JP6365819B2

JP6365819B2 - 液体噴射装置

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Publication number: JP6365819B2
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Inventors: 弘樹宮嶋
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Filing date: 2014-02-28
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Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射ヘッドをキャップするキャップ本体を有する液体噴射装置に関する。

液体噴射装置としては、例えば、液体としてインクをインク滴として吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備し、インクジェット式記録ヘッドのノズルから吐出されたインク滴を記録用紙等の被噴射媒体に着弾させてドットを形成することで画像等の記録を行うインクジェット式記録装置が挙げられる。

このようなインクジェット式記録装置では、増粘したインク、気泡や塵埃などの異物が混入したインクをノズル開口から吸引するためのキャップ本体が設けられている（特許文献１参照）。

キャップ本体は、インクジェット式記録ヘッドを支持する支持フレームに凸部を設け、キャップ本体に凹部を設け、凸部と凹部とを嵌合させることで、両者の位置決めが行われている。

特開２０１１−７３２２９号公報

しかしながら、キャップ本体に設けられたシール部材は、インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面に当接して密封するため、キャップ本体を支持フレーム等に位置決めする場合、インクジェット式記録ヘッドを構成する部材や支持フレーム等の部材の寸法公差や互いの位置ずれによる誤差が積算されて、シール部材の封止領域への位置決めに大きな誤差が生じてしまう虞があるという問題がある。

また、シール部材が位置ずれしてもノズル開口を確実にシールするためには、シール部材が当接する余白部分を大きくしなくてはならず、インクジェット式記録ヘッドが大型化してしまうという問題がある。

なお、このような問題はインクジェット式記録装置だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射装置においても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、キャップ本体の液体噴射ヘッドへの位置決め精度を向上して、小型化を図ることができる液体噴射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が形成された液体噴射面を有するヘッド本体と、流路部材と、複数の前記ノズル開口が形成された領域の外側に配置された位置決め当接部であるカバーと、を有する液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと相対的に移動可能に配置され、前記液体噴射面と交差した方向に起立する側壁を有するキャップ本体と、前記キャップ本体の内側に収容配置され、前記液体噴射ヘッドと前記キャップ本体との相対的な移動によって前記領域を取り囲んだ状態で前記位置決め当接部と前記側壁とが当接して、前記キャップ本体の内側に密封空間を形成するシール部材と、を備え、前記キャップ本体の前記側壁が、前記液体噴射面の面方向に沿った方向のうちの一方で前記位置決め当接部と当接することで、前記液体噴射ヘッドと前記シール部材との前記液体噴射面に沿った方向の相対位置が規定され、前記カバーは、前記液体噴射面の面方向に沿った方向のうちの一方に対応する端部において、屈曲部を有し、前記屈曲部と前記流路部材との間には、充填剤が充填されており、前記側壁は、前記位置決め当接部に当接する位置決め面を有し、前記屈曲部は、前記側壁の前記位置決め面に対して傾斜して設けられていることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、シール部材が当接する位置決め当接部にキャップ本体の側壁を当接させて位置決めするため、シール部材と位置決め当接部との間にはキャップ本体が介在されるだけとなるので、介在する複数の部品の寸法公差や互いの位置ずれなどの誤差が積算されて大きな誤差が生じるのを抑制して、シール部材を位置決め当接部に対して高精度に位置決めすることが可能となる。したがって、シール部材が当接する領域に位置ずれを考慮した余分な領域を形成する必要がなく、液体噴射ヘッドを小型化することができると共にキャップ本体を小型化することができる。
また、屈曲部によってカバーの剛性が向上すると共に、屈曲部と流路部材との間に充填剤を充填することで、屈曲部の剛性を向上して、側壁が屈曲部に当接した際に屈曲部の変形を抑制することができる。
さらに、屈曲部を位置決め面に対して傾斜して設けることで、側壁の位置決め面と屈曲部とは面接触ではなく線接触するため、屈曲部に対するキャップ本体の位置決めを高精度に行うことができる。すなわち、位置決め面と屈曲部とを面接触させて位置決めさせる場合と比較して、屈曲部の高い面精度が必要となり製造工程を簡略化して、高い精度でキャップ本体のシール部材と液体噴射ヘッドとを位置決めすることができる。
また、前記位置決め当接部は、前記領域を取り囲むように配置されていることが好ましい。これによれば、屈曲部によって位置決め当接部の剛性が向上すると共に、キャップ本体の側壁が位置決め当接部に当接することによる変形を屈曲部によって抑制することができる。
また、前記位置決め当接部は、前記屈曲部を有すると共に、前記側壁の内側と面で当接する当接面を有することが好ましい。これによれば、側壁と屈曲部とが面接触するため、互いに削られる等の破壊が発生するのを抑制して、高精度な位置決めを維持することができる。
また、前記側壁は、前記位置決め当接部に対して、前記液体噴射ヘッドと被噴射媒体との相対移動方向の一方側で当接することが好ましい。これによれば、液体噴射ヘッドの相対移動方向の小型化を図ることができ、液体噴射ヘッドを挟んで設けられた搬送手段の搬送距離を短くして、被噴射媒体の姿勢を高精度に固定することができる。
また、前記位置決め当接部は、前記液体噴射面を露出可能な露出開口部を有し、該露出開口部と前記液体噴射面とは、当該液体噴射面の面内方向において隙間を介して配置されていることが好ましい。これによれば、液体噴射面を小型化してコストを低減することができる。
他の態様は、液体を噴射するノズル開口が形成された液体噴射面と、複数の前記ノズル開口が形成された領域の外側に配置された位置決め当接部と、を有する液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと相対的に移動可能に配置され、前記液体噴射面と交差した方向に起立する側壁を有するキャップ本体と、前記キャップ本体の内側に収容配置され、前記液体噴射ヘッドと前記キャップ本体との相対的な移動によって前記領域を取り囲んだ状態で前記位置決め当接部と前記側壁とが当接して、前記キャップ本体の内側に密封空間を形成するシール部材と、を備え、前記キャップ本体の前記側壁が、前記液体噴射面の面方向に沿った方向のうちの一方で前記位置決め当接部と当接することで、前記液体噴射ヘッドと前記シール部材との前記液体噴射面に沿った方向の相対位置が規定されることを特徴とする液体噴射装置にある。

