JP6496304B2 - マイクロ駆動装置及びそれを用いたマイクロデバイス - Google Patents
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Description
[マイクロ駆動装置の構成]
以下、本発明の実施形態を適宜図面に基づいて説明する。図1は、本発明によるマイクロ駆動装置1の基本構成を模式的に示したモデル図である。マイクロ駆動装置1は、可動対象部3と、この可動対象部3を取り囲むように設けられるフレーム部2と、そのフレーム部2と可動対象部3とを軸支する少なくとも一対の梁4とを備える。この梁4を1方向にのみ設けるとともに、この梁4の形状が有する一つ又は複数の共振周波数で共振して、ねじれる又は曲がることによりx軸、y軸、z軸方向に可動対象部3を回転又は並進するように設計することで、多軸駆動が可能となる構成を有している。このマイクロ駆動装置1は、例えば厚さ1〜1000μm程度に薄く形成される。なお、可動対象部3を駆動するための駆動部は省略して示している。
図2は、単純化モデル21の模式図である。なお、単純化モデル21は、マイクロ駆動装置1の技術的特徴を説明するためのモデルである。単純化モデル21は、図2に示すように、1つの軸に対して1つの可動対象部23及び一対の梁24として単純化したモデルである。その際に、この単純化モデル21では、可動対象部23を質点と捉え、梁24の質量は無視するものとする。
フレーム部2は、可動対象部3を囲むように矩形状に形成される。一辺の略中央に1の梁4が固定され、対向する一辺にも他の梁4が固定され、これら一対の梁4を介して可動対象部3を支持し得るように構成されている。ここでは、一対の梁4がフレーム部2に固定されているが、後で説明する第二の梁がフレーム部2に固定され、第二の梁及び梁4を介して可動対象部3を支持するように構成してもよい。本実施形態では、フレーム部2が矩形状に形成されているが、これに限定されるのではなく、本発明のマイクロ駆動装置を組み込むデバイスの形状に応じて変更でき、例えば円形状であってもよい。
[第一の梁及び第二の梁を有するマイクロ駆動装置]
発明者らは、実施形態1で説明したマイクロ駆動装置の梁の具体的な構造として、第一の方向で設けられた第一の梁と第二の方向で設けられた第二の梁を含む構造とし、第一の梁と第二の梁を直交するように配置することで、第一の梁及び第二の梁の梁形状によって、x軸回転、y軸回転及びz軸並進のそれぞれの共振周波数を容易に設計することが可能になると考察した。ここで梁形状とは、主に梁幅、長さ、分割数、梁間のことである。
x軸方向の回転、y軸方向の回転及びz軸方向の並進をすることができるこのマイクロ駆動装置11の動作概要を説明する。図4は、共振周波数とマイクロ駆動装置11との関係を示す概念図(z軸並進)である。図4(A)は、z軸並進するマイクロ駆動装置の概念図であり、図4(B)は、マイクロ駆動装置に印加された周波数とその振幅との関係を示したグラフである。図4(A)に示すマイクロ駆動装置11は、第二の梁15を第一の梁14に直交するように配置し、第一の梁14及び第二の梁15のそれぞれの形状パラメータを適宜設定することにより、異なる3つの周波数のピークにおいて可動対象部13の振幅が最大となるように設計されている。
ここで、光スキャナのミラー部の面積占有率である開口率を可能な限り高くし、かつ各自由度に対する共振周波数を適切に異なる、即ちそれぞれの共振周波数のピーク間隔を広くして各自由度を独立に制御可能なようにするために、図7及び図8に示す光スキャナ用マイクロ駆動装置51の形状を決定する。図7に示す光スキャナ用マイクロ駆動装置51は、可動対象部であるアルファベットのI文字(大文字)形状に形成されたミラー部53と、一対の第一の梁Pと、第一の梁Pに直交するように設けられた第二の梁Qを支持するフレーム部を有している。図8に示す光スキャナ用マイクロ駆動装置51は、図7に示した第一の梁Pが2分割された第一の梁P1及びP2となっている。
この光スキャナ用マイクロ駆動装置51における共振周波数の最適化方法では、最適に異なる共振周波数が得られる形状パラメータを取得するために、最初に与えられる形状パラメータを変化させながら、有限要素解析法により最終的な形状パラメータを決定する。本実施形態では、有限要素解析法を用いて、形状パラメータを決定したが、これに限られることなく、他の解析方法を用いることもでき、例えば、実際に形状パラメータを変更した光スキャナ用マイクロ駆動装置51を作製して最終的な形状パラメータを決定してもよい。
光スキャナ用マイクロ駆動装置51の作製について、図10に示す工程図を基に説明する。本実施形態では、可動対象部の3次元の変位を考慮して基板の表と裏とからエッチングする必要があるため、SOI(Silicon On Insulator)の基板を用いている。これは、基板表面と基板裏面との間に設けられたSiO2層がSiエッチング時のストッパーとなり、基板表面に形成される形状を維持したまま、基板裏面からのエッチングが行えるためである。
(評価方法)
作製した光スキャナ用マイクロ駆動装置の特性を評価するために、このマイクロ駆動装置に加振して、その際の特定点におけるz軸方向の変位を測定した。これにより、この光スキャナ用マイクロ駆動装置が仕様通りの共振周波数で3種類のモードを示しているか評価した。
作製した光スキャナ用マイクロ駆動装置に対して、上述した評価方法に従って光スキャナ用マイクロ駆動装置としての特性を評価した。図13(A)に光スキャナ用マイクロ駆動装置に印加された周波数とその変位との関係(周波数−変位グラフ)を示した。図13(B)に光スキャナ用マイクロ駆動装置に印加された外部の変位を差し引いて算出した周波数とゲインとの関係(周波数−ゲイングラフ)を示した。
