JP6396737B2 - Adsorption sheet, adsorption method of work object to adsorption unit, and ceramic capacitor manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、吸着用シート及び吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法並びにセラミックコンデンサの製造方法に関する。 The present invention relates to an adsorption sheet, a method for adsorbing a work object to an adsorption unit, and a method for manufacturing a ceramic capacitor.
携帯電話等の小型電子機器の普及に伴い、当該機器に使用されるセラミックコンデンサの小型化、高容量化が求められている。セラミックコンデンサは、通常、誘電体薄膜（セラミックグリーンシート）を積層して製造される。セラミックコンデンサの小型化、高容量化の一手法としてセラミックグリーンシートの薄膜化があり、近年、１〜２μｍの厚さにまで薄膜化を進めたセラミックグリーンシートが実用化され、さらに１μｍ以下の厚さにまで薄膜化が望まれている。 With the spread of small electronic devices such as mobile phones, there is a demand for smaller and higher capacity ceramic capacitors used in such devices. Ceramic capacitors are usually manufactured by laminating dielectric thin films (ceramic green sheets). One way to reduce the size and increase the capacity of ceramic capacitors is to reduce the thickness of ceramic green sheets. In recent years, ceramic green sheets that have been made thinner to a thickness of 1 to 2 μm have been put to practical use, and further to a thickness of 1 μm or less. In particular, thinning is desired.
セラミックグリーンシートは、離型シート上に誘電体ペーストを塗工、乾燥することにより形成される。セラミックグリーンシートは、離型シートと一体となって、セラミックコンデンサ製造工程に供給される。供給されたセラミックグリーンシートは、必要に応じて電極膜の形成及び／又はカッティングがなされた後、離型シートから剥離され、所定の位置に搬送されて積層される。セラミックグリーンシートの離型シートからの剥離及び剥離したセラミックグリーンシートの搬送には、吸引によりセラミックグリーンシートを吸着する吸着ヘッド（suction head）の使用が一般的である（吸着搬送）。これにより、セラミックグリーンシートの安定した剥離及び搬送、並びに精度よい積層が可能となる。吸着ヘッドは、通常、金属からなるが、セラミックグリーンシートに含まれる微細なセラミック粉体によって、その吸着面（suction face）に傷が付きやすい。この傷は、後に吸着されるセラミックグリーンシートに傷が付く原因となり、セラミックコンデンサの不良発生の原因となる。このため、吸着面の保護を目的として、通気性を有する吸着用シート（suction sheet）が当該吸着面に配置される。また、吸着用シートを交換可能に配置することで、吸着ヘッド自体を取り外すことなくセラミックグリーンシート積層装置のメンテナンスが可能になる等の効果も得られる。 The ceramic green sheet is formed by applying and drying a dielectric paste on the release sheet. The ceramic green sheet is integrated with the release sheet and supplied to the ceramic capacitor manufacturing process. The supplied ceramic green sheet is subjected to electrode film formation and / or cutting as necessary, and then peeled off from the release sheet, transported to a predetermined position, and laminated. For peeling the ceramic green sheet from the release sheet and transporting the peeled ceramic green sheet, it is common to use a suction head that sucks the ceramic green sheet by suction (suction transport). As a result, the ceramic green sheet can be stably peeled and conveyed, and can be accurately laminated. The suction head is usually made of metal, but the suction face is easily damaged by the fine ceramic powder contained in the ceramic green sheet. This scratch causes a scratch on the ceramic green sheet to be adsorbed later, and causes a failure of the ceramic capacitor. For this reason, for the purpose of protecting the suction surface, a suction sheet having air permeability is disposed on the suction surface. Further, by arranging the suction sheet so as to be replaceable, it is possible to obtain an effect that maintenance of the ceramic green sheet laminating apparatus can be performed without removing the suction head itself.
吸着用シートの一種に、超高分子量ポリエチレン（ＵＨＭＷＰＥ）からなる多孔質シートがある（例えば、特許文献１参照）。ＵＨＭＷＰＥからなる多孔質シートは、通気性、表面平滑性、離型性に優れており、セラミックグリーンシートの剥離、吸着搬送、積層に好適である。 One type of adsorption sheet is a porous sheet made of ultra high molecular weight polyethylene (UHMWPE) (see, for example, Patent Document 1). A porous sheet made of UHMWPE is excellent in air permeability, surface smoothness, and releasability, and is suitable for peeling, adsorbing and conveying ceramic green sheets.
更に、厚さ方向にストレートな貫通孔のみを形成した吸着用シートがある（特許文献２参照）。本吸着用シートは通気性、表面平滑性、離型性に優れており、薄層のセラミックグリーンシートの剥離、吸着搬送、積層に好適である。 Furthermore, there is a suction sheet in which only through holes that are straight in the thickness direction are formed (see Patent Document 2). This adsorbing sheet is excellent in air permeability, surface smoothness and releasability, and is suitable for peeling, adsorbing and transporting a thin ceramic green sheet.
セラミックグリーンシートの薄膜化が進むと、セラミックグリーンシート自身が通気性を持つようになるとともに、離型シートとの間に働くファンデルワールス力の影響が大き
くなるため、離型シートからの剥離及び吸着搬送に必要な吸着力が増大する。このため、通気性をさらに向上させた吸着用シートの使用が望まれる。
As the ceramic green sheet becomes thinner, the ceramic green sheet itself becomes breathable and the influence of van der Waals force acting between the release sheet and the release sheet increases. The suction force required for suction conveyance increases. For this reason, use of the sheet | seat for adsorption | suction which improved air permeability further is desired.
シートの通気性を向上させるためには、通気経路の容積を大きくして通気抵抗を減らす手法が一般的である。例えば、多孔質シートの場合、その平均孔径及び／又は気孔率を大きくすることでシートの通気性が向上する。 In order to improve the air permeability of the sheet, a technique of increasing the volume of the air passage and reducing the air resistance is common. For example, in the case of a porous sheet, the air permeability of the sheet is improved by increasing the average pore diameter and / or the porosity.
しかしながら、多孔質シートを吸着用シートに用いる場合、平均孔径を大きくすると、セラミックグリーンシートが吸着用シート表面の孔に吸い込まれやすくなり、セラミックグリーンシートの変形及び積層不良が誘発される。一方、気孔率を大きくすると、セラミックグリーンシートの吸着時に吸着用シートが変形しやすくなり、セラミックグリーンシートの変形及び積層不良が誘発される。変形及び積層不良の問題は、薄膜化されたセラミックグリーンシートで特に起きやすい。 However, when the porous sheet is used for the adsorption sheet, if the average pore size is increased, the ceramic green sheet is easily sucked into the holes on the surface of the adsorption sheet, thereby inducing deformation and poor stacking of the ceramic green sheet. On the other hand, when the porosity is increased, the adsorbing sheet is easily deformed when the ceramic green sheet is adsorbed, and deformation and poor stacking of the ceramic green sheet are induced. The problem of deformation and stacking failure is particularly likely to occur in thin ceramic green sheets.
このような事情のもと、本発明は、良好な通気性を持ちながら、吸着する作業対象物へのダメージを低減させることができる吸着用シートの提供を目的とする。また、該吸着用シートを用いる吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法の提供を目的とする。さらに、該吸着用シートを用いるセラミックコンデンサの製造方法の提供を目的とする。 Under such circumstances, an object of the present invention is to provide a suction sheet that can reduce damage to a work object to be sucked while having good air permeability. It is another object of the present invention to provide a method for adsorbing a work object to an adsorption unit using the adsorption sheet. Furthermore, it aims at providing the manufacturing method of the ceramic capacitor using this sheet | seat for adsorption | suction.
本発明は、作業対象物を真空吸着する吸着ユニットの吸着面に取り付けられる吸着用シートであって、前記吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径ａと他方の主面の貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下であり、前記開口径ａが１０μｍ以下である、吸着用シートを提供する。 The present invention is a suction sheet attached to a suction surface of a suction unit that vacuum-sucks a work object, and the suction sheet has a plurality of penetrating holes with a central axis extending linearly and penetrating in a thickness direction. A single-layer resin sheet having holes, and a ratio a / b between an opening diameter a of a through hole on one main surface of the resin sheet and an opening diameter b of a through hole on the other main surface is 80% or less. An adsorption sheet having an opening diameter a of 10 μm or less is provided.
また、本発明は、吸着ユニットの吸着面に、前記吸着面と作業対象物（吸着対象物）を直接的に接触させずに、吸着用シートを介して前記作業対象物を吸着させる工程を含み、前記吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径ａと他方の主面の貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下であり、前記開口径ａが１０μｍ以下であり、前記吸着用シートは、前記開口径ｂの貫通孔を有する主面が前記吸着面に対向するように配置されている、吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法を提供する。 In addition, the present invention includes a step of adsorbing the work object via the adsorption sheet without directly contacting the adsorption surface and the work object (adsorption object) to the adsorption surface of the adsorption unit. The adsorption sheet includes a single-layer resin sheet having a plurality of through-holes having a central axis extending linearly and penetrating in the thickness direction, and an opening diameter of a through-hole on one main surface of the resin sheet The ratio a / b between a and the opening diameter b of the through hole on the other main surface is 80% or less, the opening diameter a is 10 μm or less, and the suction sheet has a through hole with the opening diameter b. Provided is a method for adsorbing a work object to an adsorption unit, the main surface of which is arranged so as to face the adsorption surface.
さらに、本発明は、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて前記離型フィルムから剥離する剥離工程と、剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、前記剥離工程及び前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、前記吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接の接触を防ぐ、吸着用シートが配置されており、前記吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径ａと他方の主面の貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下であり、前記開口径ａが１０μｍ以下であり、前記吸着用シートは、前記開口径ｂの貫通孔を有する主面が前記吸着面に対向するように配置されている、セラミックコンデンサの製造方法を提供する。 Further, the present invention provides a peeling step of separating the ceramic green sheet formed on the release film from the release film by adsorbing the ceramic green sheet to the adsorption surface of the adsorption unit, and removing the ceramic green sheet from the adsorption surface. A stacking step in which the ceramic green sheet is transported while being adsorbed on the substrate and laminated with another ceramic green sheet at the transport destination, and a firing step in which the laminate of the ceramic green sheet obtained by repeating the peeling step and the stacking step a plurality of times is fired. And an adsorption sheet is disposed on the adsorption surface to prevent direct contact between the ceramic green sheet and the adsorption surface, and the adsorption sheet has a central axis extending linearly, A single-layer resin sheet having a plurality of through-holes penetrating in the thickness direction, the opening diameter a of the through-hole of one main surface of the resin sheet and the other main surface The ratio a / b with respect to the opening diameter b of the through hole is 80% or less, the opening diameter a is 10 μm or less, and the main surface having the through hole with the opening diameter b is the suction surface. A method for manufacturing a ceramic capacitor is provided so as to face the capacitor.
上記の構成を有する本発明の吸着用シートを用いることによって、当該吸着用シートの主面に存在する孔（開口）の作業対象物の吸い込み及び吸い込みによる作業対象物へのダ
メージ（吸着痕）が抑制されながら、当該作業対象物が効率よく吸着される。
By using the suction sheet of the present invention having the above-described configuration, the work object is sucked into the holes (openings) in the main surface of the suction sheet, and the work object is damaged (suction mark). The work object is efficiently adsorbed while being suppressed.
