JP6401036B2 - 磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ - Google Patents
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Description
しかしながら、MRAMの基本素子が磁性体の自発磁化の方向で情報を記憶しているため、MRAM素子の反転磁界強度である10〜50[Oe]程度の外部磁界が照射されると記憶情報が消されたり、書き換えられたりする可能性がある。
特許文献1に記載の磁気不揮発性メモリ素子の構造を図13に示す。図13において、磁気シールドパッケージ10内に、MRAM素子11が、ワイヤ12でリードフレーム13に結線されており、MRAM素子11の周囲は軟磁性材料を含んだ封止樹脂14によって封止されている。この磁気シールドパッケージ10は、リードフレーム13から延びるリード13aで基板20に接続されている。
磁気不揮発性メモリ素子11はワイヤ12でリードフレーム13に結線されている。そして、MRAM素子11は、その周囲全体が軟磁性金属または軟磁性合金からなる軟磁性材料を用いて形成された成形体同士を接着してなる磁気的に連続した磁気シールド部材14に囲まれて、磁気的に密閉状態で配置されている。この磁気シールド構造は、MRAMチップを透磁率の低い材料(空気)で覆い、その外周を透磁率の高い軟磁性体材料で覆う構造である。この場合、静磁界・低周波磁場は 透磁率の高い軟磁性材料を通り、MRAMチップと軟磁性材料の間にある透磁率の低い材料がMRAM側への磁束の進入を阻む為、MRAMチップに対してより高いシールド効果が得られる。
(1)磁気不揮発性メモリ素子に対する外部磁界の影響を抑制する磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージであって、
軟磁性材料からなる支持板と、
前記支持板上に形成された第1の絶縁材料層と、
前記第1の絶縁材料層上に素子面と反対側の面が固着された磁気不揮発性メモリ素子と、
前記磁気不揮発性メモリ素子及びその周辺を封止する第2の絶縁材料層と、
前記第2の絶縁材料層内に設けられた配線層と、
前記第2の絶縁材料層内に設けられた軟磁性材料からなる磁性体層と、
前記第2の絶縁材料層内に設けられ、前記磁気不揮発性メモリ素子の素子回路面の電極と前記配線層とを接続するビア部と、
前記磁気不揮発性メモリ素子側面から間隔を置いて前記磁気不揮発性メモリ素子側面の一部又は全部を囲うように壁状に配置された軟磁性材料を含む磁気シールド部材と、を含み、
前記磁性体層と前記磁気シールド部材とは磁気的に接続されていることを特徴とする磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
(2)前記配線層と前記磁性体層とが積層されて二層構造を形成していることを特徴とする上記(1)に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
(3)前記磁気シールド部材は導電性材料からなる導電体層と軟磁性材料からなる磁性体層とからなる二層構造を形成していることを特徴とする上記(1)又は(2)に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
(4)前記磁性体層は、前記磁気不揮発性メモリ素子と前記配線層との間の前記第2の絶縁材料層内に形成されており、前記磁気不揮発性メモリ素子の素子回路面の電極に対応する部分に開口を有しており、該開口に前記ビア部が配置されていることを特徴とする上記(1)に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
(5)前記壁状に配置された軟磁性材料は前記支持板と一体的に設けられていることを特徴とする上記(1)〜(4)のいずれかに記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
(6)前記支持板が平板にキャビティを設けたものであり、前記キャビティを形成する周囲の部材が前記壁状に配置された軟磁性材料を形成していることを特徴とする上記(5)に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
(7)前記第2の絶縁材料層内に設けられた配線層の材料が導電性の軟磁性材料であり、該配線層が前記磁性体層を兼ねることを特徴とする上記(1)に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
