JP6479803B2 - テラヘルツ画像の高コントラスト準リアルタイム取得のためのシステム及び方法 - Google Patents

テラヘルツ画像の高コントラスト準リアルタイム取得のためのシステム及び方法 Download PDF

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Description

本出願は、Vladimir G.Kozlov及びPatrick F.Tekavecの名義において、それぞれ、2013年12月4日及び2014年6月4日付けで出願された米国仮出願第61/912,004号及び第62/007,904号に伴う優先権を主張するものであり、これらの米国仮出願は、引用により、あたかも本明細書においてそのすべてが記述されているかのように、本明細書に包含される。
本発明は、全米科学財団によって付与された契約番号NSF−SBIR−7324191号の下における政府の支援によって実施されたものである。米国政府は、本発明における特定の権利を有する。
本発明の分野は、テラヘルツ周波数放射を使用した撮像に関する。具体的には、テラヘルツ画像の高コントラスト準リアルタイム取得のためのシステム及び方法が開示される。
テラヘルツ周波数放射に伴う生成、検出、及び撮像のための多数のシステム及び方法が既に開示されている。これらのうちのいくつかは、以下の文献において開示されており、これらの文献の内容は、引用により、あたかもそのすべてが本明細書において記述されているかのように、本明細書に包含される。
−Nuss(Lucent Technologies Inc.)に対して1997年4月22日付けで発行された「Method and apparatus for terahertz imaging」という名称の米国特許第5,623,145号明細書
−Nuss(Lucent Technologies Inc.)に対して1998年1月20日付けで発行された「Method and apparatus for terahertz imaging」という名称の米国特許第5,710,430号明細書
−Nuss(Lucent Technologies Inc.)に対して1998年8月4日付けで発行された「Optical system employing terahertz radiation」という名称の米国特許第5,789,750号明細書
−Brener他(Lucent Technologies Inc.)に対して1997年8月18日付けで発行された「Near field terahertz imaging」という名称の米国特許第5,894,125号明細書
−Jacobsen他(Lucent Technologies Inc.)に対して1999年8月17日付けで発行された「Systems and methods for processing and analyzing terahertz waveforms」という名称の米国特許第5,939,721号明細書
−Zhang他(Rensselaer Polytechnic Institute)に対して1999年9月14日付けで発行された「Electro−optical sensing apparatus and method for characterizing free−space electromagnetic radiation」という名称の米国特許第5,952,721号明細書
−Mittleman他(Lucent Technologies Inc.)に対して2000年6月20日付けで発行された「Method and apparatus for terahertz tomographic imaging」という名称の米国特許第6,078,047号明細書
−Zhang他(Rensselaer Polytechnic Institute)に対して2002年7月2日付けで発行された「electro−optic/magneto−optic measurement of electromagnetic radiation using chirped optical pulse」という名称の米国特許第6,414,473号明細書
−Ferguson他(Rensselaer Polytechnic Institute)の名義において2003年5月22日付けで公開された「Method and system for performing three−dimensional terahertz imaging on an object」という名称の国際特許出願公開第2003/042670号パンフレット
−Hayes他に対して2007年9月18日付けで発行された「Highly efficient waveguide pulsed THz electromagnetic radiation source and group−matched waveguide THz electromagnetic radiation source」という名称の米国特許第7,272,158号明細書
−Vodopyanov他(Microtech Instruments、Oregon State University、Stanford University)に対して2008年3月4日付けで発行された「Generation of terahertz radiation in orientation−patterned semiconductors」という名称の米国特許第7,339,718号明細書
−Vodopyanov他に対して2008年3月25日付けで発行された「Terahertz radiation generation and methods therefor」という名称の米国特許第7,349,609号明細書
−Moeller(Alcatel−Lucent USA Inc.)に対して2011年4月19日付けで発行された「Inexpensive Terahertz Pulse Wave Generator」という名称の米国特許第7,929,580号明細書
−Kozlov他(Microtech Instruments Inc.)に対して2011年10月11日付けで発行された「Terahertz tunable sources,spectrometers,and imaging systems」という名称の米国特許第8,035,083号明細書
−Khan他(Massachusetts Institute of Technology)の名義において2012年1月12日付けで公開された「Terahertz sensing system and method」という名称の米国特許出願公開第2012/0008140号(現在では、2013年8月20日付けで発行された米国特許第8,514,393号)明細書
−Kozlov他(Microtech Instruments)に対して2013年12月3日付けで発行された「Alignment and optimization of a synchronously pumped optical parametric oscillator for nonlinear optical generation」という名称の米国特許第8,599,474号明細書
−Kozlov他(Microtech Instruments)に対して2013年12月3日付けで発行された「Alignment and optimization of a synchronously pumped optical parametric oscillator for nonlinear optical generation」という名称の米国特許第8,599,475号明細書
−Kozlov et al (Microtech Instruments)に対して2013年12月3日付けで発行された「Alignment and optimization of a synchronously pumped optical parametric oscillator for nonlinear optical generation」という名称の米国特許第8,599,476号明細書
−Wu et al;“Two−dimensional electro−optic imaging of THz beams”;Applied Physics Letters Vol.69No.8p.1026(1996)
−Jiang et al;“Terahertz imaging via electrooptic effect”;IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques Vol.47 No.12 p.2644(1999)
−Jiang et al;“Improvement of terahertz imaging with a dynamic subtraction technique”;Applied Optics Vol.39 No.17 p.2982(2000)
−Nahata et al;“Two−dimensional imaging of continuous−wave terahertz radiation using electro−optic detection”;Applied Physics Letters Vol.81 No.6 p.963(2002)
−Sutherland et al;Handbook of Nonlinear Optics 2ed(2003);New York:Marcel Dekker
−Yonera et al;“Millisecond THz imaging based on two−dimensional EO sampling using a high speed CMOS camera”;Conference on Lasers and Electro−Optics,Paper No.CMB3(2004)
−Ding et al;“Phase−Matched THz Frequency Upconversion in a GaP Crystal”;Conference on Lasers and Electro−Optics,Paper No.CTuL3(2006)
−Ding et al;“Observation of THz to near−Infrared parametric conversion in ZnGeP2 crystal”;Optics Express Vol.14 No.18p.8311(2006)
−Hurlbut et al;“Quasi−Phasematched THz Generation in GaAs”;Conference on Lasers and Electro−Optics,Paper No.CTuGG(2006)
−Cao et al;“Coherent detection of pulsed narrowband terahertz radiation”;Applied Physics Letters Vol.88 p.011101(2006)
−Vodopyanov;“Optical generation of narrow−band terahertz packets in periodically inverted electro−optic crystals:conversion efficiency and optimal laser pulse format”;Optics Express Vol.14 No.6 p.2263(2006)
−Lee et al;“Generation of multicycle terahertz pulses via optical rectification in periodically inverted GaAs structures”;Applied Physics Letters Vol.89 p.181104(2006)
−Khan et al;“Optical detection of terahertz radiation by using nonlinear parametric upconversion”;Optics Letters Vol.32 No.22 p.3248(2007)
−Schaar et al;“Intracavity terahertz−wave generation in a synchronously pumped optical parametric oscillator using quasi−phase−matched GaAs”;Optics Letters Vol.32 No.10 p.1284(2007)
−Khan et al;“Optical detection of terahertz using nonlinear parametric upconversion”;Optics Letters Vol.33 No.23 p.2725 (2008)
−Vodopyanov et al;“Resonantly−enhanced THz−wave generation via multispectral mixing inside a ring−cavity optical parametric oscillator”;Conference on Lasers and Electro−Optics,Paper No.CTuG1(2009)
−Pedersen et al;“Enhanced 2D−image upconversion using solid−state lasers”;Optics Express Vol.17 No.23 p.20885(2009)
−Hurlbut et al;“THz−wave generation inside a high−finesse ring−cavity OPO pumped by a fiber laser”;Conference on Lasers and Electro−Optics,Paper No.CWF3(2010)
−Tekavec et al;“Efficient high−power tunable terahertz sources based on intracavity difference frequency generation”; Paper No.IRMMW THz−in 36th International Conference on Infrared,Millimeter and Terahertz Waves(2011)
−Tekavec et al;“Terahertz generation from quasi−phase matched gallium arsenide using a type II ring cavity optical parametric oscillator”;Proc.SPIE 8261,Terahertz Technology and Applications V, 82610V;doi:10.1117/12.909529(2012)
−Clerici et al;“CCD−based imaging and 3D space−time mapping of terahertz fields via Kerr frequency conversion”;Optics Letters Vol.38 No.11 p.1899(June 1,2013)
−Fan et al;“Room temperature terahertz wave imaging at 60 fps by frequency up−conversion in DAST crystal”;Proc.SPIE 8964,Nonlinear Frequency Generation and Conversion:Materials,Devices,and Applications XIII,89640B(February 20,2014);doi:10.1117/12.2038685