本発明の吸着方法では、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径ａと他方の主面の貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下であり、前記開口径ｂが１０μｍ以下である吸着用シートを、樹脂シートの前記開口径ｂの貫通孔を有する主面が吸着ユニットの吸着面に対向するように配置して、吸着ユニットに作業対象物を吸着させる。この吸着用シートは、作業対象物と吸着ユニットの吸着面とを直接的に接触させないために用いる。作業対象物は、吸着用シートを介して、吸着面に吸着される。吸着用シートの配置により、吸着ユニットの吸着面が保護される。当該吸着用シートは、通気性を確保するための孔の径（開口径）が小さいながらも、高い通気性を有する。このため、本発明の吸着方法では、吸着用シートの表面に存在する孔（開口）への作業対象物の吸い込みが抑制されながら、当該対象物が効率よく吸着される。作業対象物が、セラミックコンデンサの製造に用いられるセラミックグリーンシートである場合、セラミックグリーンシートを離型シートから確実に剥離できるとともに、剥離時及び吸着搬送時におけるセラミックグリーンシートの変形が抑制され、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生が抑制される。この効果は、吸着用シートの表面に存在する孔（開口）への吸い込みが発生しやすく、剥離シートから剥離しにくい薄膜化セラミックグリーンシートが作業対象物である場合に、特に顕著となる。 The adsorption method of the present invention includes a single-layer resin sheet having a plurality of through-holes extending linearly in the center axis and penetrating in the thickness direction, and the opening diameter of the through-holes on one main surface of the resin sheet a suction sheet in which the ratio a / b between a and the opening diameter b of the through hole on the other main surface is 80% or less and the opening diameter b is 10 μm or less is a through hole of the resin sheet with the opening diameter b. Is disposed so that the main surface of the suction unit faces the suction surface of the suction unit, and the suction target is caused to suck the work object. This suction sheet is used so that the work object and the suction surface of the suction unit are not in direct contact with each other. The work object is adsorbed to the adsorption surface via the adsorption sheet. The suction surface of the suction unit is protected by the placement of the suction sheet. The adsorbing sheet has high air permeability even though the hole diameter (opening diameter) for ensuring air permeability is small. For this reason, in the adsorption | suction method of this invention, the said target object is adsorb | sucked efficiently, suppressing the suction | inhalation of the work target object to the hole (opening) which exists in the surface of the sheet | seat for adsorption | suction. When the work object is a ceramic green sheet used for the production of ceramic capacitors, the ceramic green sheet can be reliably peeled off from the release sheet, and the deformation of the ceramic green sheet during peeling and suction conveyance is suppressed, and lamination Generation | occurrence | production of the lamination | stacking defect of the ceramic green sheet in a process is suppressed. This effect is particularly remarkable when a thin ceramic green sheet that is easily sucked into a hole (opening) existing on the surface of the adsorption sheet and is difficult to peel from the release sheet is a work target.
本発明の製造方法では、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径ａと他方の主面の貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下であり、前記開口径ａが１０μｍ以下である吸着用シートを、樹脂シートの前記開口径ｂの貫通孔を有する主面が吸着ユニットの吸着面に対向するように配置して、セラミックコンデンサを製造する。この吸着用シートは、セラミックグリーンシートと吸着ユニットの吸着面とを直接的に接触させないために用いる。吸着ユニットは、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて離型フィルムから剥離する剥離工程、並びに剥離したセラミックグリーンシートを、吸着面に吸着させたまま搬送（吸着搬送）し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程に使用される。吸着用シートの配置により、吸着ユニットの吸着面が保護される。当該吸着用シートは、通気性を確保するための孔の径（開口径）が小さいながらも、高い通気性を有する。このため、本発明の製造方法では、吸着用シートの表面に存在する孔（開口）へのセラミックグリーンシートの吸い込みが抑制されながら、セラミックグリーンシートが効率よく吸着される。これにより、剥離工程においてセラミックグリーンシートが離型シートから確実に剥離されるとともに、剥離時及び吸着搬送時におけるセラミックグリーンシートの変形が抑制され、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生が抑制される。この効果は、吸着用シート表面に存在する孔（開口）への吸い込みが発生しやすく、剥離シートから剥離しにくい薄膜化セラミックグリーンシートを使用する場合に、特に顕著となる。 In the manufacturing method of the present invention, the center axis includes a single-layer resin sheet having a plurality of through-holes extending linearly and penetrating in the thickness direction, and the opening diameter of the through-holes on one main surface of the resin sheet a suction sheet in which a ratio a / b between a and the opening diameter b of the through hole on the other main surface is 80% or less and the opening diameter a is 10 μm or less is a through hole having the opening diameter b of the resin sheet. A ceramic capacitor is manufactured by disposing the main surface having a surface facing the suction surface of the suction unit. This adsorption sheet is used so that the ceramic green sheet and the adsorption surface of the adsorption unit are not in direct contact. The adsorption unit is made to adsorb the ceramic green sheet formed on the release film to the adsorption surface of the adsorption unit and separate it from the release film, and the separated ceramic green sheet is adsorbed to the adsorption surface. It is used for the laminating process of carrying (adsorption carrying) and laminating with other ceramic green sheets at the carrying destination. The suction surface of the suction unit is protected by the placement of the suction sheet. The adsorbing sheet has high air permeability even though the hole diameter (opening diameter) for ensuring air permeability is small. For this reason, in the manufacturing method of the present invention, the ceramic green sheet is efficiently adsorbed while the suction of the ceramic green sheet into the holes (openings) existing on the surface of the adsorbing sheet is suppressed. As a result, the ceramic green sheet is surely peeled from the release sheet in the peeling process, and the deformation of the ceramic green sheet during peeling and suction conveyance is suppressed, and the occurrence of poor stacking of the ceramic green sheet in the stacking process is suppressed. Is done. This effect is particularly noticeable when using a thin-film ceramic green sheet that tends to be sucked into holes (openings) existing on the surface of the adsorption sheet and is difficult to peel from the release sheet.
本発明の吸着用シートは、厚さ方向に中心軸（貫通孔の軸線）が直線状に貫通し、表面と裏面の孔径が所定の比率で異なる非対称構造の貫通孔（以下、単に「非対称貫通孔」ともいう）を複数有する。吸着用シートは、当該貫通孔を除いて無孔の樹脂シートを用いるのが好ましい。 The suction sheet of the present invention has a through-hole having an asymmetric structure in which the central axis (the axis of the through-hole) penetrates linearly in the thickness direction, and the hole diameters on the front and back surfaces differ by a predetermined ratio (hereinafter simply referred to as “asymmetric penetration”). A plurality of holes). As the adsorption sheet, it is preferable to use a non-porous resin sheet except for the through holes.
図１、図２Ａ及び図２Ｂに吸着用シートの一例を示す。図２Ａは、図１に示す吸着用シート１１の断面Ｂ−Ｂを示す。吸着用シート１１には、その厚さ方向に貫通する多数の貫通孔１２が形成されている。吸着用シート１１は、貫通孔１２を除き、無孔である。貫通孔の軸線は、直線状である。
An example of the adsorption sheet is shown in FIGS. 1, 2A and 2B. FIG. 2A shows a cross section BB of the
貫通孔の径とは、一方の主面における開口径ａ（もしくはｂ）の開孔の断面形状（例えば開口形状）を円とみなしたときの当該円の直径、換言すれば、一方の主面における開口径ａ（もしくはｂ）の開孔の断面積（例えば開口面積）と同一の面積を有する円の直径をいう。また、下記の開口径ａ及び開口径ｂは、特に記載のない限り、前記直径の平均値を意味する。 The diameter of the through hole is the diameter of the circle when the cross-sectional shape (for example, the opening shape) of the opening diameter a (or b) on one main surface is regarded as a circle, in other words, one main surface. The diameter of a circle having the same area as the cross-sectional area (for example, the opening area) of the opening having the opening diameter a (or b) in FIG. Moreover, the following opening diameter a and opening diameter b mean the average value of the said diameter unless there is particular description.
吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の非対称貫通孔を有する単層の樹脂シートを備える。 The adsorbing sheet includes a single-layer resin sheet having a plurality of asymmetrical through holes with a central axis extending linearly and penetrating in the thickness direction.
前記樹脂シートは、一方の主面の貫通孔の開口径ａと他方の主面の貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下であり、前記貫通孔の径ａは１０μｍ以下である。このような非対称貫通孔を有する樹脂シートを用いることによって、当該シートの表面に存在する孔（開口）への作業対象物（例えば、セラミックグリーンシート）の吸い込みが抑制される。貫通孔ａの孔径が１０μｍを超えると、シートの表面に存在する開口への作業対象物の吸い込みが生じやすい。また、吸い込みが起こらないまでも、作業対象物の表面に開口の跡がつくことで、作業対象物の厚さにバラツキが生じやすい。作業対象物が薄層セラミックグリーンシートである場合、シートの厚さのバラツキは、積層工程におけるセラミックグリーンシートの積層不良の発生につながる。貫通孔ａの径は５μｍ以下が好ましい。前記貫通孔の径ｂは貫通孔の径ａより大きく、ａ／ｂの比率は８０％以下であり、通気性の観点から６０％以下が好ましい。貫通孔ａの径（開口径）及びａ／ｂの下限は、樹脂シートがＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して測定したガーレー数にして１００ｍＬ当たり１０秒以下である限り、特に限定されない。当該孔径ａの下限は、例えば、０．０５μｍである。 In the resin sheet, a ratio a / b between an opening diameter a of the through hole on one main surface and an opening diameter b of the through hole on the other main surface is 80% or less, and the diameter a of the through hole is 10 μm or less. It is. By using such a resin sheet having an asymmetrical through hole, suction of a work object (for example, a ceramic green sheet) into a hole (opening) existing on the surface of the sheet is suppressed. When the hole diameter of the through hole a exceeds 10 μm, the work object is likely to be sucked into the opening existing on the surface of the sheet. Further, even if suction does not occur, the trace of the opening is made on the surface of the work object, so that the thickness of the work object tends to vary. When the work target is a thin ceramic green sheet, the variation in the thickness of the sheet leads to the occurrence of defective lamination of the ceramic green sheets in the lamination process. The diameter of the through hole a is preferably 5 μm or less. The diameter b of the through hole is larger than the diameter a of the through hole, and the ratio of a / b is 80% or less, and preferably 60% or less from the viewpoint of air permeability. The lower limit of the diameter (opening diameter) and a / b of the through hole a is not particularly limited as long as the resin sheet is 10 seconds or less per 100 mL in terms of the Gurley number measured according to JIS P8117. The lower limit of the pore diameter a is, for example, 0.05 μm.
貫通孔の開口形状は、特に限定されず、例えば、円形であってもよいし、不定形であってもよい。図１，図２Ａに示す吸着用シート１１では、貫通孔１２の開口形状は円形である。
The opening shape of the through hole is not particularly limited, and may be, for example, circular or indefinite. In the
貫通孔の軸線は、通常、樹脂シートの主面に垂直な方向である。当該貫通孔が樹脂シートの厚さ方向に貫通する（当該貫通孔によって、樹脂シートの厚さ方向の通気が確保される）限り、貫通孔の軸線は、主面に垂直な方向から傾いていてもよい（図２Ｂ）。前記傾
きは、本発明の効果を妨げない限り特に限定されず、前記軸線の方向はランダムに異なっていてもよい（図２Ｂ）。
The axis of the through hole is usually in a direction perpendicular to the main surface of the resin sheet. As long as the through hole penetrates in the thickness direction of the resin sheet (the through hole ensures ventilation in the thickness direction of the resin sheet), the axis of the through hole is inclined from the direction perpendicular to the main surface. (FIG. 2B). The inclination is not particularly limited as long as the effect of the present invention is not hindered, and the direction of the axis may be randomly different (FIG. 2B).
樹脂シートは複数の貫通孔を有し、貫通孔同士は、典型的には互いに独立しているが、本発明の効果を妨げない限り、２以上の貫通孔同士が結合されていてもよい。例えば、貫通孔の軸線が樹脂シートの主面に垂直な方向である場合、表面と裏面の孔径の相違に起因して、開口径ａの貫通孔を有する主面の開孔同士は互いに独立し、開口径ｂの貫通孔を有する主面の開孔同士が結合されていてもよい。貫通孔は、例えばイオンビーム照射及びエッチングにより形成できる。イオンビーム照射及びエッチングでは、開口径及び軸線の方向が揃った多数の貫通孔を樹脂シートに形成できる。また、樹脂シートの少なくとも一部に軸線の方向がランダムに異なる部分を含む場合、前記部分はイオンビーム照射をランダム方向に行うことで形成でき、前記部分において２以上の貫通孔同士がシート内で結合されていてもよい（図２Ｂ）。 The resin sheet has a plurality of through-holes, and the through-holes are typically independent of each other. However, two or more through-holes may be combined as long as the effect of the present invention is not hindered. For example, when the axis of the through hole is in a direction perpendicular to the main surface of the resin sheet, the openings on the main surface having the through holes with the opening diameter a are independent from each other due to the difference in the hole diameter between the front surface and the back surface. The openings on the main surface having through holes with an opening diameter b may be joined together. The through hole can be formed by ion beam irradiation and etching, for example. In ion beam irradiation and etching, a large number of through holes having the same opening diameter and axial direction can be formed in the resin sheet. Further, when at least a part of the resin sheet includes a part in which the direction of the axis is different at random, the part can be formed by performing ion beam irradiation in a random direction, and in the part, two or more through holes are formed in the sheet. It may be bonded (FIG. 2B).
