JP6410132B2 - 外枠付サスペンション用基板、素子付および外枠付サスペンション用基板、素子付および外枠付サスペンション用基板の製造方法 - Google Patents
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Description
2 ヘッド領域
3 テール領域
10 金属支持層
15 接地用検査端子
20 絶縁層
20a 第1の面
20b 第2の面
23 絶縁層端子露出部
30 配線層
31 信号用配線
32 ヘッド端子
33 テール端子
34 素子配線
35 接地用素子端子
36 印加用素子端子
38 印加用検査端子
50 導電接続部
55 半田層
71 外枠付サスペンション用基板
72 外枠
81 素子付および外枠付サスペンション用基板
104 ピエゾ素子
112 ヘッドスライダ
Claims (10)
- ヘッドスライダを変位させる伸縮可能なアクチュエータ素子が実装される外枠付サスペンション用基板であって、
外枠と、
前記外枠内に配置されて前記外枠に支持されたサスペンション用基板と、を備え、
前記サスペンション用基板は、前記ヘッドスライダおよび前記アクチュエータ素子が実装されるヘッド領域を有し、
前記ヘッド領域に、実装される前記アクチュエータ素子に電気的に接続される素子端子が設けられ、
前記外枠に、前記素子端子に電気的に接続された外枠端子が設けられ、
前記素子端子は、前記アクチュエータ素子の接地をとるための第1素子端子と、前記アクチュエータ素子に所定の電圧を印加するための第2素子端子と、を含み、
前記外枠端子は、前記第1素子端子に電気的に接続された第1外枠端子と、前記第2素子端子に電気的に接続された第2外枠端子と、を含み、
前記外枠および前記サスペンション用基板は、
第1の面と、前記第1の面とは反対側に設けられた第2の面と、を含む絶縁層と、
前記絶縁層の前記第1の面に設けられた金属支持層と、
前記絶縁層の前記第2の面に設けられた配線層と、を有し、
前記第1素子端子は、前記絶縁層の前記第2の面に設けられ、
前記第1外枠端子は、前記絶縁層の前記第1の面に設けられ、
前記第1素子端子と前記第1外枠端子は、前記金属支持層を介して互いに電気的に接続され、
前記絶縁層は、前記第1外枠端子を前記第2の面の側に露出させる端子露出部を有していることを特徴とする外枠付サスペンション用基板。 - 前記第1素子端子は、前記配線層を構成し、
前記絶縁層に、前記第1素子端子と前記金属支持層を、互いに電気的に接続する導電接続部が設けられ、
前記第1外枠端子は、前記金属支持層を構成していることを特徴とする請求項1に記載の外枠付サスペンション用基板。 - 前記ヘッド領域に、一対の前記アクチュエータ素子を実装するために、対応する前記アクチュエータ素子に電気的に接続される2つの前記第1素子端子が設けられ、
前記第1素子端子の各々は、共通の前記第1外枠端子に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の外枠付サスペンション用基板。 - 前記外枠付サスペンション用基板は、複数の前記サスペンション用基板を有し、
前記サスペンション用基板の各々の前記第1素子端子は、共通の前記第1外枠端子に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の外枠付サスペンション用基板。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の前記外枠付サスペンション用基板と、
前記サスペンション用基板の前記ヘッド領域に実装された前記アクチュエータ素子と、を備えたことを特徴とする素子付および外枠付サスペンション用基板。 - 前記サスペンション用基板は、前記第2素子端子に電気的に接続されたテール端子が設けられたテール領域を更に有し、
前記テール端子に、半田層が設けられていることを特徴とする請求項5に記載の素子付および外枠付サスペンション用基板。 - ヘッドスライダを変位させる伸縮可能なアクチュエータ素子が実装された素子付および外枠付サスペンション用基板であって、外枠内に配置されて前記外枠に支持されたサスペンション用基板を有する素子付および外枠付サスペンション用基板の製造方法であって、
前記ヘッドスライダおよび前記アクチュエータ素子が実装されるヘッド領域であって、素子端子が設けられたヘッド領域を有する前記サスペンション用基板と、前記素子端子に電気的に接続された外枠端子が設けられた前記外枠と、を備えた前記外枠付サスペンション用基板を準備する工程と、
前記アクチュエータ素子を前記ヘッド領域に実装する工程であって、前記アクチュエータ素子を前記素子端子に電気的に接続する工程と、
前記外枠端子から前記アクチュエータ素子を電気検査する工程と、を備え、
前記素子端子は、前記アクチュエータ素子の接地をとるための第1素子端子と、前記アクチュエータ素子に所定の電圧を印加するための第2素子端子と、を含み、
前記外枠端子は、前記第1素子端子に電気的に接続された第1外枠端子と、前記第2素子端子に電気的に接続された第2外枠端子と、を含み、
前記外枠および前記サスペンション用基板は、
第1の面と、前記第1の面とは反対側に設けられた第2の面と、を含む絶縁層と、
前記絶縁層の前記第1の面に設けられた金属支持層と、
前記絶縁層の前記第2の面に設けられた配線層と、を有し、
前記第1素子端子は、前記絶縁層の前記第2の面に設けられ、
前記第1外枠端子は、前記絶縁層の前記第1の面に設けられ、
前記第1素子端子と前記第1外枠端子は、前記金属支持層を介して互いに電気的に接続され、
前記絶縁層は、前記第1外枠端子を前記第2の面の側に露出させる端子露出部を有していることを特徴とする素子付および外枠付サスペンション用基板の製造方法。 - 前記アクチュエータ素子を電気検査する工程において、前記第1外枠端子および前記第2外枠端子から前記アクチュエータ素子を電気検査することを特徴とする請求項7に記載の素子付および外枠付サスペンション用基板の製造方法。
- 前記サスペンション用基板は、前記第2素子端子に電気的に接続されたテール端子が設けられたテール領域を更に有し、
前記アクチュエータ素子を実装する工程の前に、前記テール端子に半田層が設けられることを特徴とする請求項7または8に記載の素子付および外枠付サスペンション用基板の製造方法。 - 前記テール端子に前記半田層を設ける工程の前に、前記第2素子端子および前記テール端子から、前記第2素子端子と前記テール端子とを接続する配線の電気検査を行うことを特徴とする請求項9に記載の素子付および外枠付サスペンション用基板の製造方法。
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