JP6499756B2 - 基板保持装置 - Google Patents

Description

本発明は、回路基板等の基板をその基板に対して作業を行うために保持する基板保持装置に関する。

例えば、電子部品を回路基板に装着する際には、その回路基板を固定保持するための装置として、基板保持装置が用いられる。基板保持装置は、ある保持力で基板を保持するものであるが、その保持力を適切なものとすることが望まれている。下記特許文献に記載されている基板保持装置では、基板の厚さを判別し、厚さによらず保持力を一定にするようにされている。

特開２０００−１２４６８７

発明の解決しようとする課題

基板保持装置において基板を保持する際の保持力は、基板の大きさ，形状，剛性等や、その基板に対する作業の種類等によって適切な大きさがあり、保持力を変更することができれば、その基板保持装置の実用性は向上する。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用性の高い基板保持装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決するため、本発明の基板保持装置は、
基板の下方に配設されたテーブルと、そのテーブルを昇降させる昇降機構と、前記テーブルに立設されて上端部がそのテーブルに対して上下方向に変位可能な支持柱と、その支持柱の上端部が上方に変位する向きの付勢力を支持柱に付与する弾性体と、基板の幅方向における両端部を上方から係止するための１対のストッパとを備え、
前記テーブルを上昇させることで前記支持柱を介して基板を持ち上げ、前記弾性体の付勢力に抗して前記支持柱の上端部が下方に変位した状態で基板の前記両端部を前記１対のストッパに係止させることで、前記弾性体の付勢力に応じた保持力をその基板に加えてその基板を保持する基板保持装置であって、
前記テーブルの上昇位置を制御することによって、基板に加わる保持力を任意に変更可能に構成され、
さらに、
それぞれが前記支持柱となる複数の支持柱と、
それら複数の支持柱の上端部によって支持され、上面が基板の下面に接してその基板を支持する支持板と
を備えたことを特徴とする。

本発明の基板保持装置によれば、テーブルの上昇位置を制御するという簡単な手段によって、基板に加わる保持力を任意に変更できるため、本発明の基板保持装置は、実用性の高いものとなる。

実施例の基板保持装置が採用される部品装着機によって構成された部品装着システムを示す斜視図である。 図１の部品装着システムを構成する部品装着機の概略構造を示す斜視図である。 図１の部品装着システムを構成する別の部品装着機の概略構造を示す斜視図である。 図２，図３の部品装着機に採用されている基板保持装置を示す斜視図である。 図４の基板保持装置の動作を説明するための断面図である。 押上ユニットが取り付けられた実施例の基板保持装置を示す斜視図である。 図６の基板保持装置の動作を説明するための断面図である。 基板保持装置における支持柱に関する変形例を説明するための断面図である。

以下、本発明の代表的な実施形態を、部品装着機において採用される基板保持装置の実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。ちなみに、下記実施例の説明においては、まず、部品装着機の説明を行い、その後に、本発明の実施例に関する説明を行う。なお、本発明は、下記実施例の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。

［Ａ］対基板作業システムおよび部品装着機の構成
実施例の基板保持装置が採用される部品装着機は、例えば、図１に示す部品装着システムを構成するものとなっている。その部品装着システムは、電子部品（以下、単に「部品」と言う場合がある）を回路基板（「基板」の一種であり、以下、単に、「基板」と言う場合がある）に装着するためのシステムであり、３つの部品装着機１０，１２を含んで構成されている。図の左奥を上流側，右手前を下流側，左手前を前方側，右奥を後方側とそれぞれ呼べば、本部品装着システムでは、上流側に、２つの部品装着機１０が、下流側に、比較的幅の広い１つの部品装着機１２が、並べられた２つのシステムベース１４上に、互いに密接して配置されている。

