ４の合計（Ｔ１＋Ｔ２＋Ｔ３＋Ｔ４）になる。

これに対し、２台のステージ１２，１４を用いる実施例１〜３において、第２のステージ１４は、第２の後位置から第２の前位置に移動する時間を利用して、第１のステージ１２から、次の被搬送物２ｂを受取ることができ、第２の前位置に停止する時間を無くし、又は短縮することができる。そのため、実施例１〜３は、比較例１よりも、被搬送物が処理される周期を短くすることができる。したがって、実施例１〜３は、比較例１より、処理効率を高めることができる。

＜まとめ＞ 以上に説明したように、実施例１〜３の処理装置１０，１０ａ，１０ｂは、処理効率を高めることができ、設置スペースを小さくすることができる。

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。

例えば、制御部は、機械的に構成してもよい。第１のステージや第２のステージが往路と復路で異なる経路を移動しても構わない。

実施例１〜３は、被搬送物２ａ，２ｂを高速で移動させ、精度よく位置決めすることができるようにするために、第１のステージ１２から第２のステージ１４に相対的に移動させながら保持する移送部（搬送ローラ）を例に説明したが、被搬送物２ａ，２ｂを保持せずに移送する移送部であってもよい。その場合は被搬送物２ａを第２のステージ１４で保持した後、処理部２０に至るまでの間にワーク４の所定部分５を撮像装置等（不図示）で位置認識し、演算結果に応じて第２のステージ１４を移動させれば、同様に精度よく位置決めすることができる。

２，２ａ，２ｂ 被搬送物
１０，１０ａ，１０，ｂ１０ｘ 処理装置
１０ｃ 制御装置（制御部）
１１ｓ 取入領域
１１ｔ 取出領域
１２ 第１のステージ
１２ｃ 搬送チェーン（移送部、第１の搬送機構）
１２ｆ 搬送ローラ（移送部、第１の搬送機構）
１４ 第２のステージ
１４ｃ 搬送チェーン（移送部、第２の搬送機構）
１４ｆ 搬送ローラ（移送部、第２の搬送機構）
２０ 処理部
３０ 当接部材（移送部）

Claims (4)

1. 被搬送物を保持することができ、第１の前位置と第１の後位置との間を往復移動する第１のステージと、
   前記被搬送物を保持することができ、第２の前位置と第２の後位置との間を往復移動する第２のステージであって、前記第２の前位置は、前記第１のステージが前記第１の前位置にいるときに前記第１のステージの前記第１の後位置側と隣り合う位置であり、前記第２の後位置は、前記第１のステージが前記第１の後位置にいるときに前記第１のステージの前記第１の前位置とは反対側と隣り合う位置である、第２のステージと、
   前記第１のステージを前記第１の後位置から前記第１の前位置に移動させるとともに、前記第２のステージを前記第２の後位置から前記第２の前位置に移動させる制御部と、
   前記制御部によって、前記第１のステージが前記第１の後位置から前記第１の前位置に、前記第２のステージが前記第２の後位置から前記第２の前位置に、移動する間に、前記第１のステージが保持している前記被搬送物を、前記第２のステージが保持するように、前記第１のステージから前記第２のステージに移動させる移送部と、
   前記第２のステージが保持している前記被搬送物に対して処理を行う処理部と、
   を備えたことを特徴とする電子部品の処理装置。
2. 前記第１のステージが前記第１の後位置で占めるスペースと、前記第２のステージが前記第２の前位置で占めるスペースとが重なり合うように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品の処理装置。
3. 前記移送部は、複数の搬送機構を有し、互いに隣り合う前記搬送機構の間の距離は、前記被搬送物の搬送方向の長さよりも短いことを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品の処理装置。
4. 第１のステージが第１の前位置にいるときに、前記第１のステージが被搬送物の保持を開始する取入工程と、
   前記取入工程の後に、前記第１のステージが、前記被搬送物を保持している状態のまま、前記第１の前位置から第１の後位置に移動する第１の搬送工程と、
   前記第１のステージが前記第１の後位置から前記第１の前位置に移動するとともに、第２のステージが第２の後位置から第２の前位置に移動し、前記第２の後位置は、前記第１のステージが前記第１の後位置にいるときに前記第１のステージの前記第１の前位置とは反対側と隣り合う位置であり、前記第２の前位置は、前記第１のステージが前記第１の前位置にいるときに前記第１のステージの前記第１の後位置側と隣り合う位置であり、
   前記第１のステージが前記第１の後位置から前記第１の前位置に移動するとともに、前記第２のステージが前記第２の後位置から前記第２の前位置に移動する間に、前記第１のステージが保持している前記被搬送物を、前記第１のステージ及び前記第２のステージに対して移動させて、前記被搬送物を前記第１のステージから前記第２のステージに移すとともに、前記第１のステージが前記被搬送物の保持を解除し、前記第２のステージが前記被搬送物の保持を開始する移送工程と、
   前記移送工程の後に、前記第２のステージが、前記被搬送物を保持している状態のまま、前記第２の前位置から前記第２の後位置に移動する第２の搬送工程と、
   前記第２のステージが保持している前記被搬送物に対して処理を行う処理工程と、
   前記第２の搬送工程及び前記処理工程の後に、前記第２の後位置にいる前記第２のステージが前記被搬送物の保持を解除する取出工程と、
   を備え、
   前記第２の搬送工程の開始から前記取出工程が完了するまでの間に、前記第２の搬送工程及び前記取出工程を行う前記被搬送物の次の前記被搬送物について、前記取入工程及び前記第１の搬送工程を完了することを特徴とする、電子部品の処理方法。

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