KR20100063997A - 광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법 - Google Patents

광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법 Download PDF

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Abstract

광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법이 개시된다.
개시된 광 주사 장치에서는, 광원으로부터 조사된 빔을 편향 미러에 의해 노광 면에 편향시키고, 하나의 포토 센서에서 빔을 검출하며, 감지부가 편향 미러를 구동하는 구동부에 흐르는 전류 정보를 감지하여 주사 동기 신호를 검출한다.

Description

광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법{Laser scanning unit and method of detecting scanning sync signal}
본 발명은 광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 양방향 주사가 가능하고 하나의 포토 센서를 이용하여 주사 동기 신호를 검출하는 광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법에 관한 것이다.
광원으로부터 출사된 빔을 소정 영역에 주사하는 빔 주사 기술은 화상 형성 장치나 주사형 디스플레이 등 다양한 분야에서 응용될 수 있다. 예를 들어, 화상 형성 장치의 빔 주사 유닛에는 폴리곤 미러가 많이 사용된다. 그런데, 폴리곤 미러는 스핀들 모터에 의해 회전되기 때문에 스핀들 모터의 진동, 소음 등의 문제가 크고, 일방향 스캐닝만이 가능하여 스캐닝 속도에 한계가 있다.
따라서, 보다 높은 빔 스캐닝 속도와 소음 문제를 구현하기 위해, 스핀들 모터 및 폴리곤 미러를 대체할 수 있는 주사 장치가 요구되고 있다. 이러한 주사 장치로 정현파 형으로 진동하는 편향 미러를 이용하여 양방향 주사가 가능하게 된 주사 장치가 개발되고 있다. 일반적으로 광 주사 장치에는 유효 주사 영역에의 적정한 주사 위치와 주사 시점을 검출하기 위해 포토 센서가 구비된다. 포토 센서는 주 사 영역의 양쪽 끝에 배치되고, 주사 영역의 끝 부분에서 편향 미러에서 반사된 빔이 포토 센서에 입력되고, 포토 센서로부터 출력되는 신호로부터 주사 시작점과 종점을 알아낸다. 그런데, 폴리곤 미러를 사용하여 일방향으로 주사를 하는 경우에는 주사 방향이 하나로 정해져 있기 때문에 주사 시점을 찾는 것이 간단하다. 하지만, 양방향 주사가 가능한 광 주사 장치에서는 포토 센서로부터 출력되는 신호가 왼쪽과 오른쪽에서 각각 두 개씩 발생하게 되며, 이들 신호 중 어느 신호를 기준으로 주사를 할 것인지를 판별하는 것이 필요하다.
본 발명의 실시예에 따르면, 양방향 주사가 가능하고 편향 미러를 구동하기 위해 공급되는 전류에 대한 정보를 이용하여 주사 동기 신호를 검출할 수 있도록 된 광 주사 장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 양방향 주사가 가능한 광 주사 장치에서 주사 동기 신호를 검출하는 동기 신호 검출 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면,
광원;
상기 광원으로부터 조사된 빔을 노광 면에 편향시키기 위한 편향 미러;
상기 편향 미러에 의해 빔이 주사되는 영역의 일측에 배치되어 상기 편향 미러에서 반사된 빔을 검출하는 포토 센서;
상기 편향 미러에 의해 빔이 주사되는 영역의 타측에 배치되어 상기 포토 센서쪽으로 빔을 반사시키는 미러;
상기 편향 미러를 구동하는 구동부;
상기 구동부에 흐르는 전류 정보를 검출하는 감지부;를 포함하고, 상기 감지부에서 검출된 전류 정보에 따라 주사 동기 신호를 감지하는 광 주사 장치를 제공한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 구동부는 전자기력을 이용하여 편향 미러를 구동할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 구동부가,
상기 편향 미러 하면에 장착된 자석; 상기 자석의 하부에 배치된 것으로, 상기 자석과 상호 작용하는 제1파트와 제2 파트를 가지는 요크; 상기 요크의 둘레에 권선된 코일; 및 상기 코일에 전류를 공급하는 구동 회로;를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 구동 회로가 H 브릿지 회로일 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 편향 미러가 진동 운동에 의해 양방향 주사를 할 수 있다.