通気経路となる貫通孔の貫通方向は、樹脂シートの厚さ方向である。貫通孔の形状は、前記開口径ａの貫通孔を有する主面の孔径が裏面の孔径より小さい非対称構造である。このため、開口径ａの貫通孔を有する主面を作業対象物に対向させて使用することで、作業対象物に対向する主面の孔径は小さいにも関わらず、厚さ方向の通気抵抗が非常に低く、良好な通気性を有する吸着用シートとなる。また、横漏れのない吸着用シートとなる。 The penetration direction of the through hole serving as the ventilation path is the thickness direction of the resin sheet. The shape of the through hole is an asymmetric structure in which the hole diameter of the main surface having the through hole having the opening diameter a is smaller than the hole diameter of the back surface. For this reason, by using the main surface having a through hole with an opening diameter a facing the work object, the airflow resistance in the thickness direction is reduced despite the small hole diameter of the main surface facing the work object. The adsorbing sheet is very low and has good air permeability. Further, the suction sheet has no side leakage.
前記非対称貫通孔を有する樹脂シートを構成する材料としては、イオンビーム照射及びエッチングによって上記貫通孔が形成される材料である限り、特に限定されない。前記材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）及びポリフッ化ビニリデン（ＰＶｄＦ）からなる群から選ばれる１種以上の樹脂が好ましい。表面の平滑性に優れることから、樹脂シートはＰＥＴから構成されることがさらに好ましい。これらの樹脂は、アルカリ物質及び／又は酸化剤を含むエッチング処理液により分解される。ＰＩは、次亜塩素酸ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。その他の樹脂は、水酸化ナトリウムを主成分として含むエッチング処理液により分解される。アルカリ物質は、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等が挙げられる。酸化剤は、例えば、亜塩素酸及びその塩、次亜塩素酸及びその塩、過酸化水素、過マンガン酸カリウム等が挙げられる。前記樹脂シートは、樹脂以外の材料を含んでいてもよい。前記樹脂以外の材料としては、例えば、光安定剤、酸化防止剤等の添加剤、樹脂原料に由来するオリゴマー成分、金属酸化物（例えば白色顔料：アルミナ、酸化チタン等）等が挙げられる。 The material constituting the resin sheet having the asymmetric through hole is not particularly limited as long as it is a material in which the through hole is formed by ion beam irradiation and etching. As the material, for example, one or more resins selected from the group consisting of polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), polyimide (PI), polyethylene naphthalate (PEN), and polyvinylidene fluoride (PVdF) are preferable. It is more preferable that the resin sheet is made of PET because of excellent surface smoothness. These resins are decomposed by an etching treatment liquid containing an alkaline substance and / or an oxidizing agent. PI is decomposed by an etching treatment liquid containing sodium hypochlorite as a main component. Other resins are decomposed by an etching treatment liquid containing sodium hydroxide as a main component. Examples of the alkaline substance include potassium hydroxide and sodium hydroxide. Examples of the oxidizing agent include chlorous acid and its salt, hypochlorous acid and its salt, hydrogen peroxide, potassium permanganate and the like. The resin sheet may contain a material other than resin. Examples of materials other than the resin include additives such as light stabilizers and antioxidants, oligomer components derived from resin raw materials, metal oxides (eg, white pigments: alumina, titanium oxide, etc.), and the like.
前記非対称貫通孔を有する樹脂シートは、以下の製造方法により作製することができる。
イオンビームを、高分子シート（前記した材料としての樹脂シート）に照射する工程（Ｉ）と、前記イオンビーム照射後の高分子シートにおけるイオンが衝突した部分を化学エッチングして、前記イオンの衝突の軌跡に沿って延びる貫通孔を当該シートに形成する工程（ＩＩ）と、を含む。前記工程（ＩＩ）において、前記高分子シートの一方の主面へのマスキング層の配置により、当該一方の主面からの前記部分のエッチングに比べて、前記高分子シートの他方の主面からの前記部分のエッチングの程度が大きい化学エッチングを実施することにより得ることができる。前記製造方法は、非対称構造膜が得られる限り、工程（Ｉ）、（ＩＩ）以外の任意の工程を含んでいてもよい。
The resin sheet having the asymmetric through hole can be produced by the following production method.
The step (I) of irradiating a polymer sheet (resin sheet as a material as described above) with an ion beam, and the portion of the polymer sheet after the ion beam irradiation that has collided with the ions are chemically etched to cause collision of the ions. Forming a through hole extending along the trajectory of the sheet (II). In the step (II), by arranging the masking layer on one main surface of the polymer sheet, the etching from the other main surface of the polymer sheet is less than etching of the portion from the one main surface. It can be obtained by performing chemical etching with a large degree of etching of the part. The manufacturing method may include any step other than steps (I) and (II) as long as an asymmetric structure film is obtained.
［工程（Ｉ）］
工程（Ｉ）では、イオンビームを高分子シートに照射する。イオンビームは、加速されたイオンにより構成される。イオンビームの照射により、当該ビーム中のイオンが衝突した高分子シートが形成される。イオンビームを照射する方法は限定されない。例えば、高
分子シート１をチャンバーに収容し、チャンバー内の圧力を低くした後（例えば、照射するイオン２のエネルギーの減衰を抑制するために高真空雰囲気とした後）、ビームラインからイオン２を高分子シート１に照射する。チャンバー内に特定の気体を加えてもよいし、高分子シート１をチャンバーに収容するが当該チャンバー内の圧力を減圧せず、例えば大気圧でイオンビームの照射を実施してもよい。
[Step (I)]
In step (I), the polymer sheet is irradiated with an ion beam. The ion beam is composed of accelerated ions. By irradiation with an ion beam, a polymer sheet in which ions in the beam collide is formed. The method for irradiating the ion beam is not limited. For example, after the
イオンビームを高分子シートに照射すると、図３に示すように、ビーム中のイオン２が高分子シート１に衝突し、衝突したイオン２は当該シート１の内部に軌跡３（このようなイオンの衝突の軌跡を「イオントラック」ともいう）を残す。イオン２は、通常、高分子シート１を貫通する。
When the ion beam is irradiated onto the polymer sheet, as shown in FIG. 3, the
帯状の高分子シート１が巻回されたロールを準備し、当該ロールから高分子シート１を送り出しながら、連続的に高分子シート１にイオンビームを照射してもよい。上述したチャンバー内に上記ロール（送り出しロール）と、イオンビーム照射後の高分子シート１を巻き取る巻き取りロールとを配置し、減圧、高真空等の任意の雰囲気としたチャンバー内において送り出しロールから帯状の高分子シート１を送り出しながら連続的に当該シートにイオンビームを照射し、ビーム照射後の高分子シート１を巻き取りロールに巻き取ってもよい。
A roll around which the band-shaped
前記樹脂から構成される高分子シート１は、イオン２が衝突した部分の化学エッチングがスムーズに進行しながらも、その他の部分の化学エッチングが進行し難い特徴を有しており、高分子シート１における軌跡３に対応する部分の化学エッチングの制御が容易となる。このため、非対称貫通孔を有する樹脂シートとしての細孔の形状の制御の自由度をより高くできる。
The
イオンビームを照射する高分子シート１は、例えば、無孔のシートである。この場合、工程（Ｉ）及び（ＩＩ）以外に当該シートに孔を設けるさらなる工程を実施しない限り、工程（Ｉ）及び（ＩＩ）により形成された細孔以外の部分が無孔である樹脂シートを得ることができる。上記さらなる工程を実施した場合、工程（Ｉ）及び（ＩＩ）により形成された細孔と、上記さらなる工程により形成された孔とを有する樹脂シートが得られる。
The
高分子シート１に照射、衝突させるイオン２の種類は限定されないが、高分子シート１を構成する樹脂との化学的な反応が抑制されることから、ネオンより質量数が大きいイオンが好ましい。具体的には、アルゴンイオン、クリプトンイオン及びキセノンイオンからなる群から選ばれる少なくとも１種のイオンが好ましい。
Although the kind of
ビーム照射後の高分子シート１に形成される軌跡３の状態は、当該シートに照射したイオン２の種類及びエネルギーによっても変化する。例えば、アルゴンイオン、クリプトンイオン及びキセノンイオンでは、同じエネルギーの場合、原子番号が小さい原子のイオンほど、高分子シート１に形成される軌跡３の長さが長くなる。イオン種の変化及びイオンのエネルギーの変化に伴う軌跡３の状態の変化は、工程（ＩＩ）の化学エッチング後に形成される細孔の形状に影響を与える。このため、イオン種及びそのエネルギーの選択を併用することにより、非対称貫通孔を有する樹脂シートとしての細孔の形状の制御の自由度をより高くできる。
The state of the
イオン２がアルゴンイオンである場合、そのエネルギーは、典型的には１００〜１０００ＭｅＶである。イオン２がクリプトンイオンである場合、そのエネルギーは、典型的には１００〜１０００ＭｅＶである。イオン２がキセノンイオンである場合、そのエネルギーは、典型的には１００〜１０００ＭｅＶである。高分子シート１に照射するイオン２のエネルギーは、イオン種及び高分子シートを構成する樹脂の種類に応じて調整しうる。
When
高分子シート１に照射するイオン２のイオン源は限定されない。イオン源から放出されたイオン２は、例えば、イオン加速器により加速された後にビームラインを経て高分子シート１に照射される。イオン加速器としては、例えば、ＡＶＦサイクロトロン等のサイクロトロンが挙げられる。
The ion source of the
イオン２の経路となるビームラインの圧力は、ビームラインにおけるイオン２のエネルギー減衰を抑制する観点から、１０-5〜１０-3Ｐａ程度の高真空が好ましい。イオン２を照射する高分子シート１が収容されるチャンバーの圧力が高真空に達していない場合、イオン２を透過する隔壁によって、ビームラインとチャンバーとの圧力差を保持してもよい。隔壁は、例えば、チタン膜あるいはアルミニウム膜から構成される。
The pressure of the beam line serving as the path of the
イオン２は、例えば、高分子シート１の主面に垂直な方向から当該シートに照射される。この場合、軌跡３がシート１の主面に垂直に延びるため、後の化学エッチングにより、シート１の主面に垂直な方向に延びる細孔が形成された樹脂シートが得られる。イオン２は、高分子シート１の主面に対して斜めの方向から当該シートに照射してもよい。この場合、後の化学エッチングにより、シート１の主面に対して斜めの方向に延びる細孔が形成された樹脂シートが得られる。高分子シート１に対してイオン２を照射する方向は、公知の手段により制御できる。
The
イオン２は、例えば、複数のイオン２の飛跡が互いに平行となるように当該シート１に照射される。この場合、後の化学エッチングにより、互いに平行に延びる複数の細孔が形成された樹脂シートが得られる。イオン２を、複数のイオン２の飛跡が互いに非平行（例えば互いにランダム）となるように当該シート１に照射してもよい。
For example, the
イオン２は、２以上のビームラインから高分子シート１に照射してもよい。
工程（Ｉ）は、高分子シート１の主面、例えば上記一方の主面、にマスキング層が配置された状態で実施してもよい。
The
Step (I) may be performed in a state where the masking layer is disposed on the main surface of the
［工程（ＩＩ）］
工程（ＩＩ）では、工程（Ｉ）においてイオンビームを照射した後の高分子シート１におけるイオン２が衝突した部分を化学エッチングして、イオン２の衝突の軌跡３に沿って延びる細孔を当該シート１に形成する。
[Step (II)]
In the step (II), the portion where the
イオンビームを照射した後の高分子シート１には衝突の軌跡（イオントラック）３が残存している。軌跡３では、高分子シート１を構成するポリマー鎖に、イオン２との衝突による損傷が生じている。損傷が生じたポリマー鎖は、イオン２と衝突していないポリマー鎖に比べて、化学エッチングにより分解、除去されやすい。このためイオンビーム照射後の高分子シート１を化学エッチングすることにより、高分子シート１における軌跡３の部分が選択的に除去され、イオン２の衝突の軌跡３に沿って延びる細孔が形成された樹脂シートが得られる。
A collision locus (ion track) 3 remains on the
イオン２は通常高分子シート１を貫通するため、ビーム照射後の高分子シート１におけるイオン２が衝突した部分の全てを化学エッチングすることにより細孔として貫通孔が形成される。得られた樹脂シートにおける細孔以外の部分は、シート１の状態を変化させる工程をさらに実施しない限り、基本的に、イオンビーム照射前の高分子シート１と同じである。当該細孔以外の部分は、例えば無孔でありうる。
Since the
工程（ＩＩ）では、高分子シート１の一方の主面にマスキング層を配置した状態で化学エッチングを実施する。このため、この化学エッチングでは、高分子シート１におけるイ
オン２が衝突した部分のエッチングについて、マスキング層を配置した上記一方の主面からのエッチングに比べて、他方の主面からのエッチングの程度が大きくなる。すなわち、工程（ＩＩ）では、当該シートの双方の主面からのエッチングが非対称的に進行する化学エッチングを実施する（以下、単に「非対称エッチング」ともいう）。一方、従来の方法では、高分子シートの双方の主面からのエッチングが均等に（対称的に）進行する（以下、単に「対称エッチング」ともいう）。なお、「エッチングの程度が大きい」とは、より具体的には、例えば、上記部分について単位時間あたりのエッチング量が大きいこと、すなわち上記部分についてエッチング速度が大きいことを意味する。
In step (II), chemical etching is performed with a masking layer disposed on one main surface of the
工程（ＩＩ）では、高分子シート１の一方の主面への、高分子シート１におけるイオン２が衝突した部分に比べて化学エッチングされ難いマスキング層の配置により、当該一方の主面からの上記部分のエッチングを抑止しながら、高分子シート１の他方の主面からの上記部分のエッチングを進行させる化学エッチングを（非対称エッチングを）実施してもよい。このようなエッチングは、例えば、マスキング層の種類及び厚さの選択、マスキング層の配置、エッチング条件の選択等により、実施できる。
In the step (II), the masking layer that is hard to be chemically etched compared to the portion of the
マスキング層の種類は特に限定されないが、高分子シート１におけるイオン２が衝突した部分に比べて化学エッチングされ難い材料から構成される層であることが好ましい。「エッチングされ難い」とは、より具体的には、例えば、単位時間あたりにエッチングされる量が小さいこと、すなわち、被エッチング速度が小さいことを意味する。化学エッチングされ難いか否かは、工程（ＩＩ）において実際に実施する非対称エッチングの条件（エッチング処理液の種類、エッチング温度、エッチング時間等）に基づいて判断できる。後述のように工程（ＩＩ）において複数回の非対称エッチングを、マスキング層の種類及び／又は配置面を変えながら実施する場合、各エッチングの条件に基づいてそれぞれのエッチングについて判断すればよい。
Although the kind of masking layer is not specifically limited, It is preferable that it is a layer comprised from the material which is hard to carry out a chemical etching compared with the part which the
マスキング層は、例えば、ポリオレフィン（例えば、ポリエチレン等）、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール及び金属箔からなる群から選ばれる少なくとも１種から構成される。これらの樹脂は、化学エッチングされ難いとともに、イオンビームの照射によっても損傷を受け難い。 A masking layer is comprised from at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of polyolefin (for example, polyethylene etc.), polystyrene, polyvinyl chloride, polyvinyl alcohol, and metal foil, for example. These resins are difficult to be chemically etched and are not easily damaged by ion beam irradiation.