−Fan et al;“Real−time terahertz wave imaging by nonlinear optical frequency up−conversion in a 4−dimethylamino−N’−methyl−4’−stilbazolium tosylate crystal”;Applied Physics Letters,104,101106(2014);doi:10.1063/1.4868134
−Tekavec et al;“Video Rate 3D THz tomography’:post−deadline paper,Conference on Lasers and Electro−optics(June 8−13,2014,San Jose,California)
テラヘルツ画像ビームが、非線形光学プロセス(例えば、近IRアップコンバージョンビームによる和又は差周波数生成)によってアップコンバージョンされる。アップコンバージョンされた画像は、近IR画像検出器によって取得される。テラヘルツ画像ビーム及びアップコンバージョンビームは、ピコ秒パルスのトレーンを有する。テラヘルツ画像ビーム及びアップコンバージョンビームの帯域幅及び中心波長は、波長フィルタリングを利用することにより、アップコンバージョンビームを遮断するか又は実質的に減衰させつつ、アップコンバージョンされた画像ビームが検出器に到達できるようにすることが可能なものになっている。
テラヘルツ画像のアップコンバージョン及びアップコンバージョンされた画像の検出に関係した目的及び利点については、添付図面において図示されていると共に以下の書面による説明において開示されている例示用の実施形態を参照することにより、明らかとなろう。
この概要は、「発明を実施するための形態」の節において更に後述される概念の組を簡単な形態において紹介するべく提供されるものである。この概要の説明は、開示されている主題の主要な特徴又は不可欠な特徴を識別することを意図したものではなく、以下において特許請求されている主題の範囲の判定を支援するべく使用されることを意図したものでもない。
図1は、アップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得する装置の第1の例を概略的に示す。 図2は、アップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得する装置の第2の例を概略的に示す。 図3Aは、任意の偏光又は波長に基づいたフィルタリング以前のアップコンバージョン光ビーム及びアップコンバージョンされたテラヘルツ画像ビームのスペクトルの例の1つである。 図3Bは、任意の偏光又は波長に基づいたフィルタリング以前のアップコンバージョン光ビーム及びアップコンバージョンされたテラヘルツ画像ビームのスペクトルの例の1つである。 図3Cは、任意の偏光又は波長に基づいたフィルタリング以前のアップコンバージョン光ビーム及びアップコンバージョンされたテラヘルツ画像ビームのスペクトルの例の1つである。 図3Dは、任意の偏光又は波長に基づいたフィルタリング以前のアップコンバージョン光ビーム及びアップコンバージョンされたテラヘルツ画像ビームのスペクトルの例の1つである。 図3Eは、アップコンバージョンされたテラヘルツ画像ビーム及び残留アップコンバージョン光ビームの偏光及び波長によってフィルタリングされたスペクトルの一例である。 図4は、テラヘルツ画像を取得するためのいくつかの技法の推定信号強度を比較した表である。 図5は、テラヘルツ撮像ビーム及びアップコンバージョンビームの供給源の一例を概略的に示す。 図6Aは、3つの試験物体の可視画像の1つである。 図6Bは、3つの試験物体の可視画像の1つである。 図6Cは、3つの試験物体の可視画像の1つである。 図7Aは、これらの物体の未加工の透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図7Bは、これらの物体の未加工の透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図7Cは、これらの物体の未加工の透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図8Aは、これらの物体の正規化済みの透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図8Bは、これらの物体の正規化済みの透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図8Cは、これらの物体の正規化済みの透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図9Aは、3つのその他の試験物体の可視画像の1つである。 図9Bは、3つのその他の試験物体の可視画像の1つである。 図9Cは、3つのその他の試験物体の可視画像の1つである。 図10Aは、これらの物体の未加工の透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図10Bは、これらの物体の未加工の透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図10Cは、これらの物体の未加工の透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図11Aは、これらの物体の正規化済みの透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図11Bは、これらの物体の正規化済みの透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図11Cは、これらの物体の正規化済みの透過におけるアップコンバージョンされたテラヘルツ画像の1つである。 図12は、アップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得する装置の第3の例を概略的に示す。 図13Aは、試験物体の可視状態のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像である。 図13Bは、試験物体の反射されたアップコンバージョンされたテラヘルツ画像である。 図14Aは、深さに依存した反射型テラヘルツ撮像用の試験物体の概略分解図である。 図14Bは、一連の異なる深さにおける図14Aの試験物体の反射及びアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を含む。 図15は、アップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得する装置の第4の例を概略的に示す。 図16は、図15の装置を使用して生成されうるシミュレーション信号を概略的に示す。
本開示において示されている実施形態は、概略的に示されているに過ぎず、且つ、すべての特徴が、十分詳細に又は適切な比率において、示されているわけではない場合があることに留意されたい。わかりやすくするべく、その他のものとの関係において、特定の特徴又は構造が誇張されている場合がある。図示の実施形態は、例に過ぎず、且つ、以下の書面による説明又は添付の請求項の範囲を限定するものと解釈するべきではないことに更に留意されたい。
マイクロ波と長波赤外スペクトル領域の間の相対的に十分に開発されていないスペクトル「ギャップ」である電磁スペクトルのテラヘルツ(THz)波領域(即ち、約0.1THz〜約10THz)は、いくつかの理由から、興味深い。多くの生物学的且つ化学的な化合物は、このスペクトル領域において固有の吸収特徴を有しており、その結果、テラヘルツ放射は、防衛、セキュリティ、生物医学、及び産業の環境における撮像において、魅力的なものとなっている。テラヘルツ放射は、光、紫外、又は赤外放射に対して不透明である多くの物質(例えば、セラミック、織物、乾燥した有機材料、プラスチック、紙、又は様々な包装材料)をほとんど又はまったく減衰を伴うことなしにほとんど減衰を伴うことなしに通過することができる。テラヘルツ放射による撮像によれば、ミリメートル未満の空間分解能が可能であり、これにより、更に長い波長において(例えば、ミリメートル波を使用して)取得される画像との比較において、相対的に高品質の画像が潜在的に得られる。
テラヘルツ周波数における画像の直接的な取得又は検出は、適切な検出器(例えば、ボロメータ、ゴーレイセル、又はマイクロボロメータアレイ)の通常は低い感度又は低い空間分解能により、単一チャネル検出器が使用される場合の二次元画像を取得するためのラスタスキャニングに対するニーズにより、或いは、ボロメータ検出器又はアレイの低温冷却に対するニーズにより、妨げられる。電磁スペクトルの可視及び近赤外(近IR)部分(即ち、約400nm〜約3000nmの波長)における画像の検出のために、室温において動作可能な高空間分解能を有する高感度な二次元検出器アレイ(例えば、CCDアレイ、CMOSアレイ、又はInGaAsアレイ)が容易に入手可能であり、このような検出器を使用することにより、テラヘルツ周波数画像の直接的な検出について上述した問題を回避することができるが、これらの検出器は、テラヘルツ放射に対する感度が低い。可視又は近IR検出器又はアレイを使用したテラヘルツ画像の取得を可能にするべく、様々な非線形光学効果を活用することができる。
可視又は近IR検出を使用してテラヘルツ画像を取得するべく、所謂コヒーレント検出を利用することが可能であり、例は、(先程引用した)Wu他、Yonera他、Jiang他、及びZhang他の参考文献において開示されている。コヒーレント検出法においては、通常、短い光ポンピングパルス(例えば、可視又は近IR波長における100フェムト秒(fs)未満)を利用して広帯域のTHzパルスを生成している。THzパルスのコヒーレント検出は、これを電気光学結晶内において短い光プローブパルス(例えば、可視又は近IR波長における100fs未満であり、通常は、ポンピングパルスの振幅がスケーリングされた複製である)と混合することにより、実現することができる。光プローブパルスの偏光は、ポッケルス効果に起因し、THzパルス電界によって回転され、回転の量は、THz電界の振幅に比例しており、且つ、アナライザ偏光器を通じた検出により、計測することができる。コヒーレント検出は、物体又はTHz画像のラスタースキャニングとの組合せにおいて単一検出器要素を使用して実装することが可能であり、或いは、可視又は近IR検出器アレイ(CCDカメラ又はCMOSアレイ)を利用することも可能であり、これにより、ラスタスキャニングに対するニーズが除去される。但し、取得される画像の画像コントラストは、通常、低い信号対ノイズ比により、制限される。更には、短い光パルスによって生成されるTHz放射の広い光周波数帯域幅(通常、約2〜3THz)は、しばしば、その帯域内の特定周波数の大きな雰囲気吸収を結果的にもたらし、これにより、THz周波数スペクトルのTHzパワーの損失と歪を結果的にもたらす。
本明細書においては、コヒーレント検出の代替肢が開示されており、この場合に、(i)光又は近赤外波長(即ち、約400nm〜約3000nm)へのTHz画像の非線形光学アップコンバージョンと、(ii)検出器又はアレイを使用したアップコンバージョンされた画像の検出と、により、THz画像を取得するべく、可視又は近IR検出器又はアレイを使用することができる。図1及び図2には、アップコンバージョンされたテラヘルツ画像を生成及び取得するシステムの例が概略的に示されている。それぞれの例において、物体10は、λTHz=c/vTHz(cは、光の速度)の波長を有するテラヘルツ放射のビーム(即ち、テラヘルツ撮像ビーム21)によって照射されている。物体10からの反射又は散乱により、或いは、物体10を通じた又はその周りにおける透過により、テラヘルツ画像を生成することができる。反射又は透過されたテラヘルツ画像ビーム20は、第1合焦要素31(図1及び図2においては、単一レンズとして示されており、軸外しパラボラ形反射器又はテラヘルツ放射に適したその他の1つ又は複数の透過又は反射型合焦要素を使用することができる)によって収集され、且つ、アップコンバージョン非線形光学媒質36に中継されている。可視又は近IR波長λUCを有するアップコンバージョンビーム22が、ビームコンバイナ34により、テラヘルツ画像ビーム20と(通常は、実質的に共線的に)組み合わせられており、ビームコンバイナは、任意の適切なタイプ又は構造であってよく(例えば、薄膜)、且つ、(図1及び図2に示されているように)テラヘルツ画像ビーム20を透過しつつ、アップコンバージョンビーム22を反射することも可能であり、或いは、テラヘルツ画像ビーム20を反射しつつ、アップコンバージョンビーム22を透過させることもできる(図示されてはいない)。
テラヘルツ画像ビーム20及びアップコンバージョンビーム22は、アップコンバージョン非線形光学媒質36を通じて一緒に伝播し、その際に、テラヘルツ画像ビーム20とアップコンバージョンビーム22の間の非線形光学相互作用(和又は差周波数生成、それぞれ、SFG又はDFG)により、1つ又は複数のアップコンバージョンされた画像ビーム24が生成される。アップコンバージョンビーム22からの残留放射は、(画像フィルタリング要素を集合的に構成している)1つ又は複数の波長依存フィルタ38又は1つ又は複数の偏光器39により、減衰又は遮断される。(1/λDFG=1/λUC−1/λTHz、或いは、1/λSFG=1/λUC+1/λTHzを有する)1つ又は複数のアップコンバージョンされた画像ビーム24は、第2合焦要素32(図1及び図2においては、単一レンズとして示されているが、1つ又は複数のアップコンバージョンされた画像ビームの1つ又は複数の波長に適した任意の1つ又は複数の透過型又は反射型合焦要素を利用することができる)によって収集され、且つ、アップコンバージョンされた画像の検出のために、可視又は近IR検出器アレイ40に中継される。テラヘルツ画像ビーム20からのなんらかの残留放射が検出器アレイ40に到達するかどうかは、ほとんど無関係であり、その理由は、テラヘルツ放射は、通常、可視又は近IR検出器アレイ40に対して識別可能な影響を及ぼさないからである。但し、検出器アレイ40は、アップコンバージョンビーム22からの残留放射の影響を受けやすく、検出器アレイ40に到達するなんらかのこのような残留アップコンバージョン放射は、1つ又は複数のアップコンバージョンされた画像ビーム24の検出における望ましくないバックグラウンド信号を表している(更に後述する)。
これらの例においては、検出器アレイの複数の対応した検出器要素上においてアップコンバージョンされた画像ビームの異なる空間的部分を同時に受け取ることにより、全体画像の取得を可能にする検出器アレイ40が図示及び記述されている。但し、本開示又は添付の請求項は、単一の検出器要素上においてアップコンバージョンされた画像ビームの異なる空間的部分を順番に受け取るように、アップコンバージョンされた画像ビームに跨ってスキャニングされる単一検出器要素の使用をも含むことができる。
第1合焦要素31の有効焦点距離(例えば、単一レンズ又は単一湾曲ミラーの焦点距離、或いは、マルチコンポーネント合焦要素の有効焦点距離)は、fであり、第2合焦要素32の有効焦点距離は、fである。図1の構成においては、物体10と第1合焦要素31の間の距離は、do1であり、第1合焦要素31と非線形光学媒質36の間の距離は、di1であり、且つ、物体10、第1合焦要素31、及び非線形光学媒質36は、1/do1+1/di1=1/fとなるように、即ち、物体10及び非線形光学媒質36が、合焦要素31によって定義された共役平面において位置決めされ、これにより、物体10のテラヘルツ画像が、−di1/do1の倍率により、非線形光学媒質36において形成されるように、位置決めされている。このテラヘルツ画像は、非線形光学媒質36内において、アップコンバージョンビーム22に伴うSFG又はDFGにより、アップコンバージョンされる。非線形媒質36と第2合焦要素32の間の距離は、do2であり、第2合焦要素32と検出器アレイ40の間の距離は、di2であり、且つ、非線形光学媒質36、第2合焦要素32、及び検出器アレイ40は、1/do2+1/di2=1/fとなるように、即ち、非線形光学媒質36及び検出器アレイ40が、合焦要素32によって定義された共役平面において位置決めされ、これにより、非線形光学媒質36内において生成されたアップコンバージョンされた画像が、−di2/do2の倍率により、検出器アレイ40において再結像されるように、位置決めされている。物体10との関係における検出器アレイ40上において形成される画像の全体的な倍率は、(di1・di2)/(do1・do2)である。
