JP6407058B2 - 印刷装置および印刷方法 - Google Patents

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Description

本発明は、印刷装置および印刷方法に関する。
液晶表示装置、配線回路基板等の製造工程において、各種基板に電極および配線等のパターンを形成するために、フォトリソグラフィ技術が用いられる。フォトリソグラフィ技術により、高い精度で微細なパターンを形成することが可能になる。
近年、フォトリソグラフィ技術に代えて導電性インクを用いた印刷技術により、基板上に電極および配線等のパターンを形成する方法が提案されている。印刷技術を用いることにより、パターンの形成に必要な工程数が低減される。
印刷技術を用いたパターンの形成方法としてオフセット印刷がある。オフセット印刷においては、インキングされた版からブランケットローラにインクが転写される。その後、転写されたインクがブランケットローラから基板等の対象物に再度転写される。オフセット印刷に関して、印刷されるインクパターンの寸法精度を向上させるために種々の方法が提案されている(例えば特許文献1参照)。
特開2010−280085号公報
近年、デバイスの高密度化および高集積化に伴い、基板上に形成されるパターンの微細化が重要な課題となっている。そのため、オフセット印刷により基板上に形成されるインクパターンにもより高い寸法精度が求められる。
本発明の目的は、所望のインクパターンを高い精度で対象物に印刷することを可能にする印刷装置および印刷方法を提供することである。
第1の発明に係る印刷装置は、シート状の対象物に印刷を行う印刷装置であって、対象物が載置される載置面を有するテーブルと、テーブルを載置面に平行な一方向に移動させる移動駆動部と、インクを保持可能な外周面を有する転写ローラと、転写ローラを回転させる回転駆動部と、転写ローラの一端部および他端部をそれぞれ昇降させる第1および第2のローラ昇降駆動部と、テーブルの載置面に対する転写ローラの下端部の第1の部分の高さを検出する第1の高さ検出手段と、テーブルの載置面に対する転写ローラの下端部の第2の部分の高さを検出する第2の高さ検出手段と、対象物に転写されたインクパターンの一方向の長さを測定するパターン測定部と、転写ローラの外周面が対象物に接触する状態で転写ローラに保持されたインクがテーブル上の対象物にインクパターンとして転写されるように移動駆動部および回転駆動部を制御する制御部とを備え、制御部は、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を調整可能に構成されるとともに、第1の高さ検出手段により検出された第1の部分の高さおよび第2の高さ検出手段により検出された第2の部分の高さに基づいて、転写ローラの下端部と載置面との間隔が一定となるように第1および第2のローラ昇降駆動部をそれぞれ制御する昇降制御と、昇降制御後でかつ対象物としての第1の対象物へのインクパターンの転写時に、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を第1の速度差に制御する第1の制御と、第1の対象物に転写されたインクパターンの長さを測定するようにパターン測定部を制御する第2の制御と、対象物としての第2の対象物へのインクパターンの転写時に、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を第2の速度差に制御する第3の制御とを実行可能に構成され、第2の速度差は、第2の制御により測定された長さと予め定められた目標値との誤差に基づいて、第2の対象物へ転写されることになるインクパターンの長さと目標値との誤差が0となりまたは0に近づくように決定される。
その印刷装置においては、テーブルの載置面上に対象物が載置され、転写ローラの外周面にインクが保持される。転写ローラの外周面が対象物に接触する状態で転写ローラに保持されたインクがテーブル上の対象物にインクパターンとして転写される。
上記の構成によれば、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を調整することができる。それにより、対象物に印刷されるインクパターンの寸法を設計寸法等の目標値と一致させることまたは目標値に近づけることができる。したがって、所望のインクパターンを高い精度で対象物に印刷することが可能になる。
さらに、第1の対象物へのインクパターンの転写時に、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差が第1の速度差に制御される。また、第1の対象物に転写されたインクパターンの一方向の長さがパターン測定部により測定される。測定された長さと目標値との誤差に基づいて第2の速度差が決定される。
第2の対象物へのインクパターンの転写時には、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差が第2の速度差に制御される。それにより、転写ローラから第2の対象物へ転写されるインクパターンの長さと目標値との誤差が0になるかまたは0に近づく。
そのため、第1の対象物に転写されるインクパターンに比べて、第2の対象物に転写されるインクパターンの精度が高くなる。したがって、第1、第2および第3の制御が繰り返されることにより、対象物に転写されるインクパターンの精度が向上する。
また、上記の構成においては、テーブルの載置面に対する転写ローラの下端部の第1の部分の高さが第1の高さ検出手段により検出され、テーブルの載置面に対する転写ローラの下端部の第2の部分の高さが第1の高さ検出手段により検出される。第1および第2の部分の高さに基づいて、転写ローラの下端部と載置面との間隔が一定となるように第1および第2のローラ昇降駆動部がそれぞれ制御される。
制御部は、移動駆動部および回転駆動部をそれぞれ独立制御可能に構成されてもよい。
この場合、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度とを個別に調整することができる。したがって、印刷速度等の印刷条件の調整の自由度が向上される。
制御部は、第2の制御により測定された長さが目標値よりも小さい場合に転写ローラの周速度がテーブルの移動速度よりも小さくなるように第2の速度差を決定し、第2の制御により測定された長さが目標値よりも大きい場合に転写ローラの周速度がテーブルの移動速度よりも大きくなるように第2の速度差を決定してもよい。
それにより、転写ローラから第2の対象物へ転写されるインクパターンの長さと目標値との誤差が0になるかまたは0に近づく。したがって、第2の対象物に転写されるインクパターンの精度が高くなる。
印刷装置は、一方向におけるテーブルの位置を検出するためのテーブル位置検出部をさらに備え、テーブル位置検出部は、一方向に並びかつ一方向に延びるように配置される複数のリニアスケールと、テーブルとともに移動するとともに各リニアスケールを検出可能に構成された第1および第2の検出部と、第1および第2の検出部の少なくとも一方による複数のリニアスケールのいずれかの検出に基づいてテーブルの位置を算出する位置算出部とを含み、第1および第2の検出部の少なくとも一方が複数のリニアスケールのいずれかを検出することができるように、第1および第2の検出部は、一方向において離間するように配置されてもよい。
この場合、第1および第2の検出部の少なくとも一方により複数のリニアスケールのいずれかが検出される。したがって、リニアスケールの数を増やすことにより、各リニアスケールの長さを大きくすることなくテーブルの位置の検出可能な範囲を拡大することができる。したがって、大きな対象物に高い精度でインクパターンを転写することができる。