かかる態様では、シール部材が当接する位置決め当接部にキャップ本体の側壁を当接させて位置決めするため、シール部材と位置決め当接部との間にはキャップ本体が介在されるだけとなるので、介在する複数の部品の寸法公差や互いの位置ずれなどの誤差が積算されて大きな誤差が生じるのを抑制して、シール部材を位置決め当接部に対して高精度に位置決めすることが可能となる。したがって、シール部材が当接する領域に位置ずれを考慮した余分な領域を形成する必要がなく、液体噴射ヘッドを小型化することができると共にキャップ本体を小型化することができる。

ここで、前記側壁は、前記位置決め当接部に当接する位置決め面を有し、前記位置決め当接部は、前記側壁の前記位置決め面に対して傾斜する屈曲部を有することが好ましい。これによれば、側壁の位置決め面と屈曲部とは面接触ではなく線接触するため、屈曲部に対するキャップ本体の位置決めを高精度に行うことができる。すなわち、位置決め面と屈曲部とを面接触させて位置決めさせる場合と比較して、屈曲部の高い面精度が必要となり製造工程を簡略化して、高い精度でキャップ本体のシール部材と液体噴射ヘッドとを位置決めすることができる。

ここで、前記位置決め当接部は、前記領域を取り囲むように配置されており、前記液体噴射面の面方向に沿った方向のうちの一方に対応する端部において、屈曲部を有することが好ましい。これによれば、屈曲部によって位置決め当接部の剛性が向上すると共に、キャップ本体の側壁が位置決め当接部に当接することによる変形を屈曲部によって抑制することができる。

また、前記位置決め当接部は、前記屈曲部を有すると共に、前記側壁の内側と面で当接する当接面を有することが好ましい。これによれば、側壁と屈曲部とが面接触するため、互いに削られる等の破壊が発生するのを抑制して、高精度な位置決めを維持することができる。

また、前記側壁は、前記位置決め当接部に対して、前記液体噴射ヘッドと被噴射媒体との相対移動方向の一方側で当接することが好ましい。これによれば、液体噴射ヘッドの相対移動方向の小型化を図ることができ、液体噴射ヘッドを挟んで設けられた搬送手段の搬送距離を短くして、被噴射媒体の姿勢を高精度に固定することができる。

また、前記位置決め当接部は、前記液体噴射面を露出可能な露出開口部を有し、該露出開口部と前記液体噴射面とは、当該液体噴射面の面内方向において隙間を介して配置されていることが好ましい。これによれば、液体噴射面を小型化してコストを低減することができる。
他の態様は、液体を噴射するノズル開口が形成された液体噴射面と、複数の前記ノズル開口が形成された領域の外側に配置された位置決め当接部と、を有する液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドと相対的に移動可能に配置され、前記液体噴射面と交差した方向に起立する側壁を有するキャップ本体と、前記キャップ本体の内側に収容配置され、前記液体噴射ヘッドと前記キャップ本体との相対的な移動によって前記領域を取り囲んだ状態で前記位置決め当接部に当接して、前記キャップ本体の内側に密封空間を形成するシール部材と、を備え、前記キャップ本体の前記側壁が、前記液体噴射面の面方向に沿った方向のうちの一方で前記位置決め当接部と当接することで、前記液体噴射ヘッドと前記シール部材との前記液体噴射面に沿った方向の相対位置が規定されることを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、シール部材が当接する位置決め当接部にキャップ本体の側壁を当接させて位置決めするため、シール部材と位置決め当接部との間にはキャップ本体が介在されるだけとなるので、介在する複数の部品の寸法公差や互いの位置ずれなどの誤差が積算されて大きな誤差が生じるのを抑制して、シール部材を位置決め当接部に対して高精度に位置決めすることが可能となる。したがって、シール部材が当接する領域に位置ずれを考慮した余分な領域を形成する必要がなく、液体噴射ヘッドを小型化することができると共にキャップ本体を小型化することができる。