図2の構成においては、物体10と第1合焦要素31の間の距離は、fであり、第1合焦要素31と非線形光学媒質36の間の距離も、fである。この結果、テラヘルツ画像の空間フーリエ変換が、非線形光学媒質36において形成され、テラヘルツ画像の1つ又は複数のアップコンバージョンされた空間フーリエ変換を生成するべく、SFG又はDFGにより、非線形光学媒質36内においてアップコンバージョンビーム22によってアップコンバージョンされるのは、この空間フーリエ変換である。非線形光学媒質36と第2合焦要素32の間の距離は、fであり、第2合焦要素32と検出器アレイ40の間の距離も、fである。この結果、非線形光学媒質36内において生成されたアップコンバージョンされた空間フーリエ変換から、アップコンバージョンされた画像が、検出器アレイ40において形成される。物体10との関係における検出器アレイ40上において形成される画像の全体的な倍率は、−(λUC・f)/(λTHz・f)である。図2の構成は、いくつかの例においては、画像アップコンバージョンシステムの相対的に小型の構成をもたらすことが可能であり、その理由は、多くの場合に、di1+di2+do1+do2は、2・(f+f)を上回っているからである。
任意の実際のシステムにおいては、物体10、合焦要素31及び32、非線形光学媒質36、或いは、検出器アレイ40の場所は、上述の2つの構成について付与されている正確な位置から逸脱する場合があろう。本開示又は添付の請求項を目的として、所与の撮像構成は、所与の用途について十分に良好な品質のアップコンバージョンされた画像が検出器アレイ40において形成される場合に、これらの構成のうちの1つに準拠しているものと見なされることになる。
上述の2つの構成のいずれにおいても、アップコンバージョン合焦要素33が、テラヘルツ画像ビーム20との間において相互作用するように、アップコンバージョンビーム22を非線形光学媒質36内に伝達している。アップコンバージョンビーム22は、好ましくは、依然として実質的にテラヘルツ画像ビーム20の全体とオーバーラップすると共にテラヘルツ画像又はフーリエ変換の空間的広がりに跨って実質的にフラットな波面及び十分に小さな空間的強度変動を有する状態において、(増大したアップコンバージョン係数を結果的にもたらすアップコンバージョンビームの増大した強度のために)非線形光学媒質36において実行可能な限り小さなものとされる。これらを目的として、通常、合焦要素33(例えば、単一レンズ、単一湾曲ミラー、望遠鏡、又は1つ又は複数の透過型又は反射型合焦コンポーネントの適切な組合せ)は、非線形光学媒質36においてアップコンバージョンビーム22の相対的に穏やかな合焦されたビームウエストを形成するように、構成されている。例えば、合焦要素33は、幅が7mmのビームウエスト(半値全幅、即ち、FMHM)を非線形光学媒質36において生成するように構成することが可能であり、その他の適切な幅を利用することもできる。小さ過ぎるアップコンバージョンビームサイズの効果は、撮像システムの構成によって左右される。図1の構成においては、小さなアップコンバージョンビーム22は、テラヘルツ画像の周辺部分がアップコンバージョンされない場合に、アップコンバージョンされた画像の周辺部分の損失を結果的にもたらす可能性がある。図2の構成においては、小さなアップコンバージョンビーム22は、テラヘルツ画像の相対的に大きな波ベクトル成分(即ち、空間フーリエ変換の周辺部分)がアップコンバージョンされない場合に、アップコンバージョンされた画像の鋭さの損失を結果的にもたらす可能性がある。いずれの構成においても、アップコンバージョンビーム22のフラットな波面又は均一な強度からの逸脱は、通常、許容することが可能であり、許容しうるこのような逸脱の大きさは、変化可能であり、且つ、通常は、アップコンバージョンされた画像について必要とされる又は望ましい画像品質によって左右される。又、上述のテラヘルツ画像ビーム20及びアップコンバージョンビーム22の空間的なオーバーラップに加えて、これらのビームの個々のパルストレーンの大きな時間的オーバーラップも、テラヘルツ画像のアップコンバージョンの望ましい効率を実現するべく、必要とされる。適切な遅延ラインをテラヘルツ画像ビーム20又はアップコンバージョンビーム22のうちの一方又は両方のビームのビーム経路に挿入することが可能であり(例えば、図12の遅延ライン42)、この遅延ラインは、アップコンバージョン効率の最適化を可能にするように、調節可能であってもよい。
図3A〜図3Dには、アップコンバージョンビーム22及び2つのアップコンバージョンされた画像ビーム24の波長スペクトルの例が示されている。それぞれの例において、アップコンバージョンされた画像ビーム24は、Thz画像ビーム20(vThz≒1.55Thzにおいてセンタリングされている)とアップコンバージョンビーム22(図3Aにおいては、λUC≒800nmにおいてセンタリングされており、図3B〜図3Dにおいては、λUC≒1064nmにおいてセンタリングされている)の間における和及び差周波数生成(それぞれ、SFG及びDFG)により、非線形光学媒質36内において形成されている。SFG及びDFG非線形光学プロセスの特性に応じて、いくつかの例においては、これらのプロセスのうちの1つのみが、対応したアップコンバージョンされた画像ビーム24を生成することになる。
図3Aの例においては、アップコンバージョンビーム22は、λUC≒800nmにおいてセンタリングされた約15nmという対応した空間的帯域幅を有する持続時間が約100nsのパルスのトレーンを有する。アップコンバージョンされた画像ビーム24は、類似のスペクトル帯域幅と共に、λSFG≒796nm及びλDFG≒804nmという対応した中心波長を有する。この例においては、アップコンバージョンされた画像ビーム24は、非線形光学媒質36内においてSFG及びDFGのために利用されている非線形光学プロセス(例えば、タイプI及びタイプII非線形光学プロセス)の特性に起因して、アップコンバージョンビーム22との関係において直交するように偏光されている。相対的に短いパルス持続時間(約100fs)は、SFG及びSFGプロセスの効率を改善するが、付随する相対的に大きな帯域幅(約15nm)が、アップコンバージョンビーム22とアップコンバージョンされた画像ビーム24の間における大きなスペクトルオーバーラップを生成する。このオーバーラップに起因し、通常、波長依存フィルタ38を残留アップコンバージョンビーム22を減衰させるための画像フィルタリング要素の一部として利用することができない。アップコンバージョンビーム22及びアップコンバージョンされた画像ビーム24の直交偏光は、残留アップコンバージョンビーム22を減衰させるための画像フィルタリング要素としての偏光器39の使用を可能にする。但し、偏光器は、最良でも、遮断された偏光状態において、約10−6(10−4〜10−5が更に現実的である)の減衰を有することになり、且つ、残留アップコンバージョンビーム22は、通常、非線形光学媒質36及び様々なその他の光学コンポーネントを通じた通過に起因して、純粋な線形偏光状態にはない。偏光器39を通じて漏洩する残留アップコンバージョンビーム22の部分は、しばしば、アップコンバージョンされた画像ビーム24よりも格段に強度が大きい可能性がある。更には、上述のように、THz画像ビーム20の広い光学周波数帯域幅は、特定の周波数成分の大きな雰囲気吸収を経験する。これらのすべての理由から、このような短い持続時間(数百フェムト秒以下、相応して大きなスペクトル帯域幅を伴っている)のパルスは、テラヘルツ画像のアップコンバージョンのために、特に良好に適しているわけではない。
様々なその他のこれまでの例(例えば、先程引用したKhan他、Nahata他、Cao他、及びDing他の参考文献において開示されているもの、λUC≒1064nm、λSFG≒1058nm、及びλDFG≒1070nmを有する図3Bに示されている代表的なスペクトル)においては、テラヘルツビーム及びアップコンバージョンビームは、相応して狭いスペクトル帯域幅(例えば、0.1nm未満)を有する持続時間が数ナノ秒(ns)のパルスを有しており、これにより、アップコンバージョンされた信号の検出の前の残留アップコンバージョン放射を減衰させるための画像フィルタリング要素内における波長依存フィルタの利用が可能になっている。但し、相対的に長いパルスは、テラヘルツ画像の検出可能なアップコンバージョンを実現するべく、アップコンバージョンビームのパルスエネルギーが非線形光学媒質36の損傷閾値に近接することを必要としている。このようなパルスエネルギーは、通常、低反復レートパルス化レーザー(例えば、10Hzのレベルのパルス反復レート)においてのみ、入手可能であるが、パルスの間の変動が、アップコンバージョンされた画像の小さな信号レベルの検出を不明瞭にする傾向を有する。大部分の検出器アレイは、平均パワーに対する感度を有しており、平均パワーは、このような小さな反復レートにおいては、非常に小さい。又、この反復レートは、準リアルタイム撮像用の望ましいフレームレートにも匹敵しており、且つ、従って、この用途に良好に適してはおらず、ビデオレート撮像は、フレーム当たりに単一のショットを必要とすることになろう。更には、アップコンバージョンビームは、通常、アップコンバージョンされた画像の検出を可能にするべく、望ましいDFG波長を有する放射を含んでいなければならず、その結果、この検出は、(例えば、Cao他の参考文献におけるように)本質的に非ゼロのバックグラウンドプロセスとなる。これらの理由のすべてにより、このような長い持続時間のパルス(数ナノ秒以上、相応して狭いスペクトル帯域幅を有する)及びこのような大きなパルスエネルギーは、テラヘルツ画像のアップコンバージョンに特に良好に適しているわけではない。
本開示による発明の一例(図3C)においては、テラヘルツ画像ビーム20及びアップコンバージョンビーム22は、持続時間が約6〜10ピコ秒(ps、FWHM)のパルスのトレーンを有し、アップコンバージョンビームは、帯域幅が約0.3nmであり(FWHM)、且つ、テラヘルツ画像ビームも、同様に、その周波数スペクトルが狭く(例えば、約1.55THzにおいてセンタリングされた100GHz未満(FWHM)であり、従って、雰囲気吸収帯域の実質的な回避を可能にする)、これらのパルストレーンの生成については、更に後述する。λUC≒1064nmにおいてセンタリングされたアップコンバージョンビーム22により、アップコンバージョンされた画像ビーム24は、λSFG≒1058nm及びλDFG≒1070nmという対応した中心波長と、同様に狭いスペクトル帯域幅と、を有する。先程の例と同様に、アップコンバージョンされた画像ビーム24は、非線形光学媒質36内におけるSFG及びDFGのために利用されている非線形光学プロセス(例えば、タイプI又はタイプII非線形光学プロセス)の特性に起因して、アップコンバージョンビーム22との関係において直交するように偏光されている。アップコンバージョンビーム22及びアップコンバージョンされたビーム24の直交偏光は、残留アップコンバージョンビーム22を減衰させるための画像フィルタリング要素内における偏光器39の使用を可能にする。図3Aの例との関係における相対的に長いパルスは、SFG及びDFGプロセスのピーク強度の低減及び効率の低減を結果的にもたらすが、これらのプロセスは、依然として、図3Bの例におけるものよりも効率的である。但し、相応して相対的に小さなスペクトル帯域幅は、アップコンバージョンビーム22とアップコンバージョンされた画像ビーム24のスペクトルオーバーラップを実質的に除去し、これにより、残留アップコンバージョンビーム22を減衰させるための、偏光器39の代わりの又はこれに加わる、画像フィルタリング要素内における1つ又は複数の波長依存フィルタ38の使用が可能となる。1つ又は複数の波長依存フィルタ38と偏光器39の組合せは、控えめに見ても、10−10の、且つ、恐らくは、10−12程度の、レベルの残留アップコンバージョンビーム22の減衰をもたらすことが可能であり、これにより、上述の及び引用された参考文献におけるこれまでに利用されている方法との関係において、格段に大きな信号対バックグラウンドをもたらす(図3Eのスペクトル及び図4の表を参照されたい)。或いは、この代わりに、アップコンバージョンされた画像ビーム24との間におけるアップコンバージョンビーム22のスペクトルオーバーラップの欠如は、画像フィルタリング要素からの偏光器39の除去と、例えば、すべての偏光が互いに平行であるタイプ0非線形光学プロセスなどの非線形光学媒質36内における、代替の、潜在的に相対的に効率的な、非線形光学プロセスの使用と、を可能にすることができる。又、このパルス持続時間によれば、数ミリメートルのレベルにおける空間分解能を有するサンプル内の異なる深さに由来した画像を取得するべく、テラヘルツ画像の取得をテラヘルツ断層撮影技法と組み合わせることも可能である。
本開示による発明の別の例(図3D)は、利用されているパルスの持続時間が約1〜2psであり(FWHM)、且つ、帯域幅が約1nmである(FWHM)ことを除いて、図3Cのものに類似している。これらのパラメータは、残留アップコンバージョンビームの有効波長に基づいたフィルタリングを依然として可能にしつつ、テラヘルツ画像のアップコンバージョンの効率を増大させることができる(相対的に短いパルス持続時間に起因した相対的に大きな強度)。又、相対的に短いパルス持続時間は、テラヘルツ画像の取得が、サンプル内の異なる深さに由来した画像を取得するべく、テラヘルツ断層撮影技法と組み合わせられた際に、改善された空間分解能(例えば、ミリメートルのレベル)をも可能にする。
発明の別の例においては、テラヘルツ画像ビームは、先行する例のうちの1つに類似したスペクトル幅を伴って、約0.85THzにおいてセンタリングさせることができる(これにより、雰囲気吸収帯域の実質的な回避が可能になる)。アップコンバージョンビームが、同様のスペクトル幅を伴って、約λUC≒1064nmにおいてセンタリングされた場合には、アップコンバージョンされた画像ビームは、λSFG≒1061nm及びλDFG≒1067nmという対応した中心波長と、類似のスペクトル幅と、を有することになる。アップコンバージョンビームとアップコンバージョンされた画像ビームの間の相対的に小さなスペクトル分離は、アップコンバージョンビームの十分な減衰のための改善されたスペクトルフィルタリングを必要としうる。
1つ又は複数のアップコンバージョンされた画像ビーム24を生成するべく、任意の適切な非線形光学媒質36を利用することができる。1つの適切な媒質は、2つ以上の光学的に接触したヒ化ガリウム(GaAs)又はガリウムリン化物(GaP)プレートの積層体を有する。プレートの厚さは、アップコンバージョンビーム22による1つ又は複数のアップコンバージョンされた画像ビーム24へのテラヘルツ画像ビーム20の準位相整合されたアップコンバージョンを結果的にもたらすように、選択される。一例においては、タイプI又はII非線形光学プロセス(即ち、1つ又は複数のアップコンバージョンされたビーム24のものに実質的に直交したアップコンバージョンビーム22の偏光)を使用することにより、約1.55THzを有するテラヘルツ画像ビーム20及び約1064nmを有するアップコンバージョンビーム22から、1058nm及び1070nmを有するアップコンバージョンされた画像ビーム24を生成するべく、それぞれが約300μmの厚さである6〜12枚のGaASプレートの積層体を利用することができる。プレートの数が多いほど、結果的に得られるアップコンバージョン効率を高くすることができるが、プレートの数の増大に伴って、十分に高い光学品質を維持することが困難になる。テラヘルツ周波数とアップコンバージョン波長のその他の組合せにおいては、その他のプレートの厚さを利用することができる。1つ又は複数の任意のその他の適切な非線形光学材料を利用することが可能であり、任意のその他の位相整合又は準位相整合方式を利用することが可能であり、且つ、例えば、タイプ0、I、IIなどのような任意の適切な非線形光学プロセスを利用することができる。