対象物に転写されるインクパターンは、一方向に並ぶ第1および第2の基準パターンを含み、パターン測定部は、第1および第2の基準パターンを検出する基準パターン検出部と、第1および第2の基準パターン間の距離をインクパターンの一方向の長さとして算出する距離算出部とを含み、基準パターン検出部は、テーブルが一方向に移動することにより第1および第2の基準パターンが通過する軌道上の固定位置に検出領域を有し、距離算出部は、第1の基準パターンが検出されるときにテーブル位置検出部により検出されるテーブルの第1の位置と第2の基準パターンが検出されるときにテーブル位置検出部により検出されるテーブルの第2の位置とに基づいて、第1および第2の基準パターン間の距離を算出してもよい。
この場合、第1の基準パターンが検出されるときにテーブル位置検出部により第1の位置が検出される。また、第2の基準パターンが検出されるときにテーブル位置検出部により第2の位置が検出される。
上記のように、テーブル位置検出部は高い検出精度を有する。それにより、テーブル位置検出部により検出された第1および第2の位置に基づいて、第1および第2の基準パターン間の距離が高い精度で算出される。したがって、転写ローラから第1の対象物へ転写されるインクパターンの長さと目標値との誤差をより正確に求めることが可能になる。その結果、第2の速度差を適切に決定することができる。
第2の発明に係る印刷方法は、シート状の対象物に印刷を行う印刷方法であって、テーブルの載置面上に対象物が載置された状態でテーブルを載置面に平行な一方向に移動させるステップと、インクを保持する外周面を有する転写ローラを回転させるステップと、転写ローラの一端部および他端部をそれぞれ昇降させるステップと、回転される転写ローラの外周面と一方向に移動される対象物とを接触させることにより転写ローラの外周面に保持されたインクを対象物にインクパターンとして転写するステップと、昇降させるステップの後、転写するステップにおける転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を調整するステップとを備え、昇降させるステップは、テーブルの載置面に対する転写ローラの下端部の第1の部分の高さを検出するステップと、テーブルの載置面に対する転写ローラの下端部の第2の部分の高さを検出するステップと、検出された第1および第2の部分の高さに基づいて、転写ローラの下端部と載置面との間隔が一定となるように転写ローラの一端部および他端部をそれぞれ昇降させるステップとを含み、調整するステップは、対象物としての第1の対象物へのインクパターンの転写時に、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を第1の速度差に制御する第1のステップと、第1の対象物に転写されたインクパターンの一方向の長さを測定する第2のステップと、第2のステップの後、対象物としての第2の対象物へのインクパターンの転写時に、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を第2の速度差に制御する第3のステップとを含み、第2の速度差は、第2のステップにより測定された長さと予め定められた目標値との誤差に基づいて、第2の対象物へ転写されることになるインクパターンの長さと目標値との誤差が0となりまたは0に近づくように決定される。
その印刷方法においては、回転される転写ローラの外周面と一方向に移動される対象物とが接触されることにより、転写ローラの外周面に保持されたインクが対象物にインクパターンとして転写される。
上記の構成によれば、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を調整することができる。それにより、対象物に印刷されるインクパターンの寸法を設計寸法等の目標値と一致させることまたは目標値に近づけることができる。したがって、所望のインクパターンを高い精度で対象物に印刷することが可能になる。
調整するステップは、対象物としての第1の対象物へのインクパターンの転写時に、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を第1の速度差に制御する第1のステップと、第1の対象物に転写されたインクパターンの一方向の長さを測定する第2のステップと、第2のステップの後、対象物としての第2の対象物へのインクパターンの転写時に、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を第2の速度差に制御する第3のステップとを含み、第2の速度差は、第2のステップにより測定された長さと予め定められた目標値との誤差に基づいて、第2の対象物へ転写されることになるインクパターンの長さと目標値との誤差が0となりまたは0に近づくように決定され
この場合、第1の対象物へのインクパターンの転写時に、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差が第1の速度差に制御される。また、第1の対象物に転写されたインクパターンの一方向の長さが測定される。測定された長さと目標値との誤差に基づいて第2の速度差が決定される。
第2の対象物へのインクパターンの転写時には、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差が第2の速度差に制御される。それにより、転写ローラから第2の対象物へ転写されるインクパターンの長さと目標値との誤差が0になるかまたは0に近づく。
そのため、第1の対象物に転写されるインクパターンに比べて、第2の対象物に転写されるインクパターンの精度が高くなる。したがって、第1、第2および第3の制御が繰り返されることにより、対象物に転写されるインクパターンの精度が向上する。
また、上記の方法においては、テーブルの載置面に対する転写ローラの下端部の第1の部分の高さが検出され、テーブルの載置面に対する転写ローラの下端部の第2の部分の高さが検出される。第1および第2の部分の高さに基づいて、転写ローラの下端部と載置面との間隔が一定となるように転写ローラの一端部および他端部がそれぞれ昇降される。
テーブルを一方向に移動させるステップは、一方向に移動するテーブルの位置を検出するステップと、検出されたテーブルの位置に基づいてテーブルの移動距離を調整するステップとを含み、テーブルの位置を検出するステップは、一方向に並びかつ一方向に延びるように配置される複数のリニアスケールのいずれかを、一方向において離間するように配置された第1および第2の検出部の少なくとも一方により検出するステップと、第1および第2の検出部の少なくとも一方による複数のリニアスケールのいずれかの検出に基づいてテーブルの位置を算出するステップとを含んでもよい。
この場合、第1および第2の検出部の少なくとも一方により複数のリニアスケールのいずれかが検出される。したがって、リニアスケールの数を増やすことにより、各リニアスケールの長さを大きくすることなくテーブルの位置の検出可能な範囲を拡大することができる。したがって、大きな対象物に高い精度でインクパターンを転写することができる。
本発明によれば、所望のインクパターンを高い精度で対象物に印刷することが可能になる。
本発明の一実施の形態に係る印刷装置の模式的側面図である。 図1の印刷装置の模式的正面図である。 メインローラからワーク上にインクが転写される際のメインローラとワークとの接触状態を示す一部拡大側面図である。 2つの基準点パターン間の距離を測定する方法を説明するための図である。 図1のリニアエンコーダの基本構成および動作を説明するための模式的側面図である。 印刷プログラムに基づく処理の内容を示すフローチャートである。
以下、本発明の一実施の形態に係る印刷装置および印刷方法について、図面を参照しながら説明する。
