JP6409614B2 - 半導体素子の製造方法及び半導体素子 - Google Patents
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Description
そして、このような方法において、例えば、被加工層とレジストの密着力を上げることにより、サイドエッチング量を少なくできることが提案されている(特許文献1)。
さらに、マスクとなるレジスト層を露光してパターンを形成する際に、レジスト層の露光部分と非露光部分との境界に半露光部分を設け、ウェットエッチング工程において、レジスト層の半露光部分を被加工層と同様に除去することにより、サイドエッチング量を少なくできることが提案されている(特許文献3)。
また、大量の処理が容易で、コストの安いウェットエッチングを用いたパターン形成方法では、エッチングが等方向に進み易いため、マスクパターン下部の被加工層も除去されるサイドエッチングが生じる。特に段差のある部分では、サイドエッチングが進行し易い。電極の形成では、サイドエッチングが進行することにより、コンタクト面積が減少し、電圧上昇の不具合を発生させることもある。
(1)主面に凸部を有する半導体層の上であって、前記凸部の少なくとも上面及び側面を含む領域に導電層を形成し、
前記導電層の表面の一部を被覆する第1マスクを形成し、該第1マスクを用いて前記導電層の膜厚方向における一部を第1エッチングし、
少なくとも、前記第1エッチングされた導電層の表面の一部を被覆する第2マスクを形成し、該第2マスクを用いて前記導電層を第2エッチングし、前記半導体層の一部を露出させて、前記導電層を電極に加工することを含む半導体素子の製造方法。
(2)主面に凸部を有する半導体層の上であって、前記凸部の少なくとも上面及び側面を含む領域に導電層を形成し、
前記導電層の表面の一部を被覆する第1マスクを形成し、該第1マスクを用いて前記導電層の膜厚方向における一部を第1エッチングし、
前記第1マスクを除去し、
前記第1マスクの除去後に露出された前記導電層の表面の一部から前記第1エッチングされた導電層の表面の一部にわたって被覆する第2マスクを形成し、該第2マスクを用いて前記導電層を第2エッチングし、前記半導体層の一部を露出させて、前記導電層を電極に加工することを含む半導体素子の製造方法。
また、本開示の実施形態によれば、サイドエッチングに起因する電極面積の低下が発生せず、電極面積を確保し、電圧上昇の抑制を実現できる半導体素子を得ることができる。
各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするため、誇張していることがある。
まず、半導体層上に導電層を形成する。
半導体層は、半導体素子を構成する部材である。ここでの半導体素子は、レーザ素子、発光ダイオード等の発光素子であることが好ましいが、トランジスタ、集積回路、抵抗、メモリ等であってもよい。なかでも、レーザ素子が好ましい。
その材料は、特に限定されず、例えば、InXAlYGa1-X-YN(0≦X、0≦Y、X+Y≦1)等の窒化物半導体材料等が挙げられる。
凸部は、半導体層の主面において、1つのみ又は複数形成されていてもよい。
第1エッチングは、導電層の表面の一部をエッチングする工程である。
そのために、導電層の表面の一部を被覆する第1マスクを形成する。第1のマスクは、レジスト層、絶縁膜等、公知の材料によって単層構造又は多層構造で形成することができる。第1マスクは、導電層上において、複数に分割して配置されていてもよいし、1つの又は複数の開口を有する形状で配置されていてもよい。
第1エッチングでは、導電層の膜厚方向における一部のみを除去し、導電層の膜厚方向における一部は残存するようにエッチングする。ここでの膜厚方向の一部除去とは、例えば、導電性の膜厚の30%以上が好ましく、40〜60%程度がより好ましい。凸部の上(凸部の上面のみ、又は、上面及び側面)に電極を形成するのであれば、第1マスクは凸部の上を被覆する形状で形成する。このとき、凸部の側面付近の導電層がサイドエッチング(オーバーエッチング)され易いので、仮に、第1マスクのみで導電層の膜厚方向における全てを除去して電極に加工すると、オーバーエッチングにより電極の面積が減少する虞がある。しかし、第1エッチングで除去するのは導電層の膜厚方向における一部のみであるため、半導体層の表面は露出せず、オーバーエッチング量は電極面積に影響を与えない。
導電層の除去/残存のエッチングは、エッチング時間、エッチャントの種類、エッチャントの温度、導電層の材料、導電層を構成する積層構造等によって、その精度を制御することができる。
第2エッチングは、導電層をエッチングして電極に加工する工程である。そのために、第2マスクを形成する。第2のマスクは、レジスト層、絶縁膜等、公知の材料によって単層構造又は多層構造で形成することができる。第2マスクは、複数に分割して配置されていてもよいし、1つの又は複数の開口を有する形状で配置されていてもよい。
他の実施形態では、第2マスクは、第1マスクを除去した後に形成してもよい。
