JP7327229B2 - 保護ネット、ターボ分子ポンプおよび質量分析装置 - Google Patents
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Description
本発明の態様によるターボ分子ポンプは、質量分析装置の複数の排気室を真空排気するターボ分子ポンプであって、前記保護ネットがポンプ吸気口に設けられている。
本発明の態様による質量分析装置は、質量分析部へイオンを送出するイオン送出部が収容される第1排気室と、前記質量分析部が収容される第2排気室と、前記第1排気室の排気口および前記第2排気室の排気口に対向するように設けられる請求項1に記載の保護ネットと、を備え、前記保護ネットは、前記第1排気室に対応して設けられた第1網目状領域と、前記第2排気室に対応して設けられた第2網目状領域とを有し、前記第1網目状領域の網目の粗さは前記第2網目状領域の網目の粗さよりも細かい。
図5(a),図5(b)は、本明細書における「網目の粗さ」の定義を説明する図である。図5(a)は、網目状領域50aに形成された開口501を説明する図である。図5(b)は落下物を説明する図である。開口501の形状および大きさは、イオン送出部72のメンテナンス時に落下の可能性のある部品や異物等の大きさに基づいて設定される。例えば、差動排気室741における落下物の内の最小のものが通過しないように、開口501の大きさが設定されている。最小の落下物が図5(b)に示すようなボルト300であった場合、ボルト300のヘッド部301が開口501を通過しないように開口501の大きさが設定される。
図8,9は、上述した実施の形態の変形例1を示す図である。図8は、装置筐体74の底壁74bを、ターボ分子ポンプ側から見た図である。また、図9は、図8のC-C断面を示す図である。上述した実施の形態では、図3に示すように保護ネット5を、接続領域のターボ分子ポンプ1側(すなわち、吸気口フランジ121)に設けたが、変形例1では、接続領域の装置筐体74側に設けるようにした。装置筐体74の底壁74bには円形の凹部744が形成されており、その凹部744の底面744bに排気口741a,742aが形成されている。保護ネット5は、底面744bにビス固定されている。装置筐体74の底壁74bに固定されるターボ分子ポンプ1は、図9に示すように、吸気口121aが底壁74bの凹部744と対向するように配置される。
図10は、上述した実施の形態の変形例2を示す図である。変形例2では、ターボ分子ポンプ1の吸気口フランジ121にISO規格のISO-LFフランジが採用されている。ISO-LFフランジにおいては、Oリングシール201が設けられたセンターリング200がシール部材として使用される。センターリング200は吸気口フランジ121と装置筐体74の底面74bとの間に挟持され、複数のクランプ202により吸気口フランジ121が底面74bに固定される。保護ネット5は、センターリング200の内周側に嵌め込まれている。センターリング200は、保護ネット5の網目状領域50aが排気口741aに対向し、網目状領域50bが排気口742aに対向するようにセットされる。
Claims (6)
- 質量分析装置の複数の排気室と前記複数の排気室に接続されるターボ分子ポンプとの接続部に設けられる、保護ネットであって、
前記保護ネットは、複数の開口が網目状に形成された網目状領域を複数有し、
前記複数の排気室は、質量分析部へイオンを送出するイオン送出部が収容される第1排気室と、前記質量分析部が収容される第2排気室と、を含み、
前記複数の網目状領域は、前記第1排気室に対応して設けられた第1網目状領域と、前記第2排気室に対応して設けられた第2網目状領域と、を含み、
前記第1網目状領域の網目の粗さは、前記第2網目状領域の網目の粗さよりも細かい、保護ネット。 - 請求項1に記載の保護ネットにおいて、
前記網目状領域の網目の粗さは、前記開口を通過可能な最大球体の半径の前記複数の開口に関する平均値で定義される、保護ネット。 - 質量分析装置の複数の排気室を真空排気するターボ分子ポンプであって、
請求項1または2に記載の保護ネットがポンプ吸気口に設けられている、ターボ分子ポンプ。 - 請求項3に記載のターボ分子ポンプにおいて、
前記網目状領域の網目の粗さを、前記開口を通過可能な最大球体の半径の前記複数の開口に関する平均値で定義した場合に、
前記第2網目状領域の前記平均値は、前記第1網目状領域の前記平均値の1.4倍以上に設定される、ターボ分子ポンプ。 - 質量分析部へイオンを送出するイオン送出部が収容される第1排気室と、
前記質量分析部が収容される第2排気室と、
前記第1排気室の排気口および前記第2排気室の排気口に対向するように設けられる請求項1に記載の保護ネットと、を備え、
前記保護ネットは、前記第1排気室に前記第1網目状領域が対応し、前記第2排気室に前記第2網目状領域が対応するように配置されている、
質量分析装置。 - 請求項5に記載の質量分析装置において、
前記網目状領域の網目の粗さは、前記開口を通過可能な最大球体の半径の前記複数の開口に関する平均値で定義され、
前記第2網目状領域の前記平均値は、前記第1網目状領域の前記平均値の1.4倍以上に設定される、質量分析装置。
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