[1]印刷装置の基本構成
図1は本発明の一実施の形態に係る印刷装置の模式的側面図であり、図2は図1の印刷装置100の模式的正面図である。図1および図2に示すように、印刷装置100は、一方向に延びるように形成された台座部1を有する。台座部1の一端には制御装置90が設けられている。
台座部1上に、直方体形状を有する2つの本体ベース2が設けられる。2つの本体ベース2は、一定の間隔を隔てて平行に並ぶように配置される。本体ベース2としては、例えば花こう岩からなる石定盤が用いられる。
2つの本体ベース2上に2本のレール3がそれぞれ取り付けられる。2本のレール3は、同じ高さで平行に並ぶように水平に固定される。2本のレール3上にテーブル4が設けられる。テーブル4はレール3が延びる方向に移動可能に構成される。また、テーブル4は上方に向く載置面4Sを有する。載置面4Sには、シート状の印刷対象物または平板状の版が載置される。シート状の印刷対象物としては、半導体基板、ガラス基板またはフレキシブル性を有する樹脂基材等が用いられる。
以下の説明では、シート状の印刷対象物をワークWと呼ぶ。また、載置面4Sに平行でかつレール3に平行な方向を印刷方向と呼ぶ。また、載置面4Sに平行な面上で印刷方向に直交する方向を幅方向と呼ぶ。
台座部1上の2つの本体ベース2の間には、テーブル駆動部5が設けられる。テーブル駆動部5は、図1に太い矢印A1で示すように、テーブル4を印刷方向に移動させる。テーブル4には、2つのレーザ変位計41およびアライメント機構(図示せず)が設けられている。アライメント機構は、例えば載置面4Sの高さおよび載置面4Sの水平方向の位置を調整可能に構成される。
図2に示すように、2つのレーザ変位計41は、載置面4Sよりも下方の位置で幅方向に並ぶようにテーブル4の正面に取り付けられる。各レーザ変位計41は、反射型のレーザ変位計であり、出射部および受光部を有する。出射部は、上方に向かってレーザ光を出射する。受光部は、上方から下方に向かって反射されたレーザ光を受光し、レーザ光が反射された位置(高さ)を示す信号を制御装置90に与える。
例えば、レーザ変位計41の上方を覆うように載置面4S上に平板を載置する。この場合、レーザ変位計41の受光部は、平板の下面から下方に向かって反射されるレーザ光を受光し、平板の下面すなわち載置面4Sの上面の高さを示す信号を制御装置90に与える。それにより、制御装置90において、載置面4Sの高さが検出される。
2つの本体ベース2のうち一方の本体ベース2上には、リニアエンコーダ6が設けられている。リニアエンコーダ6は、第1ヘッド61、第2ヘッド62および複数のリニアスケール63を含む。
第1ヘッド61および第2ヘッド62は、複数のリニアスケール63のいずれかを検出可能に構成される。より具体的には、第1ヘッド61および第2ヘッド62は、リニアスケール63の後述するスリットを検出可能に構成され、スリットを示す信号を制御装置90に与える。それにより、制御装置90において、印刷方向におけるテーブル4の位置が検出される。リニアエンコーダ6の詳細は後述する。
幅方向において台座部1を挟み込むように、2つのローラ昇降駆動部7Aが台座部1の両側面にそれぞれ取り付けられる。また、2つのローラ昇降駆動部7A上に2つのローラ支持台7Bがそれぞれ設けられる。さらに、2つのローラ支持台7B上に2つの支持板8がそれぞれ設けられる。各ローラ昇降駆動部7Aは、図1および図2に太い矢印A2で示すように、対応するローラ支持台7Bを鉛直方向に移動させる。
2つの支持板8の間で幅方向に延びるようにメインローラ10およびサブローラ20が設けられる。メインローラ10およびサブローラ20は、インクを保持可能な外周面を有する。
図1に示すように、印刷装置100を一側方から見た場合に、メインローラ10は、レール3の中央部上方に位置する。サブローラ20はメインローラ10の斜め上方に位置する。また、サブローラ20は、2つの支持板8により印刷方向へ移動可能に支持される。
2つの支持板8のうち一方の支持板8には、メインローラ回転駆動部11、サブローラ回転駆動部21およびサブローラ水平駆動部22(図1)が設けられる。メインローラ回転駆動部11はメインローラ10を回転させる。サブローラ回転駆動部21はサブローラ20を回転させる。サブローラ水平駆動部22は、図1に太い点線の矢印A3で示すように、サブローラ20を印刷方向に移動させる。
図2に示すように、2つの支持板8のうち他方の支持板8には、2つのロータリエンコーダ19,29が設けられる。一方のロータリエンコーダ19は、メインローラ10の回転軸に取り付けられ、メインローラ10の回転角度を示す信号を制御装置90に与える。他方のロータリエンコーダ29は、サブローラ20の回転軸に取り付けられ、サブローラ20の回転角度を示す信号を制御装置90に与える。
2つの支持板8の上端部をつなぐようにノズル支持部材9が設けられる。ノズル支持部材9の中央部には、ノズル昇降駆動部31が設けられる。ノズル昇降駆動部31には、幅方向に延びるノズル30が設けられる。ノズル30には、図示しない供給装置からインクが供給される。ノズル昇降駆動部31は、図1および図2に太い点線の矢印A4で示すように、ノズル30を鉛直方向に移動させる。
ノズル支持部材9は、印刷方向における複数の位置で2つの支持板8上に取り付け可能に構成される。それにより、印刷方向における複数の位置にノズル30を位置決めすることができる。例えば、メインローラ10にインクを供給する場合には、メインローラ10上にノズル30を位置決めすることができる。また、サブローラ20にインクを供給する場合には、サブローラ20上にノズル30を位置決めすることができる。
2つの支持板8の一部をつなぐように帯状板82が設けられる(図2)。帯状板82には、カメラ81が取り付けられる。カメラ81としては、例えばCCD(電荷結合素子)カメラが用いられる。カメラ81は、印刷方向に移動するテーブル4の一部を撮像可能に配置され、撮像により得られる信号を制御装置90に与える。
制御装置90は、例えばCPU(中央演算処理装置)およびメモリから構成される。メモリには、システムプログラムおよび後述する印刷プログラムが記憶されるとともに、印刷条件等の種々のデータが記憶される。CPUは、メモリに記憶されたシステムプログラムおよび後述する印刷プログラムを実行し、印刷装置100の各構成要素の動作を制御する。
本実施の形態においては、制御装置90は、上記のテーブル駆動部5およびメインローラ回転駆動部11をそれぞれ独立制御可能に構成されている。例えば、制御装置90は、ロータリエンコーダ19の出力に基づいてメインローラ回転駆動部11をフィードバック制御することにより、独立してメインローラ10の回転量および周速度を調整することができる。また、制御装置90は、リニアエンコーダ6の出力に基づいてテーブル駆動部5をフィードバック制御することにより、独立してテーブル4の移動距離および移動速度を調整することができる。それにより、印刷速度等の印刷条件の調整の自由度が向上される。なお、制御装置90は、CPUおよびメモリに代えてマイクロコンピュータにより構成されてもよい。
[2]印刷装置によるワークの印刷
印刷装置100によるワークWの印刷時には、最初に、メインローラ10の外周面上にワークWへ印刷されるべきパターンのインクが塗布される。メインローラ10へのインクの塗布方法には種々の方法を用いることができる。
例えば、フレキソ印刷を行う場合には、メインローラ10の外周面上に弾性を有する凸版を取り付ける。この状態で、ノズル30からサブローラ20の外周面上にインクを塗布した後、サブローラ20の外周面に保持されるインクをメインローラ10の外周面上の凸版に転写させる。それにより、凸版の凸部上にワークWへ印刷されるべきパターンのインクが保持される。弾性を有する凸版は、例えば樹脂により形成される。