第2エッチングでは、導電層の膜厚方向における全部を除去するようにエッチングする。つまり、第2エッチングは、半導体層の主面の一部を露出するように行う。第2エッチングは、第1エッチングより長時間で行ってもよく、短時間で行ってもよい。半導体層の主面のエッチングによるダメージを極力低減したい、及び/又は、オーバーエッチング量を第1エッチングよりも小さくしたい場合には、第2エッチングを第1エッチングよりも緩和な条件で及び/又は短時間で行うことができる。同時に、第1マスクで被覆した部分の導電層は、厚膜のまま残存させることができるため、電極面積減少による電圧上昇不良を効果的に抑制することができる。
上述したように、半導体層が、その主面に凹部を有する場合、さらに、凹部内に第1保護膜が残存する場合及び/又は凹部内に導電層が残存する場合、第3マスクを利用して、第3エッチングすることが好ましい。
第3マスクは、第2エッチングによって露出した半導体層上から、第2エッチングによって加工された電極の側面を被覆する形状で形成することが好ましい。このような第3マスクの形状によって、凹部内の第1保護膜及び/又は導電層を除去するために、所定の膜厚で配置することを意図する導電層において、凸部の側面付近におけるオーバーエッチングを効果的に防止することができる。その結果、半導体素子における電極面積が減少すること、半導体層と電極との密着面積が低減することを確実に防止することができる。第3エッチングを行う前に第1マスク及び第2マスクを除去する場合には、第3マスクは、第1マスク及び第2マスクで被覆していた部分も被覆する形状で形成することが好ましい。
第1エッチングと第2エッチングの間に更に別のエッチングを行うこともできる。この場合には、マスクの形成面積及びエッチングの除去深さが第1エッチングから第2エッチングにかけて段階的に大きくなるように、マスクのサイズ及びエッチング量を調整すればよい。ただし、工程数が増えるとコストが増大するため、コスト低減の点からは、第1エッチングと第2エッチングのみで電極に加工することが好ましい。例えば、導電層の膜厚が0.5μm〜1μm程度の場合には、第1エッチングと第2エッチングのみで十分に加工できる。
(1)上述したような電極を形成した後、半導体層の側面を被覆する第2保護膜を形成することが好ましい。第2保護膜は、半導体層の側面に加えて、電極上に開口部を有する限り、電極が形成されていない半導体層の主面及び/又は電極上にわたって形成してもよい。
第2保護膜は、当該分野で公知の方法により成膜し、公知の方法によって、所望の形状に形成することができる。第1保護膜と同様の材料から選択した形成することができる。第2保護膜の膜厚は、特に限定されるものではなく、例えば、100nm〜1μm程度が挙げられる。
(2)電極の上には、この電極を被覆し、電気的に接続されたパッド電極を形成することが好ましい。パッド電極は、Ni、Ti、Au、Pt、Pd、W等の金属からなる積層膜とすることが好ましい。パッド電極は、当該分野で公知の方法によって、意図する半導体素子の性能等により、厚み、形状及び大きさ等を適宜設定することができる。
(3)半導体層を積層する基板の半導体層とは反対側の面(以下、裏面ということがある)に、第2電極を形成することが好ましい。第2電極は、基板の裏面の全面に又は部分的に形成することができる。例えば、半導体層を積層した後に基板の裏面を研磨して、所定の膜厚、例えば、50μm〜150μm程度に薄膜化した後、V、Ti、Pt、Au等の金属からなる積層膜を成膜し、パターニングすることにより形成することができる。
(4)半導体層が形成された基板を、個々の半導体素子を構成する単位に分割することが好ましい。分割は、上記の工程を全て行った後に行うことが好ましい。
分割は、レーザ照射、ブレードブレイク、ローラーブレイク等によって行うことが好ましい。分割によって、凸部、特に、リッジに直交する方向に分割された面を形成した後、その面を共振器面として、SiO2、ZrO2、TiO2、Al2O3、Nb2O5等からなる誘電体多層膜を反射ミラーとして形成することが好ましい。さらに、半導体層が形成された基板を、凸部、特にリッジに平行に分割することが好ましい。これにより、半導体素子をチップ化することができる。
本開示の半導体素子は、半導体層と電極とを備える。
半導体層は、主面を有し、この主面に第1の方向に延長する凸部を有する。
電極は、通常、凸部の少なくとも上面に配置されている。
さらに、第1の端部側の膜厚はその内部側の膜厚よりも薄いことが好ましい。第1の端部側で膜厚が薄いことにより、導電層による半導体層への応力を低減させることができ、導電層の半導体層端部側からの剥がれを効果的に防止することができる。
第1の距離は、半導体素子の大きさ等によって適宜調整することができる。例えば、2μm〜10μm程度が好ましい。
ここで、薄い膜厚は、内部側の膜厚(例えば、電極の中心付近の膜厚)の50%より大きな膜厚であることが好ましく、60〜70%程度がより好ましい。
電極は、第1の端部側の膜厚が薄い部分の電極幅が、第2の端部側の膜厚が薄い部分の電極幅よりも広いことが好ましい。ここでの電極幅の広狭は、意図する半導体素子の大きさ等によって適宜設定することができる。例えば、第2の端部側の膜厚が薄い部分の電極幅は、第1の端部側の膜厚が薄い部分の電極幅の5〜90%程度が挙げられる。
以下に本開示の半導体素子の製造方法及び半導体素子の実施例を、図面に基づいて詳細に説明する。各実施形態において記載する具体的な寸法や材料は一例であり、本開示はこれに限られるものではない。