상기 전류 정보는 전류 방향을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 빔을 노광 면에 편향시키도록 구동부에 의해 편향 미러를 구동하는 단계; 상기 구동부에 흐르는 전류의 정보를 감지하는 단계; 상기 편향 미러에서 반사된 빔을 포토 센서에서 검출하는 단계; 상기 전류 정보가 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호로부터 두 번째 신호까지 주사를 하는 단계;를 포함하는 주사 동기 신호 검출 방법을 제공한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 빔을 포토 센서에서 검출하는 단계는, 상기 편향 미러에서 반사되어 포토 센서로 직접 입사된 빔을 검출하는 단계; 및 상기 편향 미러에서 반사되어 미러를 경유하여 포토 센서로 입사된 빔을 검출하는 단계;를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 주사를 하는 단계는,
상기 전류 방향이 제1 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호로부터 제1 방향 주사를 시작하는 단계;
상기 전류 방향이 제1 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 두 번째 신호로부터 제1 방향 주사를 종료하는 단계;
상기 전류 방향이 제2 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호로부터 제2 방향 주사를 시작하는 단계; 및
상기 전류 방향이 제2 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 두 번째 신호로부터 제2 방향 주사를 종료하는 단계;를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 전류 방향이 제1 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호와 상기 전류 방향이 제2 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 두 번째 신호는, 빔이 상기 편향 미러에서 상기 포토 센서로 직접 반사되어 검출된 신호일 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 상기 전류 방향이 제1 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 두 번째 신호와 상기 전류 방향이 제2 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호는, 빔이 상기 편향 미러에서 반사되어 미러를 경유하여 포토 센서로 입사될 수 있다.
본 발명에서는 편향 미러를 전자기력을 이용하여 정현파 형태로 공진시키는 광 주사 장치에서 구동부에 인가되는 전류의 정보를 기준으로 주사 동기 신호를 검출한다. 그럼으로써, 양방향 주사를 하는 광 주사 장치에서 하나의 포토 센서를 이용하여 간단하게 주사 동기 신호를 검출할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치는 하나의 포토 센서를 구비하므로 제조 비용을 절감할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치 및 주사 동기 신호 검출 방법에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치를 도시한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치는 광원(10)과, 상기 광원(10)으로부터 조사된 빔을 노광 면에 편향시키기 위한 편향 미러(15)를 포함한다. 상기 편향 미러(15)는 진동 운동을 통해 노광 면에 양방향으로 주사를 한다. 상기 편향 미러(15)는 구동부(35)에 의해 진동되며, 제어부(30)에서 상기 구동부(35)를 제어하여 상기 편향 미러(15)의 진동 주파수와 진폭을 제어한다. 상기 구동부(35)는 예를 들어 전자기력을 이용하여 편향 미러(15)를 구동할 수 있다. 한편, 상기 편향 미러(15)에서 반사된 빔을 노광 면에 결상시키기 위한 결상광학소자(23)가 구비된다.
본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치는 하나의 포토 센서(20)를 구비하여 주사 동기 신호를 검출할 수 있다. 예를 들어, 상기 포토 센서(20)가 상기 편향 미러(15)에 의해 빔이 주사되는 주사 영역의 일측에 배치되고, 미러(25)가 주사 영역의 타측에 배치될 수 있다. 상기 포토 센서(20)는 상기 편향 미러(15)에서 반사된 빔을 수광하여 전기 신호로 출력한다. 상기 미러(25)는 상기 편향 미러(15)에서 반사되어 상기 미러(25)로 입사된 빔을 상기 포토 센서(20) 쪽으로 반사시킨다.