また、グラビアオフセット印刷方法を行う場合には、サブローラ20の外周面上に弾性を有する凹版を取り付けるとともに、メインローラ10の外周面上に弾性を有するオフセット版を取り付ける。この状態で、ノズル30からサブローラ20上の凹版にインクを供給した後、凹版の凹部内に保持されるインクをメインローラ10上のオフセット版に転写させる。それにより、オフセット版上にワークWへ印刷されるべきパターンのインクが保持される。弾性を有する凹版およびオフセット版は、例えば樹脂により形成される。
上記の例の他、平板状の凹版または弾性を有する凹版を用いてオフセット印刷を行ってもよい。これらの凹版は、例えばソーダガラス、石英、サファイアおよびシリコンのうち少なくとも1つを基材として含む材料により形成される。
本実施の形態においては、版の凸部における平坦度は20μm以下であることが好ましい。また、版の凹部の深さ、すなわち凹部の底部と凸部の上面との間の距離は10μm以下であることが好ましい。これらの場合、ワークWに印刷されるインクパターンの寸法精度が向上する。
ここで、図1に示すように、印刷方向においてメインローラ10からサブローラ20の反対側に向かう方向を前方と呼び、メインローラ10からサブローラ20に向かう方向を後方と呼ぶ。
メインローラ10の外周面にインクが保持されると、幅方向におけるメインローラ10と載置面4Sとの間隔が後述する高さ差分値HD(図3)で一定となるようにメインローラ10の両端部の高さがそれぞれ調整される。この調整は、例えば図2のレーザ変位計41をメインローラ10の下方に配置し、メインローラ10の下端部の高さを検出しつつ2つのローラ昇降駆動部7Aをそれぞれ制御することにより行われる。なお、メインローラ10の高さ調整は、メインローラ10の外周面にインクを塗布する前に行われてもよい。
その後、テーブル4がメインローラ10の後方に配置された状態で、載置面4S上にワークWが載置される。続いて、テーブル駆動部5によりテーブル4がメインローラ10の後方から前方に移動されるとともに、メインローラ回転駆動部11によりメインローラ10が回転される。このとき、メインローラ10の外周面の一部がワークWの上面に接触することにより、メインローラ10の外周面に保持されたインクがワークWにインクパターンとして転写される。
図3は、メインローラ10からワークW上にインクが転写される際のメインローラ10とワークWとの接触状態を示す一部拡大側面図である。図3に示すように、メインローラ10は、ローラ本体部12およびブランケット13を含む。ブランケット13は、弾性を有し、ローラ本体部12の外周面を覆うように設けられる。
ブランケット13の外周面に保持されるインクをワークW上へ転写するためには、ブランケット13の表面を一定の圧力でワークWの上面に押し当てる必要がある。この場合、ブランケット13とワークWとの接触部で、ブランケット13が変形する。それにより、メインローラ10の回転軸RAを通る鉛直軸VA上では、回転軸RAとワークWの上面の位置Pとの間の距離Dがメインローラ10の半径Rよりも一定距離短くなる。この一定距離を押し込み量DRと呼ぶ。
押し込み量DRは印刷条件として予め設定されている。ワークWの厚みと押し込み量DRとを考慮して、インクの転写時におけるメインローラ10とテーブル4との間隔が高さ差分値HDとして設定される。
ここで、回転軸RAに直交する面内でメインローラ10のワークWに接触する部分の長さをL1とする。また、回転軸RAに直交する面内でメインローラ10のワークWに接触する部分の両端と回転軸RAとを結ぶ2本の直線間の角度をαとする。さらに、メインローラ10がワークWに接触していないと仮定した場合に、中心角をαとするメインローラ10の外周面上の円弧の長さをL2とする(図3の点線部参照)。また、以下の説明では、長さL1と長さL2との差分を周長差と呼ぶ。
押し込み量DRの大きさによっては、周長差が著しく大きくなる可能性がある。例えば、直径300mmのメインローラ10からワークWにインクを転写する場合、長さL1が2.0mmであるときの押し込み量DRは3.33μmとなり、周長差は0.016μmとなる。これに対して、長さL1が5.0mmであるときの押し込み量DRは20.83μmとなり、周長差は0.237μmとなる。このように、周長差は、長さL1および押し込み量DRが大きくなるにつれて大きくなる。すなわち、周長差は、ワークWに接触するメインローラ10の外周面の面積が大きくなるにつれて大きくなる。
メインローラ10の外周面に塗布されたインクをワークWに転写するために、例えば位置Pにおけるメインローラ10の周速度とテーブル4の移動速度とを等しくすることが考えられる。しかしながら、この場合、上記の周長差が大きくなるにつれてメインローラ10からワークWに転写されるインクパターンの寸法が設計寸法から大きくずれる。そのため、ワークWに印刷されるインクパターンの寸法精度が低下する。
このようなインクパターンの寸法精度の低下を抑制するために、本実施の形態に係る印刷装置100においては、インクパターンに少なくとも2つの基準パターンが含められる。2つの基準パターンは、印刷方向におけるワークWの両端部近傍に位置するように設定される。
2つの基準パターンを含むインクパターンが一のワークWに印刷されると、一のワークW上で印刷方向における2つの基準パターン間の距離が測定される。2つの基準パターン間の距離の測定方法については後述する。
この場合、測定された2つの基準パターン間の距離と設計寸法上の2つの基準パターン間の距離(以下、設計値と呼ぶ。)との差分値が、実際に印刷されたインクパターンの寸法と設計寸法との印刷方向の誤差を表す。
そこで、算出された差分値に基づいて、他のワークWへ転写されることになるインクパターンの寸法と設計寸法との誤差が0となるかまたは0に近づくように、メインローラ10の周速度とテーブル4の移動速度との速度差が決定される。例えば、測定された距離が設計値よりも小さい場合には、メインローラ10の周速度がテーブル4の移動速度よりも小さくなるように、速度差が決定される。一方、測定された距離が設計値よりも大きい場合には、メインローラ10の周速度がテーブル4の移動速度よりも大きくなるように、速度差が決定される。
より具体的には、測定された距離が90mmであり設計値が100mmである場合には、位置Pにおけるメインローラ10の周速度をテーブル4の移動速度の0.9倍となるように設定する。また、測定された距離が110mmであり設計値が100mmである場合には、位置Pにおけるメインローラ10の周速度をテーブル4の移動速度の1.1倍となるように設定する。
その後、決定された速度差に基づくメインローラ10の周速度およびテーブル4の移動速度で他のワークWについてインクパターンの印刷を行う。それにより、他のワークWに印刷されるパターンの寸法精度が向上する。
2つの基準パターン間の距離を測定する方法について説明する。2つの基準パターン間の距離は、図1のカメラ81を用いて測定される。ここで、カメラ81は、テーブル4が印刷方向に移動することによりワークW上に印刷された2つの基準パターンが通過する軌道上の固定位置に撮像領域を有する。また、カメラ81の撮像領域にはカメラ81に固有の原点位置が設定されている。
図4は、2つの基準点パターン間の距離を測定する方法を説明するための図である。図4(a),(b)にカメラ81、テーブル4およびレール3の側面図が示される。図4(c)にワークWの一部拡大平面図が示される。
まず、図4(a)に示すように、ワークW上の一方の基準パターンRP1がカメラ81の撮像領域81r内に位置するようにテーブル4を印刷方向に移動させる。また、一方の基準パターンRP1をカメラ81により撮影する。さらに、印刷方向における原点81Xからの基準パターンRP1のずれD11を、撮像により得られる画像に基づいて算出する。図4(c)においては、基準パターンRP1が撮像されるときのカメラ81の撮像領域81rが一点鎖線で示され、カメラ81の原点81Xが黒い丸印で示される。
