JP2016191663A - 光学式センサーの校正方法、及び三次元座標測定機 - Google Patents
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Abstract
Description
δi(x)=g(x)−fi(x): δiはi番目の測定表面形状に加える校正値である。
δ(x,z)=δi(x,z)+((δi+1(x)−δi(x))/d)×(z−di):δ(x,z)は座標(x,z)の点に加える校正値となる。
Claims (5)
- 基準位置を持つ三次元座標測定機の接触式センサーで基準ワークを測定することで第1測定データを取得するステップと、
前記基準位置を持つ前記三次元座標測定機の光学式センサーで前記基準ワークを測定することで第2測定データを取得するステップと、
前記第1測定データと前記第2測定データとに基づいて前記光学式センサーに対する校正値を算出するステップと、
を少なくとも有する光学式センサーの校正方法。 - 前記第2測定データを取得するステップにおいて、前記光学式センサーと前記基準ワークとの高さ方向の距離を変えて測定することを含む請求項1に記載の光学式センサーの校正方法。
- 前記第1測定データを取得するステップ、及び前記第2測定データを取得するステップにおいて、前記基準ワークの二次元形状を測定すること含む請求項1又は2に記載の光学式センサーの校正方法。
- 前記基準ワークの表面の性質が、測定対象のワークと同じ表面の性質を有する請求項1から3の何れか一項に記載の光学式センサーの校正方法。
- 光学式センサーと接触式センサーとを交換可能に取り付け可能な三次元座標測定機において、
接触式センサーで基準ワークを測定することで第1測定データを取得し、かつ光学式センサーで前記基準ワークを測定することで第2測定データを取得する演算部と、
前記第1測定データと前記第2測定データとに基づいて前記光学式センサーに対する校正値を算出する校正部とを有する三次元座標測定機。
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