工程（Ｉ）において、マスキング層を配置した高分子シート１にイオンビームを照射した場合、当該マスキング層にもイオントラックが形成される。これを考慮すると、マスキング層を構成する材料は、イオンビームの照射によってもそのポリマー鎖が損傷を受け難い材料であることが好ましい。
In the step (I), when the
マスキング層は、非対称エッチングを実施する領域に相当する、高分子シート１の一方の主面の少なくとも一部に配置すればよく、必要に応じて、高分子シート１の一方の主面の全体に配置してもよい。
The masking layer may be disposed on at least a part of one main surface of the
高分子シート１の主面へのマスキング層の配置方法は、非対称エッチングを実施する間、マスキング層が当該主面から剥離しない限り限定されない。マスキング層は、例えば、粘着剤により高分子シート１の主面に配置される。すなわち工程（ＩＩ）において、マスキング層が粘着剤によって上記一方の主面に貼り合わされた状態で、上記化学エッチング（非対称エッチング）を実施してもよい。粘着剤によるマスキング層の配置は、比較的容易に行うことができる。また、粘着剤の種類（例えば、シリコーン系粘着剤、アクリル系粘着剤等）を選択することにより、非対称エッチング後の高分子シート１からのマスキング層の剥離が容易となる。
The arrangement method of the masking layer on the main surface of the
工程（ＩＩ）では、非対称エッチングを複数回実施してもよい。また、少なくとも一回
の非対称エッチングを実施する限り、対称エッチングを実施してもよい。例えば、エッチングの途中でマスキング層を高分子シート１から剥離することにより、非対称エッチングから対称エッチングの進行に切り替えてもよい。
In step (II), asymmetric etching may be performed a plurality of times. Further, as long as at least one asymmetric etching is performed, symmetric etching may be performed. For example, the asymmetric etching may be switched to the symmetric etching by peeling the masking layer from the
工程（ＩＩ）において非対称エッチングを複数回実施することにより、形成する細孔の形状、典型的にはその断面形状、の制御の自由度がより高くなる。また、マスキング層を配置する主面の入れ替え、及び／又はエッチング条件の変化を併用することにより、形成する細孔の形状の制御の自由度がさらに高くなる。図４に、工程（ＩＩ）の例と、当該例において形成される細孔の形状（断面形状）を示す。 By performing asymmetric etching a plurality of times in step (II), the degree of freedom in controlling the shape of the pores to be formed, typically the cross-sectional shape thereof, becomes higher. Moreover, the degree of freedom in controlling the shape of the pores to be formed is further increased by using the replacement of the main surface on which the masking layer is disposed and / or the change of the etching conditions. In FIG. 4, the example of process (II) and the shape (cross-sectional shape) of the pore formed in the said example are shown.
図４に示す例では、イオンビーム照射後の高分子シート１の一方の主面にマスキング層４を配置し（図４（ａ））、この状態で化学エッチングを実施している。これにより、マスキング層が配置されていない他方の面から、イオンビームの照射により形成された軌跡３に沿ってエッチングが進行し、当該軌跡３に沿って延びる貫通孔が細孔５として形成される（図４（ｂ））。図４（ｂ）に示すように、マスキング層４が配置されている主面からは、エッチングが進行せず、細孔が形成されない。軌跡３に沿う方向のエッチング速度Ｖｔと、軌跡３の延びる方向に垂直な方向のエッチング速度Ｖｂとの関係Ｖｔ＞＞Ｖｂにより、形成された貫通孔の断面は円錐状の形状を有するとともに、エッチングのさらなる進行により、その先端がシート１の上記一方の主面に開口している。そして、当該貫通孔の上記一方の主面における開口径と、他方の主面における開口径とは互いに異なっており、エッチングの基点となった上記他方の主面における開口径の方が大きい。すなわち、図４に示す例では、円錐状の断面形状を有する貫通孔であって、その開口径が高分子シート１の双方の主面間で異なる貫通孔が形成された樹脂シート６を得ている（図４（ｃ））。上記一方の主面における貫通孔の開口径ａと、上記他方の主面における貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂは、８０％以下であり、工程（ＩＩ）におけるエッチングの条件により、この比をさらに小さい値（例えば、７０％以下又は６０％以下）とすることもできる。
In the example shown in FIG. 4, a masking layer 4 is disposed on one main surface of the
前記製造方法では、工程（ＩＩ）において、高分子シートの膜厚方向に孔径が変化している貫通孔であって、高分子シートの一方の主面における開口径ａと他方の主面における開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下となる非対称貫通孔を形成できる。貫通孔の中心軸は、通常、軌跡３に沿っている。
In the manufacturing method, in the step (II), the hole diameter is changed in the film thickness direction of the polymer sheet, and the opening diameter a on one main surface of the polymer sheet and the opening on the other main surface. An asymmetrical through hole in which the ratio a / b to the diameter b is 80% or less can be formed. The central axis of the through hole is usually along the
図４に示す例では既に一回の非対称エッチングを実施しているため、図４（ｃ）に示すマスキング層４が剥離された状態からさらに化学エッチングを進行させてもよい。これにより、例えば、貫通孔５の開口径、あるいは高分子シート１の一方の主面における貫通孔５の開口径と、他方の主面における貫通孔５の開口径との比を制御できる。なお、図４では、説明を分かり易くするために、細孔５の幅（孔径）がその長さよりも誇張して描かれている。
In the example shown in FIG. 4, since asymmetric etching has already been performed once, chemical etching may be further advanced from the state where the masking layer 4 shown in FIG. Thereby, for example, the ratio of the opening diameter of the through
工程（ＩＩ）で形成する貫通孔の開口径は、特に限定されず、例えば、エッチング温度、エッチング時間、エッチング処理液の組成等のエッチング条件により制御できる。開口径の下限は、例えば、０．０１μｍとすることができる。 The opening diameter of the through hole formed in the step (II) is not particularly limited, and can be controlled by, for example, etching conditions such as etching temperature, etching time, and composition of the etching treatment solution. The lower limit of the opening diameter can be set to 0.01 μm, for example.
工程（Ｉ）においてイオンビーム照射を実施する高分子シート１が無孔である場合等には、全ての貫通孔の開口径が１０μｍ以下である樹脂シート６とすることもできる。あるいは、開口径の平均（平均開口径）が１０μｍ以下である樹脂シート６とすることもできる。
In the case where the
形成する貫通孔の密度（１平方センチメートル当たりの孔数）は、例えば、イオンビームの照射条件（イオン種、イオンのエネルギー、イオンの衝突密度（照射密度）等）によ
り制御でき、特に限定されないが、例えば、１０個／ｃｍ2〜１×１０8個／ｃｍ2であってもよく、孔の数が多すぎると近接した孔同士の結合によって孔が拡大する等のシートの機械的強度が低下するおそれがあり、少なすぎると十分な通気性が得られないことから、５．０×１０3個／ｃｍ2〜７．０×１０7個／ｃｍ2程度が好ましい。
The density of the through holes to be formed (the number of holes per square centimeter) can be controlled by, for example, ion beam irradiation conditions (ion species, ion energy, ion collision density (irradiation density), etc.), and is not particularly limited. For example, it may be 10 holes / cm 2 to 1 × 10 8 holes / cm 2 , and if the number of holes is too large, the mechanical strength of the sheet, such as expansion of holes due to bonding between adjacent holes, is reduced. If the amount is too small, sufficient air permeability cannot be obtained, so about 5.0 × 10 3 pieces / cm 2 to 7.0 × 10 7 pieces / cm 2 is preferable.
化学エッチングに使用するエッチング処理液は特に限定されない。エッチング処理液は、例えば、アルカリ性溶液、酸性溶液、又は酸化剤、有機溶剤及び界面活性剤から選ばれる少なくとも１種を添加したアルカリ性溶液もしくは酸性溶液である。アルカリ性溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムのような塩基を含む溶液（典型的には水溶液）等が挙げられる。酸性溶液としては、例えば、硝酸、硫酸のような酸を含む溶液（典型的には水溶液）等が挙げられる。酸化剤としては、例えば、重クロム酸カリウム、過マンガン酸カリウム、次亜塩素酸ナトリウム等が挙げられる。有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、エチレングリコール、アミノアルコール、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等が挙げられる。界面活性剤としては、例えば、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキル硫酸塩等が挙げられる。 The etching process liquid used for chemical etching is not specifically limited. The etching treatment liquid is, for example, an alkaline solution, an acidic solution, or an alkaline solution or an acidic solution to which at least one selected from an oxidizing agent, an organic solvent, and a surfactant is added. Examples of the alkaline solution include a solution containing a base such as sodium hydroxide and potassium hydroxide (typically an aqueous solution). Examples of the acidic solution include a solution (typically an aqueous solution) containing an acid such as nitric acid and sulfuric acid. Examples of the oxidizing agent include potassium dichromate, potassium permanganate, sodium hypochlorite and the like. Examples of the organic solvent include methanol, ethanol, 2-propanol, ethylene glycol, amino alcohol, N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide and the like. Examples of the surfactant include alkylbenzene sulfonate and alkyl sulfate.
