JP6496292B2 - テスタのドライブおよび測定能力を広げる方法 - Google Patents
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Description
図のように、試験システム100は、DUT120の試験を制御するように構成されたテスタ102を含むことができる。テスタ102は、1つまたは複数のコンピュータを含むことができるものであり、DUT120に入力される試験データを生成するとともに、その試験データに応答してDUT120によって出力された応答データを受け取ることができる。テスタ102は、応答データを評価して、DUT120が試験に合格するかどうかを決定することおよび/またはDUT120を評価することができる。
図6では、分離抵抗器322は、プローブ136またはその近傍に位置せず、したがって伝送線路248の端部に近接していない。したがって、抵抗器322の抵抗は、ドライバ244の出力インピーダンス316をある大きさにする際に考慮される。したがって、図6に示されている構成では、分離抵抗器322は伝送線路248の端部またはその近傍に位置せず、ドライバ244の出力インピーダンス316は、次式になるように製作または選択されうる。Ro=(R+Zc)/N、ただし、Roはドライバ244の出力インピーダンス316であり、Rは各抵抗器322の抵抗値であり、Zcは各伝送線路248の特性インピーダンスであり、Nは伝送線路248の総数であり、*は乗算を意味する。(上記は、各伝送線路248の特性インピーダンスZcが同じまたはほぼ同じであり、かつ各分離抵抗器322の抵抗が同じまたはほぼ同じであるものとする。)
再び図3を参照すると、図3に示されている各電源モジュール210は、プローブ136のうちの複数を介して電力端子224に電力を供給することができる(電力端子224は、上述のように、DUT120の端子118のサブセットとすることができる)。図3に示されているように、各電源モジュール210は、電力がそれを介して供給されうる電力入力線280を含むことができる。電力入力線280は、1つの電力源(図示せず)が各電源モジュール210に電力を供給するように、単一の電力供給部に電気的に接続されうる。あるいは、別個の電力源(図示せず)が、各電力入力線280に接続されうる。別の選択肢としては、複数の電力源(図示せず)のそれぞれが、電力入力線280のうちの2つ以上であるが総数未満に接続されうる。1つまたは複数の電力源(図示せず)は、テスタ102内に位置することができ、通信チャネル180(図2参照)のうちの1つを介して入力線280に接続されうる。あるいは、1つまたは複数の電力源(図示せず)は、プローブカードアセンブリ134上に位置することもでき、または他の場所に位置することもできる。
Claims (11)
- 電子デバイスのDC測定を行う方法であって、
電源からのDC電力を前記電子デバイスの第1の電力入力線および第2の電力入力線に供給することと、
前記電子デバイスの第1の信号入力線に第1の試験信号をドライブし、前記第1の信号入力線において前記第1の試験信号を所定の電圧レベルに保持することと、
前記第1の信号入力線において前記第1の試験信号を前記所定の電圧レベルに保持しつつ、前記第1の電力入力線を流れる第1の電流と、前記第2の電力入力線を流れる第2の電流との差を測定することと、を含み、
前記第1の信号入力線は、前記第1の電力入力線および前記第2の電力入力線と異なるものであり、前記第1の試験信号は前記DC電力と異なるものであり、
前記第1の電流と前記第2の電流の間の前記差から、前記電子デバイスの前記第1の信号入力線の漏れ電流を求めることをさらに含む、方法。 - 前記電源は、前記電子デバイスの端子に接触するように構成された複数のプローブを備えるプローブカードアセンブリ上に設けられ、電力を供給することは、前記電源からの電力を複数の前記プローブを介して前記電子デバイスに供給することを含む、請求項1に記載の方法。
- 電子デバイスのDC測定を行う方法であって、
前記電子デバイスの端子に接触するように構成された複数のプローブを備えるプローブカードアセンブリ上に設けられた電源からの電力を前記電子デバイスに供給することであって、前記電源からの電力を複数の前記プローブを介して前記電子デバイスに供給することと、
前記電子デバイスの入力線に試験信号をドライブすることと、
前記電子デバイスによって引き出される電流を測定することと、を含み、
前記電子デバイスによって前記電源から引き出される電流を測定することは、第1の電源接続部を通って前記電子デバイスに流れる第1の電流と、前記電子デバイスから第2の電源接続部を通って流れる第2の電流との差を求めることを含み、
前記第1の電流と前記第2の電流の間の前記差から、前記電子デバイスの前記入力線の漏れ電流を求めることをさらに含む、方法。 - 前記プローブカードアセンブリ上に少なくとも1つのドライバ回路が設けられ、第1の試験信号をドライブすることは、前記ドライバ回路が前記プローブのうちの少なくとも1つを介して前記第1の試験信号をドライブすることを含む、請求項2に記載の方法。
- 電子デバイスのDC測定を行う方法であって、
電源からの電力を前記電子デバイスに供給することと、
前記電子デバイスの入力線に試験信号をドライブすることと、
前記電子デバイスによって前記電源から引き出される電流を測定することと、を含み、
電力を供給することは、前記電子デバイスに対する第1の電圧レベルの第1の電力入力線と、前記電子デバイスに対する第2の電圧レベルの第2の電力入力線とを供給することを含み、前記第1の電圧レベルは、前記第2の電圧レベルより高く、
試験信号をドライブすることは、前記電子デバイスの入力線に、前記第1の電圧レベルよりも高い電圧レベルで、または、前記第2の電圧レベルよりも低い電圧レベルで、前記試験信号をドライブし、前記第1の電圧レベルと前記第2の電圧レベルとの間の電圧レベルを有する信号で前記電子デバイスの他の入力線をドライブすることをさらに含む、方法。 - 電流を測定することは、前記第2の電力入力線を通って流れる前記電流を測定することを含む、請求項5に記載の方法。
- 試験信号をドライブすることは、前記第1の電圧レベルより高い電圧レベルで前記信号をドライブすることを含み、電流を測定することは、前記第1の電力入力線を通って引き出される前記電流を測定することを含む、請求項5に記載の方法。
- 前記電子デバイスは、個片化されていない半導体ウェハを構成する複数の半導体ダイを含む、請求項1に記載の方法。
- 第1の試験信号をドライブする間、前記電子デバイスの前記第1の信号入力線以外の信号入力線を高インピーダンス状態にすることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記半導体ダイの各々は、相補型金属酸化膜半導体ダイである、請求項8に記載の方法。
- 前記第1の信号入力線から前記第1の試験信号を取り除くことと、
前記第1の信号入力線を含む、前記電子デバイスの第2の信号入力線以外の信号入力線を高インピーダンス状態にすることと、
前記電子デバイスの前記第2の信号入力線に第2の試験信号をドライブし、前記第2の信号入力線において前記第2の試験信号を所定の電圧レベルに保持することと、
前記第2の信号入力線において前記第2の試験信号を前記所定の電圧レベルに保持しながら、前記第1の電力入力線を流れる第1の電流と、前記第2の電力入力線を流れる第2の電流との差を測定することを繰り返すことと、をさらに含む、請求項1に記載の方法。
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