実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。実施形態１に係るクリーニングユニットの斜視図である。実施形態１に係るクリーニングユニットの平面図である。実施形態１に係るクリーニングユニットの断面図である。実施形態１に係る記録ヘッドとキャップ本体との断面図である。実施形態２に係る記録ヘッドとキャップ本体との要部拡大断面図である。実施形態２に係る記録ヘッドとキャップ本体との要部拡大断面図である。実施形態３に係る記録ヘッドとキャップ本体との要部拡大断面図である。他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の斜視図である。

図１に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、インクジェット式記録ヘッド１はキャリッジ３に搭載されている。図３に示すように、インクジェット式記録ヘッド１の一方面には、複数のノズル開口２１が形成された液体噴射面２０ａが設けられている。本実施形態では、被噴射媒体である記録シートＳの搬送方向を第１の方向Ｘと称する。また、キャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動可能に設けられている。本実施形態では、キャリッジ軸５の軸方向、すなわち、キャリッジ３の移動方向を第１の方向Ｘに交差する第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に交差する方向を、本実施形態では第３の方向Ｚと称する。なお、本実施形態では、説明理解を容易にするために、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるべきものではない。

キャリッジ３には、インクジェット式記録ヘッド１にインクを供給するためのインク貯留手段であるインクカートリッジ２が着脱可能に設けられている。なお、本実施形態では、インクカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成を例示したが、特にこれに限定されず、インクタンク等の液体貯留手段を装置本体４に固定して、液体貯留手段とインクジェット式記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って第２の方向Ｙに移動される。

一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により第１の方向Ｘに搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

また、装置本体４のキャリッジ３の移動方向の一端部、すなわち、非印字領域には、電源オフ時やインクジェット式記録ヘッド１をメンテナンスする場合にキャリッジ３を位置させるためのメンテナンス位置となるホームポジションが設けられている。このホームポジションの第３の方向Ｚの下方となる位置には、インクジェット式記録ヘッド１からのインク滴の噴射が良好に維持されるように、各種メンテナンス動作を行うメンテナンスユニット２００が設けられている。

まず、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１について、図２〜図４を参照して説明する。なお、図２は、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は、インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面側の平面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ′線断面図、図５は、図３のＢ−Ｂ′線断面図である。

図示するように、インクジェット式記録ヘッド１は、流路部材１３０と、ヘッド本体１４０と、位置決め当接部であるカバーヘッド１５０と、を具備する。

流路部材１３０は、インクカートリッジが直接又は他の流路部材を介して装着されて、インクカートリッジ２のインクをヘッド本体１４０に供給するためのものである。このような流路部材１３０には、インクカートリッジ２のインクを各ヘッド本体１４０に供給する供給路１３１が設けられている。例えば、流路部材１３０に直接インクカートリッジ２が装着される場合には、供給路１３１の一端には、インク供給針等が設けられる。なお、図２に示す例では、インク供給針に代わって、流路部材１３０の第３の方向Ｚの一方面に内部に供給路１３１が設けられた円筒状の突起部を図示しているが、もちろんこれに限定されず、円錐状に先が尖ったインク供給針であってもよい。

ここで、ヘッド本体１４０についてさらに図６及び図７を参照して詳細に説明する。なお、図６は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図７は、ヘッド本体の断面図である。

図示するように、本実施形態のヘッド本体１４０は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０及びケース部材等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。

流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ_２あるいはＡｌ_２Ｏ_３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ_３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル開口２１が並設される方向に沿って並設されている。本実施形態では、この方向を圧力発生室１２の並設方向とも称し、上述したインクジェット式記録装置Ｉの第１の方向Ｘと一致する。すなわち、インクジェット式記録ヘッド１は、圧力発生室１２（ノズル開口２１）の並設方向が、第１の方向Ｘとなるようにインクジェット式記録装置Ｉに搭載される。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向は、第２の方向Ｙと一致する。

また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。

また、流路形成基板１０の一方面側（積層方向であって−Ｚ方向）には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。また、本実施形態では、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａが、特許請求の範囲に記載の「ノズル開口が形成された領域」に相当する。

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部（絞り流路、オリフィス流路）１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。

このような連通板１５としては、ステンレスやＮｉなどの金属、またはジルコニウムなどのセラミックなどを用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

また、ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル開口２１が形成されている。すなわち、ノズル開口２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル開口２１の列（ノズル列）が第２の方向Ｙに２列形成されている。本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル開口２１が開口する第３の方向Ｚの一方面を液体噴射面２０ａと称する。

このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、本実施形態では、成膜及びリソグラフィー法によって積層形成されて圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方又は両方を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護して収容するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の第２電極８０に接続された一端部とは反対側の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線基板１２１とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、このような構成のヘッド本体１４０には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１４０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１４０とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１４０とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。

なお、ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。

このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部となっている。

なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。

このような構成のヘッド本体１４０では、インクを噴射する際に、インクカートリッジ２から流路部材１３０を介して導入路４４からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル開口２１からインク滴が噴射される。

