JP6413926B2 - 真空ポンプおよび質量分析装置 - Google Patents
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Description
さらに好ましい実施形態では、前記溝形状を表すパラメータはネジ溝の溝幅、溝角度および溝深さであって、前記第1のネジ溝の溝幅、溝角度および溝深さの少なくとも一つは、前記第1のネジ溝が前記第2のネジ溝よりも大流量に適するように設定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記第2のネジ溝の溝形状は、前記第1のネジ溝に対して周方向により近くに配置されている第2のネジ溝ほど流量が大きくなるように設定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記円筒状ステータは、ステータ軸方向の前記貫通孔よりも上流側の領域では、前記第1のネジ溝の溝形状と前記第2のネジ溝の溝形状とは同一であり、ステータ軸方向の前記貫通孔よりも下流側の領域では、前記第1のネジ溝の溝形状と前記第2のネジ溝の溝形状とが異なっている。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、第1ポンプステージと、前記第1ポンプステージよりもポンプ下流側に設けられ、ネジ溝とネジ山とが内周面周方向に交互に複数形成された円筒状ステータ、および、前記円筒状ステータの内周側に設けられた円筒状ロータを有する第2ポンプステージと、前記第1ポンプステージよりも上流側に設けられた第1吸気口と、前記第1ポンプステージよりも下流側に設けられ、前記第2ポンプステージに連通する第2吸気口と、を備える真空ポンプであって、前記円筒状ステータには、前記第2吸気口と複数の前記ネジ溝とを連通する貫通孔が、前記円筒状ステータの外周面から内周面に貫通するように形成され、前記貫通孔が形成された第1のネジ溝が、貫通孔が形成されていない第2のネジ溝よりも大流量に適するように前記第1および第2のネジ溝のネジ条数が設定されている。
さらに好ましい実施形態では、前記第1のネジ溝のネジ条数は前記第2のネジ溝のネジ条数よりも少なく設定されている。
本発明の好ましい実施形態による質量分析装置は、上記の真空ポンプと、第1の分析ユニットと、前記第1の分析ユニットよりも高い圧力領域で動作する第2の分析ユニットと、前記第1の分析ユニットが収納され、前記真空ポンプの第1吸気口が接続される第1排気口を有する第1チャンバと、前記第2の分析ユニットが収納され、前記真空ポンプの第2吸気口が接続される第2排気口を有する第2チャンバと、を備える。
Claims (7)
- 第1ポンプステージと、
前記第1ポンプステージよりもポンプ下流側に設けられ、ネジ溝とネジ山とが内周面周方向に交互に複数形成された円筒状ステータ、および、前記円筒状ステータの内周側に設けられた円筒状ロータを有する第2ポンプステージと、
前記第1ポンプステージよりも上流側に設けられた第1吸気口と、
前記第1ポンプステージよりも下流側に設けられ、前記第2ポンプステージに連通する第2吸気口と、を備える真空ポンプであって、
前記円筒状ステータには、前記第2吸気口と一以上の前記ネジ溝とを連通する貫通孔が、前記円筒状ステータの外周面から内周面に貫通するように形成され、
前記貫通孔が形成された第1のネジ溝の溝形状は、貫通孔が形成されていない第2のネジ溝の溝形状と異なり、より大流量に適した溝形状に設定されている、真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記溝形状を表すパラメータはネジ溝の溝幅、溝角度および溝深さであって、
前記第1のネジ溝の溝幅、溝角度および溝深さの少なくとも一つは、前記第1のネジ溝が前記第2のネジ溝よりも大流量に適するように設定されている、真空ポンプ。 - 請求項1または2に記載の真空ポンプにおいて、
前記第2のネジ溝の溝形状は、前記第1のネジ溝に対して周方向により近くに配置されている第2のネジ溝ほど流量が大きくなるように設定されている、真空ポンプ。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記円筒状ステータは、
ステータ軸方向の前記貫通孔よりも上流側の領域では、前記第1のネジ溝の溝形状と前記第2のネジ溝の溝形状とは同一であり、
ステータ軸方向の前記貫通孔よりも下流側の領域では、前記第1のネジ溝の溝形状と前記第2のネジ溝の溝形状とが異なっている、真空ポンプ。 - 第1ポンプステージと、
前記第1ポンプステージよりもポンプ下流側に設けられ、ネジ溝とネジ山とが内周面周方向に交互に複数形成された円筒状ステータ、および、前記円筒状ステータの内周側に設けられた円筒状ロータを有する第2ポンプステージと、
前記第1ポンプステージよりも上流側に設けられた第1吸気口と、
前記第1ポンプステージよりも下流側に設けられ、前記第2ポンプステージに連通する第2吸気口と、を備える真空ポンプであって、
前記円筒状ステータには、前記第2吸気口と複数の前記ネジ溝とを連通する貫通孔が、前記円筒状ステータの外周面から内周面に貫通するように形成され、
前記貫通孔が形成された第1のネジ溝が、貫通孔が形成されていない第2のネジ溝よりも大流量に適するように前記第1および第2のネジ溝のネジ条数が設定されている、真空ポンプ。 - 請求項5に記載の真空ポンプにおいて、
前記第1のネジ溝のネジ条数は前記第2のネジ溝のネジ条数よりも少なく設定されている、真空ポンプ。 - 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の真空ポンプと、
第1の分析ユニットと、
前記第1の分析ユニットよりも高い圧力領域で動作する第2の分析ユニットと、
前記第1の分析ユニットが収納され、前記真空ポンプの第1吸気口が接続される第1排気口を有する第1チャンバと、
前記第2の分析ユニットが収納され、前記真空ポンプの第2吸気口が接続される第2排気口を有する第2チャンバと、を備える質量分析装置。
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JP2015102903A JP6413926B2 (ja) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 真空ポンプおよび質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015102903A JP6413926B2 (ja) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 真空ポンプおよび質量分析装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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ID=57580406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015102903A Active JP6413926B2 (ja) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 真空ポンプおよび質量分析装置 |
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