基板は、上流側から下流側に向かって、すなわち、基板を搬送する方向（以下、「搬送方向」と言う場合がある）に、それら部品装着機１０，１２内を搬送され、その搬送される基板に対して、それぞれの部品装着機１０,１２による部品装着作業が行われて、その基板への部品の装着が完了する。複数の基板が連続して当該システム内を搬送方向に搬送されることで、それら複数の基板の各々への部品装着が、順次、完了する。なお、本部品装着システムは、例えば、クリームはんだを基板に印刷するはんだ印刷機，はんだ印刷機や部品装着機１０，１２による作業の結果を検査する検査機，はんだを溶融させて部品を基板に固定するリフロー炉等とともに、電子回路製造ラインに配置される。

上流側に配置されている２つの部品装着機１０は、互いに同じ構成のものであり、図２に示すように、１つのシステムベース１４の上に並んで配置されている。外装パネルを外した下流側の部品装着機１０の図示を参照しつつ説明すれば、各部品装着機１０は、ベース１６と、前後においてベース１６上に立設されたフレーム１８,２０と、それらフレーム１８,２０に上架されたビーム２２とを有しており、それらによって、当該部品装着機１０の躯体が構成されている。

ベース１６上に、実施例の基板保持装置となり得る基板保持装置２４が配置されている。基板保持装置２４の構成については後述するが、基板保持装置２４は、基板を、設定された作業位置において固定保持する機能だけでなく、基板を上流側から搬入して下流側に搬出する機能を有している。つまり、基板保持装置２４は、基板搬送装置としても機能するのである。ちなみに、図１には、基板Ｓが基板保持装置２４によって作業位置に固定保持されている状態が示されている。

基板保持装置２４の前方側には、それぞれが部品供給装置として機能する複数の部品フィーダ２６が並んで配置されている。ちなみに、部品フィーダ２６の各々は、いわゆるテープフィーダである。一方、ビーム２２には、部品装着装置２８が支持されている。部品装着装置２８は、装着ヘッド３０と、装着ヘッド３０を前後左右に移動させるＸＹロボット型のヘッド移動装置３２とを含んで構成されている。装着ヘッド３０は、下端部に、部品を吸着保持する部品保持具としての吸着ノズルを複数備えており、それら吸着ノズルの１つを昇降させるノズル昇降機構を有している。

基板保持装置２４によって作業位置に固定された基板に対して、部品装着装置２８によって、部品装着作業が行われる。部品装着作業では、装着ヘッド３０が部品フィーダ２６の上方に移動させられて吸着ノズルによる部品の吸着保持が行われ、次いで、装着ヘッド３０が基板の上方に移動させられて、吸着ノズルに保持されている部品が、基板の上面に載置される。

下流側に配置されている部品装着機１２は、１つのシステムベース１４上に配置され、その部品装着機１２は、外装パネルを外した状態を示す図３から解るように、搬送方向において寸法の大きいベース３４およびフレーム３６,３８を含んで構成されている。そして、部品装着機１２では、部品装着機１０内に配置されているものと同じ２つの基板保持装置２４が、搬送方向に並んで配置されている。２つの基板保持装置２４は、互いに協働して１つの基板を搬送するように構成されるとともに、２つの基板保持装置２４のいずれにも上述の作業位置が設定されている。部品装着機１２の部品装着装置４０は、搬送方向における装着ヘッド３０の移動範囲が大きくされたヘッド移動装置４２を有していることで、部品装着機１０の部品装着装置２８よりも搬送方向に大きく装着ヘッド３０を移動させることが可能とされている。そのような構成から、部品装着機１２は、２つの作業位置のいずれにおいても部品装着作業を実行可能とされている。詳しく言えば、部品装着機１２は、２つのステージにおいて、互いに同じ部品装着作業を実行可能とされているのである。

［Ｂ］基板保持装置の構成および機能
基板保持装置２４は、図４に示すように、ベース板５０と、ベース板５０の搬送方向に直角な方向における両端部に、つまり、前方側の端部および後方側の端部に立設された概して板状の１対の支持フレーム５２，５４とを含んで構成されている。支持フレーム５２，５４は、概して門型をなし、基板を挟んで向かいあう１対の側板として機能する。前方側支持フレーム５２は、ベース板５０に固定されている一方で、後方側支持フレーム５４は、ベース板５０上に並んで配設された１対のガイドレール５６に沿って、前後方向に移動可能とされている。後方側支持フレーム５４は、駆動源としてのモータ５８を含んで構成された移動機構６０によって、保持，搬送する基板の前後方向の幅に応じて前後させられる。移動機構６０は、図から解るように、ボールねじ機構を含んで構成されている。