媒質36内における非線形光学プロセスが、1つのアップコンバージョンされた画像ビーム24のみを生成する場合には、或いは、複数のアップコンバージョンされた画像ビーム24のうちの1つのみが、検出器アレイ40において検出されることが望ましい場合には、1つのアップコンバージョンされた画像ビームの(スペクトルの観点における)少なくとも一部分が検出器40に到達することを可能にしつつ、アップコンバージョンビーム22を減衰又は遮断するショートパス又はロングパスカットオフフィルタ38を利用することができる。例えば、図3C及び図3Dに示されている例示用のスペクトルの場合には、1064nmを有する残留アップコンバージョンビーム22及び(存在する場合に)1058nmを有するアップコンバージョンされた画像ビーム24を減衰又は遮断する一方において、1070nmを有するアップコンバージョンされた画像ビーム24の少なくとも一部分を検出器アレイ40に透過することになる1064nm〜1070nmのカットオフ波長を有するロングパスフィルタ38を利用することが可能であり、図3Eには、このような構成によって透過されたスペクトルの例が示されている。同様に、1064nmを有する残留アップコンバージョンビーム22及び(存在する場合に)1070nmを有するアップコンバージョンされた画像ビーム24を減衰又は遮断しつつ、1058nmを有するアップコンバージョンされた画像ビームが検出器アレイ40に到達することを可能にするべく、1058nm〜1064nmのカットオフ波長を有するショートパスフィルタ38を使用することもできよう。
別の例として、両方のアップコンバージョンされたビーム24の(スペクトルの観点における)少なくとも一部分が検出器40に到達することを可能にしつつ、残留アップコンバージョンビーム22を減衰又は遮断するべく、公称的に1064nmにおいてセンタリングされた所謂ノッチフィルタ38(例えば、ブラッグフィルタ)を利用することもできよう。実際には、図3C又は図3Dに示されている波長の特定の組合せに適したノッチフィルタは、アップコンバージョンビーム22とアップコンバージョンされた画像ビーム24の間における十分な弁別を提供しない場合があり、即ち、現時点においては、残留アップコンバージョンビーム22の十分な減衰とそれぞれの波長を有するアップコンバージョンされた画像ビーム24の十分な透過の両方を有するこのようなノッチフィルタを設計及び製造することが困難である。又、アップコンバージョンビーム22の供給源の特性に応じて、そのスペクトルは、いくつかの例においては、過剰な帯域幅又は望ましくない側波帯を有する可能性があり、この問題は、いくつかの例においては、アップコンバージョンビーム22のスペクトルを「クリーンアップ」するためのλUCにおいてセンタリングされた帯域通過フィルタを使用することにより、軽減することができる。いずれの場合にも、現時点において入手可能なノッチフィルタを波長のその他の更に広く分離された組合せのために適切に利用することが可能であり、或いは、改善された設計及び性能を有する将来のノッチフィルタを図3C又は図3Dの波長の組合せと共に利用することができよう。
1つのアップコンバージョンされた画像ビーム24のみの検出器アレイ40における取得を要する場合にも、DFGアップコンバージョンされた画像ビーム24の生成が有利でありうることに留意されたい。それぞれのSFG光子は、テラヘルツ画像ビーム20から失われる対応したテラヘルツ光子を犠牲にして生成されており、従って、SFGアップコンバージョンされた画像ビーム24の強度は、テラヘルツ画像ビーム20において入手可能な光子の数によって制限される。これとは対照的に、アップコンバージョンされた画像ビーム24内において生成されるそれぞれのDFG光子は、テラヘルツ画像ビーム20内において生成される新しい光子を更に結果的にもたらす。従って、DFGアップコンバージョンされた画像ビーム24の強度は、アップコンバージョンビーム22内において入手可能な(格段に大きい)光子の数によって制限されている。この結果、1つのアップコンバージョンされた画像のみの取得を要する場合には、そのアップコンバージョンされた画像をDFGを利用して生成することが望ましくありうる。但し、DFGアップコンバージョンされた画像ビーム24の生成は、SFG用のテラヘルツ画像ビーム20内における更なる光子を提供する。DFGアップコンバージョンされた画像ビーム24が、フィルタ38により、減衰又は遮断され、且つ、SFGアップコンバージョンされた画像ビーム24のみが、検出器アレイ40に到達する場合にも、DFGアップコンバージョンされた画像ビーム24の生成は、SFGアップコンバージョンされた画像ビーム24の検出強度を増大させる可能性がある。
以前の段落において記述されている同時SFG及びDFGは、特定の条件下においてのみ発生することに留意されたい。本明細書において記述されている例においては、準位相整合されたSFG及びDFGプロセスの受容帯域幅は、両方のプロセスが、図3C及び図3Dの例において示されているλUC≒1064nm、λSFG≒1058nm、及びλDFG≒1070nmの組合せにおいて、ほぼ最適な効率を伴って発生しうるように、十分に大きくなっている。相対的に広く分離されたSFG及びDFG波長の場合には(即ち、相対的に高いテラヘルツ周波数の場合には)、或いは、相対的に小さな受容帯域幅を有する非線形光学媒質の場合には、SFG及びDFGアップコンバージョンされた画像ビーム24の両方を生成することが不可能である場合がある。
(i)テラヘルツ撮像ビーム21を生成するべく使用されるピコ秒持続時間パルス化テラヘルツ放射を生成するべく、且つ、(ii)ピコ秒持続時間のパルス化アップコンバージョンビーム22を生成するべく、1つ又は複数の任意の適切な供給源を利用することができる。別個の供給源が利用される場合には、それらの供給源は、1つ又は複数のアップコンバージョンされた画像ビーム24を生成するための非線形光学媒質36内におけるそれらのピコ秒持続時間パルスの時間的なオーバーラップを可能にするように、十分良好に同期化されなければならない。好適な方式は、テラヘルツ及びアップコンバージョン放射の両方用の共通供給源の使用を含み、この例においては、テラヘルツ及びアップコンバージョンパルスは、本質的に同期化されている。例については、後述する。
図5は、テラヘルツ及びアップコンバージョンビーム20及び22の共通供給源の一例を概略的に示しており、この供給源は、連続波(cw)モード固定ファイバレーザー(ポンピングレーザー200)によってポンピングされると共にテラヘルツ放射を生成するための空洞内非線形光学媒質150を含む同期ポンピング型の光学パラメトリック発振器100(OPO100)を有する。このようなシステムの例は、市販されており(例えば、Microtech Instruments Inc.から提供されているModel No. TPO−1500−HP)、或いは、先程引用した参考文献のうちのいくつかにおいて開示されている(例えば、米国特許第7,349,609号明細書、第8,599,474号明細書、第8,599,475号明細書、及び第8,599,476号明細書であり、これらのそれぞれは、引用により、そのすべてが本明細書に包含される)。TPO−1500−HPについては、後述するが、本明細書において開示されているシステム及び方法は、このテラヘルツ供給源の使用に限定されるものではない。
cwモード固定ファイバレーザー200(即ち、ポンピングレーザー200)は、1064nmの波長において約10Wの平均パワーを生成し、その出力は、約110MHzの反復レートを有する持続時間が約6psのパルスのトレーンを有する。ポンピング出力パワーの一部分(例えば、約100mWであり、これは、例えば、図12におけるように、必要に応じて、波長板202及び偏光ビームスプリッタ204を利用することにより、調節可能である)を分割することが可能であると共にアップコンバージョンビーム22として使用することができる。ポンピング出力パワーの大部分は、OPO100を同期ポンピングするべく使用され、OPO100は、2100nmを中心とした範囲内において高度な反射性を有する空洞ミラーM1〜M6を有するリング空洞として構成されており、OPO共振器は、必要又は所望に応じて、更なる光学要素(例えば、1.55THzの自由スペクトル範囲を有する空洞内エタロン120)を含むことができる。任意の適切な方式によって構成された任意の適切な非線形光学材料が、OPO100用のパラメトリック利得媒質110として機能することができる。TPO−1500−HPにおいては、パラメトリック利得媒質110は、それぞれ、約2116nm及び約2140nmを有する信号及びアイドラ放射への1064nmを有するポインピング放射のタイプ0の準位相整合された(QPM)パラメトリックダウンコンバージョンのために構成された周期分極型ニオブ酸リチウムである。
空洞内非線形光学媒質150は、信号とアイドラ放射の間におけるタイプIIQPM差周波数生成のために構成された2枚以上の光学的に接触したヒ化ガリウムプレートの積層体を有し、これにより、約100GHzの帯域幅を有する約1.55THzを有するテラヘルツ放射が得られる。通常、6〜12枚以上の光学的に接触したGaAsプレートが利用され、プレートの数が多いほど、得られるテラヘルツ生成効率が高くなるが、十分な光学品質を維持しつつ、積層体を製造することが困難になる。それぞれのGaAsプレートは、厚さが約550μmであり、且つ、望ましいテラヘルツ周波数及び信号及びアイドラ波長(それぞれ、この例においては、1.55THz、2116nm、及び2140nmである)において準位相整合を実現するべく、積層体内の隣接するプレートとの関係において伝播軸を中心として180°だけ回転したその結晶軸を有する。積層体は、垂直入射において方向付けされており、且つ、OPO共振器空洞内における挿入損失を低減するべく、その第1及び第2表面上において反射防止被覆されている。テラヘルツ放射は、共振する信号及びアイドラビーム108の通過を許容するための孔を有する軸外しパラボラ形ミラー130により、OPO空洞から外に結合されている。テラヘルツ出力は、110MHzの反復レート及び約300μWの平均パワー及び約400mWのピークパワーを有する持続時間が約6〜10psのパルスのトレーンを有する。テラヘルツ出力ビームは、テラヘルツ撮像ビーム21として利用され、且つ、物体10を通じた又はその周囲における透過の後に、或いは、物体10からの反射又は散乱の後に、テラヘルツ画像ビーム20となる。後続する例においては、アップコンバージョンされた画像信号が、飽和の徴候を伴うことなしに、テラヘルツ撮像ビームのパワー及びアップコンバージョンビームのパワーに伴って実質的に線形で変化することが観察された。これは、テラヘルツ及びアップコンバージョンビームのパワーを更に増大させることにより、アップコンバージョンされた画像信号の更なる増大を実現することができることを示唆している。平均的なテラヘルツ及びアップコンバージョンビームパワー及び高パルス反復レートは、例えば、約5〜30FPS以上のフレームレートを有するビデオレートテラヘルツ撮像などの準リアルタイムのテラヘルツ撮像を可能にする。
上述のテラヘルツ供給源は、1064nmにおいて過剰放射を最も十分に提供することが可能であり、この事実と、この波長領域における高感度な検出器アレイの容易な入手可能性と、に起因し、1064nmは、多くの例におけるアップコンバージョンビーム22の波長λUCの自然な選択肢となっている。但し、その他の例においては、OPO100によって生成される2100nm近傍の信号又はアイドラ放射(又は、これらの両方)をアップコンバージョンビーム22として利用することができる。これらのビームは、OPO100の共振器ミラーのうちの1つに対して、信号及びアイドラ波長におけるわずかな透過性を付与することにより、容易に提供することができる。ヒ化ガリウムは、1064nmにおいて無視できない2光子吸収を有しており、これは、いくつかの例においては、非線形光学媒質36上に入射するアップコンバージョンビーム22のピーク強度を制限する可能性があり、2100nm放射の場合には、大幅な2光子吸収は存在しない。非線形光学媒質36は、非線形光学媒質150のものと実質的に同一のGaAsプレートを使用することにより、製造することができよう。既に上述したように、信号又はアイドラは、SFG、DFG、又はこれらの両方を使用することにより、アップコンバージョンビーム22として単独で利用することができる。約2116nmにおける信号波長が利用される場合に、SFGは、約2094nmを有するアップコンバージョンされた画像を結果的にもたらし、且つ、DFGは、約2140nmを有するアップコンバージョンされた画像を結果的にもたらし、約2140nmを有するアイドラ波長が利用された場合には、SFGは、約2116nmを有する画像を結果的にもたらし、且つ、DFGは、約2164nmを有するアップコンバージョンされた画像をもたらす。1064nmのアップコンバージョンビーム22を使用したSFG及びDFG画像アップコンバージョンについて上述した同一の課題の多く(例えば、波長又は偏光に基づいたフィルタリング)が当て嵌まる。アップコンバージョンビーム22用に信号及びアイドラ波長の両方を同時に使用することは、両方の波長の存在がテラヘルツ画像ビーム24を増幅するように機能する、即ち、約2140nmを有するアイドラ波長のアップコンバージョンビーム22における存在が、アップコンバージョンビーム22から失われる約2116nmを有するそれぞれの信号光子がテラヘルツ画像ビーム20内の新しいテラヘルツ光子を結果的にもたらすDFGプロセスを大幅に改善する、という更なる利点を提供することができる。アップコンバージョンされた画像ビーム24は、約2094nmと約2164nmの両方において生成される。上述のように、波長又は偏光に基づいたフィルタリングの課題が、同様に、このシナリオにも当て嵌まることになろう。
図6A〜図6Cは、テラヘルツ画像のアップコンバージョンを使用して(透過状態において、物体10として)撮像された、それぞれ、シート金属片内の交差形状のアパーチャ、ナット、及びカミソリの刃を示している。図7A〜図7Cは、これらに対応した、左側における未加工の透過及びアップコンバージョンされた画像と、右側における(物体10を有していない)アップコンバージョンされたテラヘルツ撮像ビーム21と、であり、且つ、図8A〜図8Cは、これらに対応した正規化済みのアップコンバージョンされた画像である(未加工のアップコンバージョンされた画像ビームをアップコンバージョンされたテラヘルツ撮像ビームによって除算することにより、正規化されている)。これらの画像の集合体用の動作パラメータは、以下のとおりである(これらは、例に過ぎず、必要又は所望に応じて、動作パラメータのその他の適切な組合せを利用することができる)。
−アップコンバージョンビーム:1064nmにおける約600mWの平均パワー、約0.15nmのスペクトル幅、約10psのパルス持続時間、約80MHzの反復レート、直径が約7mmである非線形光学媒質36内におけるビームサイズ
−テラヘルツ撮像ビーム21:1.55THzにおける約700μWの平均パワー、約80GHzのスペクトル幅、約8psのパルス持続時間、約80MHzの反復レート、直径が約20mmである物体10におけるビームサイズ
−図2と同一の構成、f=75mm、f=250mm
−テラヘルツ画像ビーム20:直径が約1mmである非線形光学媒質36内におけるビームサイズ
