JP5444866B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び、液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェット式プリンター等の液体吐出装置に用いられる液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び、液体吐出ヘッドの製造方法に関するものであり、特に、液滴を吐出するノズルが開設されたノズル形成部材および当該ノズル形成部材の周縁部を保護するヘッドカバーを備えた液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び、液体吐出ヘッドの製造方法に関するものである。

液体吐出ヘッドには種々の形式があるが、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンターという）におけるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）は、リザーバーから圧力室を経てノズルに至る一連の液体流路が形成された流路ユニットと、圧力室の容積を変動可能な圧力発生手段を有するアクチュエータユニットと、流路ユニットやアクチュエータユニットが固定されるヘッドケースと、を備えたものがある。

この記録ヘッドには、流路ユニットの側面および流路ユニットに設けられた金属製のノズルプレート（ノズル形成部材の一種）のノズル面周縁部を被覆する金属製のヘッドカバーが設けられている。このヘッドカバーは、流路ユニットを保護するのみならず、ノズル面をワイパーによって払拭する際（ワイピング時）に流路ユニットの角部によってワイパーが損傷することを防止する機能を果たす。また、このヘッドカバーは接地線に接続されており、ノズルプレートに接触して電気的に導通することで、例えば、記録紙等から発生した静電気がノズルプレートを通じて伝達することによる駆動ＩＣ等の損傷や誤作動等の不具合を防止するようになっている。

ところで、上記記録ヘッドでは、ノズル周辺部に付着したインクに起因する飛行曲がり等の吐出不良の防止や、ワイピング時における拭き取り性の向上の観点から、ノズルプレートの表面（ノズル形成面）には撥液膜が形成されており、これによりノズルプレート表面の撥液性（撥インク性）が高められている。しかしながら、近年、従来家庭などで使用されていたインクジェットプリンターにおける染料インク等の液体よりも粘度の高い液体（高粘度液体）を吐出する用途にも用いられる場合があり、この場合、上記のヘッドカバーにも液体が付着して固化し堆積することが確認されている。そして、上記のワイピング時に、ワイパーブレードが、ヘッドカバーに付着している液体をノズル形成面に擦りつけてしまい、ノズル周辺部が汚染されてしまう虞があった。このような不具合を防止するべく、ヘッドカバーにも撥液膜を形成する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開平０９−２５４３９４号公報

ところが、上記の撥液膜は絶縁性が高いため、上記特許文献１のように、ヘッドカバーでノズルプレートの周縁部を保護する構成のものでは、ノズルプレートとヘッドカバーとの導通が確保し難くなるという問題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズル形成部材とヘッドカバーとの間の導通を確保しつつヘッドカバーに撥液性を付与することが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及び、液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、表面に絶縁性領域を有しており、ノズル形成面に液体を吐出するノズルが開設された導電性を有するノズル形成部材と、表面に絶縁性領域を有しており、前記ノズル形成面の周縁部を被覆する導電性を有するヘッドカバーと、を備え、前記ノズル形成面は、前記ヘッドカバーに被覆される領域の少なくとも一部に導通領域が設けられており、前記ヘッドカバーは、前記ノズル形成面を被覆する領域の少なくとも一部に導通領域が設けられており、前記ノズル形成面に設けられた導通領域と前記ヘッドカバーに設けられた導通領域は、互いに接触して電気的に導通されており、前記ヘッドカバーは、前記ノズル形成面に設けられた導通領域を露出させる露出部を有することを特徴とする。

この構成によれば、ノズル形成部材のノズル形成面のみならずヘッドカバーにおいて少なくともワイピング部材が接触する領域にも撥液膜が形成されているので、ワイピング部材によるワイピング時のインク等の液体の拭き取り性が向上し、固化し易い液体を吐出する構成においても、ヘッドカバーに液体が固化して堆積することを抑制することができる。また、ノズル形成面の非撥液領域に対して非撥液部の少なくとも一部を接触させた状態でヘッドカバーをヘッドユニットに取り付けるので、ノズル形成部材とヘッドカバーとを導通させることができる。したがって、撥液性を強化するのに伴ってノズル形成部材及びヘッドカバーの表面の絶縁性が高くなったとしても、ヘッドカバーを通じてノズル形成部材を接地することができ、静電気による駆動ＩＣ等の損傷や誤作動等の不具合を防止することができる。