マスキング層を用いた非対称エッチングとすることを除き、具体的なエッチングの手法は公知の手法に従えばよい。例えば、エッチング処理液に、マスキング層を配置したビーム照射後の高分子シートを所定の温度かつ所定の時間、浸漬すればよい。エッチングの温度は、例えば、４０〜１５０℃であってもよい。エッチングの時間は、例えば、１０秒〜６０分であってもよい。 Except for asymmetric etching using a masking layer, a specific etching method may follow a known method. For example, the polymer sheet after the beam irradiation in which the masking layer is disposed may be immersed in the etching treatment liquid at a predetermined temperature for a predetermined time. The etching temperature may be 40 to 150 ° C., for example. The etching time may be, for example, 10 seconds to 60 minutes.
エッチング終了後、シートを取出し、洗浄し、乾燥させ、次いで、マスキング層を剥離する。シートの取出、洗浄、乾燥、剥離等の方法は特に限定されない。これによって、非対称貫通孔を有する樹脂シートが得られる。 After the etching is completed, the sheet is taken out, washed and dried, and then the masking layer is peeled off. The method of taking out the sheet, washing, drying, peeling, etc. is not particularly limited. Thereby, a resin sheet having an asymmetrical through hole is obtained.
前記樹脂シートにおいて、貫通孔の延びる方向（中心軸の方向）は、当該シートの主面に対して垂直な方向（フィルムの法線方向）でも、傾いた方向でもありうる。垂直を含めその角度は、高分子シートに対するイオンビームの照射角度により制御できる。 In the resin sheet, the direction in which the through hole extends (the direction of the central axis) can be a direction perpendicular to the main surface of the sheet (the normal direction of the film) or an inclined direction. The angle including vertical can be controlled by the irradiation angle of the ion beam to the polymer sheet.
吸着用シートの吸着面側の表面粗さは、ＪＩＳ Ｂ０６０１（２００１）に準拠して測定した算術平均粗さＲａにして２μｍ以下が好ましく、１．５μｍ以下がより好ましく、１．０μｍ以下がさらに好ましい。吸着用シート表面の平滑度が高いことによって、吸着時において、厚さが極めて薄く、剛性の小さいセラミックグリーンシートのような作業対象物であっても、孔内に入り込むことがなく、作業対象物の変形が抑制される。その結果、作業対象物に凹凸や傷等の欠陥が生じるのを防止でき、例えば、セラミックグリーンシートの積層不良も防止できる。さらに、平滑度が高いことによって、作業対象物の表面に微細な傷がつくことを避けることもできる。 The surface roughness on the suction surface side of the suction sheet is preferably 2 μm or less, more preferably 1.5 μm or less, and more preferably 1.0 μm or less in terms of arithmetic average roughness Ra measured according to JIS B0601 (2001). preferable. Due to the high smoothness of the surface of the suction sheet, even if the work object is very thin and has a small rigidity, such as a ceramic green sheet, the work object does not enter the hole. Is prevented from being deformed. As a result, it is possible to prevent defects such as unevenness and scratches from occurring on the work object, and for example, it is possible to prevent poor lamination of ceramic green sheets. Furthermore, since the smoothness is high, it is possible to avoid a fine scratch on the surface of the work object.
さらに、吸着用シートの厚み精度は、シート厚が１２．５〜１００μｍの範囲で、±２μｍ程度とすることができる。吸着用シートの厚さは、シートが厚すぎると通気性が劣ることから、１５〜９０μｍ程度がより好ましく、１５〜５０μｍ程度がさらに好ましい。 Furthermore, the thickness accuracy of the suction sheet can be set to about ± 2 μm when the sheet thickness is in the range of 12.5 to 100 μm. The thickness of the adsorption sheet is more preferably about 15 to 90 μm, and more preferably about 15 to 50 μm, since the air permeability is poor when the sheet is too thick.
吸着用シートの通気度（厚さ方向の通気度）は、ＪＩＳ Ｐ８１１７（２００９）に準拠して測定したガーレー数にして、１０秒／１００ｍＬ以下であり、３秒／１００ｍＬ以下が好ましい。吸着用シートの通気度は、貫通孔の径及び貫通孔の密度（１平方センチメートル当たりの孔数）により調整できる。通気度の測定方法は、後記する実施例に記載のとおりである。下限値は特に限定されないが、例えば、０．０１秒／１００ｍＬであってもよい。 The air permeability (the air permeability in the thickness direction) of the adsorption sheet is 10 seconds / 100 mL or less, and preferably 3 seconds / 100 mL or less, as the Gurley number measured according to JIS P8117 (2009). The air permeability of the adsorption sheet can be adjusted by the diameter of the through holes and the density of the through holes (the number of holes per square centimeter). The method for measuring the air permeability is as described in the examples described later. Although a lower limit is not specifically limited, For example, 0.01 second / 100 mL may be sufficient.
吸着用シートの孔密度（１平方センチメートル当たりの孔数）は特に限定されないが、例えば、１０個／ｃｍ2〜１×１０8個／ｃｍ2であってもよく、孔の数が多すぎると近接した孔同士の結合によって孔が拡大する等のシートの機械的強度が低下するおそれがあり、少なすぎると十分な通気性が得られないことから、５．０×１０3個／ｃｍ2〜７．０×１０7個／ｃｍ2程度が好ましい。 The hole density (number of holes per square centimeter) of the adsorption sheet is not particularly limited, but may be, for example, 10 holes / cm 2 to 1 × 10 8 holes / cm 2. The mechanical strength of the sheet may decrease due to expansion of the holes due to bonding between the holes, and if the amount is too small, sufficient air permeability cannot be obtained, so 5.0 × 10 3 pieces / cm 2 to 7 About 0.0 × 10 7 pieces / cm 2 is preferable.
本発明の他の実施態様において、吸着用シートは、色を有していてもよい。色は、特に限定されないが、作業対象物（例えば、セラミックグリーンシート）に付着した異物（特に、黒色、緑色等の黒色系の異物）を視認しやすい点から、白色系の色が好ましい。 In another embodiment of the present invention, the adsorption sheet may have a color. The color is not particularly limited, but a white color is preferable from the viewpoint that foreign matters (particularly black foreign matters such as black and green) attached to a work target (for example, a ceramic green sheet) are easily visible.
前記白色系の吸着用シートは、例えば、樹脂シートの内部に分散された白色粒子及び／又は前記樹脂シートの主面上に配置された白色層を有するものが好ましい。当該着色された吸着用シートにおいて、開口径ａの貫通孔を有する主面のハンター白色度は、７０以上が好ましく、７５以上がより好ましく、８０以上がさらに好ましい。 The white-based adsorption sheet preferably has, for example, white particles dispersed inside a resin sheet and / or a white layer disposed on the main surface of the resin sheet. In the colored adsorption sheet, the hunter whiteness of the main surface having a through hole having an opening diameter a is preferably 70 or more, more preferably 75 or more, and further preferably 80 or more.
前記白色度は、吸着用シート４における白色粒子１０の含有量及び粒子径により調整できる。ハンター白色度は、例えば、色差計（日本電色工業株式会社製、商品名：ＮＤ−１００１ＤＰ、Ｃ光源、２゜視野）を用いて、測定することができる。ハンター白色度は、Ｗ＝１００−［（１００−Ｌ）2＋ａ2＋ｂ2〕1/2（式中、Ｌは明度を表し、ａは赤色度を表し、ｂは黄色度を表す。）の式を用いて求めることができる。
The whiteness can be adjusted by the content and particle diameter of the
ここで、前記ハンター白色度は、特定の青色フィルタを通して青〜スミレ色の部分の光（主波長４５７ｎｍ）を４５度の入射角で試験片面に投射し、垂直方向（０度の角度）に反射する光を受光したときの反射量を電気的に測定する。また、同様の条件で酸化マグネシウム標準白色板での反射量を測定し、これを１００として、この相対比較によって百分率で試験片の白色度を求める。 Here, the hunter whiteness is reflected in the vertical direction (0 degree angle) by projecting blue to violet light (main wavelength 457 nm) onto the specimen surface at an incident angle of 45 degrees through a specific blue filter. The amount of reflection when receiving light is electrically measured. Further, the amount of reflection on the magnesium oxide standard white plate is measured under the same conditions, and this is taken as 100, and the whiteness of the test piece is obtained as a percentage by this relative comparison.
図５に、本発明の一実施態様に係る吸着用シートを示す。吸着用シート１０４は、貫通孔１２を有する樹脂シート９と、該樹脂シート９の内部に分散された白色粒子１０を有する。
FIG. 5 shows a suction sheet according to an embodiment of the present invention. The
吸着用シート１０４の可視光透過率を低くすると、異物の発見が容易になる。この観点から、吸着用シート１０４の厚さ方向の可視光透過率は６０％以下が好ましく、５０％以下がより好ましい。本明細書において、可視光透過率は、分光光度計（株式会社日立ハイテクノロジーズ社製、Ｕ−４１００）を用い、３００〜２７００ｎｍの波長域について測定した値を意味する。
Decreasing the visible light transmittance of the
本実施形態では、白色粒子１０は樹脂シート９の内部において分散している。白色粒子１０が分散した樹脂シート９の具体例として、テレフタル酸とエチレングリコールからなるＰＥＴポリマー溶液に酸化チタン粒子を分散させることにより作製された白色ＰＥＴが挙げられる。白色粒子１０の粒子径は、前記白色度を得られる限り特に限定されない。また、白色粒子１０の含有量は、前記白色度を得られる限り特に限定されない。
In the present embodiment, the
白色粒子１０を構成する粒子としては、無機粒子（無機物からなる粒子）が挙げられ、具体的には酸化チタン粒子、酸化ジルコニウム粒子、酸化ケイ素粒子、アルミナ粒子等が挙げられる。特に、酸化チタン粒子を用いると、吸着用シート１０４の耐候性が向上し、吸着用シート１０４の白色度が長期にわたって維持される。
Examples of the particles constituting the
さらに、図６に、他の実施態様に係る吸着用シートを、厚さ方向に平行な断面で切断した断面図を示す。図６に示す吸着用シート１０４は、樹脂シート１０９と、白色層１３１
とを備えている。
Further, FIG. 6 shows a cross-sectional view of a suction sheet according to another embodiment, cut along a cross section parallel to the thickness direction. The
And.