この実施形態では、半導体素子は、図1に示すレーザ素子10であり、主として、半導体層11と、半導体層11の主面に形成されたp電極3とを備える。
半導体層11は、平面形状が200μm×800μm程度の長方形の形状を有する。半導体層11は、通常、直径数インチの基板上に形成され、その後に電極等が形成され、矩形のレーザ素子に個片化される。個片化前において、個片化の際に分割する予定の位置を指す仮想線が分割予定線であり、第1の方向(図7C中、M)に平行な方向に伸びる分割予定線と、第1の方向と交差する方向(典型的には直交する方向)に伸びる分割予定線がある。
リッジ1のストライプ状に延長する(第1の方向に延長する)側面の略全面からp型半導体層6の上面にわたって、ZrO2(又はSiO2)からなる第1保護膜2が形成されている。リッジ1の上面は、第1保護膜2から露出している。第1保護膜2は、第1の方向に直交する第2の方向(図7C中、L)において、半導体層11の端部まで延長していてもよいが、ここでは、半導体層11の端部まで延長しておらず、p側半導体層6の端部を露出している。
p電極3は、第1保護膜2から露出したリッジ1の上面と接続し、リッジ1の両側面からp側半導体層6上にわたる形状で配置されている。
p電極3と接続するように、p電極3上からp型半導体層6上(第1保護膜2及び第2保護膜4の表面)にわたって、pパッド電極5が配置されている。
レーザ素子10は、さらに、半導体層11を積層する導電性のGaNからなる基板12と、基板12に形成されたn電極9とを有する。
まず、GaN基板上に、第1のn型半導体層としてAlxGa1-xN(0<x≦0.5、クラッド層)、第2のn型半導体層としてAlxGa1-xN(0≦x≦0.3、光ガイド層)、活性層としてInyGa1-yN(0≦y<1、量子井戸構造)、第1のp型半導体層としてp型不純物を含有したAlxGa1-xN(0≦x≦0.5、p側電子閉じ込め層)、第2のp型半導体層としてAlxGa1-xN(0≦x≦0.3)、第3のp型半導体層としてp型不純物を含有したAlxGa1-xN(0<x≦0.5、GaN/AlGaNとからなる超格子構造、クラッド層)、第4のp型半導体層としてp型不純物を含有したAlxGa1-xN(0≦x≦1)を積層して半導体層11を形成する。
その後、マスクパターンをそのまま存在させた状態で、半導体層11上にZrO2からなる膜を成膜し、マスクパターンをウェットエッチングによってリフトオフすることにより、リッジ1の上面のみ露出する第1保護膜2を形成する。
続いて、リッジ1及び第1保護膜2上を含む半導体層11上に、ITO膜を200nmの厚みで成膜する。
第2マスク14をマスクとして、16分間、第2エッチングし、図2Eに示すように、半導体層1の表面を露出させる。これによって、ITO膜を所望の形状のp電極3の形状にパターニングすることができる。
第2マスク14を第1マスク13より大きくなるように形成して、第2エッチングすることにより、通常のエッチングによりサイドエッチングの起因となる端面15を保護しながら、所望の形状に導電層をパターニングできるため、p電極3のサイドエッチングを効果的に抑制することができる。従って、図3に示すように、リッジ側壁近傍17において、オーバーエッチングが生じることなく、精度の高い電極加工を実現することができる。
実施形態1におけるレーザ素子の製造方法で、図5に示すように、第1マスク13を除去することなく第2マスク14を形成し、さらにこれらマスクを除去することなく第3マスク16を形成したマスクを順次用いてエッチングする。
これら以外の製造方法は、実施形態1と同様であり、同様の効果を有する。
特に、第1〜第3マスクを積層することにより、工程作業の簡略化を実現することができる。
実施形態1におけるレーザ素子の製造方法で、図6に示すように、第1マスク13上に、任意の部位のみ大きくした第2マスク24を形成し、第2エッチングする。
これら以外の製造方法は、実施形態1と同様であり、同様の効果を有する。
特に、第2マスクを任意の形状とすることにより、従来のパターン形状を維持することができる。
この実施形態のレーザ素子は、図7A〜7Cに示すように、p電極3が、半導体層11の第1の方向Mと交差する端部である第1の端部Aから、第1の方向に第1の距離B、離間して配置されており、かつ第1の端部A側の膜厚Cは内部側の膜厚Dよりも薄い。また、p電極3は、半導体層11の第1の方向に沿った端部である第2の端部Eよりも内側に位置し、第2の端部E側の膜厚Fが内部側の膜厚Gよりも薄い。
さらに、p電極3は、第1の端部A側の膜厚が薄い部分の電極幅Hは、第2の端部E側の膜厚が薄い部分の電極幅Iよりも広い。
これら以外の製造方法は、実施形態1と同様であり、同様の効果を有する。
2 第1保護膜
3 p電極(電極)
3a ITO膜(導電層)
4 第2保護膜
5 pパッド電極
6 p型半導体層
7 活性層
8 n型半導体層
9 n電極
10 レーザ素子
11 半導体層
12 基板
13 第1マスク
14 第2マスク
15 端面
16 第3マスク
17 オーバーエッチしやすい部分
18 凹部
19 出射端面
A 第1の端部
B 第1の距離
C 第1の端部A側のp電極の膜厚
D 内部側のp電極の膜厚
E 第2の端部
F 第2の端部E側のp電極の膜厚
G 内部側のp電極の膜厚G
H 第1の端部A側の膜厚が薄い部分の電極幅
I 第2の端部E側の膜厚が薄い部分の電極幅