また、上記構成において、前記ノズル形成面において、前記ヘッドカバーのオーバーラップ部により被覆される領域であって前記非撥液領域とは異なる位置に、前記撥液膜が形成されない導通確認用非撥液領域が設けられ、
前記ヘッドカバーのオーバーラップ部に、前記導通確認用非撥液領域の少なくとも一部を露出させる露出窓が開設される構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、ヘッドカバーの露出窓からノズル形成面の導通確認用非撥液領域の少なくとも一部が露出するので、ヘッドカバーをヘッドユニットに取り付けた状態で、露出窓を通じて導通確認用非撥液領域に導通確認用プローブの一方を接触させると共に、他方のプローブをヘッドカバーの一部（撥液膜が形成されていない部分）に接触させて、導通確認を行うことができる。

上記構成において、前記非撥液領域が、前記ノズル形成部材におけるノズル形成面の角部に形成され、
前記角部には、ノズル形成面側に屈曲したカエリが設けられ、
前記カエリがヘッドカバーに接触することで前記ヘッドカバーと前記ノズル形成部材とが導通される構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、ノズル形成部材のカエリがヘッドカバーに接触することでヘッドカバーとノズル形成部材とが導通されるので、ノズル形成部材とヘッドカバーとの導通をより確実に確保することができる。

また、本発明の液体吐出装置は、上記の何れかの構成の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドのノズル形成面を払拭するワイピング部材を有するワイピング機構と、
を備えたことを特徴とする。

さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液滴を吐出するノズルがノズル形成面に開設された導電性を有するノズル形成部材を備えたヘッドユニットと、前記ノズル形成面の周縁部及び前記ヘッドユニットの側面を保護する導電性を有するヘッドカバーと、を備え、前記ヘッドカバーは、ノズルを露出した状態でノズル形成面の周縁部を被覆するオーバーラップ部を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記ノズル形成面において少なくとも当該ノズル形成面を払拭するワイピング部材がワイピング時に接触する領域に撥液膜を形成する工程と、
前記ノズル形成面において前記ヘッドカバーのオーバーラップ部により被覆される領域に非撥液領域を形成する工程と、
前記ヘッドカバーにおいて少なくとも前記ワイピング部材がワイピング時に接触する領域に撥液膜を形成する工程と、
前記ヘッドカバーにおいて前記ノズル形成面の非撥液領域に対向する位置に非撥液部を形成する工程と、
前記ヘッドカバーを、前記ノズル形成面の非撥液領域に対して前記非撥液部の少なくとも一部を接触させて当該ノズル形成部材と導通させた状態で前記ヘッドユニットに取り付ける工程と、
前記ヘッドカバーを電気的に接地する工程と、
を含むことを特徴とする。

プリンターの構成を説明する説明図である。 記録ヘッドを斜め上方から観た分解斜視図である。 記録ヘッドを斜め下方から観た分解斜視図である。 記録ヘッドをノズル形成面側から見た平面図である。 ヘッドカバーの構成を説明する平面図である。 ヘッドカバーがヘッドユニットに取り付けられた状態を説明する平面図である。 他の実施形態を説明する記録ヘッドの要部断面図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明の液体吐出ヘッドとして、インクジェット式プリンター（本発明の液体吐出装置の一種）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を例に挙げて行う。

図１は、本発明に係る記録ヘッド１０を搭載するプリンター１の構成を示す平面図である。このプリンター１は、フレーム２と、このフレーム２内に配設されたプラテン３とを備えており、紙送りモーターの駆動により回転する紙送りローラー（何れも図示せず）によってプラテン３上に記録紙（記録媒体又は吐出対象物の一種：図示せず）が搬送されるようになっている。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイドロッド４が架設されており、このガイドロッド４には、記録ヘッド１０を収容したキャリッジ５が摺動可能に支持されている。このキャリッジ５は、パルスモーター６の駆動によって回転する駆動プーリー７と、この駆動プーリー７とはフレーム２における反対側に設けられた遊転プーリー８との間に架設されたタイミングベルト９に接続されている。そして、キャリッジ５は、パルスモーター６を駆動することで、ガイドロッド４に沿って紙送り方向に直交する主走査方向に往復移動するように構成されている。