本実施態様の樹脂シート１０９は、内部において白色粒子が分散していないこと以外は樹脂シート９と同様のシートである。
The
白色層１３１は白色粒子１０の材料と同様の材料からなる層であり、吸着用シート１０４の主面上の一方（作業対象物に対向する主面）に配置されている。白色層１３１は、例えば予め形成した白色粒子１１０（白色粒子１０の材料と同様の材料からなる白色粒子）をコーティングして形成することができる。白色層１３１は、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法等の薄膜形成プロセスにより形成することもできる。薄膜形成プロセスによれば、白色層１３１（すなわち作業対象物に対向する主面１０４ａ）を平滑にできる。この場合、前記主面１０４ａの表面粗さ（算術平均粗さＲａ）を０．１〜１．５μｍにできる。また、白色層１３１の厚さは、前記白色度を得られる限り特に制限されない。
The
また、本実施形態では、樹脂シート１０９と白色層１３１との間に下地層１３２が介在している。下地層１３２は、樹脂シート１０９及び白色層１３１に接触している。下地層１３２は、吸着用シート１０４の光透過性を低下させるための層である。下地層１３２層が存在する場合は、厚さ方向の可視光透過率を例えば１０％以下にできる。ただし、吸着用シート１０４の白色度が前記範囲内である限り、下地層１３２を省略してもよい。
In the present embodiment, the
下地層１３２を構成する材料は、例えば、金属、金属炭化物、金属窒化物、金属酸化物及び金属フッ化物から選ばれる少なくとも１つから選択すればよい。好適な下地層１３２としては、アルミナ層が挙げられる。コストの観点、耐熱性及び絶縁性の観点、製造（スパッタリング）の容易さの観点、並びに取り扱いの容易さの観点から、アルミナ層が好ましい。
The material constituting the
白色層１３１及び下地層１３２を形成する方法は特に限定されない。下地層１３２としてアルミナ層を形成する場合は、例えば樹脂シート１０９上にアルミナをスパッタリング、蒸着（真空蒸着）その他の薄膜形成プロセスにより堆積させればよい。また、下地層１３２を形成する場合、下地層１３２上に白色層１３１を形成する。白色層１３１を形成する方法は特に限定されないが、蒸着により白色層１３１を形成すればよい。蒸着により堆積させる白色層１３１の例としては、酸化チタンからなる層が挙げられる。
The method for forming the
また、下地層１３２を形成しない場合に比べると、下地層１３２を形成する場合は、白色層１３１を堆積させ易くなる。すなわち、作業対象物に対向する主面の開口径ａが１０μｍ以下であり、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを準備する工程と、スパッタリングによりこの樹脂シート上に下地層を堆積させる工程と、下地層上に白色層を堆積させる工程と、を備える吸着用シートの製造方法によれば、好適に吸着用シートを作製できる。なお、樹脂シートを準備する工程に代えて、樹脂基材を準備する工程と、イオンビーム照射及び非対称エッチングによって樹脂基材を厚さ方向に貫通するように延びる複数の貫通孔を形成する工程とを採用することもできる。
Further, when the
下地層を形成しない場合、作業対象物に対向する主面の開口径ａが１０μｍ以下であり、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを準備する工程と、樹脂シート上に白色層を堆積させる工程と、を備える吸着用シートの製造方法によって、吸着用シートを作製できる。この場合、白色層を蒸着（真空蒸着）、塗布等により樹脂シート上に形成すればよい。このようにすれば、白色層を備えるとともに、樹脂シートと白色層が直接接し、樹脂シートと白色層との２層からなる吸着用シートを好適に得ることができる。下地層を形成せず、樹脂シートと白色層との２層からなる吸
着用シートを作製することによって、材料費の削減及び製造工程の削減が可能となる。
When the base layer is not formed, a single-layer resin having a plurality of through-holes in which the opening diameter a of the main surface facing the work object is 10 μm or less, the central axis extends linearly, and penetrates in the thickness direction An adsorption sheet can be produced by a method for producing an adsorption sheet comprising a step of preparing a sheet and a step of depositing a white layer on the resin sheet. In this case, a white layer may be formed on the resin sheet by vapor deposition (vacuum vapor deposition), coating, or the like. If it does in this way, while providing a white layer, a resin sheet and a white layer will touch directly, and the sheet | seat for adsorption | suction which consists of two layers of a resin sheet and a white layer can be obtained suitably. By forming an adsorption sheet composed of two layers of a resin sheet and a white layer without forming a base layer, it is possible to reduce material costs and manufacturing processes.
本実施形態では、吸着用シート１０４の主面のうち、白色層１３１が形成されている側とは反対側の主面である１０４ｂが、吸着ユニットの吸着面１３に対向すべき主面であり、白色層１３１が形成されている側の主面１０４ａが、作業対象物１５（セラミックグリーンシート２２）に対向すべき主面である。前記主面１０４ａは白色層１３１により構成されている。
In the present embodiment, among the main surfaces of the
本発明のさらなる態様において、内部に白色粒子１０が分散された樹脂シート９と、必要に応じて下地層１３２を有していてもよい上記白色層１３１とを組み合わせた吸着用シートとしてもよい。
In a further aspect of the present invention, an adsorption sheet may be formed by combining the resin sheet 9 in which the
本発明の吸着用シートは、開口径ａの貫通孔を有する主面に、当該面の離型性を向上させるコーティングが施されていてもよい。コーティングは、例えば、フッ素化合物等、表面の摩擦係数を低下させる作用を有する化合物のコーティングである。このような吸着用シートは、当該開口径ａの貫通孔を有する主面（コーティング面）が作業対象物に対向するように、吸着ユニットの吸着面に配置されて使用される。 In the adsorption sheet of the present invention, the main surface having a through hole having an opening diameter a may be coated with a coating that improves the releasability of the surface. The coating is, for example, a coating of a compound having an action of reducing the friction coefficient of the surface, such as a fluorine compound. Such a suction sheet is used by being disposed on the suction surface of the suction unit so that the main surface (coating surface) having a through hole with the opening diameter a faces the work target.
吸着用シートは、開口径ｂの貫通孔を有する主面に、当該面における貫通孔の開口が露出している限り、粘着剤を有していてもよい。粘着剤の種類は特に限定されない。貫通孔の開口は、吸着用シートの通気度に関する上記規定が満たされる限り、少なくともその一部が露出していればよい。 As long as the opening of the through hole in the said surface is exposed to the main surface which has a through-hole of the opening diameter b, the sheet | seat for adsorption | suction may have an adhesive. The kind of adhesive is not specifically limited. As long as the above-mentioned regulation regarding the air permeability of the suction sheet is satisfied, at least a part of the opening of the through hole may be exposed.
吸着用シートを吸着ユニットの吸着面に配置する方法は特に限定されず、公知の方法に従えばよい。 The method for arranging the suction sheet on the suction surface of the suction unit is not particularly limited, and may be a known method.
本発明の吸着方法は、吸着ユニットの吸着面に作業対象物を吸着させる工程を含む。ここで、吸着用シートが吸着用ユニットの吸着面に配置されている限り、当該工程の詳細は特に限定されない。 The adsorption method of the present invention includes a step of adsorbing a work object on the adsorption surface of the adsorption unit. Here, as long as the suction sheet is disposed on the suction surface of the suction unit, details of the process are not particularly limited.
図７に、本発明の吸着方法の一例を示す。図７に示す方法では、吸着ユニット１４に作業対象物１５が吸着される。吸着ユニット１４の吸着面１３には、図１に示す吸着用シート１１が配置されており、作業対象物１５は、吸着用シート１１を介して吸着面１３に吸着される。具体的には、吸着用シート１１は、他方の主面の開口径ａに対してａ＜ｂ（ａ／ｂは８０％以下であり、より好ましくはａ／ｂは６０％以下）を満たす開口径ｂの孔を有する一方の主面４ｂ，１０４ｂが吸着ユニットの吸着面に対向し、前記他方の主面４ａ，１０４ａが作業対象物１５に対向するように配置される。吸着ユニット１４は、吸着ユニット１４に吸引力を発生させるポンプ（図示せず）に接続される。なお、図７に示す吸着ユニット１４の吸着面１３は複数の孔１６を有し、孔１６によって、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸引力が発生する。吸着ユニット１４における孔１６が形成されている範囲Ｌ１は、作業対象物１５の範囲Ｌ２よりも狭いことが好ましい。
FIG. 7 shows an example of the adsorption method of the present invention. In the method shown in FIG. 7, the
また、他の実施態様では、吸着用シートが、樹脂シートの内部に分散された白色粒子及び／又は前記樹脂シートの主面上に配置された白色層を備えており、前記開口径ａの孔を有する一方の主面４ａ，１０４ａの白色度が高いため、前記主面４ａ，１０４ａに異物が付着しても、付着した異物を容易に視認することができる。したがって、前記主面４ａ，１０４ａに付着した異物によって作業対象物が傷つくおそれが低減する。
In another embodiment, the adsorbing sheet includes white particles dispersed inside the resin sheet and / or a white layer disposed on the main surface of the resin sheet, and the hole having the opening diameter a. Since one of the
他の実施態様では、開口径ａの貫通孔を有する主面がコーティングされた上述の吸着用シートを用いる。本吸着方法では、当該吸着用シートを、コーティング面（開口径ａの貫
通孔を有する主面）が作業対象物に対向するように、吸着面に配置する。これにより、吸着ユニットからの作業対象物の離型性が向上する。
In another embodiment, the above-described adsorption sheet coated with a main surface having a through hole with an opening diameter a is used. In this suction method, the suction sheet is arranged on the suction surface such that the coating surface (the main surface having a through hole with an opening diameter a) faces the work target. Thereby, the releasability of the work object from the adsorption unit is improved.
また、他の実施態様では、開口径ｂの貫通孔を有する主面に粘着剤を有する、上述の吸着用シートを用いる。本吸着方法では、当該吸着用シートを、粘着剤を有する面（粘着面）が吸着ユニットの吸着面と対向するように、吸着面に配置する。 In another embodiment, the above-described adsorption sheet having an adhesive on the main surface having a through hole with an opening diameter b is used. In this suction method, the suction sheet is disposed on the suction surface such that the surface having the adhesive (adhesion surface) faces the suction surface of the suction unit.
次に、上記吸着用シートを用いたセラミックコンデンサの製造方法について、以下に説明する。本発明のセラミックコンデンサの製造方法は、離型フィルム上に形成されたセラミックグリーンシートを、吸着ユニットの吸着面に吸着させて離型フィルムから剥離する剥離工程と、剥離したセラミックグリーンシートを、吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、剥離工程及び積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシート積層体を焼成する焼成工程と、を含む。ここで、吸着用シートが吸着ユニットの吸着面に配置されている限り、各工程の詳細は特に限定されず、公知の方法に従えばよい。 Next, the manufacturing method of the ceramic capacitor using the said sheet | seat for adsorption | suction is demonstrated below. The method for producing a ceramic capacitor of the present invention includes a peeling step in which a ceramic green sheet formed on a release film is adsorbed on an adsorption surface of an adsorption unit and peeled from the release film, and the peeled ceramic green sheet is adsorbed. A stacking process in which the ceramic green sheet laminate obtained by repeating the peeling process and the stacking process a plurality of times is fired. Including. Here, as long as the suction sheet is disposed on the suction surface of the suction unit, details of each step are not particularly limited, and a known method may be followed.
本発明の製造方法では、吸着用シートを、開口径ｂの貫通孔を有する主面が吸着ユニットの吸着面に対向するように配置される。樹脂シートは単層で効果を奏するため、吸着用シートとして用いることによって、孔径の異なる吸着用シートを積層する工程、積層時の貫通孔の位置合わせをする工程等の煩雑な作業が不要であり、工業的に有利である。 In the manufacturing method of the present invention, the suction sheet is arranged so that the main surface having a through hole with an opening diameter b faces the suction surface of the suction unit. Since the resin sheet is effective in a single layer, use of the resin sheet as an adsorption sheet eliminates the need for complicated operations such as a process for laminating adsorption sheets with different hole diameters and a process for aligning through holes during lamination. Industrially advantageous.
図８Ａ〜図８Ｃに、本発明のセラミックコンデンサの製造方法の一例における各工程を示す。図８Ａは剥離工程を、図８Ｂは積層工程を、図８Ｃは焼成工程を、それぞれ示す。 8A to 8C show each step in an example of the method for producing a ceramic capacitor of the present invention. 8A shows the peeling process, FIG. 8B shows the lamination process, and FIG. 8C shows the firing process.
図８Ａに示す剥離工程では、離型フィルム２１上に形成されたセラミックグリーンシート２２（図８Ａの（１）参照）を、吸着ユニット１４の吸着面１３に吸着させて、離型フィルム２１から剥離する（図８Ａの（２），（３）参照）。吸着面１３の表面には、上述した吸着用シート１１が配置されており、セラミックグリーンシート２２は、吸着用シート１１を介して吸着面１３に吸着される。
8A, the ceramic green sheet 22 (see (1) in FIG. 8A) formed on the
図８Ｂに示す積層工程では、剥離工程において剥離したセラミックグリーンシート２２を、吸着面１３に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシート２２と積層する（図８Ｂの（１）〜（３）参照）。
In the stacking process shown in FIG. 8B, the ceramic
図８Ｃに示す焼成工程では、図８Ａに示す剥離工程及び図８Ｂに示す積層工程を複数回繰り返して得られたセラミックグリーンシート２２の積層体２３を焼成して、焼成体２４を得る。その後、焼成体２４に電極を配置する工程等を経て、セラミックコンデンサが得られる。図８Ｃに示す積層体２３は、図を分かり易くするために８層に過ぎないが、実際には、剥離工程及び積層工程を繰り返すことによって、より多く（例えば、３００枚以上等）のセラミックグリーンシート２２が積層されてもよい。
In the firing step shown in FIG. 8C, the
本発明のセラミックコンデンサの製造方法における剥離工程、積層工程及び焼成工程の詳細は、公知のセラミックコンデンサの製造方法に従えばよい。 The details of the peeling step, the laminating step, and the firing step in the method for producing a ceramic capacitor of the present invention may be in accordance with a known method for producing a ceramic capacitor.