続いて、図4(b)に示すように、ワークW上の他方の基準パターンRP2がカメラ81の撮像領域81r内に位置するようにテーブル4を印刷方向に移動させる。また、他方の基準パターンRP2をカメラ81により撮影する。さらに、印刷方向における原点81Xからの基準パターンRP2のずれD12を、撮像により得られる画像に基づいて算出する。図4(c)においては、基準パターンRP2が撮像されるときのカメラ81の撮像領域81rが点線で示され、カメラ81の原点81Xが黒い三角印で示される。
基準パターンRP1を撮像したときのテーブル4の印刷方向の位置P1と、基準パターンRP1を撮像したときのテーブル4の印刷方向の位置P2とは、リニアエンコーダ6からの出力に基づいて検出することができる。それにより、位置P1,P2の検出に基づいて位置P1,P2間の距離D1を算出することができる。この場合、図4(c)に示すように、算出された距離D1と上記のずれD11,D12とに基づいて2つの基準パターンRP1,RP2間の距離を算出することができる。
[3]リニアエンコーダの構成
図5は、図1のリニアエンコーダ6の基本構成および動作を説明するための模式的側面図である。上記のように、リニアエンコーダ6は、第1ヘッド61、第2ヘッド62および複数のリニアスケール63を含む。第1ヘッド61および第2ヘッド62は、印刷方向に並ぶようにテーブル4に取り付けられるとともに図1の制御装置90に電気的に接続される。
第1ヘッド61および第2ヘッド62としては、例えば透過型の光学式ヘッドが用いられる。この場合、第1ヘッド61は投光部61aおよび受光部61bを有し、第2ヘッド62は投光部62aおよび受光部62bを有する。
投光部61a,62aと受光部61b,62bとの間を通って印刷方向に並ぶように、複数(本例では3本)のリニアスケール63が一定間隔で配置される。各リニアスケール63は、例えば図1の本体ベース2に固定される。
リニアスケール63は、例えばガラスにより形成され、有効検出領域63aと無効検出領域63bとを有する。無効検出領域63bは、リニアスケール63の両端部から中心に向かって一定距離の範囲に設定される。有効検出領域63aは、無効検出領域63b以外の範囲に設定される。有効検出領域63aにおいては、長手方向に微小ピッチで並ぶように複数のスリットが格子目盛りとして形成されている。
第1ヘッド61においては、印刷装置100の電源がオンされることにより、投光部61aから受光部61bに向かってレーザ光が出射される。第1ヘッド61がリニアスケール63の位置にある場合、受光部61bは投光部61aから出射され、リニアスケール63を透過したレーザ光を受光する。一方、第1ヘッド61がリニアスケール63の位置にない場合、受光部61bは投光部61aから出射されたレーザ光を直接受光する。また、受光部61bは受光量に応じた信号を制御装置90に与える。第2ヘッド62においても、印刷装置100の電源がオンされることにより第1ヘッド61と同様の動作が行われる。
第1ヘッド61および第2ヘッド62がリニアスケール63の有効検出領域63a上を一定速度で移動する場合、第1ヘッド61および第2ヘッド62からそれぞれスリットを示すパルスが一定周期で出力される。一方、第1ヘッド61および第2ヘッド62が無効検出領域63bを通過する場合および隣り合うリニアスケール63間の隙間を通過する場合、第1ヘッド61および第2ヘッド62からパルスは出力されない。
したがって、制御装置90は、テーブル4が印刷方向に移動する際に、第1ヘッド61および第2ヘッド62から出力される信号に基づいて第1ヘッド61および第2ヘッド62がそれぞれ有効検出領域63aにあるか否かを判定することができる。
ここで、印刷方向における第1ヘッド61と第2ヘッド62との間の距離SD、および隣り合うリニアスケール63間の距離は、第1ヘッド61および第2ヘッド62の少なくとも一方が複数のリニアスケール63のいずれかのスリットが検出されるように設定される。例えば、第1ヘッド61と第2ヘッド62との間の距離SDは、隣り合うリニアスケール63の有効検出領域63a間の距離よりも大きくなるように設定される。
制御装置90においては、第1ヘッド61および第2ヘッド62のうち一方から出力されるパルスがカウントされる。テーブルの移動方向およびカウント数に基づいて印刷方向におけるテーブル4の位置が検出される。
図5(a)の例では、第1ヘッド61および第2ヘッド62が、一のリニアスケール63の有効検出領域63aの位置にある。前方に向かってテーブル4が一定速度で移動を開始すると、制御装置90は、図5(a)にハッチングで示すように、例えば第2ヘッド62から出力されるパルスをカウントする。また、制御装置90は、カウント数に基づいてテーブル4の現在位置を検出する。
テーブル4がさらに前方に移動すると、第2ヘッド62が一のリニアスケール63の有効検出領域63aの位置にある状態で、第1ヘッド61が一のリニアスケール63と次のリニアスケール63との間を通過する。その後、第1ヘッド61は次のリニアスケール63の無効検出領域63bを通って有効検出領域63aの位置まで移動する。
第1ヘッド61が次のリニアスケール63の有効検出領域63aの位置を移動することにより、第1ヘッド61から制御装置90に一定周期のパルスが与えられる。それにより、制御装置90は第1ヘッド61が有効検出領域63aの位置にあることを判定する。そこで、制御装置90は、図5(b)にハッチングで示すように、第2ヘッド62に代えて第1ヘッド61から出力されるパルスをカウントする。また、制御装置90は、カウント数に基づいてテーブル4の現在位置を検出する。
テーブル4がさらに前方に移動すると、第1ヘッド61が次のリニアスケール63の有効検出領域63aの位置にある状態で、第2ヘッド62が一のリニアスケール63と次のリニアスケール63との間を通過する。その後、第2ヘッド62は次のリニアスケール63の無効検出領域63bを通って有効検出領域63aの位置まで移動する。
第2ヘッド62が次のリニアスケール63の有効検出領域63aの位置を移動することにより、第2ヘッド62から制御装置90に一定周期のパルスが与えられる。それにより、制御装置90は、第2ヘッド62が有効検出領域63aの位置にあることを判定する。そこで、制御装置90は、図5(c)にハッチングで示すように、第1ヘッド61に代えて第2ヘッド62から出力されるパルスをカウントする。また、制御装置90は、カウント数に基づいてテーブル4の現在位置を検出する。
1.0μm以下の精度でテーブル4の位置を検出するためには、高い寸法精度を有するリニアスケールを用いる必要がある。リニアスケールの長さが大きくなると、線膨張係数等の物性に起因して発生する寸法誤差が大きくなる。そのため、高い寸法精度を有するリニアスケールを一体的に作製可能な長さには限界がある。また、複数のリニアスケールを溶接等により互いに接続すると、接続部に歪みが生じる。そのため、リニアスケールの長さを大きくしつつ高い検出精度を得るには限界がある。
これに対して、上記のリニアエンコーダ6によれば、第1ヘッド61および第2ヘッド62の少なくとも一方により複数のリニアスケール63のいずれかのスリットが検出される。したがって、リニアスケール63の数を増やすことにより、各リニアスケール63の長さを大きくすることなくテーブル4の位置の検出可能な範囲を拡大することができる。したがって、大きなワークWに高い精度でインクパターンを転写することができる。
