JP6367924B2 - スキャナ装置 - Google Patents
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Description
3 回転軸
5 ミラー
7 アンカー部/アンカー
9 旋回運動/アンカーによって占められる円形軌道部
11 鉄心
13 空隙
15 コイル
17 鉄心のコイルコア部
19 鉄心の第1端部/磁石ヨーク
21 鉄心の第2端部/磁極片部
23 第1永久磁石
25 第2永久磁石
27 第1動作空隙
29 第2動作空隙
31 分割空隙
35 第1電流方向
36 励磁前磁気回路
37 励磁回路
38 半径方向の力ベクトル
39 旋回角度
41 ミラーホルダ
43 回転軸スタブ
45 軸受
47 位置検出器
49 光ビーム/レーザビーム
51 弾性の連結部/交差ばね連結部
Claims (13)
- ・1つの回転軸(3)を中心にして旋回可能に配置された1つのミラー(5)と、
・1つの空隙(13)を有する1つの鉄心(11)及び1つのコイル(15)と、
・1つの第1永久磁石(23)及び1つの第2永久磁石(25)とを備えるスキャナ装置(1)において、
軟磁性材から成る1つのアンカー部(7)が、前記回転軸(3)に対して半径方向に離間して前記ミラー(5)に固定されている結果、前記アンカー部が、前記ミラーの回転時に1つの円形軌道部(9)を占有し、
前記コイル(15)が、前記鉄心の一部(17)の周りに延在するように配置されている結果、第1電流方向(35)に前記コイルに通電する場合は、第1コイル磁界方向に配向されている磁界が、前記空隙内に誘導され、前記第1電流方向に対して逆方向に配向されている第2電流方向に前記コイルに通電する場合は、前記第1コイル磁界方向に対して逆方向の第2コイル磁界方向に配向されている磁界が、前記空隙内に誘導され、
前記第1永久磁石の磁化が、その第1コイル磁界方向の方向を指し示す成分を有し、前記第2永久磁石の磁化が、その第2コイル磁界方向の方向を指し示す成分を有するように、前記第1永久磁石(23)及び前記第2永久磁石(25)は、前記空隙(13)内に配置されていて、
前記アンカー部(7)によって占有される前記円形軌道部(9)が、前記空隙の内部に延在するように、前記鉄心(11)が形成されていて且つ配置されていて、
前記第1永久磁石(23)が、前記回転軸に対する前記空隙(13)内の第1回転角度位置に配置されていて、前記第2永久磁石(25)が、前記回転軸に対する前記空隙(13)内の第2回転角度位置に配置されている当該スキャナ装置。 - 前記第1永久磁石と前記第2永久磁石との磁化が、前記回転軸(3)に対して直交に延在するように、この第1永久磁石(23)とこの第2永久磁石(25)とは配置されている請求項1に記載のスキャナ装置。
- 前記ミラー(5)は、面取りされたミラーであり、前記アンカー部(7)は、このミラーの面取り部に配置されている請求項1又は2に記載のスキャナ装置。
- 前記スキャナ装置は、2つのアンカー部(7)が前記回転軸(3)に対して対称に配置されているように、前記ミラー(5)に固定されている当該2つのアンカー部(7)を有する少なくとも1つのアンカー部対を備える請求項1〜3のいずれか1項に記載のスキャナ装置。
- 前記コイル(15)によって誘導された磁界によって前記ミラー(5)に及ぼされる回転トルクが、回転トルク−角度特性曲線にしたがって前記ミラーの角度位置によって決まり、
前記第1永久磁石(23)及び/又は前記第2永久磁石(25)が、1つの磁極片を有し、前記回転トルク−角度特性曲線にしたがって発生する非線形性が、前記磁極片の形によって引き起こされる磁界の経時変化を用いて少なくとも部分的に補正されるように、前記磁極片は形成されている請求項1〜4のいずれか1項に記載のスキャナ装置。 - 前記ミラー(5)が、前記回転軸(3)を中心にして旋回可能であるように、このミラー(5)は、前記鉄心(11)に軸支されている請求項1〜5のいずれか1項に記載のスキャナ装置。
- 前記ミラー(5)が、前記回転軸(3)を中心にして旋回可能であるように、このミラー(5)は、1つの弾性の連結部(51)によって軸支されている請求項1〜6のいずれか1項に記載のスキャナ装置。
- 電流が、前記コイル(15)に通電されないときに、前記ミラー(5)が、前記弾性の連結部によって提供された復元力によって所定の中立位置に移行されるように、この弾性の連結部(51)は形成されている請求項7に記載のスキャナ装置。
- 前記コイル(15)によって誘導された磁界によって前記ミラー(5)に及ぼされる回転トルクが、回転トルク−角度特性曲線にしたがって前記ミラー(5)の角度位置によって決まり、
前記回転トルク−角度特性曲線にしたがって発生する非線形性が、前記弾性の連結部によって提供された復元力によって少なくとも部分的に補正されるように、この弾性の連結部(51)は形成されている請求項7又は8に記載のスキャナ装置。 - 前記ミラー(5)は、軸を使用しないで軸支されている請求項1〜9のいずれか1項に記載のスキャナ装置。
- 前記コイル(15)は、前記回転軸(3)に対して同心状に配置されている請求項1〜10のいずれか1項に記載のスキャナ装置。
- 前記スキャナ装置は、前記回転軸(3)に対して対称に配置された少なくとも2つのコイルを有する請求項1〜11のいずれか1項に記載のスキャナ装置。
- 前記スキャナ装置は、2つのアンカー部を有する少なくとも1つのアンカー部対を備え、これらのアンカー部が、前記回転軸(3)に対して直交に延在する平面に対して対称に配置されているように、これらのアンカー部は、前記ミラー(5)に固定されている請求項1〜12のいずれか1項に記載のスキャナ装置。
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