JP3921483B2 - マイクロミラー及びその製造方法 - Google Patents
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Description
20,20',120,120'〜720,720':スプリング部
30,130〜730:第1連結部
330a,330b〜730a,730b:第2連結部
40,140〜740:移動コーム
50,150〜750:固定コーム
Claims (15)
- 光を反射する回転自在な円形のミラー部と、
前記ミラー部を支持し、前記ミラー部の回動時に回転軸となる1対のスプリング部と、
前記ミラー部の外周面に一部が外接するとともに、互いに接触しない前記ミラー部の外周面との間に所定のスペースが形成されるように内周面が配置され、前記ミラー部と前記1対のスプリング部を連結する楕円形の連結部と、
前記連結部に設けられる移動コーム(Comb)およびこの移動コームの上部あるいは下部に移動コームと対応すべく設けられて静電気力を生じさせるための固定コームを有する駆動部と、
を備えることを特徴とするマイクロミラー。 - 前記1対のスプリング部は、前記ミラー部の回動時にトーション運動を行うことを特徴とする請求項1に記載のマイクロミラー。
- 前記移動コームのフィンガーが前記連結部の外周面に配されたことを特徴とする請求項1に記載のマイクロミラー。
- 前記移動コームのフィンガーが前記連結部の外周面と内周面に配されたことを特徴とする請求項1に記載のマイクロミラー。
- 前記固定コームが前記移動コームの上部と下部の両方ともに配されたことを特徴とする請求項1から4のうちいずれか1項に記載のマイクロミラー。
- 光を反射する回転自在な円形のミラー部と、
前記ミラー部を支持し、前記ミラー部の回動時に回転軸となる1対のスプリング部と、
前記ミラー部の外周面に一部が外接するとともに、互いに接触しない前記ミラー部の外周面との間に所定のスペースが形成されるように内周面が配置され、前記ミラー部と前記1対のスプリング部を連結する楕円形の連結部と
前記連結部及び前記1対のスプリング部に設けられる移動コームおよびこの移動コームの上部及び/または下部に移動コームと対応すべく設けられて静電気力を生じさせるための固定コームを有する駆動部と、
を備えることを特徴とするマイクロミラー。 - 光を反射する回転自在なミラー部と、
前記ミラー部を支持し、前記ミラー部の回動時に回転軸となる1対のスプリング部と、
前記ミラー部と前記1対のスプリング部を連結するものであって、前記ミラー部の一側部にその一端が外接すべく配され、その他端は前記スプリング部にそれぞれ連結された第1連結部と、
前記第1連結部のスプリング部連結部に一端が連結され、その他端は前記ミラー部の他側部にそれぞれ連結された第2連結部と、
前記第1連結部に設けられる移動コームおよびこの移動コームの上部あるいは下部に移動コームと対応すべく設けられて静電気力を生じさせるための固定コームを有する駆動部と、
を備えることを特徴とするマイクロミラー。 - 前記ミラー部は円形であり、前記第1連結部は楕円形であり、そして前記第2連結部は直線であることを特徴とする請求項7に記載のマイクロミラー。
- 前記移動コームのフィンガーが前記第1連結部の外周面に配されたことを特徴とする請求項8に記載のマイクロミラー。
- 前記移動コームのフィンガーが前記第1連結部の外周面と内周面に配されたことを特徴とする請求項8に記載のマイクロミラー。
- 前記移動コームのフィンガーが前記第1連結部の外周面と前記第2連結部の両側に配されたことを特徴とする請求項8に記載のマイクロミラー。
- 前記固定コームが前記移動コームの上部と下部の両方ともに配されたことを特徴とする請求項7から11のうち何れか1項に記載のマイクロミラー。
- 光を反射する回転自在なミラー部と、
前記ミラー部を支持し、前記ミラー部の回動時に回転となる1対のスプリング部と、
前記ミラー部と前記1対のスプリング部を連結するものであって、前記ミラー部の一側部にその一端が外接すべく配され、その他端は前記スプリング部にそれぞれ連結された第1連結部と、
前記第1連結部のスプリング部連結部に一端が連結され、その他端は前記ミラー部の他側部にそれぞれ連結された第2連結部と、
前記第1連結部及び前記1対のスプリング部に設けられる移動コームおよびこの移動コームの上部及び/または下部に移動コームと対応すべく設けられて静電気力を生じさせるための固定コームを有する駆動部と、
を備えることを特徴とするマイクロミラー。 - 光を反射する回転自在なミラー部と、
前記ミラー部を支持し、前記ミラー部の回動時に回転軸となる1対のスプリング部と、
前記ミラー部と前記1対のスプリング部を連結するものであって、前記ミラー部の一側部にその一端が外接すべく配され、その他端は前記スプリング部にそれぞれ連結された第1連結部と、
前記第1連結部のスプリング部連結部に一端が連結され、その他端は前記ミラー部の他側部にそれぞれ連結された第2連結部と、
前記第1連結部及び1対のスプリング部に設けられる移動コームおよびこの移動コームの上部及び/または下部に移動コームと対応すべく設けられて静電気力を生じさせるための固定コームとを有する駆動部と、
を備えることを特徴とするマイクロミラー。 - 光を反射する回転自在なミラー部と、
前記ミラー部を支持し、前記ミラー部の回動時に回転軸となる1対のスプリング部と、
前記ミラー部と前記1対のスプリング部を連結するものであって、前記ミラー部の一側部にその一端が外接すべく配され、その他端は前記スプリング部にそれぞれ連結された第1連結部と、
前記第1連結部のスプリング部連結部に一端が連結され、その他端は前記ミラー部の他側部にそれぞれ連結された第2連結部と、
前記第1連結部、第2連結部及び1対のスプリング部に設けられる移動コームおよびこの移動コームの上部及び/または下部に移動コームと対応すべく設けられて静電気力を生じさせるための固定コームを有する駆動部と、
を備えることを特徴とするマイクロミラー。
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