このようなヘッド本体１４０は、図２〜図５に示すように、上述した流路部材１３０にノズル列の並び方向、すなわち、第２の方向Ｙに所定の間隔で４つ固定されている。すなわち、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１には、ノズル開口２１が並設されたノズル列が８列設けられていることになる。このように複数のヘッド本体１４０を用いてノズル列の多列化を図ることで、１つのヘッド本体１４０にノズル列を多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列の多列化を図るために複数のヘッド本体１４０を用いることで、１枚のシリコンウェハから形成できるヘッド本体１４０の取り数を増大させることができ、シリコンウェハの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。

また、流路部材１３０に固定された４つのヘッド本体１４０の液体噴射面２０ａ側は、本実施形態の当接部材であるカバーヘッド１５０によって覆われている。

カバーヘッド１５０は、ヘッド本体１４０の液体噴射面２０ａを露出する露出開口部１５１と、露出開口部１５１を画成する接合部１５２と、を具備する。

露出開口部１５１は、各ヘッド本体１４０の液体噴射面２０ａを独立して露出するように、４つ形成されている。このような露出開口部１５１は、本実施形態では、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５と同じ開口を有する。

接合部１５２は、露出開口部１５１を画成すると共に、第２の方向Ｙで隣接するヘッド本体１４０の間の空間を塞ぐように設けられている。そして、接合部１５２が、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス部４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間に蓋をする。

すなわち、本実施形態のノズル開口２１が形成された領域であるノズルプレート２０の液体噴射面２０ａの外側に、位置決め当接部であるカバーヘッド１５０が設けられており、カバーヘッド１５０は、液体噴射面２０ａの周囲を取り囲むように配置されている。また、カバーヘッド１５０の露出開口部１５１は、ノズルプレート２０よりも大きな開口面積で形成されることで、露出開口部１５１の開口縁部と、ヘッド本体１４０のノズルプレート２０との間には隙間が形成されている。本実施形態では、ノズルプレート２０とカバーヘッド１５０の露出開口部１５１との間の隙間には、充填剤１４２が充填されている。充填剤１４２は、ノズルプレート２０側では液体噴射面２０ａよりも低い位置（液体噴射方向とは反対方向）で、且つカバーヘッド１５０側ではカバーヘッド１５０の表面よりも低い位置となるように形成されている。これにより、詳しくは後述するが、キャップ本体２１０によってノズル開口２１からインクを吸引した際などに、インクがノズルプレート２０と露出開口部１５１の開口縁部との隙間に充填保持されて、保持されたインクが予期せぬタイミングで記録シートＳ上に落下して記録シートＳを汚すのを抑制することができる。

なお、充填剤１４２は、耐液体性を有する材料であれば、特に限定されず、例えば、接着剤などを用いることができる。また、充填剤１４２は、例えば、カバーヘッド１５０をコンプライアンス基板４５に接着する接着剤の一部であってもよい。

また、カバーヘッド１５０は、本実施形態では、ヘッド本体１４０の側面（液体噴射面２０ａとは交差する面）を覆うように、液体噴射面２０ａ側から端部を屈曲して設けられた屈曲部１５３を有する。本実施形態では、液体噴射面２０ａの第１の方向Ｘの両側の側面と、第２の方向Ｙの両側の側面との合計４カ所に屈曲部１５３が設けられている。このように屈曲部１５３を設けることで、カバーヘッド１５０の剛性を向上して、カバーヘッド１５０の変形を抑制することができる。ちなみに、カバーヘッド１５０として、屈曲部１５３が設けられていない平板状の部材を用いた場合、カバーヘッド１５０の剛性が低くなるが、平板状の部材の周囲を屈曲して屈曲部１５３を設けることで、平板状のカバーヘッド１５０に比べてカバーヘッド１５０の剛性を向上することができる。特に、本実施形態では、詳しくは後述するが、メンテナンスユニットのキャップ本体２１０をカバーヘッドに当接させて位置決めするため、カバーヘッド１５０の剛性が低いと変形し易いが、屈曲部１５３を設けることで、キャップ本体２１０がカバーヘッド１５０に当接してもカバーヘッド１５０が変形し難くすることができる。また、屈曲部１５３の外側の面は、詳しくは後述するキャップ本体２１０の位置決め面が当接される当接面１５３ａとなっている。

このようなカバーヘッド１５０としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料や、セラミック材料、ガラスセラミック材料、酸化物などを用いることができる。

また、カバーヘッド１５０は、ヘッド本体１４０の液体噴射面２０ａ側に接着剤１４１を介して接合されている。すなわち、４つのヘッド本体１４０は、１つのカバーヘッド１５０に共通して固定されている。このような接着剤１４１は、本実施形態では、ケース部材４０と屈曲部１５３との間にも充填されて設けられている。これにより、カバーヘッドの剛性、特に屈曲部１５３の剛性が向上される。このため、詳しくは後述するが、キャップ本体２１０がカバーヘッド１５０の屈曲部１５３に当接した際に、屈曲部１５３が変形するのをさらに抑制することができる。なお、接着剤１４１は、全ての屈曲部１５３とケース部材４０との間に設けることで、カバーヘッド１５０の剛性をさらに向上することができるが、少なくともキャップ本体２１０の側壁が当接する屈曲部１５３とケース部材４０との間に接着剤１４１を充填すれば、キャップ本体２１０が当接することによるカバーヘッド１５０の変形を抑制することができる。