상기 포토 센서(20)는 주사 시점과 종점을 검출하기 위해 사용된다. 예를 들어, 포토 센서에서 빔이 검출되면 주사를 시작하고 그 다음 다시 빔이 검출되면 주사를 종료한다. 일방향 주사를 하는 주사 광학 장치에서는 한 방향으로만 주사를 하기 때문에 주사 동기 신호를 검출하는 것이 용이하다. 하지만, 양방향 주사를 하 는 경우에는 포토 센서로부터 출력되는 신호를 구분할 필요가 있다.
상기 편향 미러(15)가 양방향 주사를 할 때 편향 미러(15)가 회전 방향을 바꾸는 전환점을 T1, T2라고 한다. 상기 편향 미러(15)가 시계 방향으로 회전할 때 T1에서 T2로 빔이 주사되며, 편향 미러(15)가 반시계 방향으로 회전할 때 T2에서 T1으로 빔이 주사될 수 있다. 여기서, 포토 센서(20)로부터 상기 미러(25) 사이의 영역을 유효 주사 영역이라고 하고, 포토 센서(20)와 T1 사이 영역과 상기 미러(25)와 T2 사이 영역을 비주사 영역이라고 한다.
도 2를 참조하면, 포토 센서(20)로부터 출력되는 신호가 제1신호(HL1), 제2신호(HL2), 제3신호(HR1), 및 제4신호(HR2)를 포함할 수 있다. 포토 센서를 주사 영역의 좌,우 양쪽에 각각 구비한 경우에는, 좌, 우에서 각각 두 개씩의 신호가 발생되고, 좌우의 포토 센서가 독립적으로 구비되어 있으므로 좌측 포토 센서에서 출력되는 신호와 우측 포토 센서에서 출력되는 신호를 쉽게 구분할 수 있다. 따라서, 두 개의 포토 센서를 구비한 경우에는 각 포토 센서에서 두 번째로 출력되는 신호를 기준으로 주사 동기 신호를 검출할 수 있다. 하지만, 하나의 포토 센서를 이용하여 주사 동기 신호를 검출하는 경우에는 상기 제1 내지 제4 신호(HL1)(HL2)(HR1)(HR2) 중 어느 신호를 기준 신호로 사용하여 주사 동기를 맞출지를 판정할 필요가 있다. 본 발명에서는 주사 동기 신호를 검출하기 위해, 상기 편향 미러(15)를 구동하기 위해 구동부(35)에서 공급되는 전류를 감지하는 감지부(40)를 구비한다. 도 2에서 T1과 T2는 상기 편향 미러(15)를 진동시키기 위해 서로 반대 방향의 전류가 인가되는 시점을 나타내며, 이는 도 1의 T1과 T2에 대응된 다.
도 3은 상기 편향 미러(15)를 구동하기 위한 구동부(35)를 예시한 것이다. 상기 구동부(35)는 상기 편향 미러(15)의 하면에 장착된 자석(50)과, 상기 자석(50)의 하부에 배치된 요크(52)와, 상기 요크(52)의 둘레에 권선된 코일(63)을 포함한다. 상기 요크(52)는 서로 갭(55)을 두고 마주보는 제1파트(52a)와 제2파트(52b)를 포함하고, 상기 요크(52)의 중앙부에 코일(63)이 권선되어 있다. 상기 코일(63)은 요크(52)의 둘레에 구비된 보빈(60)의 외측에 권선될 수 있다. 상기 제1파트(52a)와 제2파트(52b)는 상기 코일(63)에 흐르는 전류의 방향에 따라 N극과 S극 특성을 갖는다. 그리고, 상기 제1파트(52a)와 제2파트(52b)는 상기 자석(50)에 인접하게 배치되어 자석(50)과 상호 작용함으로써 편향 미러(15)를 진동시킨다. 상기 구동부(35)는 상기 코일(63)에 전류를 공급하기 위한 구동 회로(65)를 구비하고, 상기 구동 회로(65)에 흐르는 전류 정보를 검출하기 위한 감지부(40)가 상기 구동 회로(65)에 결합된다. 전류 정보는 예를 들어 상기 코일(63)에 공급되는 전류의 방향을 포함할 수 있다.