・磁気不揮発性メモリ素子は配線の絶縁を兼用する低透磁率材料で覆われ、さらに外周を高透磁率材料で覆われている為、静磁界/低周波磁界のメモリ素子への進入を抑制するシールド効果が得られる。
・磁気不揮発性メモリ素子を囲う各軟磁性材料は、絶縁材料により適宜に絶縁された構造を有しており、絶縁性の軟磁性材料よりも高い透磁率を持ち得る金属軟磁性材料を使用出来る為、シールド効果の向上が図れる。
・半導体装置の剛性保持に必要な支持板に軟磁性材料を用いて下部シールドと兼用し、上部のシールドは配線層と同時に形成するか、又は配線層内に形成している為、余分な工程が増えず低コストを実現できる。
図1に実施形態1の磁気シールドパッケージの構造を示す。
図1は本発明に係る磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ(以下では単に「磁気シールドパッケージ」ともいう。)の縦断面図である。
図1に示された磁気シールドパッケージ10は、電極18を備えた磁気不揮発性メモリ素子11、軟磁性材料からなる支持板12、第1の絶縁材料層13、第2の絶縁材料層14、配線層15、ビア部16及び磁気シールド部材17を備えている。
磁気シールド部材17は導電性の高い材料からなる導電体層17aと軟磁性体層17bとの積層構造を有している。
磁気不揮発性メモリ素子(以下では「MRAM」ともいう)はこのダイボンディングフィルムを用いることにより支持板12上にマウントすることができる。
MRAM11の側面及び上面を覆う第2の絶縁材料層14を形成する材料は反り防止のため、低膨張率、メッキ液への薬品耐性及び実装時の半田リフロー耐熱性等を備える必要がある。
このような材料としてはFan−Outパッケージチップ埋込用のエポキシ・ハイブリッド材や、真空ラミネーション用のシリコン・ハイブリッド材からなるフィルムモールド材などを使用することができる。
磁気シールドの性能を高める観点からすると、配線層15は軟磁性材料で構成することが好ましい。しかしながら、パーマロイ等の軟磁性材料は高抵抗であるため、配線層15の抵抗値を小さくするために導電体層15aと軟磁性体層16aとの二層構造とする。
図1に示したものは、配線層15を二層構造とするために具体的にはめっき法を採用しているので、後述するように製造工程上、磁気シールド部材17も導電性の高い材料からなる導電体層17aとその外側の軟磁性体層17bとの積層構造を有している。
図1に示した磁気シールドパッケージの製造方法を図2及び図3に基づいて工程順に説明する。
・素子面に電極18を有するMRAM11と軟磁性材料からなる支持板12とを準備する。MRAM11の素子面と反対側の面に第1の絶縁材料層を形成する。第1の絶縁材料層としてはダイボンディングフィルムを用いる(図2A)。
・支持体12の表面にMRAM11を固着する(図2B)。
・MRAM11及びその周辺(素子面及び支持対面)を第2の絶縁材料層14によって封止する(図2C)。
・封止樹脂14に対し、MRAM11の電極18の位置に合わせて導電部(ビア部)を形成するための開口21を形成する(図3A)。
また、MRAM11の側面から間隔を置いてMRAMの側面の一部又は全部を囲うように溝22を形成する。
開口21、及び溝22はレーザー加工によって形成しても良い。この場合、溝22の面積が広い為、ピンポイントの加工では生産性が悪く、マスクイメージング法等によるパターン転写を使用しても良い。マスクイメージング法とは、集光前のレーザーにマスクを通した後に集光して照射する事で、マスクパターンを加工対象へ縮小転写する手法である。また、レーザーの種類は、熱影響低減の観点から短波長レーザーによるアブレーション加工が好ましい。または、溝22はダイシングブレードや、エンドミルを取付けたミリングマシン等により機械的に形成しても良い。
・必要に応じてビア底のデスミアを実施した後、無電解メッキやスパッタ等によりCu等のシード層を形成し、レジストパターニング後、パーマロイとCuの二層メッキを行って磁性体と導電体の埋め込みを行い、配線層15(15a、15b)を形成すると共に、開口21(ビア)内にビア部16を形成し、溝22内に磁気シールド部材17(17a、17b)を形成する(図3B)。
なお、レジスト除去後、シード層はエッチングにより取り除く。
・配線層15上にソルダレジストなどを塗布して配線保護層19を形成したのち、配線保護層19に開口を設け、必要に応じて、良好なはんだぬれ性を得るためにCu層表面をOSP(Organic Solderability Preservative)処理等の酸化防止処理をして外部電極とする(図3C)