−非線形光学媒質36:それぞれの厚さが約300μmである6枚のGaAsプレートの積層体
−偏光器39:グランレーザー偏光器、少なくとも10−4の減衰、いくつかの例においては、恐らくは、10−5程度に良好
−フィルタ38:ロングパスフィルタ、1064nmにおいて約6であるOD、1070nmにおいて0.1未満であるOD
−検出器アレイ40:CMOS検出器アレイ(Thorlabs(登録商標) P/N DCC3240N)、1280×1024ピクセル、8.69mm×5.43mmのセンサ面積、5.3μmのピクセルサイズ、正方形
図9A〜図9Cは、テラヘルツ画像のアップコンバージョンを使用して(透過状態において、物体10として)撮像された、それぞれ、接着テープによってカバーされたカミソリの刃、葉っぱ、及び水を有する紙片を示している。図10A〜図10Cは、これらに対応した未加工の透過及びアップコンバージョンされた画像であり、且つ、図11A〜図11Cは、これらに対応した正規化済みの透過及びアップコンバージョンされた画像である(未加工のアップコンバージョンされた画像ビームをアップコンバージョンされたテラヘルツ撮像ビームによって除算することにより、正規化されている)。これらの画像の集合体用の動作パラメータは、先程付与されたものに類似しており、必要又は所望に応じて、動作パラメータのその他の適切な組合せを利用することができる。図6A〜図8Cの例は、テラヘルツ放射にとっては不透明である物体の透過テラヘルツ画像のアップコンバージョン(即ち、このような物体のテラヘルツ「シャドー」のアップコンバージョン)を示している。図9A〜図11Cの例は、(例えば、葉っぱ内の葉脈又は紙の湿った領域などの)空間的に変化するテラヘルツ透過を有する又は(例えば、テープによって隠蔽されたカミソリの刃などの)光学照明下においては識別不能である特徴を有する物体の透過テラヘルツ画像のアップコンバージョンを示している。
図12には、反射及びアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を生成及び取得するシステムの一例が概略的に示されている。この例においては、反射されたテラヘルツ画像ビーム20が、検出のために、アップコンバージョンされる物体10内の深さを選択するべく、遅延ライン42を(この例においては、アップコンバージョンビーム22の経路内において)利用することができる。アップコンバージョンビーム22の相対的に長い遅延は、アップコンバージョンビーム22のパルスとの間において時間的にオーバーラップしたパルスを有する物体10内の相応して相対的に大きな深さから反射されるテラヘルツ画像ビーム22に対応している。或いは、この代わりに、テラヘルツ画像ビーム20のパルストレーンとアップコンバージョンビーム22のパルストレーンの間の相対的な遅延は、物体10を運動させることにより、変化させることもできる。図13Aは、カミソリの刃である試験物体の光学画像である。図13Bは、カミソリの刃の反射及びアップコンバージョンされたテラヘルツ画像である。これらの画像の集合体用の動作パラメータは、テラヘルツ撮像ビーム21が45°において入射し、且つ、テラヘルツ画像ビーム20が45°において反射されていることを除いて、先程付与したものに類似しており、必要又は所望に応じて、動作パラメータのその他の適切な組合せを利用することができる。
図12の反射型構成は、テラヘルツ放射を部分的に透過させる物体の三次元(3D)テラヘルツ撮像(即ち、断層撮影)を提供するべく、利用することができる。試験物体が、図14Aの分解図において概略的に示されており、且つ、アルミニウムミラー50と、2つのスペーサリング52と、2つのTeflon(登録商標)ウエハ54と、アルミニウムマスク56(この例においては、交差形状のアパーチャを有する)と、を有する。Teflon(登録商標)ウエハ54は、可視及び近赤外光を遮断し、スペーサは、ミラー50の反射表面とマスク56の間の深さの差を決定する。図14Bは、遅延ライン42の異なる位置において取得された一連の反射及びアップコンバージョンされたテラヘルツ画像である。テラヘルツ画像ビーム20のパルスとアップコンバージョンビーム22のパルスの間の特定の相対的な時間的遅延を選択することにより、物体内の対応した特定の深さから反射されたテラヘルツ画像の選択的アップコンバージョンが可能となる。アップコンバージョンパルスが早すぎる場合には(図14Bの0mmフレーム)、テラヘルツ画像は、アップコンバージョンされず、アップコンバージョンパルスが、マスク56から反射されたテラヘルツパルスと時間的にオーバーラップしている際には、マスク56の反射されたテラヘルツ画像がアップコンバージョンされ(2、3、4、及び5mmフレーム)、マスク56とミラー50の間の空間に対応した時間遅延においては、識別可能な信号は、ほとんどアップコンバージョンされず(7mmフレーム)、アップコンバージョンパルスが、ミラー50から反射されたテラヘルツパルスと時間的にオーバーラップし、且つ、部分的に、マスク56によって塞がれている際には、マスク56の反射されたネガ画像がアップコンバージョンされる(図14Bの8及び9mmフレーム)。
テラヘルツ画像の深さ依存アップコンバージョンを使用したテラヘルツ断層撮影は、様々な環境において有用に利用することができる。一例において、このようなシステムは、セキュリティスキャニングのために利用することができる。別の例においては、癌性組織対非癌性組織のテラヘルツ領域における異なる吸収係数及び屈折率に基づいて、癌性組織を包囲している非癌性組織の厚さ又はマージンを迅速に判定するべく、乳腺腫瘤摘出又はその他の***保存手術において除去された摘出された***組織を検査することができる。現時点においては、マージンは、通常、完了に少なくとも一日を必要とする摘出された***組織の組織学的検査により、判定されている。1〜2mmのマージンが、望ましいものと見なされており、且つ、これを下回るマージンは、更なる手術を必要とする。深さ依存テラヘルツ撮像用のシステムは、(不十分なマージンに起因して必要とされる場合に)更なる組織を同一の手術手順において除去することができるように、組織マージンのほぼ即時の(例えば、数分以下の)評価を可能にするべく、手術室内において又はその近傍において実装することができよう。更なる手術手順、並びに、付随する費用及び合併症のリスクにおける潜在的な低減は、大きなものになりうる。
本明細書において開示されている2D又は3Dテラヘルツ撮像の無数のその他の用途を実装することができる。テラヘルツ撮像の様々な潜在的な用途は、例えば、所謂ウェアラブル電子装置に使用される多層構造の検査を含み、この場合には、様々なセンサ、電子回路、及び表示要素が、曲がりやすいポリマー材料の複数の層の間において配置されている。例えば、製造ライン上における物体内の構造的欠陥を識別するべく、このような物体の準リアルタイムのテラヘルツ撮像を産業的な環境において利用することができる。
図15には、所謂ホモダイン検出を使用して反射及びアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を生成及び取得するシステムの別の例が概略的に示されている。先行する例においては、アップコンバージョンされたテラヘルツ画像の位置依存強度は、テラヘルツ画像の強度にのみ依存し、即ち、アップコンバージョンされた画像の位置依存強度は、その画像の位置依存位相とは実質的に独立している。この例においては、撮像テラヘルツビーム20からテラヘルツ基準ビーム23を分割するべく、ビームスプリッタ44を利用している。ビームスプリッタ44は、テラヘルツ基準ビーム23をテラヘルツ画像ビーム21と組み合わせており、次いで、これらのビームは、非線形光学媒質36を通じて一緒に伝播している。テラヘルツ基準ビーム23及びテラヘルツ画像ビーム21の相対的な位相は、例えば、図15に示されているように、遅延ラインの長さを変化させることにより、変化させることができる。この構成においては、それぞれのアップコンバージョンされた画像の位置依存強度は、少なくとも部分的に、テラヘルツ画像ビーム及びテラヘルツ基準ビームの対応した相対的な位相に依存している。それぞれの画像位置における強度及び位相の両方を含むテラヘルツ画像を取得することにより、画像強度のみの場合よりも、物体10に関する相対的に多くの情報を潜在的に得ることができる。例えば、所与の物体は、強度のみが検出された場合には、特徴の無い画像をもたらしうるが、画像に跨る位相変動として表された画像の特徴を示しうるであろう。このような例は、可視光に対して均一に透明であるが、空間依存性の屈折率を有する物体に類似しており、透過された強度のみから構成された画像は、この空間的な変動を見逃すことになろう。
図15のホモダイン検出構成においては、組み合わせられたテラヘルツ基準ビーム23及びテラヘルツ画像ビーム21は、コヒーレントな重畳として、非線形光学媒質36に到達している。組み合わせられたビームの合計テラヘルツ強度は、個々の基準及び画像ビームの二乗された振幅に対応した位相独立部分を含むことになり、且つ、両方の振幅を伴う交差項に対応した位相依存部分をも含むことになる。図16のプロットには、このような信号のシミュレーションが示されており、この場合には、合計強度(単一検出器信号のもの)が、基準及び画像ビームの間の相対的な時間遅延(相対的位相に等価である)の関数としてプロットされている。合計強度は、画像ビームよりも100倍だけ強い基準ビーム100と組み合わせられた画像ビームのアップコンバージョンに起因している(信号は、基準ビーム強度に対して正規化されている)。これらのビームの干渉は、基準強度の約±20%の位相依存強度変動を結果的にもたらす。これは、画像ビームの事実上の増幅と見なすことが可能であり、例えば、いくつかの例においては、ノイズ又は検出感度などの要因に応じて、非ゼロのバックグラウンドの±20%の変調が、100分の1の小さな公称的にゼロのバックグランド信号よりも、相対的に容易に検出及び定量化されうるであろう。
単一検出器を使用することにより、ホモダイン検出を利用することが可能であり、検出器は、アップコンバージョンされた画像ビーム24に跨ってスキャニングされ、且つ、それぞれの検出器場所において、テラヘルツ基準及び画像ビームの相対的位相を変化させるように、遅延ラインがスキャニングされる。或いは、この代わりに、アレイ検出器を利用することも可能であり、これにより、それぞれの異なる相対的位相において完全な画像が取得される。いずれの場合にも、結果的に得られる画像は、(例えば、対応した振幅及び位相画像を使用することによるか、又は複素値画像の実数及び虚数部分とも呼称されうる所謂「同相」又は「直交」画像を使用することによるなどの)位相依存量を処理するための標準的な方法に従って、提示又は解釈することができる。ホモダイン検出技法は、光学コヒーレンス断層撮影の分野において広く利用されており、この分野において開発された様々な数値的、演算的、及び分析方法は、アップコンバージョンされたテラヘルツ画像のホモダイン検出に容易に適用することができる。
図5の供給源の一変形においては、OPO100の信号及びアイドラ波長を任意の適切な方式により(例えば、温度チューニングにより)、チューニングすることができる。例えば、非線形光学媒質150は、それぞれ、2122.4nm及び2133.7nmを有する信号及びアイドラ波長を有する1次QPMパラメトリックプロセスにより、第1テラヘルツ周波数(例えば、0.75THz)を有するテラヘルツ撮像ビーム21を生成するように構成されたQPM媒質(例えば、上述のGaAsプレートの積層体)を有することができる。信号及びアイドラ波長が、それぞれの波長から離れるように(遠く離れるように)チューニングされるのに伴って、最終的に、信号及びアイドラ波長の組合せは、2.3THzを有するテラヘルツ放射が3次QPMパラメトリックプロセスによって生成されるところに到達する。信号及びアイドラの更なるチューニングは、5次QPMパラメトリックプロセスによって生成される3.4THzを有するテラヘルツ放射を結果的にもたらす。QPM非線形光学媒質150は、これらのパラメトリックプロセスのそれぞれごとに、有限な受容帯域幅を有することになり、これにより、出力周波数のそれぞれに関するテラヘルツ出力のなんらかの限られた程度のチューニングが可能となる。このような供給源を使用することにより、画像を複数のテラヘルツ出力周波数において生成することができる。いくつかの例における異なるテラヘルツ周波数におけるこれらの画像のアップコンバージョン及び取得は、同一の非線形光学媒質36又は同一の波長依存フィルタ又はフィルタの組38を使用することにより、実現することが可能であり、その他の例においては、異なるテラヘルツ周波数における画像のアップコンバージョン及び取得は、異なる非線形光学媒質36又は異なる波長依存フィルタ38を必要としうる。一構成においては、これらの異なる媒質又はフィルタは、それぞれが、必要に応じて、対応したテラヘルツ撮像周波数用の位置に運動しうるように、フィルタホイールに似た可動マウント内において取り付けることができよう。
図1及び図2の構成は、アップコンバージョンされたテラヘルツ画像に加えて、その他の波長における物体10の画像の便利な取得を可能にするべく、変更することができる。例えば、テラヘルツ撮像ビーム21の経路に沿って伝播するようにアップコンバージョンビーム22を導くべく、運動可能なオプティクスを利用することができる。ビームスプリッタ34及び非線形光学媒質36は、ビーム経路から容易に除去されうるように、且つ、1つ又は複数のフィルタ38又は偏光39が、適宜、除去又は再配置されうるように、取り付けることができる。例えば、これらの要素をビーム経路内に又はそれから外にスワッピングするべく、フィルタホイールを利用することができる。この結果、所与の物体を異なる波長(例えば、1.55THz及び1064nm)において定位置において撮像することが可能であり、且つ、次いで、これらの画像の間において、比較又は関連付けを実施することができる。更には、利用可能でありうるその他の波長(λUCに加えて)も、同様に、物体10を撮像するべく、使用することができる。例えば、OPO100によって生成された信号又はアイドラ波長のうちの一方又は両方において物体10を撮像するべく、これらの波長をテラヘルツ撮像ビーム21の経路に沿って導くことができる。別の例においては、物体10を撮像するべく、その出力をテラヘルツ撮像ビーム21の経路に沿って導くことにより、完全に独立した供給源を利用することができる。
以上の内容に加えて、以下の例が、本開示又は添付の請求項の範囲に含まれる。
例1:物体のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得する方法であって、方法は、(a)約0.1THz〜約10THzのテラヘルツ周波数、テラヘルツ帯域幅、テラヘルツ平均パワー、テラヘルツピークパワー、テラヘルツパルス持続時間、及びパルス反復レートによって特徴付けられたテラヘルツ撮像ビームによって物体を照射するステップと、(b)物体によって又はその周囲において透過されるか又は物体から反射又は散乱されたテラヘルツ撮像ビームの少なくとも一部分を収集し、且つ、非線形光学媒質を通じてテラヘルツ画像ビームとして伝播するように、その部分を導くステップであって、テラヘルツ画像ビームは、非線形光学媒質におけるテラヘルツ画像ビームサイズによって特徴付けられている、ステップと、(c)非線形光学媒質を通じて伝播するように、アップコンバージョンビームを導くステップであって、アップコンバージョンビームは、非線形光学媒質内においてテラヘルツ画像ビームと少なくとも部分的に空間的にオーバーラップしており、且つ、アップコンバージョン波長、アップコンバージョン帯域幅、アップコンバージョン平均パワー、アップコンバージョンピークパワー、パルスレート、非線形光学媒質におけるアップコンバージョンビームサイズによって特徴付けられている、ステップと、(d)非線形光学媒質内におけるテラヘルツ画像ビームとアップコンバージョンビームの非線形光学相互作用により、テラヘルツ画像ビームとアップコンバージョンビームの間の和又は差周波数生成によって生成された一方又は両方の波長によって特徴付けられるアップコンバージョンされた画像ビームを形成するべく、テラヘルツ画像ビームの少なくとも一部分をアップコンバージョンするステップと、(e)画像検出器を使用してアップコンバージョンされた画像ビームの少なくとも一部分を受け取り、且つ、画像検出器により、アップコンバージョンされた画像ビームによって画像検出器において形成されたアップコンバージョンされた画像を検出するステップと、(f)画像フィルタリング要素を使用することにより、アップコンバージョンビームの約10分の1未満が画像検出器に到達することを許容するステップと、を有し、(g)ここで、パルス反復レートは、約1MHzを上回り、アップコンバージョン波長は、約400nm〜約3500nmであり、アップコンバージョン帯域幅は、約5nm未満であり、アップコンバージョンパルス持続時間は、約100ps未満である。