상기 편향 미러(15)의 진동 운동에 대해 도 4a와 도 4b를 참조하여 설명한다. 도 4a는 상기 코일(63)에 전류가 ia 방향으로 흐를 때의 편향 미러(15)의 동작을 보여 준 것이다. 상기 코일(63)에 ia 방향으로 전류가 공급되면, 요크(52)에 전자기력이 발생되어 제1 파트(52a)에는 N극이, 제2 파트(52b)에는 S극이 유도된다. 상기 자석(50)의 상부가 S극이고, 하부가 N극일 때 제1 파트(52a)와 N극 사이에 척력이, 제2 파트(52b)와 N극 사이에 인력이 작용하여 편향 미러(15)가 토션바(18)를 회전축으로 하여 시계 방향으로 회전한다. 도 4b를 참조하면, 상기 코일(63)에 전류가 ib 방향으로 흐를 때, 제1 파트(52a)에 S극이, 제2 파트(52b)에 N극이 유도된다. 따라서, 제1 파트(52a)와 자석(50) 사이에 인력이, 제2 파트(52b)와 자석(50) 사이에 척력이 작용하여 상기 편향 미러(15)가 반시계 방향으로 회전한다. 이와 같은 방식으로 상기 편향 미러(15)는 정현파 형 진동을 한다. 상기 구동 회로(65)는 코일(63)에 교번 전류를 공급하기 위해 예를 들어 H 브릿지 회로로 구성될 수 있다. 도 5는 H 브릿지 회로의 일 예를 도시한 것이다. 하지만, 교번 전류를 공급하는 회로는 당업자라면 다양하게 구성할 수 있으며, 상기 구동 회로(65)가 여기에 한정되는 것은 아니다.
상기 구동 회로(65)에서 코일(63)에 공급하는 전류의 방향에 따라 편향 미러(15)의 진동 방향이 바뀌며, 이것은 코일(63)에 공급되는 전류의 방향에 따라 주사 방향이 바뀜을 의미한다. 예를 들어, 전류 방향이 ia일 때 정방향 주사를 하고, 전류 방향이 ib일 때 역방향 주사를 할 수 있다. 따라서, 상기 구동부(35)에 흐르는 전류 방향을 이용하여 주사 동기 신호를 검출할 수 있다.
도 6은 코일(63)에 인가되는 전류와 포토 센서(20)에서 출력되는 광 검출 신호와의 관계를 나타낸 것이다. 예를 들어, 코일(63)에 ia 전류가 공급되면, 편향 미러(15)가 도 4a에 도시된 바와 같이 시계 방향으로 회전된다. 그러면, 주사 영역(도 1 참조)의 좌측에 있는 포토 센서(20)에서 제2 신호(HL2)가 검출되고, 이어서 주사 영역의 우측에 있는 미러(25)에서 포토 센서(20)로 반사된 빔이 제3 신호(HR1)로 출력된다. 그런 다음, 코일(63)에 공급되는 전류의 방향이 ib로 변환되 면, 빔의 방향이 T2에서 전환되고, 빔이 미러(25)에서 반사되어 포토 센서(20)통해 제4신호(HR2)로 출력된다. 이어서 편향 미러(15)에서 반사되어 포토 센서(20)로 직접 입사한 빔이 제1신호(HL1)로 출력된다. 전류 방향이 ib에서 ia로 바뀌면 빔의 방향이 T1에서 전환되고, 앞서 설명한 바와 같이 HL2, HR1, HR2, HL1의 신호가 반복되어 출력된다. 이를 정리하면, 도 6에 도시된 바와 같이 (ia 전류->HL2 출력->정방향 주사 시작->HR1 출력->정방향 주사 종료->ib 전류->HR2 출력->역방향 주사 시작->HL1 출력->역방향 주사 종료->ia 전류)의 패턴을 가진다. 상기 패턴을 참조하여 전류 방향에 따라 주사 동기 신호를 검출할 수 있다. 