JP6388491B2 - 計測装置を備えたプラズマ発生装置及びプラズマ推進器 - Google Patents
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Description
100 放電容器(プラズマ生成部)
101 アノード
102 RF電源
103 カソード
104 絶縁部材
105 ガス導入孔
106 排気孔
107 光透過窓
108 被処理体
200 発光モニタ(発光分光計測装置)
201 集光レンズ
202 光軸駆動部
203 制御装置
204 プローブ
205 プローブ計測器
400 イオンスラスタ
401 放電容器(プラズマ生成部)
401a 底板
402 イオンビーム抽出電極
403 磁気回路
404 ホローカソード
405 推進ガス供給口
406 アノード
407 スクリーングリッド
408 加速グリッド
409 減速グリッド
410 プラズマビーム
411,426 プローブ
412 プローブ計測器(プローブ測定装置)
413 制御装置
414 発光モニタ(発光分光計測装置)
415 集光レンズ
416 光軸駆動部
421 壁面
432 接着剤
433 支持板
434 スペーサー
435 ナット
500,600 ホールスラスタ
501,601 加速チャネル(プラズマ生成部)
502a,602a チャネル外周壁
502b,602b チャネル内周壁
503,603 カソード
504,604 アノード
504a,605 推進ガス供給口
505,606 外周磁気コア
506,607 中央磁気コア
608 後端板
609 外側磁気コイル
610 内側磁気コイル
611、612 マグネティックシールド
701 プローブ
702 プローブ計測器(プローブ測定装置)
703 制御装置
704 発光モニタ(発光分光計測装置)
705 集光レンズ
706 光軸駆動部
A1 プラズマ発生領域
X1〜X4 光軸
Claims (5)
- 内部に導入されたガスをイオン化してプラズマを生成するプラズマ生成部と、
前記プラズマの発光スペクトルにより前記プラズマの電子密度の相対値を測定する発光分光計測装置と、
前記プラズマ生成部に配置されたプローブにより前記プラズマの電子密度の絶対値を測定するプローブ測定装置と、
前記プローブ測定装置で測定された前記プラズマの電子密度の絶対値に基づいて、前記発光分光計測装置で測定された前記プラズマの電子密度の相対値を絶対値に補正し、補正された絶対値の測定結果に基づいて前記プラズマ生成部に供給する電力量、磁界分布、及び供給ガス量の少なくとも一つを制御する制御装置と、
前記プラズマから前記発光分光計測装置に入光する光の光軸を変化させる光軸駆動部と、を具備することを特徴とする計測装置を備えたプラズマ発生装置。 - 前記発光分光計測装置は、前記プラズマ中の中性粒子に基づく第1発光スペクトルと、前記プラズマ中のイオンに基づく第2発光スペクトルとを選別して前記第1発光スペクトルと前記第2発光スペクトルとのスペクトル強度比を計測し、
前記制御装置は、計測した前記スペクトル強度比に基づいて前記プラズマ生成部に供給する電力量、磁界分布、及び供給ガス量の少なくとも一つを制御する、請求項1に記載の計測装置を備えたプラズマ発生装置。 - 前記プローブが、高周波プローブである、請求項1又は請求項2に記載の計測装置を備えたプラズマ発生装置。
- 前記プローブが、前記プラズマの電子密度が1E18m-3以上1E19m-3以下囲の領域に設置されてなる、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の計測装置を備えたプラズマ発生装置。
- 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の計測装置を備えたプラズマ発生装置を備えたプラズマ推進器。
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