JP6390206B2 - 圧電発振器 - Google Patents
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Description
2 容器
3 水晶振動片
4 集積回路素子
5 蓋
6 金属製リング
7 封止材
8 段部
9 凹部
10 振動片搭載電極
301 腕部
302 周波数調整部
Claims (1)
- 上方に開口した凹部を有する容器に、音叉型圧電振動片と集積回路素子とを収容し、容器に蓋を接合することによって前記凹部を気密に封止した圧電発振器であって、
前記音叉型圧電振動片は、基部と、基部の一端側から同方向に伸長する一対の振動腕とを少なくとも有し、
前記一対の振動腕の各先端側には、音叉型圧電振動片の周波数調整が行われる周波数調整部が設けられ、
当該周波数調整部に対して振動腕の根元側には、音叉型圧電振動片を屈曲振動させるための励振電極が形成された振動部が設けられてなり、
前記凹部の内底面に集積回路素子が搭載され、凹部の内底面から上方に突出した段部の上面に音叉型圧電振動片が接合されることにより、
前記周波数調整部全体と、前記振動部の周波数調整部に近い側にある一部の領域とが、平面視で集積回路素子と重畳し、前記振動部と集積回路素子とが平面視で重畳する領域のうち、前記振動腕の伸長方向における長さが、振動部の振動腕の伸長方向における長さに対して50%以下であることを特徴とする圧電発振器。
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- 2014-06-25 JP JP2014130532A patent/JP6390206B2/ja active Active
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