JP6513762B2 - 分析装置、分析装置用プログラム及び分析方法 - Google Patents
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Description
具体的には、前記光源が、前記測定対象成分の光吸収スペクトルのピークを含む波長で変調された参照光を射出する半導体レーザであり、前記サンプルガスが導入されるガスセルをさらに備え、前記半導体レーザから射出された参照光が前記ガスセルに照射されるとともに、該ガスセルを透過した測定対象光の光路上に前記光検出器が配置されているものを挙げることができる。
この光源制御部により波長変調することにより、例えばサーモパイルなどの応答速度の遅い光検出器で検出した場合にはパルス列の信号は平均化されるので、光源を連続発振させて例えばMCT等の高速応答の光検出部を用いた場合と同様の結果を得ることができる。このとき、疑似連続発振におけるパルス幅が短いほど波長分解能が上がり、デューティ比が高いほど信号強度が上がる。また、疑似連続発振は連続発振に比べて光源の消費電力が小さく排熱処理も容易となり、さらに光源の長寿命化もできる。
ここで、分析装置は、前記光検出器により得られた光強度信号から、前記光源のパルス発振の一部分に対応する信号を分離する信号分離部をさらに備えることが望ましい。
このように光源のパルス発振の一部分に対応する信号を分離することにより、パルス発振のパルス幅が波長分解能に直接影響を与えず、パルス幅を短くすることなく波長分解能の低下を抑制することができる。その結果、従来の疑似連続発振方式に比べ、波長分解能を大きく向上させることができる。また、波長分解能の低下を防ぐために、短いパルス幅にする必要がないため、光源を駆動させるドライバ基板に必要な技術の難度が下がり、その分コストも下がる。
この分析装置100は、排ガスなどのサンプルガス中に含まれる測定対象成分(ここでは、例えばCOやCO2など)の濃度を測定する濃度測定装置であり、図1に示すように、前記サンプルガスが導入されるセル1と、前記セル1にレーザ光を照射する光源たる半導体レーザ2と、前記セル1を透過したレーザ光の光路上に設けられて該レーザ光を受光する光検出器3と、前記光検出器3の出力信号を受信し、その値に基づいて前記測定対象成分の濃度を算出する信号処理装置4とを備えている。
前記セル1は、前記測定対象成分の吸収波長帯域において光の吸収がほとんどない石英、フッ化カルシウム、フッ化バリウムなどの透明材質で光の入射・出射口が形成されたものである。このセル1には、図示しないが、ガスを内部に導入するためのインレットポートと、内部のガスを排出するためのアウトレットポートが設けられており、前記サンプルガスは、このインレットポートから当該セル1内に導入されて封入される。
前記光源制御部5は、電流(又は電圧)制御信号を出力することによって半導体レーザ2の電流源(又は電圧源)を制御するものであり、このことによって、その駆動電流(又は駆動電圧)を所定周波数で変化させ、ひいては、半導体レーザ2から出力されるレーザ光の発振波長を前記所定周波数で変調させる。
第1算出部61は、サンプルガスが封入され、その中の測定対象成分による光吸収が生じる状態での前記セル1を透過したレーザ光(以下、測定対象光ともいう。)の光強度と、光吸収が実質的にゼロ状態での前記セル1を透過したレーザ光(以下、参照光ともいう。)の光強度との比の対数(以下、強度比対数ともいう。)を算出するものである。
具体的には、ゼロガスがセル1に封入された状態での光検出器3からの出力信号を受信し、その値を測定結果データ格納部に格納する。この参照測定における光検出器3の出力信号の値、すなわち参照光強度を時系列グラフで表すと、図4(a)のようになる。すなわち、レーザの駆動電流(電圧)の変調による光出力の変化のみが光検出器3の出力信号に表れている。
一般的に、吸光度信号A(t)をフーリエ級数展開すると、次式(数2)で表される。
なお、式(数2)におけるanが測定対象成分の濃度に比例する値であり、この値anに基づいて前記第2算出部63が測定対象成分の濃度を示す濃度指示値を算出する。
以上が、サンプルガスに測定対象成分以外の干渉成分が含まれていない場合の分析装置100の動作例である。
測定対象成分と干渉成分の光吸収スペクトルは形状が違うため、それぞれの成分が単独で存在する場合の吸光度信号は波形が異なり、各周波数成分の割合が異なる(線形独立)。このことを利用し、測定された吸光度信号の各周波数成分の値と、あらかじめ求めた測定対象成分と干渉成分の吸光度信号の各周波数成分との関係を用いて、連立方程式を解くことにより、干渉影響が補正された測定対象成分の濃度を得ることができる。