このようなカバーヘッド１５０は、本実施形態では、インク（液体）の吐出方向において、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａよりも記録シートＳ側に突出して設けられている。このように、カバーヘッド１５０を液体噴射面２０ａよりも記録シートＳ側に突出させることで、記録シートＳがノズルプレート２０に接触し難くなり、記録シートＳがノズルプレート２０に接触することによるノズルプレート２０の変形及び剥離等の発生を抑制することができる。

そして、このようなインクジェット式記録ヘッド１は、上述したように、第２の方向Ｙがキャリッジ３の移動方向である主走査方向となるように、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。

一方、メンテナンスユニット２００について、図８〜図１１を参照して詳細に説明する。なお、図８は、本発明の実施形態１に係るキャップ本体の斜視図であり、図９は、キャップ本体の平面図であり、図１０は、図９のＣ−Ｃ′線断面図であり、図１１は、インクジェット式記録ヘッド及びキャップ本体の断面図である。

図示するように、メンテナンスユニット２００は、略矩形箱状を有するキャップ本体２１０を備えており、キャップ本体２１０の上面側（第３の方向Ｚ）には、複数の矩形環状を有するシール部材２１１がキャップ開口部を構成するように形成されている。シール部材２１１は、本実施形態では、４つのヘッド本体１４０の液体噴射面２０ａを覆う大きさで形成されている。すなわち、シール部材２１１は、本実施形態では、位置決め当接部であるカバーヘッド１５０の第３の方向Ｚの記録シートＳ側の面に当接する大きさで形成されている。つまり、シール部材２１１は、カバーヘッド１５０に設けられた４つの露出開口部１５１を内包する大きさで形成されている。これにより、シール部材２１１は、カバーヘッド１５０の接合部１５２の記録シートＳ側の面に当接して、キャップ本体２１０の内側に密封空間２１２（図１１参照）を形成する。なお、シール部材２１１は、ヘッド本体１４０毎に個別に設けられていてもよい。すなわち、４つの露出開口部１５１毎に独立した密封空間２１２を形成する４つのシール部材２１１が設けられていてもよい。

また、キャップ本体２１０には、第３の方向Ｚにおいてインクジェット式記録ヘッド１側に突出する側壁２１３を有する。側壁２１３は、本実施形態では、キャップ本体２１０の搬送方向である第１の方向Ｘの一方側に第３の方向Ｚに突出して設けられている。このような側壁２１３は、シール部材２１１側に開口する凹部２１４が第３の方向Ｚに沿って設けられており、側壁２１３の凹部２１４の両側、すなわち、第２の方向Ｙの両側には、２つの位置決め面２１５が設けられている。

なお、キャップ本体２１０のシール部材２１１側の内側には、凹形状を有するホルダー部２１６が設けられている。ホルダー部２１６には、特に図示していないが、多孔質材料等で形成された液体吸収材等が保持されており、ノズル開口２１から吸引したインクを吸収保持するようになっている。

また、メンテナンスユニット２００には、キャップ本体２１０を第３の方向Ｚに昇降させるための昇降装置（図示なし）を備えている。そして、キャリッジ３をホームポジションに移動させた状態で、昇降装置によりキャップ本体２１０を第３の方向Ｚに上昇させることで、シール部材２１１の上端がインクジェット式記録ヘッド１のカバーヘッド１５０に密接され、全てのノズル開口２１がキャップ本体２１０のシール部材２１１に覆われる。また、昇降装置（図示なし）は、キャップ本体２１０をインクジェット式記録ヘッド１に対して第２の方向Ｙに移動可能に設けられており、昇降装置によってキャップ本体２１０が移動されることで、キャップ本体２１０はインクジェット式記録ヘッド１に対して第２の方向Ｙの位置決めが行われる。

具体的には、インクジェット式記録ヘッド１とキャップ本体２１０との液体噴射面２０ａの面内方向のうち、本実施形態の第２の方向Ｙの位置決めは、カバーヘッド１５０の屈曲部１５３の外側の当接面１５３ａに、側壁２１３のシール部材２１１側の内面である２つの位置決め面２１５を当接させることで行われる。つまり、キャップ本体２１０を第２の方向Ｙに移動させて、側壁２１３の位置決め面２１５をカバーヘッド１５０の屈曲部１５３の第２の方向Ｙの外側の当接面１５３ａに面接触させる。これにより、キャップ本体２１０とカバーヘッド１５０との第２の方向Ｙの位置が規定される。すなわち、側壁２１３の位置決め面２１５とシール部材２１１とは互いに位置決めされており、位置決め面２１５をカバーヘッド１５０の当接面１５３ａに当接させることで、シール部材２１１のカバーヘッド１５０の当接位置への位置決めを高精度に行うことができる。つまり、シール部材２１１は、キャップ本体２１０の側壁２１３と、カバーヘッド１５０の屈曲部１５３とを介してカバーヘッド１５０の接合部１５２に位置決めされる。このため、キャップ本体２１０のシール部材２１１をカバーヘッド１５０に高精度に位置決めすることができる。