フレーム２の一側には、インクカートリッジ１３を着脱可能に搭載するカートリッジホルダ１４が設けられている。本実施形態では、合計４個のインクカートリッジ１３がカートリッジホルダ１４に搭載されている。このインクカートリッジ１３は、エアチューブ１５を介してエアーポンプ１６と接続されており、このエアーポンプ１６からの空気が各インクカートリッジ１３内に供給される。そして、この空気によるインクカートリッジ１３内の加圧により、インク供給チューブ１７を通じて記録ヘッド１０側にインクが供給（圧送）されるように構成されている。

インク供給チューブ１７は、例えば、シリコーン等の合成樹脂で作製された可撓性を有する中空部材であり、このインク供給チューブ１７の内部には、各インクカートリッジ１３に対応するインク流路が形成されている。また、プリンター１本体側と記録ヘッド１０側との間には、プリンター本体側の制御部（図示せず）から記録ヘッド１０側に駆動信号等を伝送するためのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）１８が配線されている。

プリンター１の非記録領域であるホームポジションには、キャリッジ５に搭載された記録ヘッド１０のノズルプレート３５のノズル形成面を払拭（ワイピング）するワイピング機構１９が配設されている。このワイピング機構１９は、ワイパーブレード１９′（本発明におけるワイピング部材の一種）を有しており、このワイパーブレード１９′としては、ゴムやエラストマー等の弾性部材により構成される。このワイピング機構１９は、ワイピング時において、ワイパーブレード１９′を、その先端部が記録ヘッド１０のノズル形成面の移動軌跡と交差するように位置付ける。そして、記録ヘッド１０の通過に伴ってワイパーブレード１９′の先端部がノズル形成面に接触し、両者の相対移動により当該ワイパーブレード１９′によってノズル形成面が払拭される。

このワイピング機構１９に隣接して、上記ホームポジション若しくはその近傍に、キャッピング機構２０が配設されている。キャッピング機構２０は、記録ヘッド１０のノズル形成面に当接し得るトレイ状のキャップ部材２０′を有する。このキャッピング機構２０では、キャップ部材２０′内の空間が封止空部として機能し、この封止空部内に記録ヘッド１０のノズル４０を臨ませた状態でノズル形成面に密着可能に構成されている。また、このキャッピング機構２０には、図示しないポンプユニットが接続されており、このポンプユニットの作動によって封止空部内を負圧化することができる。そして、ノズル形成面への密着状態でポンプユニットを作動し、封止空部（密閉空間）内を負圧化すると、ノズル４０から記録ヘッド１０内のインクや気泡が吸引されてキャップ部材２０′の封止空部内に排出されるようになっている。

図２は記録ヘッド１０の分解斜視図、図３は記録ヘッド１０をノズル形成面側から見た斜視図である。なお、図３において第２ケース２４の図示は省略している。また、図４は記録ヘッド１０をノズル形成面側から見た平面図である。図４は、ヘッドカバー３０がヘッドユニット１１に取り付けられていない状態を示している。

本実施形態における記録ヘッド１０は、ヘッドユニット１１（ヘッド本体）、サブタンク２２、第１ケース２３、及び、第２ケース２４を主な構成要素としている。ヘッドユニット１１は、導入針ユニット２１、ヘッドケース２５、振動子ユニット２６、流路ユニット２７、駆動基板２８、ヘッドカバー３０等から構成されている。

