JP6478603B2 - 面形状測定方法及び面形状測定装置 - Google Patents
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Description
本発明にかかる一つの実施例について、図面を適宜参照しつつ以下に説明する。図1に形状測定装置を示す。なお、図1においては回転ステージ2あるいは回転ステージにさらに設けられたチルトステージ等が描かれており、これらステージに対してワークが取り付けられていない状態を示している。ワークを形状測定装置に載置するためのこれらステージの一群を“ワークステージ”と呼ぶことがある。
2 回転ステージ
9 雇側取付基準
10 雇側取付基準
15 Xガイド固定部
16 Xガイド可動部
20 Xレーザスケールヘッド
38 プローブ
41 ワーク
51 装置座標系の原点
52 ワーク座標系の原点
Claims (7)
- 一方向に走査可能なプローブと回転テーブルを備えた形状測定装置を用いて、
ワークの表面を前記プローブで倣い走査するとともに前記プローブの位置を計測することで前記ワークの形状を測定する形状測定方法において、
前記ワークを前記回転テーブルにセットする工程と、
前記回転テーブルの異なる回転角度でそれぞれ測定データを得る工程と、
前記測定データのうち少なくとも一つの順方向測定データに対応する回転角度に対して180°回転させた状態で前記ワークの反転測定データを得る工程と、
前記順方向測定データと前記反転測定データとから前記回転テーブルの回転中心Xcを算出する工程と、
前記回転中心Xcのデータに基づき前記測定データを補正した上で座標変換して、前記ワークの表面の形状を算出し、
前記回転中心Xcは前記順方向測定データと前記反転測定データとを前記ワークの設計形状データにそれぞれフィッティングした際に生じた移動量x1とx2に基づき、下記一般式1によって求めることを特徴とする形状測定方法。
- 前記ワークは軸対称な形状であることを特徴とする請求項1記載の形状測定方法。
- 請求項1乃至3のいずれか一項記載の各工程を形状測定装置の制御部に実行させるプログラム。
- 請求項4記載のプログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
- 一方向に走査可能なプローブと回転テーブルを備え、ワークの表面を前記プローブで倣い走査するとともに前記プローブの位置を計測することで前記ワークの形状を測定する形状測定装置であって、
前記回転テーブルにセットされた前記ワークを、前記回転テーブルの異なる回転角度でそれぞれ測定して測定データを得る測定手段と、
前記測定手段で測定された一つの順方向測定データと、前記順方向データに対応する回転角度に対して180°回転させた状態の測定データである反転測定データとから前記回転テーブルの回転中心Xcを算出する算出手段と、
前記回転中心Xcのデータに基づき前記測定データを補正した上で座標変換して、前記ワークの表面の形状を算出する補正手段とを有し、
前記回転中心Xcは前記順方向測定データと前記反転測定データとを前記ワークの設計形状データにそれぞれフィッティングした際に生じた移動量x1とx2に基づき、下記一般式1によって求めることを特徴とする形状測定装置。
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