다시 말하면, 전류 방향을 감지한 후 포토 센서에서 첫 번째로 출력되는 신호가 주사 시작 신호가 될 수 있으며, 전류 방향을 감지한 후 포토 센서에서 두 번째로 출력되는 신호가 주사 종료 신호가 될 수 있다. 그리고, 전류 방향에 따라 정방향 주사와 역방향 주사를 세팅할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 주사 동기 신호 검출 방법에 대해 도 7을 참조하여 설명한다. 주사 동기 신호를 검출하여 주사를 행하는 광 주사 장치는 도 1과 도 3에 도시된 도면을 참조한다. 먼저, 편향 미러(15)를 구동하는 구동부(35)에 흐르는 전류에 대한 정보를 감지한다(S100). 전류 정보는 구동부(35)에 흐르는 전류의 방향을 포함할 수 있다. 전류 정보를 감지하는 감지부(40)는 다양한 방식으로 구성될 수 있다. 예를 들어, 구동 회로(65)와 코일(63) 사이에 저항을 배치하고, 저항 양단에 걸리는 전압을 측정하여 전류 방향을 감지할 수 있다. 즉, 상기 저항에 나타나는 전압을 Vs라고 하면 ia 전류가 흐를 때와 ib 전류가 흐를 때의 Vs는 서로 반 대 극성을 갖는다. 예를 들어, ia 전류가 흐를 때 전압이 (+)Vs이면, ib 전류가 흐를 때에는 전압이 (-)Vs로 측정된다. 이와 같이 전압을 측정하여 코일에 흐르는 전류 방향을 알 수 있다. 또는, OP 앰프나 트랜지스터를 이용하여 on-off 신호나 (+)/(-) 신호로 출력되도록 함으로써 전류 방향을 감지하는 것도 가능하다. 예를 들어, 도 5에 도시된 H 브릿지 회로에서 Phase 1 트랜지스터가 on될 때, 코일(63)에 흐르는 전류와 Phase 2의 트랜지스터가 on될 때 코일(63)에 흐르는 전류의 방향이 반대이므로, Phase 1과 Phase 2의 동작 상태를 감지하면 코일에 흐르는 전류의 방향을 알 수 있다. 트랜지스터의 동작 상태를 감지하기 위해 Phase 1 트랜지스터의 베이스 저항에 걸리는 전압과, Phase 2 트랜지스터의 베이스 저항에 걸리는 전압을 측정하여 전류 방향을 감지할 수 있다. 동일한 원리를 이용하여 H 브릿지를 구성하고 있는 다른 트랜지스터의 동작 상태를 감지하여 전류 방향을 검출할 수 있으며, 이러한 검출 방법은 당업자라면 용이하게 알 수 있다. 코일에 공급되는 전류에 대한 정보를 알아내는 방법은 여기에 한정되는 것은 아니며 다양한 회로 구성을 통해 변경이 가능함은 물론이다.
상기 감지부(40)가 전류 방향을 ia로 감지하면(S103), 전류 방향을 감지한 후 포토 센서로부터 첫 번째로 출력되는 신호로부터, 화상 신호에 따라 정방향 주사를 시작한다(S105). 여기서는, 전류 방향이 ia일 때 정방향 주사를, 전류 방향이 ib일 때 역방향 주사를 세팅한 경우이다. 이어서, 포토 센서로부터 두 번째로 출력되는 신호로부터 정방향 주사를 종료한다(S107). 다음, 상기 감지부(40)가 전류 방향을 ib로 감지하면(S110), 전류 방향을 감지한 후 포토 센서로부터 첫 번째로 출 력되는 신호로부터, 화상 신호에 따라 역방향 주사를 시작한다(S110). 그리고, 전류 방향 ib를 감지 후 포토 센서에서 두 번째로 출력되는 신호로부터 역방향 주사를 종료한다(S113).
