JP6370578B2 - 基板洗浄装置 - Google Patents
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Description
搬送される基板を洗浄する基板洗浄装置であって、
一方の面を下に向けた状態で搬送される前記基板の姿勢を維持しつつ、他方の面を吸着して引き寄せた前記基板を搬送する基板搬送機構と、
この基板搬送機構により前記基板が搬送される際に、前記基板の前記一方の面を洗浄する洗浄機構と、を有し、
前記洗浄機構は、
上昇と下降の上下移動が可能で、前記基板搬送機構によって搬送される前記基板の前記一方の面に対向する上部面が扁平な形状を有する押し当てヘッドと、
洗浄クロスを送り出す送り出しローラと、
前記送り出しローラから送り出され、前記押し当てヘッドの前記上部面と前記基板搬送機構との間を経由した前記洗浄クロスを巻き取る巻き取りローラと、
を有し、
前記押し当てヘッドの上昇により、前記基板搬送機構により搬送される前記基板の前記一方の面に前記洗浄クロスを押し当てて前記基板の前記一方の面を洗浄することを特徴とする。
12 基板搬送機構
13 洗浄機構
15 基板
16 基板搬入装置
17 基板搬出装置
17a 第1の基板搬出装置
17b 第2の基板搬出装置
18 搬送ベルト
21 搬送ベルト
25 ワイピングクロス
26a 送り出しローラ
26b 巻き取りローラ
28 押し当てヘッド
30 基板検出センサ
31 洗浄液供給部
Claims (6)
- 搬送される基板を洗浄する基板洗浄装置であって、
一方の面を下に向けた状態で搬送される前記基板の姿勢を維持しつつ、他方の面を吸着して引き寄せた前記基板を搬送する基板搬送機構と、
この基板搬送機構により前記基板が搬送される際に、前記基板の前記一方の面を洗浄する洗浄機構と、を有し、
前記洗浄機構は、
上昇と下降の上下移動が可能で、前記基板搬送機構によって搬送される前記基板の前記一方の面に対向する上部面が扁平な形状を有する押し当てヘッドと、
洗浄クロスを送り出す送り出しローラと、
前記送り出しローラから送り出され、前記押し当てヘッドの前記上部面と前記基板搬送機構との間を経由した前記洗浄クロスを巻き取る巻き取りローラと、
を有し、
前記押し当てヘッドの上昇により、前記基板搬送機構により搬送される前記基板の前記一方の面に前記洗浄クロスを押し当てて前記基板の前記一方の面を洗浄することを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記基板搬送機構は、無端ベルトからなる搬送ベルトであって、無端ベルトの水平部分における所定範囲が吸着領域とされ、この吸着領域で発生する吸着力により前記基板の他方の面を吸着させる請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記洗浄機構は、前記洗浄クロスに洗浄液を供給する洗浄液供給手段を有する請求項1または2に記載の基板洗浄装置。
- 前記洗浄機構は、搬送される前記基板が予め定めた所定位置に達したことを検出する基板検出手段を有し、該基板検出手段による前記基板の検出により、前記洗浄液供給手段による前記洗浄クロスへの洗浄液の供給と、前記押し当てヘッドの前記上昇と、を行う請求項3に記載の基板洗浄装置。
- 前記洗浄機構は、前記基板の洗浄後に前記押し当てヘッドを下降させて、前記巻き取りローラにより前記洗浄クロスを巻き取る請求項1から4のいずれかに記載の基板洗浄装置。
- 洗浄後の前記基板を搬出する基板搬出装置と、この基板搬出装置の前記基板を保持する搬送ベルトを洗浄するベルト洗浄装置とを有し、このベルト洗浄装置は、前記洗浄クロスにより前記搬送ベルトを洗浄する請求項1から5のいずれかに記載の基板洗浄装置。
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