図4は大面積の支持板12上に多数のMRAM11が配列され固着されている状態を示す図である。図2Cは、図4の中央部の四角い破線で示した部分をA−Bで示した切断線で切断したときの断面を示している。
なお、図5、図6は、MRAM11及び電極18については透視した状態のものを示している。
図5に示したものはダイシングブレードを用いて溝22を形成した例であり、溝22がパッケージ外にはみ出している。
図6は、レーザー加工によって溝22を形成した例である。レーザー加工の場合は図6に示すように溝22をパケージ外にはみ出さないように形成することができる。
図7に実施形態2の磁気シールドパッケージの構造を示す。
実施形態1においては配線層を導電体層15aと軟磁性体層15bとからなる積層構造としたが、本実施形態においては、図7に示すように導電体層と軟磁性体層とを分離し、それぞれ別の層として第2の絶縁材料層14内に導電体層15及び軟磁性体層25として設けたものである。この軟磁性体層25にはビア部16が配置されている部分に開口26が設けられている。
このような構造とすることにより、MRAMの上面はビア部16が配置されている開口26の部分を除いて軟磁性体層で完全に覆う事ができるので静磁場・低周波磁場シールド効果が向上する。
導電体層15及び軟磁性体層25は実施形態1と同様にめっき法で作製することができる。
また、配線層15は実施形態1で採用したような導電体層と軟磁性体層との二層構造のものとしても良い。
例えば、軟磁性体層17及び軟磁性体層25を共に印刷等で軟磁性体ペーストを注入することにより形成することができる。
また、軟磁性体層25をパーマロイ等の箔によって形成することもできる。
また、図8A〜Dに箔25’を用いた磁気シールドパッケージの製造工程を以下に示す。
なお、図8の断面図は図8B右図に示した破線に沿って切断した断面を示している。
・予めパターン形成した箔25’を準備する(図8A参照)。
箔25’は図8Aに示すように、ビア部に対応する領域をエッチング除去して開口26を形成すると共に、領域外もダイシングブレードを通しやすいように繋ぎ部分27を残すようにエッチングして切欠28を設けている。
・絶縁材料層14の上面に箔25’を高精度貼り付け装置でラミネートして軟磁性体層25を形成する(図8B参照)。
・磁気不揮発性メモリ素子の外周の絶縁材料層14に磁気シールド部17用の溝を形成する(図8C)参照。
溝の形成にはエンドミルを取付けたミリングマシンを用いることができる。
・前記溝内にディスペンサ31を用いて軟磁性体ペースト32を注入する。
・導電層15及び配線保護層19を形成したのち、ダイシング線33に沿ってパッケージダイシングを行い、個片化する(図8D参照)。
図9に実施形態3の磁気シールドパッケージの構造を示す。
本実施形態はキャビティ27を有する支持板12を用いて磁気シールドパッケージを構成したものである。
キャビティ27にはMRAM11が第2の絶縁材料層14aによって封止されている。
第2の絶縁材料層14aの上面には図8に示した磁気シールドパッケージにおけると同様に箔25’からなる軟磁性体層25がラミネートされて第2の絶縁材料層14bによって封止されている。
軟磁性体層25と支持体12とは接続部30によって磁気的に接続されている。
本実施形態ではキャビティ27を有する支持体12の側壁部分を磁気シールド層として用いているので、支持体12の側壁を厚くすることにより、より高い静磁界・低周波磁界シールド効果が得られる。
実施形態3の磁気シールドパッケージの製造方法を図10及び図11に基づいて工程順に説明する。
・キャビティを有する軟磁性材料からなる支持板12のキャビティ27の底面に第1の絶縁性材料13を介してMRAM11を固着する(図10A)。
・MRAM11及びその周囲を絶縁材料層14aで封止する(図10B)。
・第2の絶縁材料層14aの上面に、パターン形成した箔25’をラミネートする(図10C)。
・支持板12の上端外周部の絶縁材料をブレード31によって除去する(図10D)。
・ブレード31によって樹脂が除去された部分に軟磁性体粒子と熱硬化性樹脂を含有する軟磁性体ペースト32をディスペンサ31により塗布して接続部30を形成する(図11A)。
・軟磁性体層及び接続部30を絶縁性材料層14bによって封止する(図11B)。
・絶縁材料層14bの上面に配線層15を形成する(図11C)。