ヘッドケース２５は、中空箱体状部材であり、その先端面（下面）には流路ユニット２７を固定し、内部に形成された収容空部内には振動子ユニット２６を収容し、流路ユニット２７とは反対側の基端面（上面）側には、中継基板２９と導入針ユニット２１を配置している。振動子ユニット２６は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子（圧力発生手段の一種）と、この圧電振動子に駆動信号を供給するための配線部材と、圧電振動子を固定する固定板等（何れも図示せず）から構成される。圧電振動子は、流路ユニット２７における圧力室（図示せず）の一部を区画する可撓面に接合されている。そして、この圧電振動子は、駆動信号の印加により伸縮駆動して圧力室の容積を膨張又は収縮することで、圧力室内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズルからインク滴を吐出させることができる。

流路ユニット２７は、ノズルが開設されたノズルプレート３５（ノズル形成部材の一種）や、インク流路を形成する流路形成基板等の構成部材を積層した状態で接着剤により接合して一体化することにより作製されており、共通インク室（リザーバー）からインク供給口及び圧力室を通りノズルに至るまでの一連のインク流路（液体流路）を形成するユニット部材である。流路ユニット２７における圧力室はノズル毎に形成されており、サブタンク２２側から共通インク室を介してインクが供給されるように構成されている。この流路ユニット２７はヘッドケース２５の先端面に接合され、この接合状態の流路ユニット２７の周縁部を包囲するように金属製のヘッドカバー３０がネジ等の止着部材３６によってヘッドユニット１１のヘッドケース２５に取り付けられる。このヘッドカバー３０は、流路ユニット２７を保護するのみならず、ノズルプレート３５のノズル形成面をワイピング機構１９によりワイピングする際に流路ユニット２７のエッジ部分によってワイパーブレード１９′が損傷されることを防止する機能を果たす。また、ヘッドカバー３０は、接地線３７に接続されており、ノズルプレート３５と電気的に導通することで、記録紙等から発生する静電気によるノイズ等の障害を防止する機能を果たす。このヘッドカバー３０とノズルプレート３５との導通については後述する。

駆動基板２８は、ＦＦＣ１８を接続するためのコネクタ３１を備え、このＦＦＣ１８を通じてプリンター本体の制御部側から駆動信号を受けてこの駆動信号を圧電振動子側へ供給するように構成されている。本実施形態における記録ヘッド１０は、上記駆動基板２８を合計２枚備えている。この駆動基板２８は、フレキシブルケーブル３２を介して中継基板２９と接続された状態で第１ケース２３に取り付けられるようになっている。中継基板２９は、駆動基板２８と圧電振動子との間の信号経路を中継するための基板であり、ヘッドケース２５の基端面（流路ユニット２７が接合される先端面とは反対側の面）側に配置される。

ヘッドケース２５の基端面には、上記中継基板２９の他、導入針ユニット２１が配置される。この導入針ユニット２１は、合成樹脂等によって成型されており、その上面にはフィルター３３を介在させた状態でインク導入針３４が複数取り付けられている。また、導入針ユニット２１の上面には、上記サブタンク２２が配置される。このサブタンク２２は、図１に示すアタッチメント３８を介してインク供給チューブ１７が接続され、このインク供給チューブ１７からのインクを記録ヘッド１０の圧力室側に導入する部材である。各サブタンク２２は、内部の圧力変動に応じてバルブを開閉し、記録ヘッド１０側へのインクの導入を制御する自己封止機能を有している。そして、サブタンク２２を導入針ユニット２１に装着すると、当該サブタンク内にインク導入針３４が挿入される。これにより、サブタンク２２側からのインクがインク導入針３４を通じて流路ユニット２７の液体流路側に導入される。

上記第１ケース２３は、上下面が開口したスリーブ状の部材である。第１ケース２３の開口部の平面形状は略矩形に形成されており、その内部空間は、上記サブタンク２２を収容するための収容空部２３′となっている。上記第２ケース２４は、第１ケース２３における収容空部２３′の上部開口を被覆可能なベース面２４ａと、当該ベース面５５におけるサブタンク２２列設方向に直交する方向の両辺縁部から下方（取り付け状態におけるヘッドユニット１１側）に延出した側壁部２４ｂとから形成されたケース部材である。ベース面２４ａは、第１ケース２３の収容空部２３′の上部開口から露出したサブタンク２２の流路接続部を露出する開口部２４ｃが開設されている。また、側壁部２４ｂは、第１ケース２３の側面に固定された駆動基板２８を被覆する基板被覆壁として機能する。

