JP4951480B2 - オートハンドラ - Google Patents
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Description
この発明によると、第1搬送装置に搬送される搬送ボート上の全ての半導体デバイスの移送機構による移送が完了する前に第1,第2搬送装置の移動が行われ、移送位置で第1搬送装置に搬送される搬送ボートを第2搬送装置に受け渡させる制御が行われる。
また、本発明のオートハンドラは、前記第1,第2搬送装置が、前記搬送ボートを上昇又は下降させる昇降機構(33、34)を備えており、前記制御部は、前記移送位置において前記第1搬送装置の昇降機構を下降させる制御を行うことにより、前記第1搬送装置によって搬送される搬送ボートを前記移送位置に設けられた支持部(26、27)に一時的に支持させ、前記第1,第2搬送装置を共に移動させた後に前記第2搬送装置の昇降機構を上昇させる制御を行うことにより、前記支持部に支持されている前記搬送ボートを前記第2搬送装置に受け渡させることを特徴としている。
また、本発明のオートハンドラは、前記支持部が、前記移送位置において前記搬送ボートの搬送路に沿う方向の少なくとも一部に設けられ、前記搬送路に沿う方向に交差する交差方向に前記搬送ボートを挟持するよう配置されて前記第1,第2搬送機構の昇降機構が上昇している場合には前記搬送ボートと離間し、下降している場合には前記搬送ボートの前記交差方向における両端部において前記搬送ボートを下方から支持する一対のガイドレールであることを特徴としている。
また、本発明のオートハンドラは、前記制御部が、前記第2搬送装置に受け渡された搬送ボート上の全ての半導体デバイスの前記移送機構による移送が完了した場合に、当該搬送ボートを前記第2搬送装置によって前記移送位置から前記第2準備位置に搬送させるとともに、新たな搬送ボートを前記第1搬送装置によって前記第1準備位置から前記移送位置に搬送させる制御を行うことを特徴としている。
また、本発明のオートハンドラは、前記第1,第2準備位置及び前記移送位置が、一直線上に位置するよう各々の位置が設定されており、前記第1,第2準備位置は、前記搬送ボートの搬送方向を変えるための位置に設定されることを特徴としている。
14 搬送装置
17 CPU
18 コンタクトヘッド
24,25 シャトル
26,27 ガイドレール
33 シリンダ
34 昇降ベース
B 搬送ボート
C1 ソークコーナー
C2 コーナー
P テストポート
Claims (5)
- 複数の半導体デバイスを載置する搬送ボートを所定の搬送路に沿って循環させる搬送機構と、前記搬送路上に設定された移送位置で半導体試験装置の試験部との間で前記搬送ボート上の前記半導体デバイスを移送する移送機構とを備えるオートハンドラにおいて、
前記搬送機構は、前記搬送路上の前記移送位置よりも上流側に設定された第1準備位置と前記移送位置との間で往復移動可能な第1搬送装置と、
前記搬送路上の前記移送位置よりも下流側に設定された第2準備位置と前記移送位置との間で往復移動可能な第2搬送装置とを備えており、
前記第1搬送装置に搬送される搬送ボート上の全ての半導体デバイスの前記移送機構による移送が完了する前に、前記第1,第2搬送装置を共に移動させて、前記移送位置で前記第1搬送装置に搬送される搬送ボートを前記第2搬送装置に受け渡させる制御を行う制御部を備える
ことを特徴とするオートハンドラ。 - 前記第1,第2搬送装置は、前記搬送ボートを上昇又は下降させる昇降機構を備えており、
前記制御部は、前記移送位置において前記第1搬送装置の昇降機構を下降させる制御を行うことにより、前記第1搬送装置によって搬送される搬送ボートを前記移送位置に設けられた支持部に一時的に支持させ、前記第1,第2搬送装置を共に移動させた後に前記第2搬送装置の昇降機構を上昇させる制御を行うことにより、前記支持部に支持されている前記搬送ボートを前記第2搬送装置に受け渡させる
ことを特徴とする請求項1記載のオートハンドラ。 - 前記支持部は、前記移送位置において前記搬送ボートの搬送路に沿う方向の少なくとも一部に設けられ、前記搬送路に沿う方向に交差する交差方向に前記搬送ボートを挟持するよう配置されて前記第1,第2搬送機構の昇降機構が上昇している場合には前記搬送ボートと離間し、下降している場合には前記搬送ボートの前記交差方向における両端部において前記搬送ボートを下方から支持する一対のガイドレールであることを特徴とする請求項2記載のオートハンドラ。
- 前記制御部は、前記第2搬送装置に受け渡された搬送ボート上の全ての半導体デバイスの前記移送機構による移送が完了した場合に、当該搬送ボートを前記第2搬送装置によって前記移送位置から前記第2準備位置に搬送させるとともに、新たな搬送ボートを前記第1搬送装置によって前記第1準備位置から前記移送位置に搬送させる制御を行うことを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載のオートハンドラ。
- 前記第1,第2準備位置及び前記移送位置は、一直線上に位置するよう各々の位置が設定されており、
前記第1,第2準備位置は、前記搬送ボートの搬送方向を変えるための位置に設定される
ことを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載のオートハンドラ。
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