本発明のセラミックコンデンサの製造方法は、必要に応じ、剥離工程、積層工程及び焼成工程以外の任意の工程を含んでいてもよい。 The manufacturing method of the ceramic capacitor of this invention may include arbitrary processes other than a peeling process, a lamination process, and a baking process as needed.
また、製造方法の他の実施態様では、吸着用シートが、樹脂シートの内部に分散された白色粒子及び／又は前記樹脂シートの主面上に配置された白色層を備えており、前記開口径ａの孔を有する一方の主面４ａ，１０４ａの白色度が高い。そのため、前記主面４ａ，
１０４ａに異物が付着しても、付着した異物を視認し易く、容易に異物を除去できるため、前記主面４ａ，１０４ａに付着した異物によってセラミックグリーンシートが傷つき、セラミックコンデンサの品質が低下するおそれが低減する。
In another embodiment of the manufacturing method, the adsorption sheet includes white particles dispersed inside the resin sheet and / or a white layer disposed on the main surface of the resin sheet, and the opening diameter The whiteness of one
Even if foreign matter adheres to 104a, the attached foreign matter is easy to visually recognize and can be easily removed. Therefore, the ceramic green sheet may be damaged by the foreign matter attached to the
さらに、他の実施態様では、開口径ａの貫通孔を有する主面がコーティングされた上述の吸着用シートを用いる。本製造方法では、当該吸着用シートを、コーティング面（開口径ａの貫通孔を有する主面）がセラミックグリーンシートに対向するように、吸着面に配置する。これにより、吸着ユニットからのセラミックグリーンシートの離型性が向上する。 Furthermore, in another embodiment, the above-described adsorption sheet coated with a main surface having a through hole with an opening diameter a is used. In this manufacturing method, the said adsorption | suction sheet | seat is arrange | positioned at an adsorption | suction surface so that a coating surface (main surface which has a through-hole of opening diameter a) may oppose a ceramic green sheet. Thereby, the mold release property of the ceramic green sheet from the adsorption unit is improved.
また、他の実施態様では、開口径ｂの貫通孔を有する主面に粘着剤を有する、上述の吸着用シートを用いる。本製造方法では、当該吸着用シートを、粘着剤を有する面（粘着面）が吸着ユニットの吸着面と対向するように、吸着面に配置する。 In another embodiment, the above-described adsorption sheet having an adhesive on the main surface having a through hole with an opening diameter b is used. In this manufacturing method, the said adsorption | suction sheet | seat is arrange | positioned at an adsorption | suction surface so that the surface (adhesion surface) which has an adhesive may oppose the adsorption | suction surface of an adsorption | suction unit.
本発明は、本発明の効果を奏する限り、本発明の技術的範囲内において、上記の構成を種々組み合わせた態様を含む。 The present invention includes embodiments in which the above-described configurations are variously combined within the technical scope of the present invention as long as the effects of the present invention are exhibited.
次に、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。 EXAMPLES Next, although an Example is given and this invention is demonstrated further more concretely, this invention is not limited at all by these Examples.
実施例及び比較例のシートの各物性について、以下の方法で測定した。 About each physical property of the sheet | seat of an Example and a comparative example, it measured with the following method.
[孔径]
各実施例及び比較例のシートの表面をＳＥＭ（ＪＥＯＬ社（日本電子株式会社）製、ＪＳＭ−６５１０ＬＶ）により撮像し、得られたＳＥＭ像から任意に選択した１０の貫通孔の孔径（直径）を各々当該像から測定し、その平均値を貫通孔の孔径とした。
[Pore diameter]
The surface of the sheet | seat of each Example and a comparative example was imaged by SEM (the product made by JEOL (JEOL Ltd., JSM-6510LV)), and the hole diameter (diameter) of 10 through-holes arbitrarily selected from the obtained SEM image Were measured from the images, and the average value was taken as the diameter of the through hole.
[孔密度]
シートの孔密度（１平方センチメートル当たりの孔数）は、各試料について、上記の孔径の測定で使用したＳＥＭ像の孔数を目視でカウントし、１平方センチメートル当たりに換算して算出した。なお、ＳＥＭ像の撮影では、可能な限り画像に含まれる孔の輪郭が欠けないように視野範囲を設定した。前記範囲において、隣接する孔とつながっている孔及び画像の境界に跨って存在する孔は、孔径、孔数及び孔密度の評価において評価対象外とした。
[Pore density]
The hole density (number of holes per square centimeter) of the sheet was calculated by visually counting the number of holes in the SEM image used in the above-described measurement of the hole diameter for each sample, and converting it per square centimeter. In the SEM image shooting, the field of view range was set so that the outline of the hole included in the image was not lost as much as possible. In the said range, the hole connected to the adjacent hole and the hole existing over the boundary of the image were excluded from evaluation in the evaluation of the hole diameter, the number of holes and the hole density.
[表面粗さ]
表面粗さは、触針式表面粗さ計（株式会社東京精密製品、サーフコム５５０Ａ）を用いて測定した。測定条件は、先端径Ｒ２５０μｍ、速度０．３ｍｍ／ｓｅｃ、測定長４ｍｍとした。表面粗さとしては、算術平均粗さＲａを測定した。
[Surface roughness]
The surface roughness was measured using a stylus type surface roughness meter (Tokyo Seimitsu Co., Ltd., Surfcom 550A). The measurement conditions were a tip diameter R of 250 μm, a speed of 0.3 mm / sec, and a measurement length of 4 mm. As the surface roughness, the arithmetic average roughness Ra was measured.
[通気度]
通気度としてガーレー数を評価した。ガーレー数は、ＪＩＳ Ｐ８１１７に準拠して、ガーレー式デンソメーター（安田精機製作所製）又は王研式透気度試験装置（旭精工製、ＥＧ０２−Ｓ）を用いて求めた。
[Air permeability]
The Gurley number was evaluated as the air permeability. The Gurley number was determined according to JIS P8117 using a Gurley type densometer (manufactured by Yasuda Seiki Seisakusho) or Oken type air permeability tester (Asahi Seiko Co., Ltd., EG02-S).
［実施例１］
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のＰＥＴからなるシート（it4ip製、Track etched membrane、厚さ２５μｍ）を準備した。このシートは、無孔のＰＥＴシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。
このシートの表面及び断面をＳＥＭにより観察したところ、以下のことが確認された：
（１）貫通孔が、０．２μｍの径を有するストレート孔である；
（２）シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している；
（３）シートの孔密度は、５．７×１０7個／ｃｍ2である。
[Example 1]
A sheet made of commercially available PET having a plurality of through holes penetrating in the thickness direction (it4ip, Track etched membrane, thickness 25 μm) was prepared. This sheet is a sheet produced by irradiating a non-porous PET sheet with an ion beam and chemically etching the irradiated sheet.
Observation of the surface and cross-section of this sheet with SEM confirmed the following:
(1) The through hole is a straight hole having a diameter of 0.2 μm;
(2) there are through holes in the sheet extending in a direction perpendicular to the main surface of the sheet;
(3) The hole density of the sheet is 5.7 × 10 7 holes / cm 2 .
次に前記多孔ＰＥＴシートの一方の主面に、マスキング層としてポリエチレンフィルム（厚さ５５μｍ）をシリコーン系粘着剤により貼付した。これを７５℃に保持したエッチング処理液（エタノール濃度２５質量％、水酸化カリウム濃度１０質量％の水溶液）に２０分浸漬した。エッチング終了後、シートを取出し、ＲＯ水（逆浸透膜水）で浸漬・洗浄し、５０℃の乾燥オーブンにて乾燥した。その後、マスキング層を剥離し、非対称貫通孔が形成された吸着用シートを得た。
Next, a polyethylene film (thickness 55 μm) as a masking layer was attached to one main surface of the porous PET sheet with a silicone-based adhesive. This was immersed in an etching treatment solution (ethanol solution 25 mass%,
得られた吸着用シートの厚さ、孔密度、孔径、マスキング面の表面粗さ（Ｒａ）、及び通気度（ガーレー数）の測定結果を下記表１に示す。 Table 1 shows the measurement results of the thickness, hole density, hole diameter, surface roughness (Ra) of the masking surface, and air permeability (Gurley number) of the obtained sheet for adsorption.
［実施例２］
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のＰＥＴからなるシート（it4ip製、Track etched membrane、厚さ５０μｍ）を準備した。このシートは、無孔のＰＥＴシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。このシートの表面及び断面をＳＥＭにより観察したところ、以下のことが確認された：
（１）貫通孔が、１μｍの径を有するストレート孔である；
（２）シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している；
（３）シートの孔密度は、２×１０5個／ｃｍ2である。
[Example 2]
A sheet made of commercially available PET having a plurality of through holes penetrating in the thickness direction (it4ip, Track etched membrane, thickness 50 μm) was prepared. This sheet is a sheet produced by irradiating a non-porous PET sheet with an ion beam and chemically etching the irradiated sheet. Observation of the surface and cross-section of this sheet with SEM confirmed the following:
(1) The through hole is a straight hole having a diameter of 1 μm;
(2) there are through holes in the sheet extending in a direction perpendicular to the main surface of the sheet;
(3) The hole density of the sheet is 2 × 10 5 holes / cm 2 .
次に前記多孔ＰＥＴシートの一方の主面に、マスキング層としてポリエチレンフィルム（厚さ５５μｍ）をシリコーン系粘着剤により貼付した。これを８５℃に保持したエッチング処理液（エタノール濃度２５質量％、水酸化カリウム濃度１０質量％の水溶液）に３０分浸漬した。エッチング終了後、シートを取出し、ＲＯ水（逆浸透膜水）で浸漬・洗浄し、５０℃の乾燥オーブンにて乾燥した。その後、マスキング層を剥離し、非対称貫通孔が形成された吸着用シートを得た。
Next, a polyethylene film (thickness 55 μm) as a masking layer was attached to one main surface of the porous PET sheet with a silicone-based adhesive. This was immersed in an etching treatment liquid (ethanol concentration 25 mass%,
得られた吸着用シートの厚さ、孔密度、孔径、マスキング面の表面粗さ（Ｒａ）、及び通気度（ガーレー数）の測定結果を下記表１に示す。 Table 1 shows the measurement results of the thickness, hole density, hole diameter, surface roughness (Ra) of the masking surface, and air permeability (Gurley number) of the obtained sheet for adsorption.
［実施例３］
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のＰＥＴからなるシート（it4ip製、Track etched membrane、厚さ５０μｍ）を準備した。このシートは、無孔のＰＥＴシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。このシートの表面及び断面をＳＥＭにより観察したところ、以下のことが確認された：
（１）貫通孔が、１μｍの径を有するストレート孔である；
（２）シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している；
（３）シートの孔密度は、２×１０６個／ｃｍ２である。
[Example 3]
A sheet made of commercially available PET having a plurality of through holes penetrating in the thickness direction (it4ip, Track etched membrane, thickness 50 μm) was prepared. This sheet is a sheet produced by irradiating a non-porous PET sheet with an ion beam and chemically etching the irradiated sheet. Observation of the surface and cross-section of this sheet with SEM confirmed the following:
(1) The through hole is a straight hole having a diameter of 1 μm;
(2) there are through holes in the sheet extending in a direction perpendicular to the main surface of the sheet;
(3) The hole density of the sheet is 2 × 10 6 holes / cm 2 .