そして、第１ケース２３をヘッドユニット１１のヘッド基端面部に取り付け、当該第１ケース２３の収容空部２３′内にサブタンク２２を挿入してヘッド基端面部上にそれぞれ配置し、第１ケース２３の外表面に駆動基板２８を固定する。そして、第２ケース２４を第１ケース２３の上から取り付けることによって、収容空部２３′の上部開口から露出したサブタンク２２と第１ケース２３の側面の駆動基板２８とを第２ケース２４によって被覆する。

次に、ノズルプレート３５の詳細について説明する。ノズルプレート３５には、流路ユニット２７の液体流路に連通する複数のノズル４０を列設してなるノズル列４１が形成されており、本実施形態においては、ノズル列４１が合計８列形成されている。このノズルプレート３５の記録媒体と対向する面、即ち、インク滴が吐出される側の面（ノズル形成面）には、撥液膜（図３におけるノズルプレート３５のハッチング部分）が形成されている。この撥液膜は、ワイピング機構のワイパーブレード１９′によるインクの払拭性を向上させてインクが付着・堆積することを低減するために設けられている。

ノズルプレート３５の材料としては、導電性を有する材料、例えばステンレス鋼等の金属板・導電性樹脂板などの素材基板が用いられる。そして、この素材基板に対してノズル４０の開設加工や、一方の面（上記ノズル形成面となる面）に撥液処理が施された後、この素材基板から複数のノズルプレート３５が切り出される。したがって、撥液膜はノズルプレート３５の一方の面のみに形成されるようになっている。具体的には、素材基板に対してシリコーン材料をプラズマ重合することにより下地膜を成膜し、この下地膜上に撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜を成膜し、その後、乾燥処理、アニール処理等を経て撥液膜が形成される。金属アルコキシドの分子膜は撥水性および撥油性を有していればいかなるものでもよいが、フッ素を含む長鎖高分子基（長鎖ＲＦ基）を有する金属アルコキシドの単分子膜または撥液基を有する金属酸塩の単分子膜であることが望ましい。金属アルコキシドとしては、例えばケイ素、チタン、アルミニウム、ジルコニウム等が一般的に用いられる。長鎖ＲＦ基としては、例えば、パーフルオロアルキル鎖、パーフルオポリエーテル鎖等が挙げられる。この長鎖ＲＦ基を有するアルコキシシランとして、例えば、長鎖ＲＦ基を有するシランカップリング剤等が挙げられる。

上記のようにノズルプレート３５のノズル形成面には全体的に撥液膜が形成されているが、当該撥液膜は電気的に絶縁性を呈するため、後述するようにヘッドカバー３０との導通を確保するべく、当該ヘッドカバー３０のオーバーラップ部４４によって覆われる位置に、ノズルプレート３５の素地が露出した非撥液領域３９が設けられている。具体的には、図４に示すように、ノズル形成面の四隅の角部に、当該角を頂点とした平面視略三角形状の非撥液領域３９がそれぞれ形成されている。この非撥液領域３９に関し、ノズル形成面の全体に撥液膜を形成した後に該当する部分のみ撥液膜を除去しても良いし、撥液膜を形成する際に該当する部分だけマスクすることで当該部分に最初から撥液膜が形成されないようにしても良い。また、同様にヘッドカバー３０のオーバーラップ部４４によって覆われる位置であって、非撥液領域３９とは異なる位置に、より具体的にはオーバーラップ部４４によって覆われる両縁部のうち一方（図５において右側）の中央部に、平面視円形状の導通確認用非撥液領域４５が形成されている。なお、これらの非撥液領域３９，４５は、ヘッドカバー３０によって覆われる位置であれば、本実施形態で例示した位置には限られない。また、各非撥液領域３９，４５の形状や形成数に関し、本実施形態で例示した形状・形成数には限られない。