한편, 구동부(35)에서 코일(63)에 전류가 인가되면, 편향 미러(15)가 소정의 공진주파수로 안정적으로 진동하기까지 예비 동작이 필요할 수 있다. 편향 미러의 예비 동작시에는 편향 미러(15)가 진동하는 진폭이 작아 빔이 포토 센서(20)까지 다다르지 못할 수 있다. 이런 경우에 대비하여, 편향 미러가 소정의 기준이 되는 공진 주파수로 진동하는지를 검출한다. 그리고, 편향 미러가 소정 공진 주파수로 진동할 때, 상기 포토 센서에서 광 검출 신호를 검출하도록 한다. 또한, 코일(63)에 전류가 인가되었는데도 소정 시간 내에 광 검출 신호가 검출되지 않는 경우에는 광 주사 장치가 오작동되는 것일 수 있으므로 광 검출 신호가 정상적으로 출력될 때까지 주사 동기 신호에 대한 판단을 유보한다.
이와 같이 본 발명에서는 편향 미러를 전자기력을 이용하여 정현파 형태로 공진시키는 광 주사 장치에서 구동부에 인가되는 전류의 방향을 감지하고, 감지된 전류 방향을 기준으로 포토 센서에서 출력되는 신호 중 어느 신호를 주사 동기 신호로 사용할 지를 판단할 수 있다. 편향 미러를 구동하기 위해 공급되는 전류의 방향은 제어부(도 1의 30)에서 정해지며, 이 전류 방향을 감지하여 포토 센서의 출력 신호의 발생 위치를 용이하게 판단할 수 있다. 그럼으로써, 양방향 주사를 하는 광 주사 장치에서 하나의 포토 센서를 이용하여 광 검출을 할 때 편향 미러를 구동하기 위해 공급되는 전류의 방향을 감지하여 간단하게 주사 동기 신호를 검출할 수 있다. 상기 감지부(40)에 의해 감지된 전류 정보를 이용하여 상기 제어부(30)에서 주사 시점과 주사 종점을 제어한다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치는 하나의 포토 센서를 구비하므로 제조 비용을 절감할 수 있다.
상기한 실시예들은 예시적인 것에 불과한 것으로, 당해 기술분야의 통상을 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 하기의 특허청구범위에 기재된 발명의 기술적 사상에 의해 정해져야만 할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치를 개략적으로 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치의 포토 센서로부터 출력되는 신호를 나타낸 것이다
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치의 구동부를 나타낸 것이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치의 구동부에 사용되는 H 브릿지 회로의 일예를 나타낸 것이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치의 포토 센서로부터 출력되는 광검출 신호와 구동부에 인가되는 전류의 방향과의 관계를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 광 주사 장치의 주사 동기 신호 검출 방법을 나타낸 플로우챠트이다.
