JP6390522B2 - 光走査装置 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態の光走査装置100は、可変焦点型の光走査装置であり、図1に示すように、反射部1と、屈曲部2と、捩り梁3と、連結部4と、共振駆動部5と、第1支持部6と、強制駆動部7と、第2支持部8とを備える。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
3 捩り梁
5 共振駆動部
7 強制駆動部
Claims (6)
- 板状の第1基部(11)、および、前記第1基部の一面側に形成された、光ビームを反射させる反射面(12a)を有する反射部(1)と、
前記反射部を中心として前記反射面に平行な一方向の両側に延設され、前記反射部を両持ち支持すると共に前記一方向に平行な軸周りに揺動可能とする捩り梁(3)と、
板状の第2基部(51)、および、前記第2基部の表面に形成された第1圧電素子(52)を有し、前記第1圧電素子への電圧の印加により前記捩り梁を共振振動させ、前記反射部を前記一方向に平行な軸周りに揺動させる共振駆動部(5)と、を備え、
前記第1基部、前記捩り梁、前記第2基部は、板状の基板(10)を用いて形成され、
前記反射面の法線方向における前記第2基部の厚みは、前記反射面の法線方向における前記捩り梁の厚みよりも大きく、
前記基板は、活性層(10a)、埋め込み酸化層(10b)、支持層(10c)が順に積層された構造とされており、
前記反射部は、前記活性層の表面側に形成されており、
前記基板のうち前記捩り梁を構成する部分において、前記埋め込み酸化層および前記支持層と、前記活性層の裏面側の一部とが除去されることにより、前記第2基部の厚みが、前記捩り梁の厚みよりも大きくされていることを特徴とする光走査装置。 - 前記活性層の表面が平滑な研磨面とされていることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。
- 前記反射部と前記基板との間に配置された圧電膜(2b)を有し、前記圧電膜と共に前記反射面を屈曲させることで前記反射面による反射光の焦点位置を変化させる屈曲部(2)を備えることを特徴とする請求項1または2に記載の光走査装置。
- 前記捩り梁および前記第2基部は、前記反射面の法線方向における厚みがそれぞれ一定であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の光走査装置。
- 前記基板を用いて形成された板状の第3基部(71)、および、前記第3基部の表面に形成された第2圧電素子(72)を有し、前記第2圧電素子への電圧の印加により、前記反射面に平行で、かつ、前記一方向に垂直な軸周りに前記反射部を揺動させる強制駆動部(7)を備え、
前記反射面の法線方向における前記第3基部の厚みは、前記反射面の法線方向における前記第2基部の厚みよりも小さいことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の光走査装置。 - 前記第1基部は、前記反射面の内周部に対応する部分の厚みが前記反射面の外周部に対応する部分の厚みよりも小さくされており、
前記第1基部のうち前記反射面の内周部に対応する部分の厚みは、前記反射面の法線方向における前記第2基部の厚みよりも小さいことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の光走査装置。
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