支持フレーム５２，５４の各々には、それらの内側の面（互いに対向する面）に、１対のプーリ６２が、回転可能に支持されている。それら１対のプーリ６２の一方は、支持フレーム５２（５４）の搬送方向における上流側の端部に配置され、他方は、下流側の端部に配置されている。そして、１対のプーリ６２には、コンベアベルト６４が巻回させられており、１対のコンベアベルト６４は、それぞれ、１対の支持フレーム５２，５４に、周回可能に保持されている。１対のプーリ６２の下流側のものは、駆動源としてのモータ６６およびギヤトレインを含んで構成される回転機構６８によって、回転させられ、その回転によって、コンベアベルト６４が周回するようにされている。つまり、基板保持装置２４は、１対のコンベアベルト６４を備えており、それら１対のコンベアベルト６４に基板の前後方向における両端が載置された状態において、それら１対のコンベアベルト６４によって基板の両端部が支持された状態で、それら１対のコンベアベルト６４が周回することで、その基板を搬送方向に搬送するように構成されているのである。

また、支持フレーム５２，５４の各々には、１対のコンベアベルト６４の間において、詳しく言えば、各々が支持するコンベアベルト６４の近傍において、１対のコンベアベルト６４に載置されている基板を下方から支持可能な支持具として、支持バー７０が、昇降可能に支持されている。ちなみに、図４では、後方側の支持フレーム５４に支持されている支持バー７０の一部分が省略されている。支持バー７０は、搬送方向に支持フレーム５２（５４）に沿って延び、両端の各々が、搬送方向において支持フレーム５２（５４）の外側に延び出すとともに、外側の面（互いに背向する面）にまで回り込むようにされている。両端の各々には、ナット７２が回転不能に保持されている。一方で、支持フレーム５２，５４の各々には、外側の面の搬送方向の両端部に、１対のモータ７４が付設されており、１対のモータ７４の各々の回転軸は、軸線が上下方向に延びる姿勢とされるともに、ねじロッド７６とされている。各ねじロッド７６は、支持バー７０の各端部に保持されたナット７２と螺合しており、１対のナット７２と１対のねじロッド７６とによって、１対のねじ機構７８が構成されているのである。以上構造から明らかなように、１対のモータ７４の回転によって、１の支持バー７０が昇降させられる。つまり、それら１対のねじ機構７８と駆動源としての１対のモータ７４とを含んで、上記支持具である１つの支持バー７０を昇降させる支持バー昇降機構が構成されているのである。

さらに、支持フレーム５２，５４の各々の上端には、搬送方向に沿って延びるストッパ８０が取り付けられている。後に詳しく説明するが、支持バー７０によって持ち上げられた基板は、それの搬送方向に直角な方向の両端部、つまり、幅方向の両端部の各々が支持バー７０とストッパ８０とによって挟持された状態で保持される。なお、対をなす２つのストッパ８０は、ボルト８２によって支持フレーム５２，５４にそれぞれ締結されており、後に説明するように、別の型式のストッパと交換可能となっている。

一方、支持フレーム５２，５４の間には、テーブル８４が配設されている。テーブル８４は、テーブル昇降機構８６によって昇降させられる。図５をも参照しつつ説明すれば、テーブル昇降機構８６は、テーブル８４の四隅にそれぞれ設けられた４つのジャッキ８８と、それら４つのジャッキ８８を同期して作動させるためのタイミングベルト９０と、そのタイミングベルト９０を駆動させることで４つのジャッキ８８を作動させる昇降モータ９２とを含んで構成されている。各ジャッキ８８は、基体９４と、その基体９４に回転可能に保持されたナット９６と、そのナット９６に螺合するねじロッド９８とを含んで構成されている。各ジャッキ８８のねじロッド９８の上端がテーブル８４の下面に固定されている。ナット９６は、外周においてプーリとして機能する部分を、また、昇降モータ９２のモータ軸も、外周においてプーリとして機能する部分を有しており、タイミングベルト９０は、それらの部分を巡るようにして巻き掛けられている。昇降モータ９２の回転によって、４つのジャッキ８８の各々のナット９６が同期して回転し、ねじロッド９８が上下に動かされることで、テーブル８４は、昇降させられる。