<도면 중 주요 부분에 대한 설명>
10...광원, 15...편향 미러
20...포토 센서, 25...미러
30...제어부, 35...구동부
40...감지부, 50...자석
52...요크, 63...코일

Claims (17)

  1. 광원;
    상기 광원으로부터 조사된 빔을 노광 면에 편향시키기 위한 편향 미러;
    상기 편향 미러에 의해 빔이 주사되는 영역의 일측에 배치되어 상기 편향 미러에서 반사된 빔을 검출하는 포토 센서;
    상기 편향 미러에 의해 빔이 주사되는 영역의 타측에 배치되어 상기 포토 센서쪽으로 빔을 반사시키는 미러;
    상기 편향 미러를 구동하는 구동부;
    상기 구동부에 흐르는 전류 정보를 검출하는 감지부;를 포함하고, 상기 감지부에서 검출된 전류 정보에 따라 주사 동기 신호를 감지하는 광 주사 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 구동부는 전자기력을 이용하여 상기 편향 미러를 구동하는 광 주사 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 구동부가,
    상기 편향 미러 하면에 장착된 자석;
    상기 자석의 하부에 배치된 것으로, 상기 자석과 상호 작용하는 제1파트와 제2 파트를 가지는 요크;
    상기 요크의 둘레에 권선된 코일; 및
    상기 코일에 전류를 공급하는 구동 회로;를 포함하는 광 주사 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 구동 회로가 H 브릿지 회로인 광 주사 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 편향 미러가 진동 운동에 의해 양방향 주사를 하는 광 주사 장치.
  6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전류 정보는 전류 방향을 포함하는 광 주사 장치.
  7. 빔을 노광 면에 편향시키도록 구동부에 의해 편향 미러를 구동하는 단계;
    상기 구동부에 흐르는 전류의 정보를 감지하는 단계;
    상기 편향 미러에서 반사된 빔을 포토 센서에서 검출하는 단계;
    상기 전류 정보가 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호로부터 두 번째 신호까지 주사를 하는 단계;를 포함하는 주사 동기 신호 검출 방법.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 빔을 포토 센서에서 검출하는 단계는,
    상기 편향 미러에서 반사되어 포토 센서로 직접 입사된 빔을 검출하는 단계; 및
    상기 편향 미러에서 반사되어 미러를 경유하여 포토 센서로 입사된 빔을 검출하는 단계;를 포함하는 주사 동기 신호 검출 방법.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 주사를 하는 단계는,
    상기 전류 방향이 제1 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호로부터 제1 방향 주사를 시작하는 단계;
    상기 전류 방향이 제1 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 두 번째 신호로부터 제1 방향 주사를 종료하는 단계;
    상기 전류 방향이 제2 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호로부터 제2 방향 주사를 시작하는 단계; 및
    상기 전류 방향이 제2 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 두 번째 신호로부터 제2 방향 주사를 종료하는 단계;를 포함하는 주사 동기 신호 검출 방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 전류 방향이 제1 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호와 상기 전류 방향이 제2 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 두 번째 신호는, 빔이 상기 편향 미러에서 상기 포토 센서로 직접 반사되어 검출된 신호인 주사 동기 신호 검출 방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 전류 방향이 제1 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 두 번째 신호와 상기 전류 방향이 제2 방향으로 감지된 후 포토 센서에서 출력되는 첫 번째 신호는, 빔이 상기 편향 미러에서 반사되어 미러를 경유하여 포토 센서로 입사되어 검출된 신호인 주사 동기 신호 검출 방법.
  12. 제 7항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동부는 전자기력을 이용하여 상기 편향 미러를 구동하는 주사 동기 신호 검출 방법.
  13. 제 12항에 있어서, 상기 구동부는,
    상기 편향 미러 하면에 장착된 자석;
    상기 자석의 하부에 배치된 것으로, 상기 자석과 상호 작용하는 제1파트와 제2 파트를 가지는 요크;
    상기 요크의 둘레에 권선된 코일; 및
    상기 코일에 전류를 공급하는 구동 회로;를 포함하는 주사 동기 신호 검출 방법.
  14. 제 7항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동 회로가 H 브릿지 회로인 주사 동기 신호 검출 방법.
  15. 제 7항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 편향 미러가 진동 운동에 의해 양방향 주사를 하는 주사 동기 신호 검출 방법.
  16. 제 7항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 전류의 정보는 전류 방향을 포함하는 주사 동기 신호 검출 방법.
  17. 제 7항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 포토 센서에 의한 빔 검출은 편향 미러가 소정 공진 주파수로 진동할 때 실시하는 주사 동기 신호 검출 방법.
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