図５は、上記ヘッドカバー３０の構成を説明する平面図であり、このヘッドカバー３０は、ノズルプレート３５と同様にステンレス鋼等の導電性を有する板材をプレス加工することで作製されている。そして、ヘッドカバー３０は、ヘッドユニット１１の側面、より詳しくは、流路ユニット２７及びヘッドケース２５の側面にそれぞれ当接する４つの側面部４３ａ〜４３ｄを有している。これら側面部４３のうち、ヘッドケース２５に装着した状態においてワイピング時のワイパーブレード１９′によるノズル形成面との相対的なワイピング方向（図５において矢印で示す方向（ノズル列に直交する方向））の両側に位置する側面部４３ｂ，４３ｄの先端縁からそれぞれノズルプレート３５のノズル形成面側に屈曲してノズル４０に干渉しない範囲でノズル形成面の縁部を被覆するオーバーラップ部４４が設けられている。そして、ワイピング方向に直交する方向（ノズル列方向）の両側に位置する側面部４３ａ，４３ｃは、その基端縁から側方に向けて突出したフランジ部４６がそれぞれ形成されている。このフランジ部４６には、止着部材３６が挿通される挿通穴４７が、ヘッドケース２５の止着穴４８に対応して１つのフランジ部４６に２箇所ずつ、合計４箇所開設されている。

ヘッドカバー３０には、ノズルプレート３５のノズル形成面と同様に、インク等が付着・堆積することを低減するための撥液膜（図３におけるヘッドカバー３０のハッチング部分）が形成されている。この撥液膜は、少なくともワイピング時にワイパーブレード１９′が接触する部分に形成されていれば良く、具体的な位置は、オーバーラップ部４４の外面（記録動作時に記録媒体と対向する面）と、側面部４３ｂ，４３ｄである。また、撥液膜を積極的に形成しない位置は、少なくとも、オーバーラップ部４４の内面側におけるノズルプレート３５の非撥液領域３９に対応する位置（非撥液部４９）、及び、フランジ部４６の挿通穴４７のうち接地線３７が接続される挿通穴４７の開口周縁部（接地線３７の端子が接触する部分）である。また、後述するようにノズルプレート３５との導通確認を行う場合、導通確認用のプローブを接触させる部分も撥液膜を形成しないことになる。撥液膜の形成方法としては、ノズルプレート３５に撥液膜を形成する方法と同様の方法を採用しても良いが、液状の撥液剤にヘッドカバー３０全体を浸漬した後、引き上げて乾燥することによりヘッドカバー全体に撥液膜を形成してから、上記非撥液部４９等の撥液膜が不要な部分のみ撥液膜を除去する構成を採用することもできる。この方法を採用する場合、ヘッドカバー３０の引き上げ速度によって撥液膜の膜厚を制御することができる。

ヘッドカバー３０の両側のオーバーラップ部４４のうち一方（図５において右側）のオーバーラップ部４４には、ノズルプレート３５の導通確認用撥液領域４５に対応して当該導通確認用撥液領域４５の少なくとも一部を露出させる露出窓５０が開設されている。この露出窓５０は、ノズルプレート３５とヘッドカバー３０との導通確認を行う際に、導通確認用のプローブが挿入される部分である。

上記ヘッドカバー３０をヘッドユニット１１に取り付けるには、各側面部４３がそれぞれ流路ユニット２７の側面及びヘッドケース２５の側面に沿う姿勢でノズルプレート３５側からヘッドケース２５にヘッドカバー３０が被せられ、フランジ部４６の各挿通穴４７の位置がそれぞれヘッドケース２５の対応する止着穴４８の位置に重ね合わせられた状態で止着部材３６が挿通穴４７を通して止着穴４８に止着される。この際、止着部材３６のうちの１つは、図３に示すように、ヘッドカバー３０との間に接地線３７の端子部を介在させた状態で止着される。なお、ヘッドケース２５に対するヘッドカバー３５の固定は、ネジ止めの他、接着、カシメなどを用いることができる。