昇降モータ９２には、エンコーダ１００が取り付けられており、モータ軸の回転位置、つまり、昇降モータ９２の回転量が把握可能とされている。先に説明した支持バー昇降機構の制御もそうであるが、このテーブル昇降機構８６の制御は、部品装着機１０，１２の全体の制御を司る操作パネル一体型の制御装置１０２（図１参照のこと）によって行われる。制御装置１０２は、エンコーダ１００の信号に基づき、テーブル８４の昇降位置（上下方向における位置）を把握し、その昇降位置に基づいて、テーブル昇降機構８６の制御を行うことが可能とされている。

図４，図５に示すように、テーブル８４には、バックアップピン１０４が立設可能とされている。テーブル８４には、それぞれがねじ孔とされた複数の取付孔１０６が穿設されており、バックアップピン１０４は、それら複数の取付孔１０６のいずれにも取付可能とされている。つまり、バックアップピン１０４は、複数の取付孔１０６に対応した任意の位置において立設可能とされているのである。

図５を参照しつつ、基板保持装置２４の動作を説明すれば、図５（ａ）に示すように、基板Ｓは、１対のコンベアベルト６４によって両端部を支持された状態で、それら１対のコンベアベルト６４が周回させられることによって搬送され、所定の作業位置で停止させられる。基板Ｓがその作業位置に位置させられている状態で、図５（ｂ）に示すように、各モータ７４を駆動することによって、１対の支持バー７０が上昇させられ、それら１対の支持バー７０が基板Ｓを持ち上げる。基板Ｓは、両端部が１対のストッパ８０によって係止されるまで持ち上げられ、両端部の各々がストッパ８０と支持バー７０とに挟持される状態で、固定保持される。このときの保持力は、ストッパ８０と支持バー７０とによって基板Ｓが挟持される力であり、モータ７４の力によって発生される。この力は、相当に大きいものではあるが、モータ７４の力は制御されないため、一定のものとされている。

次いで、図５（ｂ）に示すように、基板Ｓの下方に配設されたテーブル８４が、テーブル昇降機構８６によって所定の上昇位置まで、上昇させられる。この際の上昇位置は、バックアップピン１０４の上端が基板Ｓの下面に接する位置である。この状態で、基板Ｓの部品装着作業が行われるのであるが、バックアップピン１０４は、例えば、その部品装着作業において、基板Ｓが自重で下方に撓むことのないように、また、部品が装着される際に上方から基板Ｓに加わる力によって基板Ｓが大きく下方に撓むことがないように、基板Ｓを支える役目を果たしており、実質的に上述の保持力を発生させるものとはなっていない。

［Ｃ］基板支持ユニットが取り付けられた基板保持装置
例えば、基板が比較薄い等、基板の剛性が相当に低い場合は、上記バックアップピン１０４によって支持している場合であっても、例えば、バックアップピン１０４が接していない部分における撓みが大きくなったり、また、部品装着作業の際、場合によっては、損傷に至る程の変形が基板に生じたりすることも予想される。つまり、バックアップピンによっては、部品装着作業に適した状態での保持が困難な場合もあり得るのである。そのことは一例ではあるが、部品装着作業に適した状態での保持を確保するため、本基板保持装置２４では、図６に示すように、バックアップピン１０４に代えて、基板支持ユニット１１０を、テーブル８４の上面に取り付けることが可能とされている。この基板支持ユニット１１０を取り付けた基板保持装置２４が、実施例の基板保持装置となる。