本実施の形態では、上記のように、ワークWに印刷される2つの基準パターンRP1,RP2(図4(c))間の距離が、リニアエンコーダ6によるテーブル4の位置P1,P2(図4(a),(b))の検出に基づいて算出される。この場合、位置P1,P2が高い精度で検出されるので、基準パターンRP1,RP2間の距離を正確に測定することが可能になる。したがって、測定された2つの基準パターンRP1,RP2間の距離と設計値との差分値をより正確に求めることができる。
[4]印刷プログラム
図6は、印刷プログラムに基づく処理の内容を示すフローチャートである。初期状態においては、ワークWの形状等に応じて予め種々の印刷条件が制御装置90のメモリに記憶されている。また、鉛直方向におけるメインローラ10とテーブル4の載置面4Sとの間の距離は、印刷条件として予め設定されている高さ差分値HDに調整されている。さらに、メインローラ10よりも後方の位置で、テーブル4の載置面4S上に一のワークWが載置されている。以下の説明では、図3の位置Pにおけるメインローラ10の周速度を「周速度」と呼び、印刷方向におけるテーブル4の移動速度を「移動速度」と呼ぶ。
印刷処理が開始されると、制御装置90は、メインローラ10の回転動作とテーブル4の移動動作との同期をとるために、周速度と移動速度とを等しい値に設定する(ステップS11)。また、制御装置90は、設定された周速度および移動速度で一のワークWにインクパターンを印刷する(ステップS12)。すなわち、制御装置90は、周速度と移動速度との速度差を0に制御する。
上記のように、ワークWに印刷されるインクパターンには、ワークWの両端部近傍に印刷される2つの基準パターンが含まれる。そこで、制御装置90は、印刷方向における2つの基準パターン間の距離を測定する(ステップS13)。また、制御装置90は、測定された2つの基準パターン間の距離と設計値との差分を算出する(ステップS14)。
さらに、制御装置90は、差分値が予め定められたしきい値よりも大きいか否かを判定する(ステップS15)。しきい値は、印刷条件としてインクパターンの公差等を考慮して設定されている。なお、本ステップS15の処理は、行われなくてもよい。
制御装置90は、差分値がしきい値よりも大きい場合に、算出された差分値に基づいてメインローラ10の周速度とテーブル4の移動速度との速度差を決定し、決定された速度差に基づいて周速度および移動速度を再設定する(ステップS16)。この速度差は、上記のように、他のワークWへ転写されることになる2つの基準パターン間の距離と設計値との差分値が0となるかまたは0に近づくように決定される。
次に、制御装置90は、テーブル4を初期状態の位置に戻すとともに図示しないワークWの載置装置を制御することにより載置面4S上のワークWを他のワークWに交換する(ステップS17)。上記のステップS15において、制御装置90は、差分値がしきい値以下である場合には、既に設定されている周速度および移動速度を変更することなくステップS17の処理を実行する。
ステップS17の処理後、制御装置90は、設定されている周速度および移動速度で他のワークWにインクパターンを印刷する(ステップS18)。
次に、制御装置90は、印刷処理を終了すべきか否かを判定する(ステップS19)。例えば、ワークWの数が予め定められている場合、制御装置90は、印刷処理の開始後に印刷されたワークWの数をカウントすることにより、カウント数に基づいて印刷処理を終了すべきであるか否かを判定する。また、制御装置90は、使用者による図示しない入力装置の操作により印刷処理の終了が指令された場合に、印刷処理を終了すべきであると判定してもよい。
制御装置90は、印刷処理を終了すべきでないと判定した場合に上記のステップS13の処理を実行する。なお、制御装置90は、印刷処理を終了すべきでないと判定した場合に上記のステップS17の処理を実行してもよい。この場合、ワークWにインクパターンが転写されるごとにステップS13〜S16の処理が繰り返されない。それにより、複数のワークWにインクパターンを転写する際に、処理時間が短縮される。
上記の印刷処理においては、制御装置90は、ステップS18の処理後に特定数のワークWが印刷されたか否の判定を行うとともに、特定数のワークWが印刷された場合にのみステップS13の処理を実行してもよい。この場合、例えば、印刷条件として特定数「1,2,3,4,5」が設定される場合には、1番目から5番目のワークWの印刷時についてのみステップS13〜S16の処理が繰り返される。
[5]効果
本実施の形態に係る印刷装置100においては、最初にメインローラ10の周速度とテーブル4の移動速度とが等しい値に設定される。それにより、周速度と移動速度との速度差が0となるようにメインローラ回転駆動部11およびテーブル駆動部5が制御されつつ、メインローラ10から一のワークWにインクパターンが転写される。
その後、一のワークWに転写されたインクパターンの2つの基準パターンRP1,RP2間の距離が測定される。測定された2つの基準パターンRP1,RP2間の距離と設計値との差分が算出される。算出された差分値に基づいて、他のワークWへ転写されることになる2つの基準パターンRP1,RP2間の距離と設計値との差分値が0となるかまたは0に近づくように、周速度と移動速度との速度差が決定され、決定された速度差に基づいて周速度および移動速度が再設定される。
決定された速度差に基づいてメインローラ回転駆動部11およびテーブル駆動部5が制御されることにより、再設定された周速度および移動速度で他のワークWにインクパターンが転写される。それにより、メインローラ10から他のワークWへ転写される2つの基準パターンRP1,RP2間の距離と設計値との誤差が0になるかまたは0に近づく。すなわち、一のワークWに転写されるインクパターンに比べて、他のワークWに転写されるインクパターンの精度が高くなる。それにより、所望のインクパターンを高い精度でワークWに印刷することが可能になる。
[6]他の実施の形態
(1)上記実施の形態では、第1ヘッド61および第2ヘッド62として透過型の光学式ヘッドが用いられるが、本発明はこれに限定されない。第1ヘッド61および第2ヘッド62として透過型の光学式ヘッドに代えて反射型の光学式ヘッドが用いられてもよい。
また、第1ヘッド61および第2ヘッド62として透過型の光学式ヘッドに代えて磁気式ヘッドが用いられてもよい。この場合、第1ヘッド61および第2ヘッド62にはそれぞれ磁極検出部が設けられる。また、リニアスケール63として、例えば磁性材料からなる長尺状の磁気スケールが用いられる。磁気スケールにおいては、例えば長手方向に一定ピッチでN極およびS極が交互に着磁される。N極およびS極にそれぞれ着磁された部分が磁気目盛りとして機能する。複数の磁気スケールのいずれかが第1ヘッド61および第2ヘッド62のうち少なくとも一方の磁極検出部により検出される。
さらに、第1ヘッド61および第2ヘッド62として磁気式ヘッドが用いられる場合には、リニアスケール63として電磁誘導式スケールが用いられてもよい。電磁誘導式スケールにおいては、例えば長手方向に一定ピッチで複数のコイルが配置される。各コイルが目盛りとして機能する。複数の電磁誘導式スケールのいずれかが第1ヘッド61および第2ヘッド62のうち少なくとも一方の磁極検出部により検出される。
これらの構成においても、第1ヘッド61および第2ヘッド62が図5の例と同様に配置されることにより、第1ヘッド61および第2ヘッド62の少なくとも一方により複数のリニアスケール63のうちのいずれかが検出される。したがって、各リニアスケール63の長さを大きくすることなくテーブル4の位置の検出可能な範囲を拡大することができる。
(2)上記実施の形態では、第1ヘッド61、第2ヘッド62および複数のリニアスケール63を含むリニアエンコーダ6が用いられるが、本発明はこれに限定されない。リニアエンコーダ6としては、第1ヘッド61、第2ヘッド62および複数のリニアスケール63を含む構成に代えてワイヤー式のリニアエンコーダが用いられてもよい。