例2:例1の方法であって、この場合に、パルス反復レートは、約50MHz〜約150MHzであり、アップコンバージョン波長は、約1000nm〜約1100nmであり、アップコンバージョン帯域幅は、約2nm未満であり、且つ、アップコンバージョンパルス持続時間は、約10ps未満である。
例3:例1又は例2のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、アップコンバージョン波長は、約1064nmであり、且つ、アップコンバージョンされた画像波長は、(i)約1058nm又は約1070nm、或いは、これらの両方であり、或いは、(ii)約1061nm又は1067nm、或いは、これらの両方である。
例4:例1の方法であって、この場合に、パルス反復レートは、約50MHz〜約150MHzであり、アップコンバージョン波長は、約2100nm〜約2150nmであり、且つ、アップコンバージョンパルス持続時間は、約10ps未満である。
例5:例1〜例4のいずれか1つの例の方法であって、空洞内テラヘルツ生成媒質を含む同期ポンピング型の光学パラメトリック発振器を使用してテラヘルツ撮像ビームを生成するステップを更に有し、この場合に、空洞内信号及びアイドラビームは、テラヘルツ生成媒質内における差周波数生成により、テラヘルツ撮像ビームを生成する。
例6:例5の方法であって、この場合に、アップコンバージョンビームは、光学パラメトリック発振器用のポンピング源の出力ビームの一部分を有する。
例7:例5の方法であって、この場合に、アップコンバージョンビームは、光学パラメトリック発振器の外側において伝播するように導かれる空洞内信号又はアイドラビームの一部分を有する。
例8:例5〜例7のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、空洞内テラヘルツ生成媒質は、空洞内信号及びアイドラビームの準位相整合された差周波数生成のために構成された非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有する。
例9:例8の方法であって、この場合に、2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体は、厚さが約550μmのGaAsの6〜12枚の光学的に接触したプレートの積層体を有し、信号波長は、約2116nmであり、アイドラ波長は、約2140nmであり、且つ、テラヘルツ周波数は、約1.55THzである。
例10:例1〜図9のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、画像フィルタリング要素は、1つ又は複数の波長依存フィルタを含む。
例11:例10の方法であって、この場合には、1つ又は複数の波長依存フィルタの少なくとも1つは、アップコンバージョン波長とアップコンバージョンされた画像波長のうちの1つの間の公称カットオフ波長を有するショートパス又はロングパスフィルタを有する。
例12:図10の方法であって、この場合に、1つ又は複数の波長依存フィルタの少なくとも1つは、アップコンバージョン波長上において公称的にセンタリングされたノッチフィルタを有する。
例13:例1〜例12のうちの1つの例の方法であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用がタイプI又はタイプIIプロセスとなり、これにより、アップコンバージョンされた画像ビームの偏光が、アップコンバージョンビームの偏光に対して実質的に垂直になるように、構成されている。
例14:例1〜例13のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、アップコンバージョンビーム及びアップコンバージョンされた画像ビームは、相互の関係において実質的に直交するように、偏光されており、且つ、画像フィルタリング要素は、アップコンバージョンビームを実質的に遮断するように構成された1つ又は複数の偏光器を含む。
例15:例1〜例12のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用がタイプ0プロセスとなり、これにより、アップコンバージョンされた画像ビームの偏光が、アップコンバージョンビームの偏光と実質的に平行になるように、構成されている。
例16:例1〜例15のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用が、厳格に位相整合されたプロセスとなるように、構成されている。
例17:例1〜例15のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用が、非厳格に位相整合されたプロセスとなるように、構成されている。
例18:例1〜例15のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用が、準位相整合されたプロセスとなるように、構成されている。
例19:例18の方法であって、この場合に、非線形光学媒質は、周期分極型非線形光学結晶を有する。
例20:例18の方法であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有する。
例21:例18の方法であって、この場合に、非線形光学媒質は、厚さが約300μmのGaAsの6〜12枚の光学的に接触したプレートの積層体を有し、テラヘルツ周波数は、約1.55THzであり、且つ、アップコンバージョン波長は、約1064nmである。
例22:例1〜21のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、(i)第1合焦要素が、テラヘルツ撮像ビームの一部分を収集し、且つ、非線形光学媒質を通じて伝播するように、テラヘルツ画像ビームを導き、(ii)物体及び非線形光学媒質は、テラヘルツ画像ビームが非線形光学媒質において物体のテラヘルツ画像を形成するように、第1合焦要素の個々の共役平面において位置決めされており、且つ、(iii)第2合焦要素が、アップコンバージョンされた画像ビームの一部分を収集し、且つ、画像検出器に伝播するように、アップコンバージョンされた画像ビームを導き、(iv)非線形光学媒質及び画像検出器は、アップコンバージョンされた画像ビームが画像検出器においてアップコンバージョンされた画像を形成するように、第2合焦要素の個々の共役平面において位置決めされている。
例23:例1〜21のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、(i)有効焦点距離fによって特徴付けられた第1合焦要素が、テラヘルツ撮像ビームの一部分を収集し、且つ、非線形光学媒質を通じて伝播するように、テラヘルツ画像ビームを導き、(ii)物体及び非線形光学媒質は、テラヘルツ画像ビームが非線形光学媒質において物体のテラヘルツ画像の空間フーリエ変換を形成するように、それぞれ、第1合焦要素から約fの距離において位置決めされており、(iii)有効焦点距離fによって特徴付けられた第2合焦要素が、アップコンバージョンされた画像ビームの一部分を収集し、且つ、画像検出器に伝播するように、アップコンバージョンされた画像ビームを導き、且つ、(iv)非線形光学媒質及び画像検出器は、アップコンバージョンされた画像ビームが画像検出器においてアップコンバージョンされた画像を形成するように、それぞれ、第2合焦要素から約fの距離において位置決めされている。
例24:例1〜例23のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、画像検出器は、撮像検出器アレイを有し、且つ、アップコンバージョンされた画像を検出するステップは、撮像検出器アレイの複数の対応した検出器要素上においてアップコンバージョンされた画像ビームの異なる空間的部分を同時に受け取るステップを有する。
例25:例1〜例23のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、画像検出器は、単一検出器要素を有し、且つ、アップコンバージョンされた画像を検出するステップは、単一検出器要素上においてアップコンバージョンされた画像ビームの異なる空間的部分を順番に受け取るように、アップコンバージョンされた画像ビームに跨って単一検出器要素をスキャニングするステップを有する。
例26:例1〜例25のいずれか1つの例の方法であって、テラヘルツ画像ビームのパルストレーンとアップコンバージョンビームのパルストレーンの間において非線形光学媒質において対応した異なる時間的オフセットを有する複数のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得するステップを更に有し、この場合に、(i)テラヘルツ画像ビームは、物体から反射又は散乱されたテラヘルツ撮像ビームの一部分を有し、且つ、(ii)複数のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像のそれぞれのものは、物体内の異なる深さに対応しており、これにより、物体のテラヘルツ断層撮影が可能になっている。
例27:例1〜例26のいずれか1つの例の方法であって、この場合に、アップコンバージョンされた画像の位置依存強度は、テラヘルツ画像の位置依存位相とは実質的に独立している。
例28:例1〜例26のいずれか1つの例の方法であって、テラヘルツ基準ビームを形成するべく、テラヘルツ撮像ビームの一部分を分割するステップと、非線形光学媒質を通じて一緒に伝播するように、テラヘルツ基準ビームとテラヘルツ画像ビームを組み合わせるステップと、テラヘルツ画像ビーム及びテラヘルツ基準ビームの対応した異なる相対的位相を有する複数のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得するステップと、を更に有し、この場合に、それぞれのアップコンバージョンされた画像の位置依存強度は、テラヘルツ画像ビーム及びテラヘルツ基準ビームの対応した相対的位相に少なくとも部分的に依存している。
例29:物体のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得する装置であって、装置は、(a)約0.1THz〜約10THzのテラヘルツ周波数、テラヘルツ帯域幅、テラヘルツ平均パワー、テラヘルツピークパワー、テラヘルツパルス持続時間、及びパルス反復レートによって特徴付けられたテラヘルツ撮像ビームによって物体を照射するように構成されたテラヘルツ供給源と、(b)物体によって又はその周囲において透過された又は物体から反射又は散乱されたテラヘルツ撮像ビームの少なくとも一部分を収集し、且つ、非線形光学媒質を通じてテラヘルツ画像ビームとして伝播するように、その部分を導くように構成された1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントであって、この場合に、テラヘルツ画像ビームは、非線形光学媒質におけるテラヘルツ画像ビームサイズによって特徴付けられている、コンポーネントと、(c)アップコンバージョンビームを放出するように構成された光源と、(d)非線形光学媒質を通じて伝播するように、アップコンバージョンビームを導くように構成された1つ又は複数の光学コンポーネントであって、アップコンバージョンビームは、非線形光学媒質内においてテラヘルツ画像ビームと少なくとも部分的に空間的にオーバーラップしており、且つ、アップコンバージョン波長、アップコンバージョン帯域幅、アップコンバージョン平均パワー、アップコンバージョンピークパワー、パルスレート、及び非線形光学媒質におけるアップコンバージョンビームサイズによって特徴付けられている、コンポーネントと、(e)非線形光学媒質であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学媒質内におけるテラヘルツ画像ビームとアップコンバージョンビームの非線形光学的相互作用により、テラヘルツ画像ビームとアップコンバージョンビームの間の和又は差周波数生成によって生成される一方又は両方の波長によって特徴付けられたアップコンバージョンされた画像ビームを形成するように、テラヘルツ画像ビームの少なくとも一部分をアップコンバージョンするように構成されている、非線形光学媒質と、(f)アップコンバージョンされた画像ビームの少なくとも一部分を受け取り、且つ、アップコンバージョンされた画像ビームによって画像検出器において形成されたアップコンバージョンされた画像を検出するように構成された画像検出器と、(g)アップコンバージョンビームの約10分の1未満が画像検出器に到達することを許容するように構成された画像フィルタリング要素と、を有し、(h)この場合に、パルス反復レートは、約1MHzを上回り、アップコンバージョン波長は、約400nm〜約3500nmであり、アップコンバージョン帯域幅は、約5nm未満であり、アップコンバージョンパルス持続時間は、約100ps未満である。
例30:例29の装置であって、この場合に、パルス反復レートは、約50MHz〜約150MHzであり、アップコンバージョン波長は、約1000nm〜約1100nmであり、アップコンバージョン帯域幅は、約2nm未満であり、且つ、アップコンバージョンパルス持続時間は、約10ps未満である。
例31:例29又は例30のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、アップコンバージョン波長は、約1064nmであり、且つ、アップコンバージョンされた画像波長は、(i)約1058nm又は約1070nm、或いは、これらの両方であり、或いは、(ii)約1061nm又は1067nm、或いは、これらの両方である。
例32:例29の装置であって、この場合に、パルス反復レートは、約50MHz〜約150MHzであり、アップコンバージョン波長は、約2100nm〜約2150nmであり、且つ、アップコンバージョンパルス持続時間は、約10ps未満である。
例33:例29〜例32のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、テラヘルツ供給源は、テラヘルツ生成媒質内における差周波数生成により、空洞内信号及びアイドラビームからテラヘルツ撮像ビームを生成するように構成された空洞内テラヘルツ生成媒質を含む同期ポンピング型の光学パラメトリック発振器を有する。
例34:例33の装置であって、この場合に、光源は、光学パラメトリック発振器用のポンピング源を有し、且つ、アップコンバージョンビームは、ポンピング源の出力ビームの一部分を有する。
例35:例33の装置であって、この場合に、光源は、光学パラメトリック発振器を有し、且つ、アップコンバージョンビームは、光学パラメトリック発振器の外側において伝播するように導かれた空洞内信号又はアイドラビームの一部分を有する。
例36:例33〜例35のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、空洞内テラヘルツ生成媒質は、空洞内信号及びアイドラビームの準位相整合された差周波数生成のために構成された非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有する。