M 第1の方向
L 第2の方向
Claims (9)
- 主面に凸部を有する半導体層の上であって、前記凸部の少なくとも上面及び側面を含む領域に導電層を形成し、
前記導電層の表面の一部を被覆する第1マスクを形成し、該第1マスクを用いて前記導電層の膜厚方向における一部を第1ウェットエッチングして除去し、
少なくとも、前記第1ウェットエッチングされた導電層の膜厚方向に除去された表面の一部を被覆する第2マスクを形成し、該第2マスクを用いて前記導電層を第2ウェットエッチングし、前記半導体層の一部を露出させて、前記導電層を電極に加工することを含む半導体素子の製造方法。 - 主面に凸部を有する半導体層の上であって、前記凸部の少なくとも上面及び側面を含む領域に導電層を形成し、
前記導電層の表面の一部を被覆する第1マスクを形成し、該第1マスクを用いて前記導電層の膜厚方向における一部を第1ウェットエッチングし、
前記第1マスクを除去し、
前記第1マスクの除去後に露出した前記導電層の表面の一部から前記第1ウェットエッチングされた導電層の表面の一部にわたって被覆する第2マスクを形成し、該第2マスクを用いて前記導電層を第2ウェットエッチングし、前記半導体層の一部を露出させて、前記導電層を電極に加工することを含む半導体素子の製造方法。 - 前記導電層を、導電性酸化物又は合金によって形成する請求項1又は2に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記導電層を、前記凸部の上面及び側面並びに前記凸部の両側の平坦面を含む前記半導体層上に形成する請求項1から3のいずれか1つに記載の半導体素子の製造方法。
- 前記凸部は、第1の方向に延伸する形状であり、
前記第1の方向と交差する仮想線であって前記導電層を電極に加工した後に前記半導体層を分割する分割予定線から、前記第1の方向に第1の距離を離間させて前記第1マスクを形成する請求項1から4のいずれか1つに記載の半導体素子の製造方法。 - 前記分割予定線から、前記第1の方向に前記第1の距離よりも短い第2の距離を離間させて前記第2マスクを形成する請求項5に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記半導体層は、前記主面であって前記凸部以外の領域に凹部を有しており、
該凹部内に前記導電層を形成する請求項1から6のいずれか1つに記載の半導体素子の製造方法。 - 前記第2ウェットエッチングによって露出した半導体層上から、第2ウェットエッチングによって加工された電極を被覆する第3マスクを形成し、該第3マスクを用いて、前記凹部内に形成された導電層を第3エッチングする請求項7に記載の半導体素子の製造方法。
- 主面を有し、前記主面に第1の方向に延長する凸部を有する半導体層と、
前記凸部の少なくとも上面及び側面に配置された電極とを備え、
該電極は、前記半導体層の前記第1の方向と交差する端部である第1の端部から、前記第1の方向に第1の距離を離間して配置されており、かつ前記第1の端部側の膜厚は内部側の膜厚よりも薄く、前記半導体層の前記第1の方向に沿った端部である第2の端部側の膜厚が前記内部側の膜厚よりも薄く、前記第1の端部側の膜厚が薄い部分の電極幅は、前記第2の端部側の膜厚が薄い部分の電極幅よりも広い半導体素子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015033172A JP6409614B2 (ja) | 2015-02-23 | 2015-02-23 | 半導体素子の製造方法及び半導体素子 |
US15/047,774 US9705286B2 (en) | 2015-02-23 | 2016-02-19 | Method for manufacturing semiconductor device, and semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015033172A JP6409614B2 (ja) | 2015-02-23 | 2015-02-23 | 半導体素子の製造方法及び半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016157746A JP2016157746A (ja) | 2016-09-01 |
JP6409614B2 true JP6409614B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=56693655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015033172A Active JP6409614B2 (ja) | 2015-02-23 | 2015-02-23 | 半導体素子の製造方法及び半導体素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9705286B2 (ja) |
JP (1) | JP6409614B2 (ja) |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0513401A (ja) | 1991-06-28 | 1993-01-22 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体基板加工方法 |