図７をも参照しつつ説明すれば、基板支持ユニット１１０は、テーブル８４に締結されるベース板１１２と、そのベース板１１２の上方に配置された１対の角型のビーム１１４と、それら１対のビーム１１４に上下方向に移動可能に支持された天板１１６とを含んで構成されている。ベース板１１２は、テーブル８４に設けられた取付孔１０６を利用して、ボルト１１８によって、テーブル８４に締結される。

１対のビーム１１４は、基板の搬送方向における両端部において、それぞれが、その搬送方向と直角な方向に延びる姿勢で、ベース板１１２との間にブロック状のスペーサ１２０を挟む状態で、ベース板１１２に固定されている。各ビーム１１４の両端部の各々には、ブシュ１２２が嵌め込まれて形成された貫通孔１２４が設けられており、各貫通孔１２４には、支持柱１２６が挿通させられている。つまり、支持柱１２６は、天板１１６の四隅に、計４本設けられているのである。

各支持柱１２６は、ビーム１１４に対して上下に移動可能とされており、上端が天板１１６の下面に固定されれている。つまり、つまり、天板１１６は、４本の支持柱１２６の各々の上端部によって支持されているのである。一方で、各支持柱１２６の下端には、係止環１２８が固定され、各支持柱１２６の上方へのある位置を超える移動が禁止されている。一方で、各支持柱１２６の近傍には、圧縮コイルスプリングであるスプリング１３０が配設されており、そのスプリング１３０によって、天板１１６が上方に向かって付勢されている。このスプリング１３０と係止環１２８との作用により、他の力が加わらない限りにおいて、天板１１６は、テーブル８４に対して、所定の位置、つまり、図７（ａ）に示す位置に維持される。なお、この位置において、天板１１６とビーム１１４との間隔、すなわち、スプリング１３０の長さは、図に示すように“Ｌ”とされている。

テーブル８４と１対のビーム１１４とは位置が固定された関係にあり、１対のビーム１１４は、テーブル８４の一部と考えることができる。その考えに基づけば、本基板保持装置２４では、支持柱１２６は、テーブル８４に立設されており、天板１１６に固定されている上端部が、テーブル８４に対して上下方向に変位可能とされているのである。また、スプリング１３０は、その支持柱１２６の上端部が上方に変位する向きの付勢力を支持柱１２６に付与する弾性体として機能しているのである。

基板支持ユニット１１０が配設された基板保持装置２４の動作について、図７（ｂ）を参照しつつ説明すれば、その基板保持装置２４では、コンベアベルト６４によって搬送されて所定の作業位置に位置させられた基板Ｓは、テーブル昇降機構８６によってテーブル８４が上昇させられることによって、当該基板保持装置２４において保持される。ちなみに、基板支持ユニット１１０が配設された場合には、支持バー７０は作動しないようにされる。

テーブル８４の上昇により、基板支持ユニット１１０が持ち上げられ、天板１１６の上面が基板Ｓの下面に接した状態において、基板Ｓが持ち上げられる。言い換えれば、支持柱１２６を介して基板Ｓが持ち上げられる。本基板保持装置２４では、先に説明した１対のストッパ８０は、基板Ｓの搬送方向に直角な方向、すなわち、幅方向の寸法の異なる別の１対のストッパ１４０に交換されている。詳しく言えば、基板Ｓの両端部を係止する領域の幅方向における寸法が大きくされた別の１対のストッパ１４０に変更されている。そのため、ある位置にまでテーブル８４が上昇させられた場合に、基板Ｓの両端部が１対のストッパ１４０によって係止され、基板Ｓの両端部は、天板１１６とストッパ１４０とによって挟持された状態となる。