すなわち、この場合の分析装置100は、メモリの所定領域に、例えば事前にスパンガスを流して予め測定するなどして、前記測定対象成分及び干渉成分が単独で存在する場合のそれぞれの吸光度信号の周波数成分a1m、a2m、a1i、a2i(請求項でいう単独周波数成分)を記憶している。具体的には、前例同様、測定対象成分及び干渉成分それぞれにおいて、測定対象光強度と参照光強度とを測定して、それらの強度比対数(吸光度信号)を算出し、該強度比対数からロックイン検波するなどして前記周波数成分a1m、a2m、a1i、a2iを求め、これらを記憶する。なお、前記周波数成分ではなく、単位濃度当たりの吸光度信号Am(t)、Ai(t)(請求項でいう単独対数強度比)を記憶して、前記式(数4)から周波数成分a1m、a2m、a1i、a2iを算出するようにしてもよい。
その後、前記周波数成分抽出部62が、前記強度比対数を前記変調周波数fm及びその2倍の周波数2fmを有する参照信号でロックイン検波して、各周波数成分a1、a2(ロックインデータ)を抽出し、メモリの所定領域に格納する。
例えば前記実施形態の光源制御部5は半導体レーザを連続発振(CW)させるものであったが、図6に示すように、疑似連続発振(疑似CW)させるものであってもよい。この場合、光源制御部5は、電流(又は電圧)制御信号を出力することによって各半導体レーザ2の電流源(又は電圧源)を制御して、電流源(又は電圧源)の駆動電流(駆動電圧)をパルス発振させるための所定のしきい値以上とする。具体的に光源制御部5は、所定の周期(例えば1〜5MHz)で繰り返される所定のパルス幅(例えば10〜50ns、Duty比5%)のパルス発振で疑似連続発振させるものである。そして、光源制御部5は、電流源(又は電圧源)の駆動電流(駆動電圧)を前記パルス発振用のしきい値未満である波長掃引用の値で、所定周波数で変化させることにより温度変化を発生させてレーザ光の発振波長の掃引を行うものである。駆動電流を変調させる変調信号としては、三角波状、鋸波状又は正弦波状で変化するとともに、その周波数は例えば1〜100Hzである。
1 ・・・セル
2 ・・・光源(半導体レーザ)
3 ・・・光検出器
61 ・・・第1算出部
62 ・・・周波数成分抽出部
63 ・・・第2算出部
Claims (16)
- 1又は複数の干渉成分が含まれるサンプル中の測定対象成分を分析するものであって、
所定の変調周波数で波長が変調する光である参照光を射出する光源と、
前記参照光が前記サンプルを透過した光である測定対象光の強度と、前記参照光の強度とを検出する光検出器と、
前記測定対象光の強度と前記参照光の強度との比の対数である強度比対数を算出する第1算出部と、
前記強度比対数から、前記変調周波数のn倍(nは1以上の整数)の周波数成分を抽出する周波数成分抽出部と、
前記周波数成分抽出部による周波数成分抽出結果に基づいて、前記測定対象成分の濃度又は吸光度を算出する第2算出部とを具備し、
前記周波数成分抽出部は、前記第1算出部が算出した強度比対数から、前記測定対象成分の種類数及び前記干渉成分の種類数を合わせた数以上の互いに異なる周波数成分をそれぞれ抽出するものであり、
前記第2算出部は、前記周波数成分抽出部による各周波数成分の抽出結果に基づいて、干渉影響が取り除かれた測定対象成分の濃度を算出することを特徴とする分析装置。 - 前記測定対象成分及び各干渉成分が単独で存在する場合のそれぞれの強度比対数から前記各周波数成分を抽出して得られた単独周波数成分、又は前記測定対象成分及び各干渉成分それぞれの単位濃度当たりの強度比対数である単独強度比対数を記憶しており、
前記第2算出部は、前記周波数成分抽出部による各周波数成分の抽出結果と、前記単独周波数成分又は単独強度比対数とに基づいて、前記測定対象成分の濃度を算出するものであることを特徴とする請求項1記載の分析装置。 - 前記第2算出部は、前記周波数成分抽出部による各周波数成分の抽出結果と、前記測定対象成分及び各干渉成分それぞれの単独周波数成分又は単独強度比対数と、前記測定対象成分及び前記各干渉成分それぞれの濃度とからなる連立方程式を解くことにより、前記測定対象成分の濃度を算出するものである、請求項2記載の分析装置。
- 前記周波数成分抽出部は、前記測定対象成分の種類数及び前記干渉成分の種類数を合わせた数よりも大きい数の周波数成分を抽出するものであり、
前記第2算出部は、前記測定対象成分の種類数及び干渉成分の種類数を合わせた数の成分種よりも大きい元数の連立方程式から最小二乗法を用いて、前記測定対象成分の濃度を算出するものである、請求項3記載の分析装置。 - 前記干渉成分の成分種は、前記サンプルに含まれると想定される最大数のガス種である、請求項2乃至4の分析装置。
- 前記周波数成分抽出部は、前記変調周波数のn倍(nは1以上の整数)の周波数でロックイン検波し、該周波数成分を抽出するものである請求項1乃至5の何れか一項に記載の分析装置。
- 前記第1算出部は、前記測定対象光の強度と参照光強度と比を求め、その比の対数を求めることによって前記強度比対数を算出するものである請求項1乃至6いずれか記載の分析装置。