そして、このようしてヘッドカバー３０がヘッドユニット１１に取り付けられると、各側面部４３によって流路ユニット２７の側面が被覆されると共に、ノズルプレート３５には開口部４２から各ノズル４０を露出させた状態でオーバーラップ部４４が重なり合わされ、ノズル形成面においてワイピング方向（ノズル列方向に直交する方向）の両縁部がオーバーラップ部４４によって被覆される。これにより、ノズル形成面の各非撥液領域３９に対してそれぞれ対応する非撥液部４９の少なくとも一部が接触し、ノズルプレート３５とヘッドカバー３０とが電気的に導通される。ノズルプレート３５とヘッドカバー３０とが導通すれば、上記のように、ヘッドカバー３０は接地線に接続されているので、ノズルプレート３５も接地されることになる。さらに、本実施形態においては、ヘッドカバー３０の露出窓５０からノズルプレート３５の導通確認用非撥液領域４５の少なくとも一部が露出するので、ヘッドカバー３０をヘッドユニット１１に取り付けた状態で、露出窓５０を通じて導通確認用非撥液領域４５に導通確認用の一方のプローブを接触させると共に、他方のプローブをヘッドカバー３０の一部（撥液膜が形成されていない部分）に接触させて、導通確認を行うことができる。

このように、ノズルプレート３５のノズル形成面において少なくともワイパーブレード１９′がワイピング時に接触する領域に撥液膜を形成する工程と、ノズル形成面においてヘッドカバー３０のオーバーラップ部４４により被覆される領域に非撥液領域３９を形成する工程と、ヘッドカバー３０において少なくともワイパーブレード１９′がワイピング時に接触する領域に撥液膜を形成する工程と、ヘッドカバー３０においてノズル形成面の非撥液領域３９に対向する位置に非撥液部４９を設ける工程（ヘッドカバー全体に撥液膜を形成した後に積極的に非撥液部を形成する場合のみならず、最初から当該部分に非撥液部を形成しない場合も含む）と、ノズル形成面の非撥液領域３９に対して非撥液部４９の少なくとも一部を接触させてノズルプレート３５と導通させた状態でヘッドカバー３０をヘッドユニット１１に取り付ける工程と、ヘッドカバー３０を電気的に接地する工程と、を経て記録ヘッド１０を製造する。

これにより、ノズルプレート３５のノズル形成面のみならずヘッドカバー３０においてワイパーブレード１９′が接触する領域にも撥液膜が形成されているので、ワイパーブレード１９′によるワイピング時のインク等の拭き取り性が向上し、例えば、紫外線硬化型インク等の従来の染料インクよりも粘度が高いインク等の固化し易い液体を吐出する構成においても、ヘッドカバー３０にインク等が固化して堆積することを抑制することができる。また、ノズル形成面の非撥液領域３９に対して非撥液部４９の少なくとも一部を接触させた状態でヘッドカバー３０をヘッドユニット１１に取り付けるので、ノズルプレート３５とヘッドカバー３０とを導通させることができる。したがって、撥液性を強化するのに伴ってノズルプレート３５及びヘッドカバー３０の表面の絶縁性が高くなったとしても、ヘッドカバー３０を通じてノズルプレート３５を接地することができ、静電気による駆動ＩＣ等の損傷や誤作動等の不具合を防止することができる。

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

ヘッドカバー３０の形状に関し、本実施形態では、ノズル形成面のワイピング方向における両側の２辺の縁部のみをオーバーラップ部４４で被覆する構成を例示したが、これには限らず、ノズル形成面の４辺の縁部をオーバーラップ部４４で被覆する構成、即ち、オーバーラップ部４４が額縁状を呈し、その中心部に各ノズル４０を露出する開口部４２が開設されている構成を採用することもできる。