さらにテーブル８４を上昇させることで、天板１１６がスプリング１３０の付勢力に抗してテーブル８４に対して下降する。天板１１６と１対のストッパ１４０とによって基板Ｓの両端部を挟持するそのときの力が、基板Ｓに加わる保持力となる。この保持力は、基板Ｓを挟持した直後は、スプリング１３０の長さＬに相当する。さらなるテーブル８４の上昇に伴い、天板１１６とテーブル８４との距離、すなわち、支持柱１２６の上端とビーム１１４との距離が小さくなるにつれて、保持力は大きくなる。つまり、スプリング１３０の付勢力に抗して支持柱１２６の上端部が下方に変位した状態となるのである。そして、そのときの保持力は、スプリング１３０の長さＬ’＜Ｌに応じた大きさとなる。このことを利用し、本基板保持装置２４では、テーブル８４の上昇位置を制御することにより、基板Ｓに加わる保持力を任意に変更するようにされている。その結果、本基板保持装置２４では、基板に応じて、適切な保持力をその基板に与えることが可能とされているのである。

図６，図７に示す基板保持装置２４では、基板の両端部が天板１１６とストッパ１４０とによって挟持されることで上記保持力が基板に作用する。そのため、基板Ｓの中央部にには、保持力が作用せず、基板の保持によっては基板を撓ませるような力が作用しない。また、基板が、天板１１６の上面がその基板の下面にぴったりと接触するようにして支持される。そのため、部品装着作業の際に、部品の装着に起因した基板を撓ませる力も、基板には作用しないことになる。なお、天板１１６は、複数の支持柱１２６の上端部によって支持され、上面が基板の下面に接してその基板を支持する支持板として機能する。

なお、本基板保持装置２４では、種々の幅の基板を保持することができ、その基板に応じて、ストッパ８０を、種々の幅のものに変更可能となっている。そのことにより、基板の幅が変わったとしても、両端部がそのストッパと天板１１６とによって挟持される状態を、容易に実現させることができるのである。さらに言えば、例えば、１対の枠状の板（フレーム）によって基板を挟み込むような治具（キャリア）を使用し、当該基板保持装置２４によって、基板を、その治具ごと搬送し、その治具を介して保持させるような場合も考えられる。その場合であっても、天板１１６とストッパ８０との間に治具を介して基板が挟持されないときには、治具自体にその治具を変形させる力が作用し、その力によって基板が撓むような事態も予想される。ストッパ８０を種々の幅のものに変更可能であることは、そのような場合においても、基板の適正な保持という観点からして有効な手段となり得るのである。

［Ｄ］変形例
i）支持柱に関する変形例
上記構造の基板支持ユニット１１０に代えて、例えば、図８に示す構造を有する基板支持ユニットを採用することができる。図８は、基板支持ユニットを構成する１つの支持柱１５０およびそれの近傍を示している。この基板支持ユニットは、複数の支持柱１５０がベース板１１２と天板１１６との間に介在させられた構造のものである。支持柱１５０は、ベース板１１２に固定された基体１５２と、基体１５２に上下に移動可能に保持されたピン１５４とを含んで構成されている。ピン１５４の上端部が天板１１６の下面に固定され、下部が基体１５２に設けられた保持孔１５６に挿入されている。つまり、この支持柱１５０は、自身の上端部が上下に変位可能な伸縮型の支持柱である。

天板１１６の下面と基体１５２の上端面との間には、圧縮コイルスプリングであるスプリング１５８が介装されている。このスプリング１５８は、天板１１６に上向きの付勢力を付与する弾性体、すなわち、支持柱１５０の上端部が上方に変位する向きの付勢力を支持柱１５０自体に付与する弾性体と考えることができる。その一方で、保持孔１５６の下方の部分は、内径が大きくされており、保持孔１５６は、段差面１６０を有している。ピン１５４の下端には、係止環１６２が固定され、ピン１５４の上方へのある位置を超える移動が禁止されている。それらスプリング１５８と係止環１６２との作用により、他の力が加わらない限りにおいて、支持柱１５０は所定の長さに維持される。