実施形態1及び2では、SOI基板をエッチング加工して、フレーム部、可動対象部、第一の梁及び第二の梁を作製し、これらの構成部材をシリコンとするマイクロ駆動装置について説明した。実施形態3のマイクロ駆動装置では、上記構成部材として異なる材料を使用できるようにし、作製方法としてもエッチング加工だけでなく、蒸着等の積層プロセスを追加することにより、それぞれの構成部材に使用する材料を積層し得るようにしている。構成部材としてこのような材料を用いることにより、材料パラメータを増やすことが可能となり、共振周波数最適化がより望めるようになる。
本発明のマイクロ駆動装置を組み込むことで、多軸駆動を実現するマイクロデバイスを作製することが可能となる。マイクロデバイスの使用用途に応じて可動対象部を変更し、必要な自由度に応じて、第一の梁と第二の梁の配置方法及び材料を選定して作製することにより、所望のマイクロデバイスを得ることができる。マイクロデバイスの例としては、可動対象部をミラーとするマイクロミラーに限らず、可動対象部をシャフトやアーム等の機械部品、圧力センサや光学センサ等のセンサとする、多軸駆動するマイクロマシンやマイクロセンサ等が挙げられる。
本発明のマイクロ駆動装置を製造する際に適用した共振周波数最適化方法は、コンピュータ処理によって実現することができる。マイクロ駆動装置の共振周波数の最適化方法をコンピュータに実行させるためのプログラムをCPUがRAM上に展開し、当該プログラムに従って、上記共振周波数最適化方法をコンピュータが実行することができる。当該プログラムはコンピュータ読み取り可能な記録媒体を用いて、コンピュータにインストールしても良いし、ネットワークを介して他のコンピュータや記録媒体からインストールしても良い。
2,12 フレーム部
3,13 可動対象部
4 梁
14,P,P 1 ,P 2 第一の梁
15,Q 第二の梁
53 ミラー部(可動対象部)
Claims (8)
- 多軸駆動可能なマイクロ駆動装置であって、
可動対象部と、前記可動対象部を軸支し、前記可動対象部を挟んで対向するように設けられた少なくとも一対の梁とを備え、
前記梁は、
第一の方向で設けられ、前記可動対象部又はマイクロ駆動装置のフレームのいずれか一方に接続される第一の梁と、
前記第一の梁と異なる方向で設けられ、前記マイクロ駆動装置のフレーム又は前記可動対象部の他方に接続される第二の梁とで構成され、
前記可動対象部は、前記梁が有する一つ又は複数の共振周波数で共振してねじれる又は曲がることによりx軸、y軸及びz軸方向に回転又は並進することを特徴とするマイクロ駆動装置。 - 前記第一の梁と前記第二の梁とが直交して設けられることを特徴とする請求項1記載のマイクロ駆動装置。
- 前記第一の梁及び/又は前記第二の梁が複数に分割されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロ駆動装置。
- 前記第一の梁と、前記第二の梁とが異なる材料からなることを特徴とする請求項1〜3いずれか1項に記載のマイクロ駆動装置。
- 前記第一の梁及び/又は前記第二の梁が備えている複数に分割されている部分の少なくとも1つが、前記分割されている部分の他の部分と異なる材料からなることを特徴とする請求項3又は4に記載のマイクロ駆動装置。
- 前記一つ又は複数の共振周波数で加振するための駆動信号が、1つの制御機構により発生されることを特徴とする請求項1〜5いずれか1項に記載のマイクロ駆動装置。
- 前記可動対象部がミラーであり、
前記ミラーは、ミラー面内のx軸方向及びy軸方向に対して回転し、ミラー面の法線方向のz軸方向に並進することを特徴とする請求項6記載のマイクロ駆動装置。 - 請求項1〜7いずれか1項に記載のマイクロ駆動装置を備えたことを特徴とするマイクロデバイス。
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Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7474165B2 (en) * | 2005-11-22 | 2009-01-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Oscillating device, optical deflector and optical instrument using the same |
US7817318B2 (en) * | 2005-12-09 | 2010-10-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Oscillating system and optical deflector |
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JP5582518B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2014-09-03 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光走査装置 |
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DE102011057169A1 (de) * | 2011-12-29 | 2013-07-04 | Maxim Integrated Products, Inc. | Mikroelektromechanisches System |
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