JP2548873B2 (ja) | 1992-10-08 | 1996-10-30 | 日本アイ・ビー・エム株式会社 | 半導体装置のウエット・エッチング方法 |
JP2000340887A (ja) | 1999-05-26 | 2000-12-08 | Sony Corp | 半導体レーザおよびその製造方法 |
JP3716974B2 (ja) | 2000-06-08 | 2005-11-16 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体レーザ素子及びその製造方法 |
CA2411445C (en) | 2000-06-08 | 2011-08-16 | Nichia Corporation | Semiconductor laser device, and method of manufacturing the same |
JP4613395B2 (ja) | 2000-06-09 | 2011-01-19 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体レーザ素子及びその製造方法 |
JP3616584B2 (ja) | 2000-06-12 | 2005-02-02 | 鹿児島日本電気株式会社 | パターン形成方法及びそれを用いた表示装置の製造方法 |
TW511147B (en) | 2000-06-12 | 2002-11-21 | Nec Corp | Pattern formation method and method of manufacturing display using it |
JP4830315B2 (ja) * | 2004-03-05 | 2011-12-07 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体レーザ素子 |
JP2008034587A (ja) * | 2006-07-28 | 2008-02-14 | Sony Corp | 半導体レーザの製造方法、半導体素子の製造方法および素子の製造方法 |
WO2008047751A1 (fr) * | 2006-10-17 | 2008-04-24 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Dispositif laser à semi-conducteur à base de nitrure, et procédé de fabrication associé |
EP2224558B1 (en) * | 2007-11-08 | 2017-08-16 | Nichia Corporation | Semiconductor laser element |
JP2010041035A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-02-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体レーザ素子およびその製造方法ならびに光ピックアップ装置 |
JP2010114430A (ja) * | 2008-10-07 | 2010-05-20 | Sanyo Electric Co Ltd | 窒化物系半導体レーザ素子およびその製造方法 |
JP5391804B2 (ja) | 2009-04-22 | 2014-01-15 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体素子及びその製造方法 |
JP5510212B2 (ja) * | 2010-09-08 | 2014-06-04 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子及びその製造方法 |
JP2012099738A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Panasonic Corp | 窒化物半導体レーザ装置およびその製造方法 |
JP6098175B2 (ja) * | 2013-01-15 | 2017-03-22 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体レーザ素子 |
-
2015
- 2015-02-23 JP JP2015033172A patent/JP6409614B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-19 US US15/047,774 patent/US9705286B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160247682A1 (en) | 2016-08-25 |
JP2016157746A (ja) | 2016-09-01 |
US9705286B2 (en) | 2017-07-11 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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