・配線層15の上面に配線保護層19を形成する(図11D)。
また、めっき法を用いる場合には実施形態1と同様に配線層15と磁性体層25とを一体化し積層構造としても良い。
さらに、接続部30はパッケージ外に露出しても良い。
図12に実施形態4の磁気シールドパッケージの構造を示す。
本実施形態の磁気シールドパッケージは実施形態1の変形例である。
前記実施形態1では配線層15を導電性の高い材料からなる導電体層15aと、軟磁性材料からなる軟磁性体層15bとの積層構造とした。
しかしながら、配線層15が高い抵抗値のものであっても製品上特に問題が無ければ配線層15を軟磁性材料のみから構成することができる。
本実施形態では、図12に示すように、第2の絶縁性材料層14の上に導電性を有する軟磁性体層のみを形成して単層の配線層15とし、この上に配線保護層19を形成する。
この場合、配線層15を形成する際に、MRAM11の電極に接続する配線部分は銅などの低抵抗材料のみで作製することにより配線層の導電率を良好に保つことが好ましい。
また、配線層15を軟磁性材料のみから構成する場合には、磁気シールド部材17についても軟磁性材料のみから構成しても良い。
11 磁気不揮発性メモリ素子
12 支持板
13 第1の絶縁材料層
14、14a、14b 第2の絶縁材料層
15 配線層
15a 導電体層
15b 軟磁性体層
16 導電部(ビア部)
17 磁気シールド部
17a 導電体層
17b 軟磁性体層
18 電極
19 配線保護層
21 開口
22 溝
25 軟磁性体層
25’ 箔
26 開口
27 繋ぎ部分
28 切欠
30 接続部
31 ディスペンサ
32 軟磁性体ペースト
33 ダイシング線
Claims (7)
- 磁気不揮発性メモリ素子に対する外部磁界の影響を抑制する磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージであって、
軟磁性材料からなる支持板と、
前記支持板上に形成された第1の絶縁材料層と、
前記第1の絶縁材料層上に素子面と反対側の面が固着された磁気不揮発性メモリ素子と、
前記磁気不揮発性メモリ素子及びその周辺を封止する第2の絶縁材料層と、
前記第2の絶縁材料層内に設けられた配線層と、
前記第2の絶縁材料層内に設けられた軟磁性材料からなる磁性体層と、
前記第2の絶縁材料層内に設けられ、前記磁気不揮発性メモリ素子の素子回路面の電極と前記配線層とを接続するビア部と、
前記磁気不揮発性メモリ素子側面から間隔を置いて前記磁気不揮発性メモリ素子側面の一部又は全部を囲うように壁状に配置された軟磁性材料を含む磁気シールド部材と、を含み、
前記磁性体層と前記磁気シールド部材とは磁気的に接続されていることを特徴とする磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。 - 前記配線層と前記磁性体層とが積層されて二層構造を形成していることを特徴とする請求項1に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
- 前記磁気シールド部材は導電性材料からなる導電体層と軟磁性材料からなる磁性体層とからなる二層構造を形成していることを特徴とする請求項1又は2に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
- 前記磁性体層は、前記磁気不揮発性メモリ素子と前記配線層との間の前記第2の絶縁材料層内に形成されており、前記磁気不揮発性メモリ素子の素子回路面の電極に対応する部分に開口を有しており、該開口に前記ビア部が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
- 前記壁状に配置された軟磁性材料は前記支持板と一体的に設けられていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
- 前記支持板が平板にキャビティを設けたものであり、前記キャビティを形成する周囲の部材が前記壁状に配置された軟磁性材料を形成していることを特徴とする請求項5に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
- 前記第2の絶縁材料層内に設けられた配線層の材料が導電性の軟磁性材料であり、該配線層が前記磁性体層を兼ねることを特徴とする請求項1に記載の磁気不揮発性メモリ素子の磁気シールドパッケージ。
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