これに対して、例えば、シール部材２１１をノズルプレート２０の液体噴射面２０ａに直接当接させようとすると、シール部材２１１は、ノズルプレート２０に至るまで、キャップ本体２１０と、カバーヘッド１５０と、コンプライアンス基板４５と、連通板１５との４つの部材が間に介在するため、各部材の寸法公差及び相互の位置決め誤差が積算されて、シール部材が当接する位置に大きな誤差が生じ易い。そして、シール部材２１１が当接する位置に大きな誤差が生じると、シール部材２１１で全てのノズル開口２１を確実に覆うことができずに、ノズル開口２１のクリーニング不良等が発生する虞がある。また、シール部材２１１の位置ずれしても全てのノズル開口２１を確実に覆うためには、シール部材２１１が当接する領域を予め広く取る必要があり、ノズルプレート２０が大型化してインクジェット式記録ヘッド１が大型化してしまう。特に、液体噴射面２０ａの記録シートＳの搬送方向である第１の方向Ｘを大型化してしまうと、記録シートＳの搬送方向において、インクジェット式記録ヘッド１を挟んで設けられた図示しない搬送手段の距離が遠くなり、記録シートＳの固定の制御が困難になる。本実施形態では、シール部材２１１は、当接するカバーヘッド１５０に至るまでに、キャップ本体２１０の１つの部材しか介在しないため、部品の寸法公差及び相互の位置決め誤差が積算されたとしても大きな誤差が生じ難い。したがって、インクジェット式記録ヘッド１に対してシール部材２１１の位置ずれを考慮して当接する領域を広く配置する必要がなく、インクジェット式記録ヘッド１の小型化を図ることができる。特に、本実施形態では、搬送方向である第１の方向Ｘにおいて、シール部材２１１とインクジェット式記録ヘッド１との高精度な位置決めを行うことができるため、インクジェット式記録ヘッド１を挟んで設けられた図示しない搬送手段の距離を短くして、記録シートＳの固定の制御を容易に行って、着弾位置ずれ等による印刷不良を抑制することができると共に、搬送手段の大型化を抑制してインクジェット式記録装置Ｉを小型化することができる。

また、本実施形態では、２つの位置決め面２１５を設け、第２の方向Ｙの一方に設けられた屈曲部１５３の当接面１５３ａの第１の方向Ｘの両端側に当接するようにしたため、シール部材２１１の回転方向の高精度な位置決めを行うことができる。ちなみに、位置決め面２１５を当接面１５３ａの全面に亘って当接する大きさで形成することも可能であるが、位置決め面２１５の面積が大きくなれば、それだけ高い面精度で位置決め面２１５を形成するのは困難である。また、面積の小さな位置決め面２１５を１つだけ設けた場合、位置決め面２１５が当接面１５３ａに当接した状態で、当接した部分を支点とした回転方向の位置決め精度が低下してしまう虞がある。本実施形態では、第１の方向Ｘで離れた位置で１つの当接面１５３ａに当接する２つの位置決め面２１５を設けることで、位置決め面２１５の面積を減少させて、高い面精度で容易に形成することができると共に、回転方向の位置決め精度を向上することができる。

なお、キャップ本体２１０のホルダー部２１６には、図示しない吸引ポンプ等の吸引手段が接続されており、キャップ本体２１０は、シール部材２１１をカバーヘッド１５０に当接させて、ホルダー部２１６に連通する密封空間２１２を形成して、密封した後、吸引手段の吸引によってホルダー部２１６及び密封空間２１２内を負圧として、ノズル開口２１からインクジェット式記録ヘッド１の流路内のインクを気泡と共に吸引して吸引動作（クリーニング動作）を行う。また、非印刷時には、キャップ本体２１０のシール部材２１１によってノズル開口２１を覆うことにより、ノズル開口２１近傍のインクの乾燥を抑制するようにしてもよい。

また、本実施形態では、側壁２１３の位置決め面２１５が当接するカバーヘッド１５０の屈曲部１５３は、ケース部材４０との間に接着剤１４１が充填されているため、屈曲部１５３の剛性が向上されている。したがって、屈曲部１５３に位置決め面２１５が当接することによって、屈曲部１５３の変形、すなわち、屈曲部１５３の角度が変わるのを抑制して、屈曲部１５３の変形による位置ずれを抑制することができる。また、位置決め面２１５が当接面１５３ａに面接触するため、キャップ本体２１０の側壁２１３及びカバーヘッド１５０が互いに接触することによって削られることや破損するのを抑制して、両者の破損による位置ずれを抑制して、高精度な位置決めを長期間維持することができる。