次に前記多孔ＰＥＴシートの一方の主面に、マスキング層としてポリエチレンフィルム（厚さ５５μｍ）をシリコーン系粘着剤により貼付した。これを８５℃に保持したエッチング処理液（エタノール濃度２５質量％、水酸化カリウム濃度１０質量％の水溶液）に２５分浸漬した。エッチング終了後、シートを取出し、ＲＯ水（逆浸透膜水）で浸漬・洗浄し、５０℃の乾燥オーブンにて乾燥した。その後、マスキング層を剥離し、非対称貫通孔が形成された吸着用シートを得た。 Next, a polyethylene film (thickness 55 μm) as a masking layer was attached to one main surface of the porous PET sheet with a silicone-based adhesive. This was immersed in an etching treatment liquid maintained at 85 ° C. (an aqueous solution having an ethanol concentration of 25 mass% and a potassium hydroxide concentration of 10 mass%) for 25 minutes. After completion of the etching, the sheet was taken out, immersed and washed with RO water (reverse osmosis membrane water), and dried in a drying oven at 50 ° C. Then, the masking layer was peeled off to obtain a suction sheet in which asymmetric through holes were formed.
得られた吸着用シートの厚さ、孔密度、孔径、マスキング面の表面粗さ（Ｒａ）、及び通気度（ガーレー数）の測定結果を下記表１に示す。 Table 1 shows the measurement results of the thickness, hole density, hole diameter, surface roughness (Ra) of the masking surface, and air permeability (Gurley number) of the obtained sheet for adsorption.
［比較例１］
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のＰＥＴからなるシート（it4ip製、Track etched membrane、厚さ２４μｍ）を準備した。このシートは、無孔のＰＥＴシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。このシートの表面及び断面をＳＥＭにより観察したところ、以下のことが確認された：
（１）貫通孔が、０．６μｍの径を有するストレート孔である；
（２）シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している；
（３）シートの孔密度は、５．７×１０7個／ｃｍ2である。
[Comparative Example 1]
A sheet made of commercially available PET having a plurality of through-holes penetrating in the thickness direction (it4ip, Track etched membrane,
(1) The through hole is a straight hole having a diameter of 0.6 μm;
(2) there are through holes in the sheet extending in a direction perpendicular to the main surface of the sheet;
(3) The hole density of the sheet is 5.7 × 10 7 holes / cm 2 .
このシートの厚さ、孔密度、孔径、表面粗さ（Ｒａ）、及び通気度（ガーレー数）の測定結果を下記表１に示す。 Table 1 below shows the measurement results of the thickness, hole density, hole diameter, surface roughness (Ra), and air permeability (Gurley number) of this sheet.
［比較例２］
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のＰＥＴからなるシート（it4ip製、Track etched membrane、厚さ２５μｍ）を準備した。このシートは、無孔のＰＥＴシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートである。
このシートの表面及び断面をＳＥＭにより観察したところ、以下のことが確認された：
（１）貫通孔が、０．４μｍの径を有するストレート孔である；
（２）シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している；
（３）シートの孔密度は、５．７×１０7個／ｃｍ2である。
[Comparative Example 2]
A sheet made of commercially available PET having a plurality of through holes penetrating in the thickness direction (it4ip, Track etched membrane, thickness 25 μm) was prepared. This sheet is a sheet produced by irradiating a non-porous PET sheet with an ion beam and chemically etching the irradiated sheet.
Observation of the surface and cross-section of this sheet with SEM confirmed the following:
(1) The through hole is a straight hole having a diameter of 0.4 μm;
(2) there are through holes in the sheet extending in a direction perpendicular to the main surface of the sheet;
(3) The hole density of the sheet is 5.7 × 10 7 holes / cm 2 .
次に前記多孔ＰＥＴシートの一方の主面に、マスキング層としてポリエチレンフィルム（厚さ５５μｍ）をシリコーン系粘着剤により貼付した。これを７５℃に保持したエッチング処理液（エタノール濃度２３質量％、水酸化カリウム濃度１０質量％の水溶液）に１０分浸漬した。エッチング終了後、シートを取出し、ＲＯ水（逆浸透膜水）で浸漬・洗浄し、５０℃の乾燥オーブンにて乾燥した。その後、マスキング層を剥離し、非対称貫通孔が形成された吸着用シートを得た。 Next, a polyethylene film (thickness 55 μm) as a masking layer was attached to one main surface of the porous PET sheet with a silicone-based adhesive. This was immersed for 10 minutes in an etching treatment liquid (aqueous solution having an ethanol concentration of 23 mass% and a potassium hydroxide concentration of 10 mass%) maintained at 75 ° C. After completion of the etching, the sheet was taken out, immersed and washed with RO water (reverse osmosis membrane water), and dried in a drying oven at 50 ° C. Then, the masking layer was peeled off to obtain a suction sheet in which asymmetric through holes were formed.
得られた吸着用シートの厚さ、孔密度、孔径、マスキング面の表面粗さ（Ｒａ）、及び通気度（ガーレー数）の測定結果を下記表１に示す。 Table 1 shows the measurement results of the thickness, hole density, hole diameter, surface roughness (Ra) of the masking surface, and air permeability (Gurley number) of the obtained sheet for adsorption.
［比較例３］
厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する市販のＰＥＴからなるシート（it4ip製、Track etched membrane、厚さ４２μｍ）を準備した。このシートは、無孔のＰＥＴシートにイオンビームを照射し、照射後のシートを化学エッチングして製造されたシートある。このシートの表面及び断面をＳＥＭにより観察したところ、以下のことが確認された：
（１）貫通孔が、１５μｍの径を有するストレート孔である；
（２）シートの主面に対して垂直な方向に延びる貫通孔がシート内に存在している；
（３）シートの孔密度は、１×１０5個／ｃｍ2である。
[Comparative Example 3]
A sheet made of commercially available PET having a plurality of through holes penetrating in the thickness direction (it4ip, Track etched membrane, thickness 42 μm) was prepared. This sheet is a sheet produced by irradiating a non-porous PET sheet with an ion beam and chemically etching the irradiated sheet. Observation of the surface and cross-section of this sheet with SEM confirmed the following:
(1) The through hole is a straight hole having a diameter of 15 μm;
(2) there are through holes in the sheet extending in a direction perpendicular to the main surface of the sheet;
(3) The hole density of the sheet is 1 × 10 5 holes / cm 2 .
このシートの厚さ、孔密度、孔径、表面粗さ（Ｒａ）、及び通気度（ガーレー数）の測定結果を下記表１に示す。 Table 1 below shows the measurement results of the thickness, hole density, hole diameter, surface roughness (Ra), and air permeability (Gurley number) of this sheet.
表１に示すように、非対称構造の貫通孔を有する樹脂シートを吸着用シートとして用いた実施例では、ストレート構造の貫通孔を有する比較例に比べて、開口径ａの貫通孔を有する主面の孔の径が小さいながらも、非常に高い通気性が実現できた。このため、吸着ユニットの吸着面に、開口径ｂの貫通孔を有する主面が対向するように配置して使用した場合、良好な通気性を持ちながら、吸着する作業対象物へのダメージを低減させることができる。 As shown in Table 1, in the example using a resin sheet having a through hole with an asymmetric structure as a suction sheet, the main surface having a through hole with an opening diameter a as compared with a comparative example having a through hole with a straight structure Although the diameter of the hole was small, very high air permeability was realized. For this reason, when it is used with the main surface having a through hole with an opening diameter b facing the suction surface of the suction unit, it reduces damage to the work object to be sucked while having good air permeability. Can be made.
本発明の吸着用シート及び吸着方法は、セラミックコンデンサの製造、半導体ウェハー
の製造、微小部品の吸引固定等、幅広い用途に応用できる。
The adsorbing sheet and adsorbing method of the present invention can be applied to a wide range of applications such as production of ceramic capacitors, production of semiconductor wafers, and suction fixing of micro parts.
本発明の各方法において吸着用シートとして使用する樹脂シートは、吸着ユニットの吸着面に配置してセラミックグリーンシートと吸着面との接触を防ぐ目的以外にも、半導体ウェハーをカットあるいは吸引する際の固定ユニット、及び微小部品の吸引固定ユニット等、幅広い吸着ユニットに対して使用できる。 In addition to the purpose of preventing the contact between the ceramic green sheet and the suction surface by placing the resin sheet used as the suction sheet in each method of the present invention on the suction surface of the suction unit, it is possible to cut or suck the semiconductor wafer. It can be used for a wide range of suction units such as a fixing unit and a suction fixing unit for minute parts.
１ 高分子シート
２ イオン
３ （高分子シート１におけるイオン２の衝突の）軌跡
４ マスキング層
５ 細孔（貫通孔）
６，９，１０９ 貫通孔を有する樹脂シート
１０ 白色粒子
４ａ，１０４ａ 一方面
４ｂ，１０４ｂ 他方面
１１，１０４ 吸着用シート
１２ 貫通孔
１３ 吸着面
１４ 吸着ユニット
１５ 作業対象物
１６ 孔
２１ 離型フィルム
２２ セラミックグリーンシート
２３ 積層体
２４ 焼成体
１３１ 白色層
１３２ 下地層
ａ 一方面の開口径
ｂ 他方面の開口径
DESCRIPTION OF
6, 9, 109 Resin sheet having through-
Claims (7)
前記吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、
前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径ａと他方の主面の貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下であり、
前記開口径ａが１０μｍ以下である吸着用シート。 A suction sheet attached to a suction surface of a suction unit that vacuum-sucks a work object,
The adsorption sheet includes a single-layer resin sheet having a plurality of through-holes with a central axis extending linearly and penetrating in the thickness direction,
The ratio a / b between the opening diameter a of the through hole on one main surface of the resin sheet and the opening diameter b of the through hole on the other main surface is 80% or less,
An adsorption sheet having an opening diameter a of 10 μm or less.
前記吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、
前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径ａと他方の主面の貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下であり、
前記開口径ａが１０μｍ以下であり、
前記吸着用シートは、前記開口径ｂの貫通孔を有する主面が前記吸着面に対向するように配置されている、
吸着ユニットへの作業対象物の吸着方法。 Without directly contacting the suction surface and the work object to the suction surface of the suction unit, including the step of sucking the work object through the suction sheet;
The adsorption sheet includes a single-layer resin sheet having a plurality of through-holes with a central axis extending linearly and penetrating in the thickness direction,
The ratio a / b between the opening diameter a of the through hole on one main surface of the resin sheet and the opening diameter b of the through hole on the other main surface is 80% or less,
The opening diameter a is 10 μm or less;
The suction sheet is disposed such that a main surface having a through hole with the opening diameter b is opposed to the suction surface.
A method for adsorbing work objects to the adsorption unit.
剥離した前記セラミックグリーンシートを、前記吸着面に吸着させたまま搬送し、搬送先で他のセラミックグリーンシートと積層する積層工程と、
前記剥離工程及び前記積層工程を複数回繰り返して得られた前記セラミックグリーンシートの積層体を焼成する焼成工程と、を含み、
前記吸着面に、前記セラミックグリーンシートと前記吸着面との直接的な接触を防ぐ、吸着用シートが配置されており、
前記吸着用シートは、中心軸が直線状に延びて、厚さ方向に貫通する複数の貫通孔を有する単層の樹脂シートを備え、
前記樹脂シートの一方の主面の貫通孔の開口径ａと他方の主面の貫通孔の開口径ｂとの比率ａ／ｂが８０％以下であり、
前記開口径ａが１０μｍ以下であり、
前記吸着用シートは、前記開口径ｂの貫通孔を有する主面が前記吸着面に対向するように配置されている、
セラミックコンデンサの製造方法。 A peeling step of peeling the ceramic green sheet formed on the release film from the release film by adsorbing it to the adsorption surface of the adsorption unit;
The laminated ceramic green sheet is conveyed while adsorbed on the adsorption surface, and laminated with another ceramic green sheet at the conveyance destination;
A firing step of firing the laminate of the ceramic green sheets obtained by repeating the peeling step and the laminating step a plurality of times,
An adsorption sheet for preventing direct contact between the ceramic green sheet and the adsorption surface is disposed on the adsorption surface,
The adsorption sheet includes a single-layer resin sheet having a plurality of through-holes with a central axis extending linearly and penetrating in the thickness direction,
The ratio a / b between the opening diameter a of the through hole on one main surface of the resin sheet and the opening diameter b of the through hole on the other main surface is 80% or less,
The opening diameter a is 10 μm or less;
The suction sheet is disposed such that a main surface having a through hole with the opening diameter b is opposed to the suction surface.
Manufacturing method of ceramic capacitor.
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