(3)上記の実施の形態においては、ノズル支持部材9は、印刷方向における複数の位置で2つの支持板8上に取り付け可能に構成される。ノズル支持部材9は、上記の例に限らず、2つの支持板8上で印刷方向に移動可能に構成されてもよい。この場合、2つの支持板8のうち少なくとも一方にノズル支持部材9を印刷方向に移動させる駆動部が設けられてもよい。それにより、メインローラ10へのインクの塗布方法の種類に応じてノズル30の位置を容易に変更することが可能となる。
(4)上記の実施の形態においては、印刷装置100はサブローラ20を有するが、本発明はこれに限定されない。印刷装置100にはサブローラ20が設けられなくてもよい。
(5)上記の実施の形態においては、テーブル4に2つのレーザ変位計41が設けられるが、本発明はこれに限定されない。メインローラ10の下端部およびテーブル4の載置面4Sが水平に維持されるのであれば、テーブル4には1つのレーザ変位計41のみが設けられてもよい。
[7]請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各構成要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
上記実施の形態においては、ワークWが対象物の例であり、印刷装置100が印刷装置の例であり、載置面4Sが載置面の例であり、テーブル4がテーブルの例であり、印刷方向が一方向の例であり、テーブル駆動部5が移動駆動部の例であり、メインローラ10が転写ローラの例であり、メインローラ回転駆動部11が回転駆動部の例であり、制御装置90が制御部の例である。
また、リニアエンコーダ6、カメラ81および制御装置90がパターン測定部の例であり、一のワークWが第1の対象物の例であり、他のワークWが第2の対象物の例であり、設計値が目標値の例であり、ステップS11,S12の処理が第1の制御の例であり、ステップS13の処理が第2の制御の例であり、ステップS16,S18の処理が第2の制御の例である。
また、リニアエンコーダ6および制御装置90がテーブル位置検出部の例であり、複数のリニアスケール63が複数のリニアスケールの例であり、第1ヘッド61が第1の検出部の例であり、第2ヘッド62が第2の検出部の例であり、制御装置90が位置算出部の例であり、基準パターンRP1が第1の基準パターンの例であり、基準パターンRP2が第2の基準パターンの例である。
また、カメラ81が基準パターン検出部の例であり、制御装置90が距離算出部の例であり、撮像領域81rが検出領域の例であり、位置P1が第1の位置の例であり、位置P2が第2の位置の例である。
請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の構成要素を用いることもできる。
[8]参考形態
第1の参考形態に係る印刷装置は、シート状の対象物に印刷を行う印刷装置であって、対象物が載置される載置面を有するテーブルと、テーブルを載置面に平行な一方向に移動させる移動駆動部と、インクを保持可能な外周面を有する転写ローラと、転写ローラを回転させる回転駆動部と、転写ローラの外周面が対象物に接触する状態で転写ローラに保持されたインクがテーブル上の対象物にインクパターンとして転写されるように移動駆動部および回転駆動部を制御する制御部とを備え、制御部は、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を調整可能に構成される。
その印刷装置においては、テーブルの載置面上に対象物が載置され、転写ローラの外周面にインクが保持される。転写ローラの外周面が対象物に接触する状態で転写ローラに保持されたインクがテーブル上の対象物にインクパターンとして転写される。
上記の構成によれば、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を調整することができる。それにより、対象物に印刷されるインクパターンの寸法を設計寸法等の目標値と一致させることまたは目標値に近づけることができる。したがって、所望のインクパターンを高い精度で対象物に印刷することが可能になる。
第2の参考形態に係る印刷方法は、シート状の対象物に印刷を行う印刷方法であって、対象物が載置されたテーブルを一方向に移動させるステップと、インクを保持する外周面を有する転写ローラを回転させるステップと、回転される転写ローラの外周面と一方向に移動される対象物とを接触させることにより転写ローラの外周面に保持されたインクを対象物にインクパターンとして転写するステップと、転写するステップにおける転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を調整するステップとを備える。
その印刷方法においては、回転される転写ローラの外周面と一方向に移動される対象物とが接触されることにより、転写ローラの外周面に保持されたインクが対象物にインクパターンとして転写される。
上記の構成によれば、転写ローラの周速度とテーブルの移動速度との差を調整することができる。それにより、対象物に印刷されるインクパターンの寸法を設計寸法等の目標値と一致させることまたは目標値に近づけることができる。したがって、所望のインクパターンを高い精度で対象物に印刷することが可能になる。
本発明は、印刷に有効に利用することができる。
1 台座部
2 本体ベース
3 レール
4 テーブル
4S 載置面
5 テーブル駆動部
6 リニアエンコーダ
7A ローラ昇降駆動部
7B ローラ支持台
8 支持板
9 ノズル支持部材
10 メインローラ
11 メインローラ回転駆動部
12 ローラ本体部
13 ブランケット
19,29 ロータリエンコーダ
20 サブローラ
21 サブローラ回転駆動部
22 サブローラ水平駆動部
30 ノズル
31 ノズル昇降駆動部
41 レーザ変位計
61 第1ヘッド
61a,62a 投光部
61b,62b 受光部
62 第2ヘッド
63 リニアスケール
63a 有効検出領域
63b 無効検出領域
81 カメラ
81X 原点
81r 撮像領域
82 帯状板
90 制御装置
100 印刷装置
DR 押し込み量
HD 高さ差分値
R 半径
RA 回転軸
RP1,RP2 基準パターン
VA 鉛直軸
W ワーク

Claims (7)

  1. シート状の対象物に印刷を行う印刷装置であって、
    前記対象物が載置される載置面を有するテーブルと、
    前記テーブルを前記載置面に平行な一方向に移動させる移動駆動部と、
    インクを保持可能な外周面を有する転写ローラと、
    前記転写ローラを回転させる回転駆動部と、
    前記転写ローラの一端部および他端部をそれぞれ昇降させる第1および第2のローラ昇降駆動部と、
    前記テーブルの載置面に対する前記転写ローラの下端部の第1の部分の高さを検出する第1の高さ検出手段と、
    前記テーブルの載置面に対する前記転写ローラの下端部の第2の部分の高さを検出する第2の高さ検出手段と、
    前記対象物に転写されたインクパターンの前記一方向の長さを測定するパターン測定部と、
    前記転写ローラの前記外周面が前記対象物に接触する状態で前記転写ローラに保持されたインクが前記テーブル上の前記対象物にインクパターンとして転写されるように前記移動駆動部および前記回転駆動部を制御する制御部とを備え、
    前記制御部は、
    前記転写ローラの周速度と前記テーブルの移動速度との差を調整可能に構成されるとともに、
    前記第1の高さ検出手段により検出された前記第1の部分の高さおよび前記第2の高さ検出手段により検出された前記第2の部分の高さに基づいて、前記転写ローラの前記下端部と前記載置面との間隔が一定となるように前記第1および第2のローラ昇降駆動部をそれぞれ制御する昇降制御と、