- 前記第1算出部は、前記測定対象光の強度の対数を求めるとともに前記参照光強度の対数を求め、前記測定対象光の強度の対数から前記参照光強度の対数を差し引くことによって前記強度比対数を算出するものである請求項1乃至6いずれか記載の分析装置。
- 前記測定対象成分が排ガス等のサンプルガス中に含まれるものであり、
前記光源は、前記測定対象成分の光吸収スペクトルのピークを含む波長で変調された参照光を射出する半導体レーザであり、
前記サンプルガスが導入されるセルをさらに備え、
前記半導体レーザから射出された参照光が前記セルに照射されるとともに、該セルを透過した測定対象光の光路上に前記光検出器が配置されている請求項1乃至8の何れか一項に記載の分析装置。 - 前記光源を疑似連続発振させるとともに、電流変調による温度変化を発生させて発振波長の掃引を行う光源制御部をさらに備える請求項1乃至9の何れか一項に記載の分析装置。
- 前記光検出器により得られた光強度信号から、前記光源のパルス発振の一部分に対応する信号を分離する信号分離部をさらに備える請求項10記載の分析装置。
- 前記信号分離部は、前記光強度信号から、前記光源のパルス発振の後半部分に対応する信号を分離するものである、請求項11記載の分析装置。
- サンプル中に含まれる測定対象成分を分析するものであって、
所定の変調周波数で波長が変調する光である参照光を射出する光源と、
前記参照光が前記サンプルを透過した光である測定対象光の強度と、前記参照光の強度とを検出する光検出器と、
前記測定対象光の強度と前記参照光の強度との比の対数である強度比対数を算出する第1算出部と、
前記強度比対数から、前記変調周波数のn倍(nは1以上の整数)の周波数成分を抽出する周波数成分抽出部と、
前記周波数成分抽出部による周波数成分抽出結果に基づいて、前記測定対象成分の濃度又は吸光度を算出する第2算出部とを具備し、
前記光源を疑似連続発振させるとともに、電流変調による温度変化を発生させて発振波長の掃引を行う光源制御部と、
前記光検出器により得られた光強度信号から、前記光源のパルス発振の一部分に対応する信号を分離する信号分離部とをさらに備え、
前記信号分離部は、前記光強度信号から、前記光源のパルス発振の後半部分に対応する信号を分離するものである分析装置。 - 1又は複数の干渉成分が含まれるサンプル中の測定対象成分を分析すべく、所定の変調周波数で波長が変調する光である参照光を射出する光源と、前記参照光が前記サンプルを透過した光である測定対象光の強度及び前記参照光の強度を検出する光検出器とを具備した分析装置に適用されるプログラムであって、
前記測定対象光の強度と前記参照光の強度との比の対数である強度比対数を算出する第1算出部と、
前記強度比対数から、前記変調周波数のn倍(nは1以上の整数)の周波数成分を抽出する周波数成分抽出部と、
前記周波数成分抽出部による周波数成分抽出結果に基づいて、前記測定対象成分の濃度又は吸光度を算出する第2算出部と、としての機能を前記分析装置に発揮させるものであり、
前記周波数成分抽出部は、前記第1算出部が算出した強度比対数から、前記測定対象成分の種類数及び前記干渉成分の種類数を合わせた数以上の互いに異なる周波数成分をそれぞれ抽出するものであり、
前記第2算出部は、前記周波数成分抽出部による各周波数成分の抽出結果に基づいて、干渉影響が取り除かれた測定対象成分の濃度を算出することを特徴とする分析装置用プログラム。 - 1又は複数の干渉成分が含まれるサンプル中の測定対象成分を分析する分析方法であって、
所定の変調周波数で波長が変調する光である参照光を射出し、
前記参照光が前記サンプルを透過した光である測定対象光の強度と、前記参照光の強度とを検出し、
前記測定対象光の強度と前記参照光の強度との比の対数である強度比対数を算出し、
前記強度比対数から、前記変調周波数のn倍(nは1以上の整数)の周波数成分を抽出し、
前記周波数成分の抽出結果に基づいて、前記測定対象成分の濃度又は吸光度を算出する方法であり、
前記サンプルから得られる強度比対数から、前記測定対象成分の種類数及び前記干渉成分の種類数を合わせた数以上の互いに異なる周波数成分をそれぞれ抽出し、
前記サンプルから得られる各周波数成分の抽出結果に基づいて、干渉影響が取り除かれた測定対象成分の濃度を算出することを特徴とする分析方法。 - 前記測定対象成分及び各干渉成分が単独で存在する場合のそれぞれの強度比対数から前記各周波数成分である単独周波数成分を抽出しておき、又は前記測定対象成分及び各干渉成分それぞれの単位濃度当たりの強度比対数である単独強度比対数を測定しておき、
前記サンプルから得られる各周波数成分の抽出結果と、前記単独周波数成分又は単独強度比対数とに基づいて、前記測定対象成分の濃度を算出する、請求項15記載の分析方法。
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