JP6501187B2 - 2つの方向においてテレセントリックであるフォトリソグラフィック照明器 - Google Patents
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Description
このことから、2つの否定的な結果が生じる:
−回折が大きすぎる場合、遮断具からの光は、右側のアレイL3のマイクロレンズを通過しない可能性があり、サブビーム100とマスク上の干渉現象との間にクロストークを生じる。
−遮断具による回折は、マイクロレンズの第3のアレイL3の入射側でのサブビームのアパーチャの増大をもたらす。ここで、アパーチャが大きいことが、マイクロレンズのアレイL3の物体被写界深度(object field depth)を制限し、これが、このアレイL3の物体焦点面に関しての遮断具の焦点ぼけに対する感度を高める。それゆえ、照明器の調整は、より複雑になる。
−光ビームの光源、
−集光レンズ、
−マイクロレンズの少なくとも1つのアレイを含む光均一化系であって、光均一化系の像焦点面が集光レンズの物体焦点面内に位置決めされるように、集光レンズから上流に位置決めされている光均一化系、および
−光均一化系の物体焦点面内に位置決めされた遮断具
を含み、
光均一化系が、マイクロレンズの2つのアレイを含み、
光軸に直交する2つの方向に沿って光均一化系が合併像焦点面および合併物体焦点面を有するように、2つのアレイの分離ならびにマイクロレンズの配置および向きが適合されていることを特徴とする、照明器が提案される。
−光軸に直交する両方向が、互いに直交する。
−マイクロレンズの各アレイが、互いに対面する2つの面を含む板であり、マイクロレンズの第1のアレイが、光ビームの伝播方向に対して、その面の各々にエッチング形成された円柱マイクロレンズを含み、一方の面のレンズの円柱の軸が、他方の面のレンズの円柱の軸に直交するとともに、光軸に直交する。
−光軸に直交する第1の方向において、光均一化系が、第1のアレイの第1の面内に位置決めされた収束レンズのように振る舞うように、マイクロレンズのアレイ間の距離ならびにマイクロレンズの配置および向きが適合され、遮断具の平面が前記レンズの物体焦点面内にあり、集光レンズの物体焦点面が前記レンズの像焦点面内にある。
−第1のアレイの第1の面上の円柱マイクロレンズによって収束レンズが形成され、光軸に直交するとともに第1の方向に直交する第2の方向に沿って円柱の軸が延びる。
−光軸に直交するとともに第1の方向に直交する第2の方向において、光均一化系が、
○第1のアレイの第2の面に収束レンズ、および
○第2のアレイの第1の面に発散レンズ
を含む系のように振る舞うように、マイクロレンズのアレイ間の分離、ならびにマイクロレンズの配置および向きが適合され、遮断具の平面が収束レンズの物体焦点面にあり、集光レンズの物体焦点面が系の像焦点面内にある。
−一方では第1のアレイの第2の面に収束レンズ、および他方では発散レンズが、円柱マイクロレンズによって形成され、円柱の軸は、光軸に直交する第1の方向に沿って延びる。
−照明器は、光均一化系の像焦点面内に位置決めされた絞りのネットワークをさらに含む。
−絞りのネットワークの各絞りは、光均一化系のマイクロレンズの第2のアレイのマイクロレンズに対面して位置決めされる。
遮断具と、
光軸に直交する第1の方向においてだけでなく、光軸に直交するとともに、好ましくは第1の方向に直交する第2の方向においても照明されるマスクと
の間の組み合わせ条件を満たす。
図2a〜2cは、本発明による照明器の一部分を概略的に示す。
本発明による照明器の均一化系は、光軸に直交する2つの別個の方向において、照明器の鮮鋭度およびテレセントリシティを得ることを可能とする。これらの方向は、互いに直交することが好ましい。
非限定的な例として、図2a〜2cでは、光軸をZと記し、光軸に直交する第1の方向に沿うとともに図の断面に直交する軸をXと記し、光軸およびX軸に直交する第2の方向に沿った軸をYと記している。
−アレイL3の第2の面に収束レンズ32、および
−アレイL4の第1の面に発散レンズD1、
を含む系として振る舞い、遮断具の平面が収束レンズ32の物体焦点面内にあり、集光レンズの物体焦点面が系の像焦点面F’内にある。
