JP5693175B2 - スパッタリング方法 - Google Patents
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Description
Claims (3)
- 処理対象物を、アスペクト比が3以上の微細なホールまたはトレンチがパターニング形成されたものとし、これらホールを含む処理対象物の表面全体に亘って金属膜を成膜するためのスパッタリング方法であって、
真空チャンバ内に処理対象物と、処理対象物に形成しようとする金属膜に応じて作製されたターゲットとを対向配置し、
ターゲットから処理対象物に向かう方向を下、処理対象物からターゲットに向かう方向を上とし、上下方向に沿う真空チャンバの壁面に、上下方向に間隔を存して夫々巻回してなる第1のコイルと第2のコイルに15A〜30Aの範囲で通電して処理対象物の全面に亘って垂直な磁場が作用するように垂直磁場を発生させると共に、ターゲットの上方に設けた磁石ユニットによりターゲットの下方に磁場を作用させ、
真空チャンバ内にスパッタガスを導入し、ターゲットに所定の直流電力を投入して真空チャンバ内にプラズマを形成してターゲットをスパッタリングし、
スパッタガスをアルゴンとして、スパッタリング中、真空チャンバ内のアルゴンの分圧を5〜30Paの範囲に保持して成膜することを特徴とするスパッタリング方法。 - スパッタリング中、所定のバイアス電力を処理対象物に投入し、ターゲットからのスパッタ粒子やプラズマ中で電離したスパッタ粒子のイオンを引き込むようにしたことを特徴とする請求項1記載のスパッタリング方法。
- 前記ターゲットとしてCuを用いることを特徴とする請求項1または請求項2記載のスパッタリング方法。
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