例37:例36の装置であって、この場合に、2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体は、厚さが約550μmのGaAsの6〜12枚の光学的に接触したプレートの積層体を有し、信号波長は、約2116nmであり、アイドラ波長は、約1240nmであり、且つ、テラヘルツ周波数は、約1.55THzである。
例38:例29〜例37のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、画像フィルタリング要素は、1つ又は複数の波長依存フィルタを含む。
例39:例38の装置であって、この場合に、1つ又は複数の波長依存フィルタの少なくとも1つは、アップコンバージョン波長とアップコンバージョンされた画像波長の1つの間の公称カットオフ波長を有するショートパス又はロングパスフィルタを有する。
例40:例38の装置であって、この場合に、1つ又は複数の波長依存フィルタの少なくとも1つは、公称的にアップコンバージョン波長上においてセンタリングされたノッチフィルタを有する。
例41:例29〜例40のうちのいずれか1つの例の装置であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用がタイプI又はタイプIIプロセスとなり、これにより、アップコンバージョンされた画像ビームの偏光が、アップコンバージョンビームの偏光に対して実質的に垂直になるように、構成されている。
例42:例29〜例41のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、アップコンバージョンビーム及びアップコンバージョンされた画像ビームは、相互の関係において実質的に直交するように、偏光されており、且つ、画像フィルタリング要素は、アップコンバージョンビームを実質的に遮断するように構成された1つ又は複数の偏光器を含む。
例43:例29〜例40のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用がタイプ0プロセスとなり、これにより、アップコンバージョンされた画像ビームの偏光が、アップコンバージョンビームの偏光と実質的に平行になるように、構成されている。
例44:例29〜例43のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用が、厳格に位相整合されたプロセスとなるように、構成されている。
例45:例29〜例43のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用が、非厳格に位相性整合されたプロセスとなるように、構成されている。
例46:例29〜例43のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学相互作用が、準位相整合されたプロセスとなるように、構成されている。
例47:例46の装置であって、この場合に、非線形光学媒質は、周期分極型非線形光学結晶を有する。
例48:例46の装置であって、この場合に、非線形光学媒質は、非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有する。
例49:例46の装置であって、この場合に、非線形光学媒質は、厚さが約300μmのGaAsの6〜12枚の光学的に接触したプレートの積層体を有し、テラヘルツ周波数は、約1.55THzであり、且つ、アップコンバージョン波長は、約1064nmである。
例50:例29〜例49のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、(i)1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントが、テラヘルツ撮像ビームの一部分を収集し、且つ、非線形光学媒質を通じて伝播するように、テラヘルツ画像ビームを導くように構成された第1合焦要素を含み、(ii)物体及び非線形光学媒質は、テラヘルツ画像ビームが非線形光学媒質において物体のテラヘルツ画像を形成するように、第1合焦要素の個々の共役平面において位置決めされており、(iii)1つ又は複数の光学コンポーネントが、アップコンバージョンされた画像ビームの一部分を収集し、且つ、画像検出器に伝播するように、アップコンバージョンされた画像ビームを導くように構成された第2合焦要素を含み、且つ、(iv)非線形光学媒質及び画像検出器は、アップコンバージョンされた画像ビームが画像検出器においてアップコンバージョンされた画像を形成するように、第2合焦要素の個々の共役平面において位置決めされている。
例51:例29〜例49のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、(i)1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントが、テラヘルツ撮像ビームの一部分を収集し、且つ、非線形光学媒質を通じて伝播するように、テラヘルツ画像ビームを導くように構成された有効焦点距離fによって特徴付けられた第1合焦要素を含み、(ii)物体及び非線形光学媒質は、テラヘルツ画像ビームが非線形光学媒質において物体のテラヘルツ画像の空間フーリエ変換を形成するように、それぞれ、第1合焦要素のから約fの距離において位置決めされており、(iii)1つ又は複数の光学コンポーネントが、アップコンバージョンされた画像ビームの一部分を収集し、且つ、画像検出器に伝播するように、アップコンバージョンされた画像ビームをダリレクトするように構成された有効焦点距離fによって特徴付けられた第2合焦要素を含み、且つ(iv)非線形光学媒質及び画像検出器は、アップコンバージョンされた画像ビームが画像検出器においてアップコンバージョンされた画像を形成するように、それぞれ、第2合焦要素から約fの距離において位置決めされている。
例52:例29〜例51のうちの1つの例の装置であって、この場合に、画像検出器は、撮像検出器アレイの複数の対応した検出器要素上においてアップコンバージョンされた画像ビームの異なる空間的部分を同時に受け取るように位置決め及び構成された撮像検出器アレイを有する。
例53:例29〜例51のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、画像検出器は、単一検出器要素上においてアップコンバージョンされた画像ビームの異なる空間的部分を順番に受け取るように、アップコンバージョンされた画像ビームに跨ってスキャニングされるように構成された単一検出器要素を有する。
例54:例29〜例53のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、(i)1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントは、テラヘルツ画像ビームが、物体から反射又は散乱されたテラヘルツ撮像ビームの一部分を有するように、構成されており、(ii)1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネント又は1つ又は複数の光学コンポーネントのうちの一方又は両方は、テラヘルツ画像ビームのパルストレーンとアップコンバージョンビームのパルストレーンの間において非線形光学媒質において異なる時間的オフセットを提供するように構成された光学遅延ラインを含み、且つ、(iii)1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネント又は1つ又は複数の光学コンポーネントのうちの一方又は両方は、対応した異なる時間的オフセットにおいて取得されたそれぞれのアップコンバージョンされたテラヘルツ画像が、物体内における異なる深さに対応しており、これにより、物体のテラヘルツ断層撮影が可能となるように、構成されている。
例55:例29〜例54のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネント又は1つ又は複数の光学コンポーネントのうちの一方又は両方は、アップコンバージョンされた画像の位置依存強度がテラヘルツ画像の位置依存位相とは実質的に独立的になるように、構成されている。
例56:例29〜例54のいずれか1つの例の装置であって、この場合に、1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントは、テラヘルツ基準ビームを形成するようにテラヘルツ撮像ビームの一部分をスプリットし、且つ、テラヘルツ画像ビーム及びテラヘルツ基準ビームの異なる相対的位相を伴って非線形光学媒質を通じて一緒に伝播するように、テラヘルツ基準ビームとテラヘルツ画像ビームを組み合わせるように構成されており、且つ、それぞれのアップコンバージョンされた画像の位置依存強度は、テラヘルツ画像ビーム及びテラヘルツ基準ビームの対応した相対的位相に少なくとも部分的に依存している。
開示されている例示用の実施形態及び方法の均等物は、本開示又は添付の請求項の範囲に含まれることが意図されている。開示されている例示用の実施形態及び方法、並びに、その均等物は、本開示の範囲に含まれた状態において、変更されうることが意図されている。
以上における詳細な説明においては、様々な特徴は、本開示を簡潔にすることを目的として、いくつかの例示用の実施形態において1つにグループ化されている場合がある。この開示の方法は、いずれかの添付の請求項において特許請求されている実施形態が、対応した請求項において明示的に記述されているものよりも多くの特徴を必要としているという意図を反映したものと解釈されるべきではない。むしろ、発明の主題は、単一の開示されている例示用の実施形態のすべての特徴を下回る状態において存在しうる。従って、本開示は、本明細書においては明示的に開示されていない場合がある組を含む、本開示又は任意の添付の請求項において記載されている1つ又は複数の開示又は特許請求された特徴の任意の適切な組(即ち、矛盾した又は相互に排他的である特徴の組)を有する任意の実施形態を黙示的に開示しているものと解釈されたい。
本開示及び添付の請求項を目的として、接続詞「又は」は、包含的に解釈することを要し(例えば、「犬又は猫」は、(i)例えば、「〜でるか、又は〜である」、「〜のうちの1つのみ」、又はこれらに類似の言語の使用により、そうでないことが明示的に記述されているか、或いは、(ii)列挙された代替肢のうちの2つ以上が、特定の文脈において相互に排他的である、ということでない限り、「犬、又は猫、或いは、これらの両方」として解釈されることになり、例えば、「犬、猫、又は鼠」は、「犬、又は猫、又は鼠、又は任意の2つ、或いは、すべての3つ」として解釈されることになり、前者の場合には、「又は」は、相互に排他的ではない代替肢を伴う組合せのみを包含することになろう。本開示及び添付の請求項を目的として、「有する(comprising)」、「含む(including)」、「有する(having)」という用語、並びに、これらの変形は、それらがどこに出現しているのかとは無関係に、あたかも、「少なくとも」というフレーズが、そのそれぞれのインスタンスの後に付加されているかのように、同一の意味を伴って、オープンエンド型の移行語として解釈することを要する。
任意の1つ又は複数の開示が、引用により、本明細書に包含されており、且つ、そのような包含された開示が、本開示と、部分的に又は全体的に、矛盾するか、或いは、その範囲が異なっている場合には、矛盾、より広範な開示、或いは、より広範な用語の定義という観点において、本開示が優先する。そのような包含された開示が相互に部分的に又は全体的に矛盾している場合には、矛盾の観点において、新しい日付の開示が優先する。
要約書は、必要に応じて、特許文献における特定の主題についてサーチする者に対する支援として提供されている。但し、要約書は、要約書において記述されている任意の要素、特徴、又は限度が、必然的に、添付の任意の特定の請求項によって包含されることを意味することを意図したものではない。提示されているそれぞれの請求項によって包含される主題の範囲は、その請求項のみの記述によって判定されることを要する。

Claims (30)

  1. 物体のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得する方法において、
    (a)約0.1THz〜約10THzのテラヘルツ周波数、テラヘルツ帯域幅、テラヘルツ平均パワー、テラヘルツピークパワー、テラヘルツパルス持続時間、及びパルス反復レートによって特徴付けられたテラヘルツ撮像ビームによって前記物体を照射するステップと、
    (b)前記物体によって又はその周りにおいて透過されるか又は前記物体から反射又は散乱された前記テラヘルツ撮像ビームの少なくとも一部分を収集し、且つ、非線形光学媒質を通じてテラヘルツ画像ビームとして伝播するように、その部分を導くステップであって、前記テラヘルツ画像ビームは、前記非線形光学媒質におけるテラヘルツ画像ビームサイズによって特徴付けられる、ステップと、
    (c)前記非線形光学媒質を通じて伝播するようにアップコンバージョンビームを導くステップであって、前記アップコンバージョンビームは、前記非線形光学媒質内において前記テラヘルツ画像ビームと少なくとも部分的に空間的にオーバーラップしており、且つ、アップコンバージョン波長、アップコンバージョン帯域幅、アップコンバージョンパルス持続時間、アップコンバージョン平均パワー、アップコンバージョンピークパワー、パルスレート、前記非線形光学媒質におけるアップコンバージョンビームサイズによって特徴付けられている、ステップと、
    (d)前記非線形光学媒質内における前記テラヘルツ画像ビームと前記アップコンバージョンビームの非線形光学相互作用により、前記テラヘルツ画像ビームと前記アップコンバージョンビームの間の和又は差周波数生成によって生成される一方又は両方の波長によって特徴付けられたアップコンバージョンされた画像ビームを形成するべく、前記テラヘルツ画像ビームの少なくとも一部分をアップコンバージョンするステップと、
    (e)画像検出器を使用して前記アップコンバージョンされた画像ビームの少なくとも一部分を受け取り、且つ、前記画像検出器により、前記アップコンバージョンされた画像ビームによって前記画像検出器において形成されたアップコンバージョンされた画像を検出するステップと、
    (f)画像フィルタリング要素を使用することにより、前記アップコンバージョンビームの約108分の1未満が前記画像検出器に到達することを許容するステップと、
    を有し、
    (g)前記パルス反復レートは、約1MHzを上回り、前記アップコンバージョン波長は、約400nm〜約3500nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約5nm未満であり、前記アップコンバージョンパルス持続時間は、約100ps未満であることを特徴とする方法。
  2. 請求項1に記載の方法において、前記パルス反復レートは、約50MHz〜約150MHzであり、前記アップコンバージョン波長は、約1000nm〜約1100nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約2nm未満であり、且つ、前記アップコンバージョンパルス持続時間は、約10ps未満であることを特徴とする方法。
  3. 請求項1に記載の方法において、空洞内テラヘルツ生成媒質を含む同期ポンピング型の光学パラメトリック発振器を使用して前記テラヘルツ撮像ビームを生成するステップを更に有し、空洞内信号及びアイドラビームは、前記テラヘルツ生成媒質内における差周波数生成によって前記テラヘルツ撮像ビームを生成することを特徴とする方法。
  4. 請求項3に記載の方法において、前記空洞内テラヘルツ生成媒質は、前記空洞内信号及びアイドラビームの準位相整合された差周波数生成のために構成された非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有することを特徴とする方法。