図2bを参照して説明すると、照明器は、遮断具の射出側における回折現象を制御するために、アパーチャ絞りのネットワーク8を含む。アパーチャ絞りのネットワーク8は、遮断具の平面Pのフーリエ変換の面またはフーリエ面内に位置決めされている。
−「コヒーレント」ビームを表す曲線は、ゼロのコヒーレンス因子に対応し、
−「部分的にコヒーレント」ビームを表す曲線は、0.3のコヒーレンス因子に対応し、
−「インコヒーレント」ビームを表す曲線は、1に等しいコヒーレンス因子に対応する。
Claims (10)
- フォトリソグラフィック装置の照明器であって:
−光ビームの光源(1')、
−集光レンズ(5)、
−光均一化系(4)であって、前記光均一化系の像焦点面が前記集光レンズ(5)の物体焦点面内に位置決めされるように、前記集光レンズから上流に位置決めされる光均一化系、および
−前記光均一化系(4)の前記物体焦点面内に位置決めされる遮断具(3)
を含み、
前記光均一化系(4)がマイクロレンズの2つのアレイ(L3、L4)を含み、
光軸に直交する2つの方向(X、Y)に沿って前記光均一化系(4)が合併像焦点面および合併物体焦点面を有するように、前記2つのアレイ(L3、L4)の分離ならびに前記マイクロレンズの配置および向きが適合される
ことを特徴する、照明器。 - 前記光軸に直交する前記両方向(X、Y)が互いに直交する、
請求項1に記載の照明器。 - マイクロレンズの各アレイ(L3、L4)が、互いに対面する2つの面を含む板であり、
マイクロレンズの第1のアレイ(L3)は、前記光ビームの伝播方向に対して、その面の各々にエッチング形成された円柱マイクロレンズを含み、
一方の面のレンズの円柱の軸が、他方の面の前記レンズの前記円柱の軸に直交するとともに、前記光軸に直交する、
請求項1または2に記載の照明器。 - 前記光軸に直交する第1の方向(Y)において、前記光均一化系が、前記第1のアレイ(L3)の第1の面(310)内に位置決めされた収束レンズ(31)のように振る舞うように、マイクロレンズの前記アレイ(L3、L4)間の分離ならびに前記マイクロレンズの配置および向きが適合され、
前記遮断具の前記平面が前記レンズの前記物体焦点面にあり、前記集光レンズの前記物体焦点面が前記レンズの像焦点面内にある、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の照明器。 - 前記第1のアレイ(L3)の前記第1の面(310)上の円柱マイクロレンズによって前記収束レンズ(31)が形成され、
前記光軸に直交するとともに前記第1の方向(Y)に直交する第2の方向(X)に沿って前記円柱の軸が延びる、
請求項4に記載の照明器。 - 前記光軸に直交するとともに前記第1の方向(Y)に直交する前記第2の方向(X)において、前記光均一化系が、
−前記第1のアレイ(L3)の第2の面(320)に収束レンズ(32)、および
−第2のアレイ(L4)の第1の面(410)に発散レンズ(41)
を含む系のように振る舞うように、マイクロレンズの前記アレイ(L3、L4)間の前記分離ならびに前記マイクロレンズの前記配置および向きが適合され、
前記遮断具(3)の平面が前記収束レンズの前記物体焦点面内にあり、前記集光レンズの前記物体焦点面が前記系の前記像焦点面内にある、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の照明器。 - 一方では、前記第1のアレイ(L3)の前記第2の面(320)の前記収束レンズ(32)、および他方では前記発散レンズ(41)が、円柱マイクロレンズによって形成され、
前記円柱の前記軸は、前記光軸に直交する前記第1の方向(Y)に沿って延びる、
請求項6に記載の照明器。 - 前記光均一化系(4)の前記像焦点面内に位置決めされた絞りネットワーク(8)をさらに含む、
請求項1〜7のいずれか一項に記載の照明器。 - 前記絞りネットワーク(8)の各絞りが、前記光均一化系(4)のマイクロレンズの前記第2のアレイ(L4)のマイクロレンズに対面して位置決めされている、
請求項8に記載の照明器。 - マスク(7)、および請求項1〜9のいずれか一項に記載の照明器を含むフォトリソグラフィック装置であって、
前記照明器の前記遮断具(3)は、前記集光レンズ(5)の前記像焦点面の共役面内に位置決めされている、
フォトリソグラフィック装置。
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