    前記昇降制御後でかつ前記対象物としての第1の対象物へのインクパターンの転写時に、前記転写ローラの周速度と前記テーブルの移動速度との差を第1の速度差に制御する第1の制御と、
    前記第1の対象物に転写されたインクパターンの長さを測定するように前記パターン測定部を制御する第2の制御と、
    前記対象物としての第2の対象物へのインクパターンの転写時に、前記転写ローラの周速度と前記テーブルの移動速度との差を第2の速度差に制御する第3の制御とを実行可能に構成され、
    前記第2の速度差は、前記第2の制御により測定された長さと予め定められた目標値との誤差に基づいて、前記第2の対象物へ転写されることになるインクパターンの長さと前記目標値との誤差が0となりまたは0に近づくように決定される、印刷装置。
  2. 前記制御部は、前記移動駆動部および前記回転駆動部をそれぞれ独立制御可能に構成される、請求項1記載の印刷装置。
  3. 前記制御部は、前記第2の制御により測定された長さが前記目標値よりも小さい場合に前記転写ローラの周速度が前記テーブルの移動速度よりも小さくなるように前記第2の速度差を決定し、前記第2の制御により測定された長さが前記目標値よりも大きい場合に前記転写ローラの周速度が前記テーブルの移動速度よりも大きくなるように前記第2の速度差を決定する、請求項1または2記載の印刷装置。
  4. 前記一方向における前記テーブルの位置を検出するためのテーブル位置検出部をさらに備え、
    前記テーブル位置検出部は、
    前記一方向に並びかつ前記一方向に延びるように配置される複数のリニアスケールと、
    前記テーブルとともに移動するとともに各リニアスケールを検出可能に構成された第1および第2の検出部と、
    前記第1および第2の検出部の少なくとも一方による前記複数のリニアスケールのいずれかの検出に基づいて前記テーブルの位置を算出する位置算出部とを含み、
    前記第1および第2の検出部の少なくとも一方が前記複数のリニアスケールのいずれかを検出することができるように、前記第1および第2の検出部は、前記一方向において離間するように配置される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の印刷装置。
  5. 前記対象物に転写されるインクパターンは、前記一方向に並ぶ第1および第2の基準パターンを含み、
    前記パターン測定部は、
    前記第1および第2の基準パターンを検出する基準パターン検出部と、
    前記第1および第2の基準パターン間の距離をインクパターンの前記一方向の長さとして算出する距離算出部とを含み、
    前記基準パターン検出部は、前記テーブルが前記一方向に移動することにより前記第1および第2の基準パターンが通過する軌道上の固定位置に検出領域を有し、
    前記距離算出部は、前記第1の基準パターンが検出されるときに前記テーブル位置検出部により検出される前記テーブルの第1の位置と前記第2の基準パターンが検出されるときに前記テーブル位置検出部により検出される前記テーブルの第2の位置とに基づいて、前記第1および第2の基準パターン間の距離を算出する、請求項4記載の印刷装置。
  6. シート状の対象物に印刷を行う印刷方法であって、
    テーブルの載置面上に前記対象物が載置された状態で前記テーブルを前記載置面に平行な一方向に移動させるステップと、
    インクを保持する外周面を有する転写ローラを回転させるステップと、
    前記転写ローラの一端部および他端部をそれぞれ昇降させるステップと、
    回転される前記転写ローラの外周面と前記一方向に移動される前記対象物とを接触させることにより前記転写ローラの外周面に保持されたインクを前記対象物にインクパターンとして転写するステップと、
    前記昇降させるステップの後、前記転写するステップにおける前記転写ローラの周速度と前記テーブルの移動速度との差を調整するステップとを備え、
    前記昇降させるステップは、
    前記テーブルの載置面に対する前記転写ローラの下端部の第1の部分の高さを検出するステップと、
    前記テーブルの載置面に対する前記転写ローラの下端部の第2の部分の高さを検出するステップと、
    前記検出された前記第1および第2の部分の高さに基づいて、前記転写ローラの前記下端部と前記載置面との間隔が一定となるように前記転写ローラの一端部および他端部をそれぞれ昇降させるステップとを含み、
    前記調整するステップは、
    前記対象物としての第1の対象物へのインクパターンの転写時に、前記転写ローラの周速度と前記テーブルの移動速度との差を第1の速度差に制御する第1のステップと、
    前記第1の対象物に転写されたインクパターンの前記一方向の長さを測定する第2のステップと、
    前記第2のステップの後、前記対象物としての第2の対象物へのインクパターンの転写時に、前記転写ローラの周速度と前記テーブルの移動速度との差を第2の速度差に制御する第3のステップとを含み、
    前記第2の速度差は、前記第2のステップにより測定された長さと予め定められた目標値との誤差に基づいて、前記第2の対象物へ転写されることになるインクパターンの長さと前記目標値との誤差が0となりまたは0に近づくように決定される、印刷方法。
  7. 前記テーブルを一方向に移動させるステップは、
    前記一方向に移動する前記テーブルの位置を検出するステップと、
    検出された前記テーブルの位置に基づいて前記テーブルの移動距離を調整するステップとを含み、
    前記テーブルの位置を検出するステップは、
    前記一方向に並びかつ前記一方向に延びるように配置される複数のリニアスケールのいずれかを、前記一方向において離間するように配置された第1および第2の検出部の少なくとも一方により検出するステップと、
    前記第1および第2の検出部の少なくとも一方による前記複数のリニアスケールのいずれかの検出に基づいて前記テーブルの位置を算出するステップとを含む、請求項6記載の印刷方法。
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JPS5369297A (en) * 1976-12-02 1978-06-20 Starlite Ind Manufacture of polyimide compound
JPH0970955A (ja) * 1995-09-04 1997-03-18 Toshiba Electron Eng Corp オフセット印刷装置および印刷方法
JP4885670B2 (ja) * 2005-09-29 2012-02-29 株式会社ミツトヨ アブソリュート型リニアエンコーダ
JP2009063437A (ja) * 2007-09-06 2009-03-26 Yamaha Motor Co Ltd リニアエンコーダ装置、リニアモータ装置および単軸ロボット
JP5463737B2 (ja) * 2009-06-02 2014-04-09 株式会社Ihi オフセット印刷方法及び装置
KR101733585B1 (ko) * 2009-07-28 2017-05-11 삼성디스플레이 주식회사 잉크 패턴 형성 방법 및 잉크 패턴 인쇄 장치
JP5473858B2 (ja) * 2010-10-22 2014-04-16 阪本 順 印刷装置および印刷方法
JP2014076622A (ja) * 2012-10-11 2014-05-01 Toppan Printing Co Ltd 印刷機及び周速度補正方法

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