なお、メンテナンスユニット２００には、特に図示していないが、液体噴射面２０ａやカバーヘッド１５０の記録シートＳ側の面を払拭するゴム等の弾性部材で形成されたブレード部材等が設けられていてもよい。このようなブレード部材を設けることで、キャップ本体２１０によるインクジェット式記録ヘッド１のキャッピングが行われた後、ブレード部材によって液体噴射面２０ａを払拭することで、ノズル開口２１のインクのメニスカスを良好に保つことができる。

（実施形態２）
図１２は、本発明の実施形態２に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド及びキャップ本体の断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１２に示すように、位置決め当接部であるカバーヘッド１５０の屈曲部１５３は、第３の方向Ｚに対して傾斜した方向に屈曲されて設けられている。本実施形態では、屈曲部１５３は、液体噴射面２０ａから離れるに従って、ケース部材４０から離れる方向に屈曲して設けられている。また、本実施形態の屈曲部１５３とケース部材４０との間には、上述した実施形態１と同様に接着剤１４１が充填されており、屈曲部１５３の剛性は接着剤１４１によって向上されている。

このようなインクジェット式記録ヘッド１にキャップ本体２１０を位置決めする際には、側壁２１３の位置決め面２１５を屈曲部１５３の先端、すなわち、屈曲部１５３の液体噴射面２０ａとは反対側の端部に接触させることで行われる。このとき、位置決め面２１５と屈曲部１５３とは面接触ではなく線接触するため、屈曲部１５３に対するキャップ本体２１０の位置決めを高精度に行うことができる。すなわち、上述した実施形態１のように位置決め面２１５と屈曲部１５３の当接面１５３ａとを面接触させて位置決めさせる場合、位置決め面２１５と当接面１５３ａとを高い面精度で形成しなくてはならないが、本実施形態では、位置決め面２１５と屈曲部１５３とを面接触ではなく線接触させることで、屈曲部１５３の高い面精度が不要となる。したがって、先端部の位置の精度のみを高精度に規定すればいいため、製造工程を簡略化して、高い精度でキャップ本体２１０のシール部材２１１とカバーヘッド１５０とを位置決めすることができる。

なお、本実施形態では、屈曲部１５３を液体噴射面２０ａから第３の方向Ｚのケース部材４０側に行くに従って、ケース部材４０から離れる角度で屈曲したが、特にこれに限定されない。例えば、図１３に示すように、屈曲部１５３が、液体噴射面２０ａから第３の方向Ｚのケース部材４０側に行くに従い、ケース部材４０に近づくように屈曲されていてもよい。このような場合であっても、位置決め面と屈曲部１５３の液体噴射面２０ａ側、すなわち、屈曲部１５３と接合部１５２との屈曲した領域とを線接触させることができ、上述した構成と同じ効果を奏することができる。

（実施形態３）
図１４は、本発明の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド及びキャップ本体の断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。

図１４に示すように、インクジェット式記録ヘッド１のカバーヘッド１５０には、屈曲部１５３が設けられていない。ただし、接合部１５２は、流路部材１３０の液体噴射面２０ａ側の面よりも大きな面積で形成されており、第２の方向Ｙにおいて流路部材１３０より第２の方向Ｙに突出して設けられている。

また、接合部１５２と流路部材１３０とで形成された角部には、接着剤１４１が設けられており、接合部１５２の流路部材１３０よりも突出した領域は、接着剤１４１によって剛性が向上されている。

このようなインクジェット式記録ヘッド１のカバーヘッド１５０には、キャップ本体２１０の側壁２１３の位置決め面２１５が当接する。すなわち、位置決め面２１５は、カバーヘッド１５０の接合部１５２の端部に当接する。このような構成であっても、カバーヘッド１５０に対してシール部材２１１を高精度に位置決めすることができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態１〜３のインクジェット式記録ヘッド１は、位置決め当接部であるカバーヘッド１５０とノズルプレート２０との間に隙間を形成し、両者が互いに接合されていない構成を例示したが、特にこれに限定されない。ここで、インクジェット式記録ヘッドの他の例を図１５に示す。なお、図１５は、他の実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図である。

図１５に示すように、インクジェット式記録ヘッド１は、流路形成基板１０に直接ノズルプレート２０が接合されている。すなわち、流路形成基板１０とノズルプレート２０との間に連通板１５が設けられておらず、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００とは反対側の開口はノズルプレート２０によって封止されている。このような流路形成基板１０には、圧力発生室１２と、マニホールドの一部を構成する第１マニホールド部１３と、第１マニホールド部１３と圧力発生室１２とを連通するインク供給路１４ａ及び連通路１４ｂとが設けられている。インク供給路１４ａは、圧力発生室１２よりも第１の方向Ｘの幅が狭い幅で形成されており、第１マニホールド部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。連通路１４ｂは、第１の方向Ｘの断面積が圧力発生室１２と略同じ断面積となる大きさで形成されている。これら、圧力発生室１２、第１マニホールド部１３、インク供給路１４ａ、連通路１４ｂは、流路形成基板１０を厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通して設けられており、一方の開口はノズルプレート２０によって封止され、他方の開口は振動板５０によって封止されている。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、保護基板３０が接合されている。保護基板３０には、マニホールド１００の一部を構成する第２マニホールド部３３が形成されている。第２マニホールド部３３は、保護基板３０を厚さ方向に貫通して設けられており、流路形成基板１０の第１マニホールド部１３と、保護基板３０の第２マニホールド部３３とで本実施形態のマニホールド１００が構成されている。

