JP6373109B2 - 光デバイスウェーハの加工方法 - Google Patents
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Description
11 光デバイスウェーハ
12 シート状部材
13 サファイア基板
14 DBR膜
15 光デバイス層
18 真空チャンバ
19 LED
20 開口
22 シャッター
24 排気パイプ
26 チャックテーブル
28 ローラー
30 支持基台
Claims (2)
- 表面に光デバイス層が形成された光デバイスウェーハの加工方法であって、
耐熱性を有するシート状部材の片面に分布ブラッグ反射膜を成膜する成膜ステップと、
該成膜ステップを実施した後に、真空雰囲気中で、光デバイスウェーハの裏面に該分布ブラッグ反射膜を対面させて該シート状部材を光デバイスウェーハの裏面に載置して該分布ブラッグ反射膜を該光デバイスウェーハの裏面に接合させ、光デバイスウェーハと該シート状部材とを大気中に取り出す接合ステップと、
該接合ステップを実施した後に、該シート状部材を光デバイスウェーハの裏面に接合した該分布ブラッグ反射膜から剥離する剥離ステップと、を備え、
前記接合ステップは、光デバイスウェーハの表面側が環状フレームの開口に粘着テープを介して支持されたウェーハユニットの形態で実施されることを特徴とする光デバイスウェーハの加工方法。 - 前記接合ステップの前に、光デバイスウェーハが該ウェーハユニットの状態で裏面から研削され薄化される研削ステップを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の光デバイスウェーハの加工方法。
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