また、ノズルプレート３５とヘッドカバー３０とを導通させる構成に関し、本実施形態では、非撥液領域３９と非撥液部４９とを面で接触させることで導通を確保する構成を例示したが、これには限られず、例えば、ノズルプレート３５を素材基板からプレス加工により切り出す際に、ノズルプレート３５の各角部（非撥液領域３９の角部）にノズル形成面側に屈曲したカエリ（バリ）５１を意図的に残し、図７に示すように、このカエリ５１をヘッドカバー３０に接触させる（食い込ませる）ことで導通を確保する構成を採用することも可能である。これにより、より簡単且つより確実にノズルプレート３５とヘッドカバー３０との導通を確保することができる。なお、この構成は、ヘッドカバー全体に撥液膜を形成する場合に好適である。即ち、ヘッドカバー３０を流路ユニット２７に取り付けると、上記のカエリ５１がヘッドカバー３０の表面に形成された撥液膜を破壊し、ヘッドカバー３０の素地に接触して導通することができる。この構成では、ヘッドカバー３０においてカエリ５１の先端部が接触する部分が非撥液部４９として機能する。

以上は、液体吐出ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド１０を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体吐出ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，１０…記録ヘッド，１１…ヘッドユニット，１９…ワイピング機構，１９′…ワイパーブレード，２５…ヘッドケース，２７…流路ユニット，３０…ヘッドカバー，３５…ノズルプレート，３９…非撥液領域，４０…ノズル，４２…開口部，４３…側面部，４４…オーバーラップ部，４５…導通確認用非撥液領域，４９…非撥液部，５０…露出窓

Claims (5)

1. 表面に絶縁性領域を有しており、ノズル形成面に液体を吐出するノズルが開設された導電性を有するノズル形成部材と、
   表面に絶縁性領域を有しており、前記ノズル形成面の周縁部を被覆する導電性を有するヘッドカバーと、
   を備え、
   前記ノズル形成面は、前記ヘッドカバーに被覆される領域の少なくとも一部に導通領域が設けられており、
   前記ヘッドカバーは、前記ノズル形成面を被覆する領域の少なくとも一部に導通領域が設けられており、
   前記ノズル形成面に設けられた導通領域と前記ヘッドカバーに設けられた導通領域は、互いに接触して電気的に導通されており、
   前記ヘッドカバーは、前記ノズル形成面に設けられた導通領域を露出させる露出部を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 表面に絶縁性領域を有しており、ノズル形成面に液体を吐出するノズルが開設された導電性を有するノズル形成部材と、
   表面に絶縁性領域を有しており、前記ノズル形成面の周縁部を被覆する導電性を有するヘッドカバーと、
   を備え、
   前記ノズル形成面は、前記ヘッドカバーに被覆される領域の少なくとも一部に導通領域が設けられており、
   前記ノズル形成面の前記導通領域は、ノズル形成面側に屈曲したカエリが設けられ、
   前記ヘッドカバーと前記カエリは、互いに接触して電気的に導通されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
   
3. 請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッドと、
   前記液体吐出ヘッドのノズル形成面を払拭するワイピング部材を有するワイピング機構と、
   を備えたことを特徴とする液体吐出装置。
4. 表面に絶縁性領域を有しており、ノズル形成面に液体を吐出するノズルが開設された導電性を有するノズル形成部材と、表面に絶縁性領域を有しており、前記ノズル形成面の周縁部を被覆する導電性を有するヘッドカバーと、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   前記ノズル形成面において、前記ヘッドカバーに被覆される領域の少なくとも一部に導通領域を設ける工程と、
   前記ヘッドカバーにおいて、前記ノズル形成面を被覆する領域の少なくとも一部に導通領域を設ける工程と、
   前記ノズル形成面に設けられた導通領域と前記ヘッドカバーに設けられた導通領域を互いに接触させて電気的に導通させる工程と、
   前記ヘッドカバーにおいて、前記ノズル形成面に設けられた導通領域を露出させる露出部を形成する工程と、
   を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
   
5. 表面に絶縁性領域を有しており、ノズル形成面に液体を吐出するノズルが開設された導電性を有するノズル形成部材と、表面に絶縁性領域を有しており、前記ノズル形成面の周縁部を被覆する導電性を有するヘッドカバーと、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   前記ノズル形成面において、前記ヘッドカバーに被覆される領域の少なくとも一部に導通領域を設ける工程と、
   前記ノズル形成面の前記導通領域において、ノズル形成面側に屈曲したカエリを設ける工程と、
   前記ヘッドカバーと前記カエリを互いに接触して電気的に導通させる工程と、
   を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
   

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