  5. 請求項1に記載の方法において、前記画像フィルタリング要素は、1つ又は複数の波長依存フィルタを含むことを特徴とする方法。
  6. 請求項5に記載の方法において、前記1つ又は複数の波長依存フィルタのうちの少なくとも1つは、前記アップコンバージョン波長と前記アップコンバージョンされた画像波長のうちの1つの間の公称カットオフ波長を有するショートパス又はロングパスフィルタを有することを特徴とする方法。
  7. 請求項1に記載の方法において、前記アップコンバージョンビーム及び前記アップコンバージョンされた画像ビームは、相互の関係において実質的に直交するように偏光されており、且つ、前記画像フィルタリング要素は、前記アップコンバージョンビームを実質的に遮断するように構成された1つ又は複数の偏光器を含むことを特徴とする方法。
  8. 請求項1に記載の方法において、前記非線形光学媒質は、前記非線形光学相互作用が、準位相整合されたプロセスとなるように構成されていることを特徴とする方法。
  9. 請求項8に記載の方法において、前記非線形光学媒質は、非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有することを特徴とする方法。
  10. 請求項8に記載の方法において、前記非線形光学媒質は、厚さが約300μmのGaAsの6〜12枚の光学的に接触したプレートの積層体を有し、前記テラヘルツ周波数は、約1.55THzであり、且つ、前記アップコンバージョン波長は、約1064nmであることを特徴とする方法。
  11. 請求項1に記載の方法において、(i)第1合焦要素が、前記テラヘルツ撮像ビームの前記部分を収集し、且つ、前記非線形光学媒質を通じて伝播するように、前記テラヘルツ画像ビームを導き、(ii)前記物体及び前記非線形光学媒質は、前記テラヘルツ画像ビームが前記非線形光学媒質において前記物体のテラヘルツ画像を形成するように、前記第1合焦要素の個々の共役平面において位置決めされており、(iii)第2合焦要素が、前記アップコンバージョンされた画像ビームの前記部分を収集し、且つ、前記画像検出器に伝播するように、前記アップコンバージョンされた画像ビームを導き、且つ、(iv)前記非線形光学媒質及び前記画像検出器は、前記アップコンバージョンされた画像ビームが前記画像検出器において前記アップコンバージョンされた画像を形成するように、前記第2合焦要素の個々の共役平面において位置決めされていることを特徴とする方法。
  12. 請求項1に記載の方法において、(i)有効焦点距離f1によって特徴付けられた第1合焦要素が、前記テラヘルツ撮像ビームの前記部分を収集し、且つ、前記非線形光学媒質を通じて伝播するように、前記テラヘルツ画像ビームを導き、(ii)前記物体及び前記非線形光学媒質は、前記テラヘルツ画像ビームが前記非線形光学媒質において前記物体のテラヘルツ画像の空間フーリエ変換を形成するように、それぞれ、前記第1合焦要素から約f1の距離において位置決めされており、(iii)有効焦点距離f2によって特徴付けられた第2合焦要素が、前記アップコンバージョンされた画像ビームの前記部分を収集し、且つ、前記画像検出器に伝播するように、前記アップコンバージョンされた画像ビームを導き、且つ、(iv)前記非線形光学媒質及び前記画像検出器は、前記アップコンバージョンされた画像ビームが前記画像検出器において前記アップコンバージョンされた画像を形成するように、それぞれ、前記第2合焦要素から約f2の距離において位置決めされていることを特徴とする方法。
  13. 請求項1に記載の方法において、前記画像検出器は、撮像検出器アレイを有し、且つ、前記アップコンバージョンされた画像を検出するステップは、前記撮像検出器アレイの複数の対応した検出器要素上において前記アップコンバージョンされた画像ビームの異なる空間的部分を同時に受け取るステップを有することを特徴とする方法。
  14. 請求項1に記載の方法において、前記テラヘルツ画像ビームのパルストレーンと前記アップコンバージョンビームのパルストレーンの間において前記非線形光学媒質において対応した異なる時間的オフセットを有する複数のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得するステップを更に有し、(i)前記テラヘルツ画像ビームは、前記物体から反射又は散乱された前記テラヘルツ撮像ビームの前記部分を有し、且つ、(ii)前記複数のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像のそれぞれの画像は、前記物体内の異なる深さに対応しており、これにより、前記物体のテラヘルツ断層撮影を可能にすることを特徴とする方法。
  15. 請求項1に記載の方法において、テラヘルツ基準ビームを形成するべく前記テラヘルツ撮像ビームの一部分を分割するステップと、前記非線形光学媒質を通じて一緒に伝播するように、前記テラヘルツ基準ビームと前記テラヘルツ画像ビームを組み合わせるステップと、前記テラヘルツ画像ビーム及び前記テラヘルツ基準ビームの対応した異なる相対的位相を有する複数のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得するステップと、を更に有し、それぞれのアップコンバージョンされた画像の位置依存強度は、前記テラヘルツ画像ビーム及び前記テラヘルツ基準ビームの前記対応した相対的位相に少なくとも部分的に依存していることを特徴とする方法。
  16. 物体のアップコンバージョンされたテラヘルツ画像を取得する装置において、
    (a)約0.1THz〜約10THzのテラヘルツ周波数、テラヘルツ帯域幅、テラヘルツ平均パワー、テラヘルツピークパワー、テラヘルツパルス持続時間、及びパルス反復レートによって特徴付けられたテラヘルツ撮像ビームによって前記物体を照射するように構成されたテラヘルツ供給源と、
    (b)前記物体によって又はその周りにおいて透過されるか又は前記物体から反射又は散乱された前記テラヘルツ撮像ビームの少なくとも一部分を収集し、且つ、非線形光学媒質を通じてテラヘルツ画像ビームとして伝播するように、その部分を導くように構成された1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントであって、前記テラヘルツ画像ビームは、前記非線形光学媒質におけるテラヘルツ画像ビームサイズによって特徴付けられている、コンポーネントと、
    (c)アップコンバージョンビームを放出するように構成された光源と、
    (d)前記非線形光学媒質を通じて伝播するように、前記アップコンバージョンビームを導くように構成された1つ又は複数の光学コンポーネントであって、前記アップコンバージョンビームは、前記非線形光学媒質内において前記テラヘルツ画像ビームと少なくとも部分的に空間的にオーバーラップしており、且つ、アップコンバージョン波長、アップコンバージョン帯域幅、アップコンバージョンパルス持続時間、アップコンバージョン平均パワー、アップコンバージョンピークパワー、パルスレート、及び前記非線形光学媒質におけるアップコンバージョンビームサイズによって特徴付けられている、コンポーネントと、
    (e)前記非線形光学媒質であって、前記非線形光学媒質内における前記テラヘルツ画像ビームと前記アップコンバージョンビームの非線形光学相互作用により、前記テラヘルツ画像ビームと前記アップコンバージョンビームの間の和又は差周波数生成によって生成される一方又は両方の波長によって特徴付けられたアップコンバージョンされた画像ビームを形成するべく、前記テラヘルツ画像ビームの少なくとも一部分をアップコンバージョンするように構成されている非線形光学媒質と、
    (f)画像検出器であって、前記アップコンバージョンされた画像ビームの少なくとも一部分を受け取るとともに、前記アップコンバージョンされた画像ビームによって当該画像検出器において形成されたアップコンバージョンされた画像を検出するように構成された画像検出器と
    (g)前記アップコンバージョンビームの約108分の1未満が前記画像検出器に到達することを許容するように構成された画像フィルタリング要素と、
    を有し、
    (h)前記パルス反復レートは、約1MHzを上回り、前記アップコンバージョン波長は、約400nm〜約3500nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約5nm未満であり、前記アップコンバージョンパルス持続時間は、約100ps未満であることを特徴とする装置。
  17. 請求項16に記載の装置において、前記パルス反復レートは、約50MHz〜約150MHzであり、前記アップコンバージョン波長は、約1000nm〜約1100nmであり、前記アップコンバージョン帯域幅は、約2nm未満であり、前記アップコンバージョンパルス持続時間は、約10ps未満であることを特徴とする装置。
  18. 請求項16に記載の装置において、前記テラヘルツ供給源は、空洞内テラヘルツ生成媒質を含む同期ポンピング型の光学パラメトリック発振器を含み、前記空洞内テラヘルツ生成媒質は、当該テラヘルツ生成媒質内における差周波数生成によって前記テラヘルツ撮像ビームを空洞内信号及びアイドラビームから生成するように構成されていることを特徴とする装置。
  19. 請求項18に記載の装置において、前記空洞内テラヘルツ生成媒質は、前記空洞内信号及びアイドラビームの準位相整合された差周波数生成のために構成された非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有することを特徴とする装置。
  20. 請求項16に記載の装置において、前記画像フィルタリング要素は、1つ又は複数の波長依存フィルタを含むことを特徴とする装置。
  21. 請求項20に記載の装置において、前記1つ又は複数の波長依存フィルタの少なくとも1つは、前記アップコンバージョン波長と前記アップコンバージョンされた画像波長のうちの1つの間の公称カットオフ波長を有するショートパス又はロングパスフィルタを有することを特徴とする装置。
  22. 請求項16に記載の装置において、前記アップコンバージョンビーム及び前記アップコンバージョンされた画像ビームは、相互の関係において実質的に直交するように偏光されており、且つ、前記画像フィルタリング要素は、前記アップコンバージョンビームを実質的に遮断するように構成された1つ又は複数の偏光器を含むことを特徴とする装置。
  23. 請求項16に記載の装置において、前記非線形光学媒質は、前記非線形光学相互作用が、準位相整合されたプロセスとなるように、構成されていることを特徴とする装置。
  24. 請求項23に記載の装置において、前記非線形光学媒質は、非線形光学材料の2枚以上の光学的に接触したプレートの積層体を有することを特徴とする装置。
  25. 請求項23に記載の装置において、前記非線形光学媒質は、厚さが約300μmのGaAsの6〜12枚の光学的に接触したプレートの積層体を有し、前記テラヘルツ周波数は、約1.55THzであり、且つ、前記アップコンバージョン波長は、約1064nmであることを特徴とする装置。
  26. 請求項16に記載の装置において、(i)前記1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントは、前記テラヘルツ撮像ビームの前記部分を収集し、且つ、前記非線形光学媒質を通じて伝播するように、前記テラヘルツ画像ビームを導くように構成された第1合焦要素を含み、(ii)前記物体及び前記非線形光学媒質は、前記テラヘルツ画像ビームが、前記非線形光学媒質において前記物体のテラヘルツ画像を形成するように、前記第1合焦要素の個々の共役平面において位置決めされており、(iii)前記1つ又は複数の光学コンポーネントは、前記アップコンバージョンされた画像ビームの前記部分を収集し、且つ、前記画像検出器に伝播するように、前記アップコンバージョンされた画像ビームを導くように構成された第2合焦要素を含み、且つ、(iv)前記非線形光学媒質及び前記画像検出器は、前記アップコンバージョンされた画像ビームが前記画像検出器において前記アップコンバージョンされた画像を形成するように、前記第2合焦要素の個々の共役平面において位置決めされていることを特徴とする装置。
  27. 請求項16に記載の装置において、(i)前記1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントは、前記テラヘルツ撮像ビームの前記部分を収集し、且つ、前記非線形光学媒質を通じて伝播するように、前記テラヘルツ画像ビームを導くように構成された有効焦点距離f1によって特徴付けられた第1合焦要素を含み、(ii)前記物体及び前記非線形光学媒質は、前記テラヘルツ画像ビームが前記非線形光学媒質において前記物体のテラヘルツ画像の空間フーリエ変換を形成するように、それぞれ、前記第1合焦要素から約f1の距離において位置決めされており、(iii)前記1つ又は複数の光学コンポーネントは、前記アップコンバージョンされた画像ビームの前記部分を収集し、且つ、前記画像検出器に伝播するように前記アップコンバージョンされた画像ビームを導くように構成された有効焦点距離f2によって特徴付けられた第2合焦要素を含み、且つ、(iv)前記非線形光学媒質及び前記前記画像検出器は、前記アップコンバージョンされた画像ビームが前記画像検出器において前記アップコンバージョンされた画像を形成するように、それぞれ、前記第2合焦要素から約f2の距離において位置決めされていることを特徴とする装置。
  28. 請求項16に記載の装置において、前記画像検出器は、前記撮像検出器アレイの複数の対応した検出器要素上において前記アップコンバージョンされた画像ビームの異なる空間的部分を同時に受け取るように位置決め及び構成された撮像検出器アレイを有することを特徴とする装置。
  29. 請求項16に記載の装置において、(i)前記1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントは、前記テラヘルツ画像ビームが、前記物体から反射又は散乱された前記テラヘルツ撮像ビームの前記部分を有するように、構成されており、(ii)前記1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネント又は前記1つ又は複数の光学コンポーネントの一方又は両方は、前記テラヘルツ画像ビームのパルストレーンと前記アップコンバージョンビームのパルストレーンの間において前記非線形光学媒質において異なる時間的オフセットを提供するように構成された光学遅延ラインを含み、且つ、(iii)前記1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネント又は前記1つ又は複数の光学コンポーネントの一方又は両方は、対応した異なる時間的オフセットにおいて取得されたそれぞれのアップコンバージョンされたテラヘルツ画像が、前記物体内の異なる深さに対応しており、これにより、前記物体のテラヘルツ断層撮影を可能にするように、構成されていることを特徴とする装置。
  30. 請求項16に記載の装置において、前記1つ又は複数のテラヘルツ光学コンポーネントは、テラヘルツ基準ビームを形成するべく前記テラヘルツ撮像ビームの一部分を分割し、且つ、前記テラヘルツ画像ビーム及び前記テラヘルツ基準ビームの異なる相対的位相を伴って前記非線形光学媒質を通じて一緒に伝播するように、前記テラヘルツ基準ビーム及び前記テラヘルツ画像ビームを組み合せるように構成されており、且つ、それぞれのアップコンバージョンされた画像の位置依存強度は、前記テラヘルツ画像ビーム及び前記テラヘルツ基準ビームの前記対応した相対的位相に少なくとも部分的に依存していることを特徴とする装置。
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