JP6504133B2 - 抵抗率標準サンプルの製造方法及びエピタキシャルウェーハの抵抗率測定方法 - Google Patents
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Description
ρ(Ω・cm)=2πSV/I・Fw・Fr・・・(1)
ここで、S:探針間隔(例えば、1mm)、Fw:ウェーハの厚さによる補正項、Fr:ウェーハの直径及び測定位置による補正項である。
国家標準へのトレーサビリティーのある標準ブロックゲージで校正された厚さ測定機器を用いて前記第1導電型シリコン単結晶基板の厚さを測定する基板厚さ測定工程と、
前記第1導電型とは反対の導電型である第2導電型を有する第2導電型シリコンエピタキシャル層を前記第1導電型シリコン単結晶基板上に成長してp−n接合を有するエピタキシャルウェーハを作製する気相成長工程と、
前記厚さ測定機器を用いて前記エピタキシャルウェーハの厚さを測定するエピタキシャルウェーハ厚さ測定工程と、
前記エピタキシャルウェーハの厚さと前記第1導電型シリコン単結晶基板の厚さから前記第2導電型シリコンエピタキシャル層の厚さを求める工程と、
抵抗率標準物質へのトレーサビリティーのある抵抗率測定機器を用いて前記シリコンエピタキシャル層の抵抗率を測定する抵抗率測定工程と、
を有することを特徴とする抵抗率標準サンプルの製造方法を提供する。
抵抗率10Ω・cm(ドーパント濃度4.45×1014atoms/cm3)の燐ドープn型シリコン単結晶基板2を準備し、国家標準へのトレーサビリティーのある標準ブロックゲージを用いて校正されたダイヤルゲージでその中心部を測定したところ、厚さは625μmであった。
まず、p−n接合を有し、NIST標準物質へのトレーサビリティーがあり、p型0.8Ω・cm、9Ω・cm、50Ω・cmのシリコンエピタキシャル層が110μmの厚さに形成された3水準の抵抗率標準サンプルを二次標準サンプルとして準備した。そして、これらの二次標準サンプルを用いて、水銀電極を用いる表面電極のC−V法測定装置を校正した。次に、p−n接合を有しておらず、P/P+型であり、シリコンエピタキシャル層の抵抗率が1Ω・cm、10Ω・cm、40Ω・cm狙いで製造され、シリコンエピタキシャル層が10μmの厚さに形成された3水準のシリコンエピタキシャルウェーハを準備した。次に、上記のように校正した水銀電極のC−V法測定装置を用いて、準備したシリコンウェーハの抵抗率を測定し、三次標準サンプルとした。続いて、このp−n接合を有していない3水準の三次標準サンプルを用いて、裏面電極のC−V法測定装置を校正した。さらに、この裏面電極のC−V法測定装置を用いて、測定対象のエピタキシャルウェーハのエピタキシャル層抵抗率を測定した。
抵抗率0.0012Ω・cm(ドーパント濃度6×1019atoms/cm3)の燐ドープn型シリコン単結晶基板上にボロンドープp型シリコンエピタキシャル層を10μmの厚さで気相成長し、その中心部厚さをFT−IRで測定したところ、9.5μmであった。続いて、NIST標準物質へのトレーサビリティーのある直流四探針法の抵抗率測定機器を用いてp型シリコンエピタキシャル層中心部の抵抗率を測定したところ、11Ω・cmであった。このサンプルを表面電極型の水銀電極C−V法測定装置で測定した値は、10Ω・cmであった。
2…第1導電型シリコン単結晶基板(基板)、
3…第2導電型シリコンエピタキシャル層(エピ層)。
Claims (6)
- 第1導電型シリコン単結晶基板を準備する工程と、
国家標準へのトレーサビリティーのある標準ブロックゲージで校正された厚さ測定機器を用いて前記第1導電型シリコン単結晶基板の厚さを測定する基板厚さ測定工程と、
前記第1導電型とは反対の導電型である第2導電型を有する第2導電型シリコンエピタキシャル層を前記第1導電型シリコン単結晶基板上に成長してp−n接合を有するエピタキシャルウェーハを作製する気相成長工程と、
前記厚さ測定機器を用いて前記エピタキシャルウェーハの厚さを測定するエピタキシャルウェーハ厚さ測定工程と、
前記エピタキシャルウェーハの厚さと前記第1導電型シリコン単結晶基板の厚さから前記第2導電型シリコンエピタキシャル層の厚さを求める工程と、
抵抗率標準物質へのトレーサビリティーのある抵抗率測定機器を用いて前記シリコンエピタキシャル層の抵抗率を測定する抵抗率測定工程と、
を有することを特徴とする抵抗率標準サンプルの製造方法。 - 前記抵抗率標準物質がNIST標準物質SRM2541〜SRM2547の少なくとも1つであることを特徴とする請求項1に記載の抵抗率標準サンプルの製造方法。
- 前記第1導電型シリコン単結晶基板の不純物濃度を1×1018atoms/cm3未満とすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の抵抗率標準サンプルの製造方法。
- 前記第2導電型シリコンエピタキシャル層の厚さを100μm以上200μm以下とすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の抵抗率標準サンプルの製造方法。
- 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の抵抗率標準サンプルの製造方法で作製した抵抗率標準サンプルを二次標準サンプルとして用いて、表面電極のC−V法測定装置を校正し、該校正された表面電極のC−V法測定装置で測定対象のエピタキシャルウェーハのエピタキシャル層抵抗率を測定することを特徴とするエピタキシャルウェーハの抵抗率測定方法。
- 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の抵抗率標準サンプルの製造方法で作製した抵抗率標準サンプルを二次標準サンプルとして校正した表面電極のC−V法測定装置を用い、P/P型又はN/N型シリコンエピタシャルウェーハのエピタキシャル層抵抗率を測定して三次標準サンプルとし、該三次標準サンプルを用いて裏面電極のC−V法測定装置を校正し、該校正された裏面電極のC−V法測定装置で測定対象のエピタキシャルウェーハのエピタキシャル層抵抗率を測定することを特徴とするエピタキシャルウェーハの抵抗率測定方法。
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