また、保護基板３０上には、マニホールド１００を封止するコンプライアンス基板４５が設けられている。

そして、ノズルプレート２０には、上述した実施形態１〜３と同様に、露出開口部１５１が設けられたカバーヘッド１５０が接合されている。すなわち、図１５に示す例では、カバーヘッド１５０は、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａに接合されている。

このような構成では、カバーヘッド１５０の露出開口部１５１によって露出されたノズルプレート２０の液体噴射面２０ａの一部が、特許請求の範囲に記載の「ノズル開口が形成された領域」に相当する。すなわち、ノズル開口２１が形成された領域と、位置決め当接部とは、上述した実施形態１〜３のように、隙間を介在させて離して配置されている構成も、図１５に示すように、接触して直接連続している構成も含むものである。

また、上述した例では、位置決め当接部として、カバーヘッド１５０を例示したが、特にこれに限定されず、位置決め当接部がノズルプレート２０であってもよい。すなわち、ノズルプレート２０の一部を延設して、延設したノズルプレート２０の一部が、キャップ本体２１０の側壁２１３に当接されるようにしてもよい。この場合には、キャップ本体２１０のシール部材２１１は当然ノズルプレート２０の記録シートＳ側の面、すなわち液体噴射面２０ａに直接当接して密封空間２１２を形成すればよい。

また、上述した各実施形態では、インクジェット式記録ヘッド１が搭載されたキャリッジ３が、第２の方向Ｙのホームポジションに移動した後、キャップ本体２１０が、第１の方向Ｘに移動して、側壁２１３をインクジェット式記録ヘッド１のカバーヘッド１５０に当接させるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１の移動によってキャップ本体２１０の側壁２１３にカバーヘッド１５０を当接させるようにしてもよい。また、側壁２１３の位置は特に限定されず、キャリッジ３の移動方向である第２の方向Ｙの一方側に設けるようにしてもよい。また、第１の方向Ｘの一方側と、第２の方向Ｙの一方側との２カ所に側壁２１３を設けることで、キャップ本体２１０とインクジェット式記録ヘッド１との第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの高精度な位置決めも可能である。

さらに、上述した各実施形態のインクジェット式記録装置Ｉは、インクジェット式記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、上述した各実施形態では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。

Ｉインクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、１０流路形成基板、２０ノズルプレート、２０ａ液体噴射面、２１ノズル開口、３０保護基板、４０ケース部材、１００マニホールド、１２０駆動回路、１２１配線基板、１３０流路部材、１４０ヘッド本体、１４１接着剤、１５０カバーヘッド（位置決め当接部）、１５１露出開口部、１５２接合部、１５３屈曲部、１５３ａ当接面、２００メンテナンスユニット、２１０キャップ本体、２１１シール部材、２１２密封空間、２１３側壁、２１４凹部、２１５位置決め面、２１６ホルダー部、３００圧電アクチュエーター（圧力発生手段）

Claims

液体を噴射するノズル開口が形成された液体噴射面を有するヘッド本体と、流路部材と、複数の前記ノズル開口が形成された領域の外側に配置された位置決め当接部であるカバーと、を有する液体噴射ヘッドと、
前記液体噴射ヘッドと相対的に移動可能に配置され、前記液体噴射面と交差した方向に起立する側壁を有するキャップ本体と、
前記キャップ本体の内側に収容配置され、前記液体噴射ヘッドと前記キャップ本体との相対的な移動によって前記領域を取り囲んだ状態で前記位置決め当接部と前記側壁とが当接して、前記キャップ本体の内側に密封空間を形成するシール部材と、
を備え、
前記キャップ本体の前記側壁が、前記液体噴射面の面方向に沿った方向のうちの一方で前記位置決め当接部と当接することで、前記液体噴射ヘッドと前記シール部材との前記液体噴射面に沿った方向の相対位置が規定され、
前記カバーは、前記液体噴射面の面方向に沿った方向のうちの一方に対応する端部において、屈曲部を有し、
前記屈曲部と前記流路部材との間には、充填剤が充填されており、
前記側壁は、前記位置決め当接部に当接する位置決め面を有し、
前記屈曲部は、前記側壁の前記位置決め面に対して傾斜して設けられていることを特徴とする液体噴射装置。
前記位置決め当接部は、前記領域を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射装置。
前記位置決め当接部は、前記屈曲部を有すると共に、前記側壁の内側と面で当接する当接面を有することを特徴とする請求項２記載の液体噴射装置。
前記側壁は、前記位置決め当接部に対して、前記液体噴射ヘッドと被噴射媒体との相対移動方向の一方側で当接することを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射装置。
前記位置決め当接部は、前記液体噴射面を露出可能な露出開口部を有し、該露出開口部と前記液体噴射面とは、当該液体噴射面の面内方向において隙間を介して配置されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射装置。