上記のような支持柱１５０を含んで構成された基板支持ユニットを配置した基板保持装置２４では、基板を保持する際に、図に二点鎖線で示すように、支持柱１５０が収縮して天板１１６が下方に変位し、先に説明した基板保持装置２４と同様に、支持柱１５０の長さに応じた保持力を発生させることになる。同様に、テーブル８４の上昇位置を制御することにより、保持力を任意の大きさに変更することが可能である。

ii）ストッパによる係止，天板の有無に関する変形例
先に説明した基板保持装置２４では、ストッパ１４０と天板１１６とによって基板の両端部が挟持される状態で、その基板が保持される。例えば、基板の剛性が比較的高い場合には、基板の両端部の挟持は必ずしも必要がない。つまり、図７に示す基板保持装置２４において、ストッパ１４０に代えてストッパ８０を採用するような態様である。その場合、基板を保持する際に、その基板を撓ませる力が基板に作用するが、その基板の剛性が高い場合には、保持力を任意に変更できることを利用して、その基板の適切な保持が可能となる。

先に説明した基板保持装置２４では、天板１１６を有する基板支持ユニット１１０を採用している。基板の剛性が比較的高い場合、必ずしも天板１１６を要しない。つまり、スプリングを内蔵した伸縮型の支持柱を、テーブル８４に立設させてもよい。見方を変えれば、図４，図５に示す基板保持装置２４においてバックアップピン１０４を伸縮型のものに変更した態様である。このような基板保持装置であっても、保持力を任意に変更できることを利用して、その基板の適切な保持が可能となる。

iii）その他
上記基板保持装置２４は、電子部品を回路基板に装着する部品装着機に採用された基板保持装置であるが、本発明の基板保持装置は、部品装着機に採用されるものに限定されず、種々の機器に採用されるものであってもよい。

２４：基板保持装置 ５０：ベース板 ５２：支持フレーム〔側板〕 ５４：支持フレーム〔側板〕 ６２：プーリ ６４：コンベアベルト ７０：支持バー ８０：ストッパ ８４：テーブル ８６：テーブル昇降機構 ９２：昇降モータ １００：エンコーダ １０２：制御装置 １０４：バックアップピン １１０：基板支持ユニット １１２：ベース板 １１４：ビーム １１６：天板〔支持板〕 １２６：支持柱 １３０：スプリング〔弾性体〕 １４０：ストッパ １５０：支持柱 Ｓ：基板 Ｌ，Ｌ’：スプリングの長さ

Claims (4)

1. 基板の下方に配設されたテーブルと、そのテーブルを昇降させる昇降機構と、前記テーブルに立設されて上端部がそのテーブルに対して上下方向に変位可能な支持柱と、その支持柱の上端部が上方に変位する向きの付勢力を支持柱に付与する弾性体と、基板の幅方向における両端部を上方から係止するための１対のストッパとを備え、
   前記テーブルを上昇させることで前記支持柱を介して基板を持ち上げ、前記弾性体の付勢力に抗して前記支持柱の上端部が下方に変位した状態で基板の前記両端部を前記１対のストッパに係止させることで、前記弾性体の付勢力に応じた保持力をその基板に加えてその基板を保持する基板保持装置であって、
   前記テーブルの上昇位置を制御することによって、基板に加わる保持力を任意に変更可能に構成され、
   さらに、
   それぞれが前記支持柱となる複数の支持柱と、
   それら複数の支持柱の上端部によって支持され、上面が基板の下面に接してその基板を支持する支持板と
   を備えた基板保持装置。
2. 基板が保持された状態において、前記支持板と前記１対のストッパの各々とによってその基板の前記両端部の各々が挟持されるように構成された請求項１に記載の基板保持装置。
3. 当該基板保持装置が、
   基板を挟んで向かい合う１対の側板と、それら１対の側板にそれぞれ周回可能に保持された１対のコンベアベルトとを備え、それら１対のコンベアベルトによって前記両端部が支持された状態で基板を搬送する基板搬送装置としても機能し、
   前記１対のストッパが、前記１対のコンベアベルトの上方にそれぞれが位置するようにして、前記１対の側板に設けられた請求項１または請求項２に記載の基板保持装置。
4. 前記１対のストッパが、基板の前記両端部を係止する領域の幅方向における寸法が互いに異なる別の１対のストッパと交換可能に構成された請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の基板保持装置。

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